JPS61134602A - 磁気スケ−ルの製造方法 - Google Patents
磁気スケ−ルの製造方法Info
- Publication number
- JPS61134602A JPS61134602A JP25692684A JP25692684A JPS61134602A JP S61134602 A JPS61134602 A JP S61134602A JP 25692684 A JP25692684 A JP 25692684A JP 25692684 A JP25692684 A JP 25692684A JP S61134602 A JPS61134602 A JP S61134602A
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- Japan
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- magnetic
- disk
- sheet
- scale
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- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（発明の技術分野）
本発明は、ロータリー磁気エンコーダに使用される円板
状の磁気スケールの新規な製造方法に関するものである
。
状の磁気スケールの新規な製造方法に関するものである
。
（発明の前景）
ロータリー磁気エンコーダは、円板状の磁気スケールと
そのスケールに刻まれた磁気目盛を読み取るための磁気
ヘッドからなり、磁気スケールは、板状の磁性材料に円
周方向に沿って所定ピッチで着磁することにより磁目盛
を刻んだものである。
そのスケールに刻まれた磁気目盛を読み取るための磁気
ヘッドからなり、磁気スケールは、板状の磁性材料に円
周方向に沿って所定ピッチで着磁することにより磁目盛
を刻んだものである。
従来、磁気目盛の磁化の方向は、水平方向つまり板面内
であったが、最近、目盛の高密度化を目的として垂直方
向つまり板厚方向に磁化することが提案された（特開昭
５６−２９１１５号参照）。
であったが、最近、目盛の高密度化を目的として垂直方
向つまり板厚方向に磁化することが提案された（特開昭
５６−２９１１５号参照）。
そして、前記特開昭５６−２９１１５号公報に開示され
た製造方法によれば、主として加工の容易なスピノーダ
ル分解型のＦｅ−Ｃｒ−Ｃｏ系磁性材料を用いて、この
磁性材料の鋳造物を、 第１工程：圧延により薄板とする工程 に付した後、順序は問わないが、 第２工程ニブレスまたは切断により円板を製造する工程 第３工程：溶体化処理工程 に付し、その後、順次 第４工程：前記円板の板厚方向に磁場を印加した状態で
加熱する磁気異方性化処理工程 第５工程：時効工程 第６工程：前記円板の板厚方向に磁化を示す磁気目盛を
着磁する工程 の諸工程に付すことにより、磁気スケールが製造される
のである。
た製造方法によれば、主として加工の容易なスピノーダ
ル分解型のＦｅ−Ｃｒ−Ｃｏ系磁性材料を用いて、この
磁性材料の鋳造物を、 第１工程：圧延により薄板とする工程 に付した後、順序は問わないが、 第２工程ニブレスまたは切断により円板を製造する工程 第３工程：溶体化処理工程 に付し、その後、順次 第４工程：前記円板の板厚方向に磁場を印加した状態で
加熱する磁気異方性化処理工程 第５工程：時効工程 第６工程：前記円板の板厚方向に磁化を示す磁気目盛を
着磁する工程 の諸工程に付すことにより、磁気スケールが製造される
のである。
（発明の目的）
本発明の目的は、このような従来の磁気スケールの製造
方法を改良することにある。
方法を改良することにある。
（発明の概要）
本発明者らは、鋭意研究の結果、（１）第２工程ニブレ
スまたは切断により円板を製造する工程を第４工程：磁
気異方性化処理工程の後に設けることにより、磁気異方
性化処理を一度に多量に行なうことができ、生産効率が
高くなることを着想しく従来は、前記円板を一枚ずつ処
理していた）、また（２）第４工程：磁気異方性化処理
および第５工程：時効工程で熱処理された際に表面に薄
く酸化層が生成し、この酸化層が、（イ）磁気特性を低
下させ、また（・）磁気目盛の高密度化を妨
