JPS6097679A - 時計用太陽電池 - Google Patents

時計用太陽電池

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JPS6097679A
JPS6097679A JP58206231A JP20623183A JPS6097679A JP S6097679 A JPS6097679 A JP S6097679A JP 58206231 A JP58206231 A JP 58206231A JP 20623183 A JP20623183 A JP 20623183A JP S6097679 A JPS6097679 A JP S6097679A
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JP
Japan
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amorphous semiconductor
type amorphous
generating region
solar cell
type
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JP58206231A
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English (en)
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Kazunaga Tsushimo
津下 和永
Masataka Kondo
正隆 近藤
Yoshihisa Owada
善久 太和田
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Kanegafuchi Chemical Industry Co Ltd
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Kanegafuchi Chemical Industry Co Ltd
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    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L31/00Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L31/04Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof adapted as photovoltaic [PV] conversion devices
    • H01L31/06Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof adapted as photovoltaic [PV] conversion devices characterised by potential barriers
    • H01L31/075Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof adapted as photovoltaic [PV] conversion devices characterised by potential barriers the potential barriers being only of the PIN type, e.g. amorphous silicon PIN solar cells
    • H01L31/076Multiple junction or tandem solar cells
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02EREDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
    • Y02E10/00Energy generation through renewable energy sources
    • Y02E10/50Photovoltaic [PV] energy
    • Y02E10/547Monocrystalline silicon PV cells
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
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    • Y02EREDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
    • Y02E10/00Energy generation through renewable energy sources
    • Y02E10/50Photovoltaic [PV] energy
    • Y02E10/548Amorphous silicon PV cells