１げ、更に（ハ）ヘッドを摺動させた際にヘ
ッドを著しく摩耗し、その結果着磁のとき並びにスケー
ルとして使用したときの効率を低下させることを発見し
、この酸化層を除去することにより、磁気スケールとし
ての性能が大きく向上することを見い出し、本発明を成
すに至った。
スまたは切断により円板を製造する工程を第４工程：磁
気異方性化処理工程の後に設けることにより、磁気異方
性化処理を一度に多量に行なうことができ、生産効率が
高くなることを着想しく従来は、前記円板を一枚ずつ処
理していた）、また（２）第４工程：磁気異方性化処理
および第５工程：時効工程で熱処理された際に表面に薄
く酸化層が生成し、この酸化層が、（イ）磁気特性を低
下させ、また（・）磁気目盛の高密度化を妨
１げ、更に（ハ）ヘッドを摺動させた際にヘ
ッドを著しく摩耗し、その結果着磁のとき並びにスケー
ルとして使用したときの効率を低下させることを発見し
、この酸化層を除去することにより、磁気スケールとし
ての性能が大きく向上することを見い出し、本発明を成
すに至った。
従って、本発明は、
永久磁性材料の鋳造物を、
第１工程；圧延により薄板とする工程
第２工程：溶体化処理工程
第３工程：前記薄板の板厚方向に磁場を印加した状態で
加熱する磁気異方性化処理 工程 第４工ｌ！；前記薄板から円板を切り出す工程第５工程
：時効工程 第６工程：前記円板の表面酸化層を除去する工程 第７工程：前記円板の板厚方向に磁化を示す磁気目盛を
着磁する工程 の諸工程に付すことを特徴とする、垂直磁化目盛を有す
る磁気スケールの製造方法 を提供する。
加熱する磁気異方性化処理 工程 第４工ｌ！；前記薄板から円板を切り出す工程第５工程
：時効工程 第６工程：前記円板の表面酸化層を除去する工程 第７工程：前記円板の板厚方向に磁化を示す磁気目盛を
着磁する工程 の諸工程に付すことを特徴とする、垂直磁化目盛を有す
る磁気スケールの製造方法 を提供する。
本発明の特徴の一つである表面酸化層の除去工程は、例
えば研削ないし研摩による機械的除去法が好ましいが、
場合により化学的腐食法で実施してもよい、また除去工
程の後、更に表面を鏡面仕上げすることが好ましい。
えば研削ないし研摩による機械的除去法が好ましいが、
場合により化学的腐食法で実施してもよい、また除去工
程の後、更に表面を鏡面仕上げすることが好ましい。
永久磁性材料には磁気的に等方性のものと異方性のもの
とがあるが、本発明に於いては、異方性のものを使用す
る必要があり、このような異方性磁性材料としては、加
工の容易なスピノーダル分解型磁性合金が好ましい。
とがあるが、本発明に於いては、異方性のものを使用す
る必要があり、このような異方性磁性材料としては、加
工の容易なスピノーダル分解型磁性合金が好ましい。
スピノーダル分解型磁性合金としては、例えば次の組成
： （Ｆｅ ： １５〜８２重量％；Ｃｒ：３〜５０重量％
； Ｃｏ ： １５〜３５重量％〕、［Ｆｅ ： １５
〜８２重量％ＨＣｒ：３〜５０重量％； Ｃｏ ： １
５〜３５重量％ＨＷ：１〜２０重量％］、（Ｆｅ ：
１５〜８２重量％； Ｃｒ ： ３〜５０重量％； Ｃ
ｏ ： １５〜３５重量％；Ｗ：１〜ＩＯ重量％ＨＭｏ
：Ｑ、５重量％〕、（Ｆｅ ： １５〜８２重量％；Ｃ
ｒ：３〜ｓｏ重量％；ＣＯ：１５〜３５重量％； Ｓｔ
： １〜１２重量％〕、（Ｐａ ：残部； Ｃｒ ：
１０〜４０重量％； Ｃｏ ： ３〜３０重量％；■
：０．１〜１５重量％）、（Ｆｅ ：残部； Ｃｒ ：
２０〜３５重量％； Ｃｏ ： １０〜２０重量％；
Ｔｉ：０．３〜３重量％）を有するＦ＠−Ｃｒ−Ｃｏ系
合金が使用される。その他、緒特性の改良のために前記
Ｆｅ−Ｃｒ−Ｃｏ系合金に、Ｎｂ、 Ｔａ＋ Ａｔ ＋
Ｍｎ、 Ｎｌｔ Ｃｕｔ Ｌａ＋ Ｃａ、 Ｓｓ、
Ｚｒなどの微量金属を添加したものも使用可能である。
： （Ｆｅ ： １５〜８２重量％；Ｃｒ：３〜５０重量％
； Ｃｏ ： １５〜３５重量％〕、［Ｆｅ ： １５
〜８２重量％ＨＣｒ：３〜５０重量％； Ｃｏ ： １
５〜３５重量％ＨＷ：１〜２０重量％］、（Ｆｅ ：
１５〜８２重量％； Ｃｒ ： ３〜５０重量％； Ｃ
ｏ ： １５〜３５重量％；Ｗ：１〜ＩＯ重量％ＨＭｏ
：Ｑ、５重量％〕、（Ｆｅ ： １５〜８２重量％；Ｃ
ｒ：３〜ｓｏ重量％；ＣＯ：１５〜３５重量％； Ｓｔ
： １〜１２重量％〕、（Ｐａ ：残部； Ｃｒ ：
１０〜４０重量％； Ｃｏ ： ３〜３０重量％；■
：０．１〜１５重量％）、（Ｆｅ ：残部； Ｃｒ ：
２０〜３５重量％； Ｃｏ ： １０〜２０重量％；
Ｔｉ：０．３〜３重量％）を有するＦ＠−Ｃｒ−Ｃｏ系
合金が使用される。その他、緒特性の改良のために前記
Ｆｅ−Ｃｒ−Ｃｏ系合金に、Ｎｂ、 Ｔａ＋ Ａｔ ＋
Ｍｎ、 Ｎｌｔ Ｃｕｔ Ｌａ＋ Ｃａ、 Ｓｓ、
Ｚｒなどの微量金属を添加したものも使用可能である。
以下、実施例により本発明を具体的に説明するが一本発
明はこれに限定されるものではない。
明はこれに限定されるものではない。
（実施例）
予め製造されたスピノーダル分解型Ｆｅ−Ｃｒ−Ｃ。
系磁性合金の鋳造物を、次の第１〜７工程に従って処理
して磁気スケールを製造する。
して磁気スケールを製造する。
第１工程：圧延加工により例えば厚さ０．３〜３ｍｓの
薄板とする。
薄板とする。
第２工程：前記薄板を例えば約１０００〜１３００℃で
約２０〜４０分加熱することにより溶体化処理を行う。
約２０〜４０分加熱することにより溶体化処理を行う。
溶体化処理は、（イ）次の磁気異方性化処理の際のスピ
ノーダル分解のための均一化を目的として行うが、（ロ
）圧延により、薄板の板面方向に磁気異方性が形成され
、その結果、後の工程で垂直磁化目盛を着磁することが
難しくなるので、この板面方向の磁気異方性を消去する
目的でも行なう。
ノーダル分解のための均一化を目的として行うが、（ロ
）圧延により、薄板の板面方向に磁気異方性が形成され
、その結果、後の工程で垂直磁化目盛を着磁することが
難しくなるので、この板面方向の磁気異方性を消去する
目的でも行なう。
第３工程：前記薄板を板厚方向に例えば約３０００〜４
０００エルステツドの磁場を印加した状態で例えば６３
０〜６９０℃に３０〜６０分加熱することにより磁気異
方性化処理を行う。
０００エルステツドの磁場を印加した状態で例えば６３
０〜６９０℃に３０〜６０分加熱することにより磁気異
方性化処理を行う。
鴫
第４工程：前記薄板から例えば放電加工、プレスなどの
方法により直径１０〜５０ｍ５の円板を多数切り出す。
方法により直径１０〜５０ｍ５の円板を多数切り出す。
第５工程：前記円板を再び例えば６２０℃にまで加熱し
、 第１段階：６２０℃×１時間 第２段階：６００℃×１時間 第３段階；５８０℃×１時間 第４段階＝５６０℃×１時間 第５段階：５４０℃×４時間 の如き多段時効、或いは 第１段階−６００℃×２時間 第２段階＝５８０℃×４時間 の如き多段時効を行う０時効は多段時効に限ることなく
場合により１段の時効でもよい。
、 第１段階：６２０℃×１時間 第２段階：６００℃×１時間 第３段階；５８０℃×１時間 第４段階＝５６０℃×１時間 第５段階：５４０℃×４時間 の如き多段時効、或いは 第１段階−６００℃×２時間 第２段階＝５８０℃×４時間 の如き多段時効を行う０時効は多段時効に限ることなく
場合により１段の時効でもよい。
また時効の条件は磁性合金の組成で多少変わってくる。
第６工程：前工程で得られた磁気円板は、本発明者らの
知見によると、表面に黒色に近い薄い酸化層を有してお
り、この酸化層の厚さは５〜２０ミクロンに達し、そし
てこの酸化層は主として異方性化処理および時効処理に
よって生成することがわかった。
知見によると、表面に黒色に近い薄い酸化層を有してお
り、この酸化層の厚さは５〜２０ミクロンに達し、そし
てこの酸化層は主として異方性化処理および時効処理に
よって生成することがわかった。
そこで本発明では、ここで第６工程として表面酸化層を
除去する工程を設ける０表面酸化層の除去は、ここでは
精密研磨用の砥石を用いて研磨することにより行なう。
除去する工程を設ける０表面酸化層の除去は、ここでは
精密研磨用の砥石を用いて研磨することにより行なう。
その後、本実施例ではポリッシング加工により表面粗さ
を０．０１〜０．５ミクロンの鏡面に近い平滑面に仕上
げる。
を０．０１〜０．５ミクロンの鏡面に近い平滑面に仕上
げる。
第６工程：平滑面に仕上げられた円板状磁性材料に着磁
用の磁気へラドを用いて第１図に示すように所定ピッチ
例えばｌＯ〜１００ ミクロンのピッチで板厚方向に磁
気目盛を着磁する。なお、磁化の向きは一目盛ごとに上