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は時計用穴@電池に関する。
従来から太陽電池が時計に使用されているが、その使用
部位としては文字盤以外の部位の−Get’あいが多い
太陽電池を時計の文字盤部に使用すると、必要とされる
電圧をうるため直9列接続にする必要が生じ、文字盤の
領域区分けが必要となり、区分けがはつきりしてデザイ
ン上好ましくなくなる。それゆえ該区分けが目立たない
ように区分けの線幅を、なるべく細くしようとする試み
もなされているが、限界があり、満足のできる品質のも
のはえられていない。
太陽電池を直列接続し、時計用に用いるばあい、透明電
極と金属電極とを太@電池の発電部以外の部分で重ね合
わせる必要があり、この部分を外から見えないようにお
おう必要が生ずる。
この重ね合せ部分の面積をあまり小さくすると、この部
分における直列抵抗が大きくなり、問題となる。それゆ
え、ある程度の面積が必要とされるため、この点からも
デザイン上の制約が多くなるとともに、発電部の面積が
減少する。その上直列接続するための工程が必要となる
また腕時計に太陽電池を用いると、普通の直列接続のば
あいには太陽電池の一部に入る光線がさえぎられてもま
ったく作動しなくなるようなばあいが生ずるという問題
もある。
本発明者らは上記のごとき実情に鑑み鋭意研究を重ねた
結果、文字盤の一部またはすべてに配置される時計用電
池において、該太陽電池の構造が重位障壁を有する接合
部を内在させた多層構造であり、該接合部に到達した正
孔と電子の大部分を再結合させる、太陽電池を用いるこ
とにより、太陽電池をいくつかの領域に区分けする必要
がないためデザイン上の制限が少なくなり、発電部の外
で直列接続を実施する必要もないため簡単に製造でき、
かつ腕時計に用いたばあいに、太陽電池の一部に入る光
線がさえぎられてもまったく作動しなくなるようなばあ
いかなくなることを見出し、本発明を完成した0本発明
を図面にもとづいて説明する。
第1図は本発明の太陽電池を腕時計の文字盤として設置
した一実施態様を示す説明図、第2図および第!1図は
それぞれ本発明の太陽電池の構成の実施態様を示す概略
説明図、第4図は第2図に示すタイプの太陽電池をアナ
ログ時計に用いるばあいの説明図、第5図は第4図の(
A)−(A′)断面図、第6図は本発明の太陽電池の使
用において、充電装置を組込んで使用するばあいの一実
施態様の回路図である0 本発明の太陽電池は、第2図に示すように、p型アモル
ファス半導体(3a)、i型アモルファス半導体(5a
)およびn型アモルファス半導体(4a)からなる発電
領域(以下、a発電領域という)カア型アモルファス半
導体(3b)、tWアモルファス半導体(5b)、n型
アモ/I/7アス半導体(4b)からなる発電領域(以
下、b発電領域とし)う)と接合部(S工)にて接合し
ており、該発電領域がさらにp型アモルファス半導体(
3c)、i型アモルファス半導体(5c)、nmアモ/
I/7アス半導体(40)からなる発電領域(以下、C
発電領域という)と接合部(S2)にて接合している発
電領域のa発電領域側に、透明性゛基板(2)に透明電
極(6)を設けた基板が設けられ、C発電領域側に金属
電極(7)が設けられて形成されている。透明性基板(
2)および透明電極(6)を透過した光(ソ)の一部は
a発電領域に吸収され起電力を発生するOa発電領域で
吸収されなかった光の一部はb発電領域で吸収され、b
発電領域においても起電力が発生する。同様にC発電領
域においても起電力が発生する。a発電領域で生成した
電子は、内部電界によってSエヘドリフトし、bi[領
域で生成した正孔は内部電界によってSエヘドリアトす
る。そしてSよにおいてドリフトしてきた電子と正孔が
再結合することにより、この部分で直列接続が行なわれ
たことになる。同様にしてS2においても直列接続が行
なわれる。
第2図に示す太陽電池のかわりに、第3図に示すように
、n型アモルファス半導体(M)、i型アモルファス半
導体(5d)およびp型アモルファス半導体(3d)か
らなる発電領域(以下、d発電領域という)がn型アモ
ルファス半導体(4θ)、1型アモルファス半導体(5
e)およびp型アモルファス半導体(3e)からなる発
電領域(以下、e発電領域という)と接合部(S3)に
て接合しており、該発電領域がさらにn型アモルファス
半導体(4f)、1型アモルファス半導体(5f)、p
型アモルファス半導体(3f)からなる発電領域(以下
、f発電領域という)と接合部(S4)にて接合した発
電領域のd発電領域側に透明電極(6)が設けられ、f
発電領域側に金属板または金風箔(8)が設てを微結晶
半導体装置き換えてもよい。
前記接合部の数は導入ガス種の切換え回数、作製のため
の反応器の区分は数または長さ、さらには変換効率、必
要電圧などの点から1〜6が好ましく、2〜4にすると
製膜上の複雑さも少なく、反応器の容量も小さくて済む
。また、変換効率もこの接合数のときに最大となるほか
、時計を駆動するのに必要な1.5ボルト程度の電圧も
充分えられることなどからさらに好ましい。
前記p型アモルファス半導体としては、たとえばa−5
iO:HSa−8:LN:H、a−8iGN’:Hla
−8i:Hなどまた、p麺機結晶半導体としては、たと
えばpa−8i:H、/7cm5iO:Hナトテ膜jl
カ6o 〜6ooX程度、好ましくは50〜200X程
度のものが使用されうる。こわらのうちではa −Si
O: Hsμa−sl:H2PO−SiO:Hなどが、
光学ギャップ、光学吸収、導電性および価電子制御性な
どの点から好ましい。
前記1型アモルファス牛導体としては、たとえばa−8
iN:Hla−8i:HSa−8iGθ: H,a−8
iGe : F(:H)、a−13iN:’IF(:H
)、a−8iSn:Hなどが使用されうる。これらのう
ちではa−8iN : H、a−8i : H。
a−8iGe:Hなどが、膜質、製膜性、コストなどの
点から好ましい。また、これらの1型アモルファス半導
体は微結晶半導体がその中に混在するか、対応する微結
晶半導体ですべてが置き換えられてもよい。
前記nMアモルファス牛牛体体しては、たとえばa−8
i:H、a−5iO:HSa−8iN:HSa−3iO
N:Hなど、またn型微結晶半導体としては、たとえば
μc−8i:H,μc−8iO:、Hなどで膜厚が30
〜300X程度、好ましくは50〜200A程度のもの
が使用されうる。
これらのうちではa−8i:H,μc −S’i : 
Hなどが光学吸収、導電性などの点から好ましい。
前記透明性基板としては、たとえば厚さが0.4〜1.
1mm程度のガラスなpが使用されうる。
前記透明電極としては、たとえば工’m/SnO2、工
To N 5rxO2のような厚さ600〜8000A
程度のものが、また金属電極としては、たとえばA/、
Or。
Cu、Ni、PtSlIIgSTiのような厚さ0.1
〜2μm程度のものが使用されうる。
第2図または第6図に示されるような本発明の太陽電池
は、通常真空蒸着法、スパッタリング法、プラズマOV
D法などの方法を用いて製造される。
たとえば第2図に示す太陽電池は、スプレー法またはス
パッタリング法などによりガラスの片側全面に透明電極
を作製し、これを基板として透明電極側にプラズマcv