向き下向きに変える。
用の磁気へラドを用いて第１図に示すように所定ピッチ
例えばｌＯ〜１００ ミクロンのピッチで板厚方向に磁
気目盛を着磁する。なお、磁化の向きは一目盛ごとに上
向き下向きに変える。
こうして得られた磁気スケールは、酸化層の除去前は磁
気目盛を１４０ミクロンのピンチより細すると正確な目
盛を刻むことはできなかったのに対して、本発明に従い
酸化層の除去、ポリッシング加工を行なった後は、１０
ミクロンまでのピッチで正確な目盛を形成することがで
きた。
気目盛を１４０ミクロンのピンチより細すると正確な目
盛を刻むことはできなかったのに対して、本発明に従い
酸化層の除去、ポリッシング加工を行なった後は、１０
ミクロンまでのピッチで正確な目盛を形成することがで
きた。
（発明の効果）
以上のとおり、本発明によれば、円板の切り出し工程を
磁気異方性化処理工程の後に設けたので、磁気異方性化
処理の際、一枚の板材を処理するだけで、多数の円板を
一度に処理したことと同一の結果が得られ、従って処理
時間の短縮、生産効率の向上が図られる。このことは何
枚かの板材または円板を重ねた状態で処理する場合も同
様であうで、処理した後に円板に切り出す方が処理作業
が容易である。
磁気異方性化処理工程の後に設けたので、磁気異方性化
処理の際、一枚の板材を処理するだけで、多数の円板を
一度に処理したことと同一の結果が得られ、従って処理
時間の短縮、生産効率の向上が図られる。このことは何
枚かの板材または円板を重ねた状態で処理する場合も同
様であうで、処理した後に円板に切り出す方が処理作業
が容易である。
また表面酸化層を除去する工程を設けたので、磁気スケ
ールの磁気特性が向上し、その結果、より細かいピッチ
で目盛を精度よく刻むことができ、そのためエンコーダ
としての分解能が格段に向上する。
ールの磁気特性が向上し、その結果、より細かいピッチ
で目盛を精度よく刻むことができ、そのためエンコーダ
としての分解能が格段に向上する。
第１図は、円板状磁性材料に板厚方向に磁気目盛を着磁
する方法を示す概念図である。 〔主要部分の符号の説明〕
する方法を示す概念図である。 〔主要部分の符号の説明〕
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 永久磁性材料の鋳造物を、 第１工程：圧延により薄板とする工程 第２工程：溶体化処理工程 第３工程：前記薄板の板厚方向に磁場を印加した状態で
加熱する磁気異方性化処理 工程 第４工程：前記薄板から円板を切り出す工程第５工程：
時効工程 第６工程：前記円板の表面酸化層を除去する工程 第７工程：前記円板の板厚方向に磁化を示す磁気目盛を
着磁する工程 の諸工程に付すことを特徴とする、垂直磁化目盛を有す
る磁気スケールの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25692684A JPS61134602A (ja) | 1984-12-05 | 1984-12-05 | 磁気スケ−ルの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25692684A JPS61134602A (ja) | 1984-12-05 | 1984-12-05 | 磁気スケ−ルの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61134602A true JPS61134602A (ja) | 1986-06-21 |
Family
ID=17299293
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25692684A Pending JPS61134602A (ja) | 1984-12-05 | 1984-12-05 | 磁気スケ−ルの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61134602A (ja) |
-
1984
- 1984-12-05 JP JP25692684A patent/JPS61134602A/ja active Pending
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