D法を用いてアモルファスシリコン層を形成する。アモ
ルファスシリコン層は順次p型、i型、n型の順番で形
成され、最後に真空蒸着法、スパッタリング法などによ
り金属電極を形成する。金属電極のパターン化はマスク
またはエツチング法を用いて実施する。
本発明の第2図に相当する太陽電池の具体例としては、
ガラス基板/透明電極/ p −SiC: H/i −
SiN ; H/n −Si : H(μC)/p−8
iO: H/’1−8i : H/n−8i :H(μ
c)/p−8iC: H/1−8iGe : H/n−
8i : H(μC)/金属電極などがあげられる。該
21L型アモルファス半導体はn型微結晶半導体(μC
と表示した)が好ましいが、とくにこれらに限定される
ものではない。
kfllに)Jl−tktElldyy a−cass
−u a Qa+ty J c+as−、rqのバンド
ギャップの大きさにより、1型アモルファス半導体層の
最適膜厚は変化するが、通常1−8iGeCH層は約5
000A程度である。しかし、そ度にすると螢光打丁で
の使用が多いばあいでも、時計用として充分な電圧かえ
られる。なお前記具体例中の透明電極としては工TO/
5n02複合電極が好ましく、ガラス側に工Toを配し
、複合電極膜厚を600〜8000A程度にすることが
好ましい0前記具体例中のpおよびn型アモルファス半
導体の厚さは、それぞれ30〜300A程度、好ましく
は50〜2QQX程度がよい。なお金属電極は通常使用
されるものであればとくに限定されるものではない。
前記のごとき構成の本発明の太@電池は、ガラス側から
みると黒青色の色調となり、腕時計の文字盤としてとく
に好ましい色調である。このような本発明の太陽電池を
アナ四グ時計に用いるばあいを第4図およびその@)−
(−A’)断面を第5図に示す。
第4図および第5図に示すように、透光性基板(2)に
設けられた透FIAWL極(6)上に発電領域(アモル
ファス牛導体)(9)ついで金ji!電極(γ)が設け
られた太陽電池がアナジグ時計の文字盤状に形成されて
いる。に)はアナログ時計の針穴である。
このような形状に太陽電池を形成すると、文字盤に相当
する太陽電池がいくつかの領域に区分けされていないた
め、デザイン上の制限が少なく、直列接続する必要もな
い。
#f4、第5図に示すように、通常中央部に貫通孔が必
要であるが、この際に電極部の孔の直り製造時または使
用時に起りゃすい導電性物質による導通を防止できる。
本発明の第6図に示されるような太陽電池は、たとえば
表面研磨を施したステンレスなどの金属板上にプラズマ
cvD法を用いてアモルファスシリコン層を順次p型、
i型、n型の順番に形成し、最後の層上に電子ビーム蒸
着法またはチング法を用いて実施する。
本発明の第6図に相当する太陽電池の具体例としては、
SU8基板/ p −Si : Vi 75iGe :
 H/n−8i :H(μc)/p−8iO: H/1
−8i : H/n−8i : H(μc )/p −
SiO: H/i −SiM: H/n −Si : 
H(μc)/工TOなどがあげられる。
該n型アモルファス半導体はn型微結晶半導体が好まし
いが、これらにとくに限定されるものではない。通常S
USのような導電性基板を用必るときは半導体層との間
に絶縁膜が必要であるが本発明では不要となるので、製
造コスト、厚さを小さくできる。
前記具体例中の1−8iGe :H,1−8i:H、1
−8in:Hのバンドギャップの大きさにより、1型ア
モルファス半導体層の最適膜厚は変化するが、第2図の
具体例のばあいと同様、通常1−8iGs:H層は約5
00OA 、 1−8i sH層は約400OA、 1
−BililsH層は約500A程度である。このばあ
いにも第2図の具体例のばあいと同様、それらの厚さを
それ下での使用が多いばあいでも充分な電圧がえられる
。製膜性、コストなどの点から時計用のばあいは、前記
具体例の1−8iGe : H、1−8i : H,1
−3iN : Hはすべてj−8i:Hでもよく、1−
Sl:Hの膜厚を変化させることにより充分な性能かえ
られる。
前記具体例に使用したSUS基板や工Toはこれらに限
定されるものではなく、通常使用される金属板(箔)や
透明電極であれば使用しうる。
また接合部両側のpおよび!1型アモルファス半導体の
厚さも第2図の具体例のばあいと同様、程度が好ましい
キシ樹脂などで封止してもよい。
前記のようにしてえられた第2図、第6図に示すような
本発明の太@寛池(1)は、第6図に云すように、充電
装置(ロ)、逆流防止装置(ロ)、過充電防止装置に)
を組込んだ回路に使用され、端子(ロ)から時計用動力
として送電され、第1図に示すような時計を駆動する。
つぎに実施例にもとづき本発明の太陽電池を説明する。
実施例 0.5mm厚さのガラスにスパッタリング法により工T
oを700A 1!3nO2を20OA形成した。これ
をプラズマCVD装置に設置して基板温度250°0に
てマスクを用いてアモルファスシリコン層および微結晶
シリコン層を順次作製し、ガラ入/工To/SnO2/
p −SiO: H/i −Si : H/n −Si
 : H/p −SiO: H/i −Si :H/n
 −Si : H/p −SiC: H/i −Si 
: H/n −Si : liの構造とした。ここでn
fiシリコン層はすべて微結晶シリコンであるが、その
他の層はアモルファスシIJ コン層であった。p型ア
モルファスシリコン層はシラン、メタン、ジボランおよ
び水素のグロー放電により形成し、膜厚はすべて100
Aに設定した。1型アモルファスシリコン層はシランの
グ四−放電により形成し、ガラス側のi型層から各々そ
ノ展厚を40OA、 1000A、 5000Aに設定
した。n型微結晶層はシランとホスフィンおよび水素の
グロー放電により形成し、膜厚はすべて100Aに設定
した。このばあい水素をシランの30倍導入し、rfパ
ワーを通常の12倍にして微結晶化させた。最後のn層
上に真空蒸着法によりA!を蒸着し、エツチングにより
)lをパターン化した。
このようにしてえられた太陽電池の性能は、Voo=2
.1VS:fsa=4.1m)y/am S’PF=0
.58(AM−1,100mW/am )であった。
なおこの太陽電池の受光部の173をマスクでおおって
性能を測定してみると、短絡電流値が273になるだけ
で他の性能は上記と同じであった0
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の太@電池を腕時計の文字盤として設置
した一実tIIXs8Aを示す説明図、第2図および第
3図はそれぞれ本発明の太陽電池の構成の実施態様を示
す概略説明図、第4図は第2図に示すタイプの太@vi
池をアナ田グ時計に用いるばあいの説明図、第5図は第
4図の(A)−(A’)断面図、第6図は本発明の太@
電池の使用において、充電装置を組込んで使用するばあ
いの一実施態様の回路図である。 (図面の主要符号) (1):太陽電池 (3a)、(3b)、(3c)、 (3d)、(3θ)、(3f) u P型アモルファス
牛導体(4a)、(4b)、(4C)、 (4d)、(4e)、(af): n型アモルファス半
導体(5a)、(51))、(5Q)、 (5d)、(5e)、(5f) : i型アモルファス
半導体(S工)、(82)、(B3)、 (84) :接合部 第1に

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 文字盤の一部またはすべてに配置される時計用太陽
    電池において、、該太陽電池の構造が電位障壁を有する
    接合部を内在させた多層構造であり、該接合部に到達し
    た正孔と電子の大部分を再結合させることを特徴とする
    時計用太陽電池。 2 前記接合部の数が1〜6である特許請求の範囲第1
    項記載の太陽電池。 6 前記接合部の数が2〜4である特許請求の範囲第1
    項記載の太@電池。 4 前記多層構造が、それぞれp型、i型、n型アモル
    ファス半導体または微結晶半導体を含むpin構造を構
    成単位とし、該pin構造が繰返される特許請求の範囲
    第1項記載の太陽電池。
JP58206231A 1983-11-01 1983-11-01 時計用太陽電池 Pending JPS6097679A (ja)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS623092U (ja) * 1985-06-24 1987-01-09
US6634725B2 (en) 2000-12-22 2003-10-21 Hitachi Construction Machinery Co., Ltd. Crawler

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS55125680A (en) * 1979-03-20 1980-09-27 Yoshihiro Hamakawa Photovoltaic element
JPS5661173A (en) * 1979-10-24 1981-05-26 Fuji Electric Co Ltd Amorphous semiconductor photovoltaic cell
JPS5713185A (en) * 1980-06-26 1982-01-23 Asahi Chem Ind Co Ltd Photoelectrolysis device

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS55125680A (en) * 1979-03-20 1980-09-27 Yoshihiro Hamakawa Photovoltaic element
JPS5661173A (en) * 1979-10-24 1981-05-26 Fuji Electric Co Ltd Amorphous semiconductor photovoltaic cell
JPS5713185A (en) * 1980-06-26 1982-01-23 Asahi Chem Ind Co Ltd Photoelectrolysis device

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS623092U (ja) * 1985-06-24 1987-01-09
US6634725B2 (en) 2000-12-22 2003-10-21 Hitachi Construction Machinery Co., Ltd. Crawler

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