JPS6097258A - 超音波顕微鏡 - Google Patents
超音波顕微鏡Info
- Publication number
- JPS6097258A JPS6097258A JP58204716A JP20471683A JPS6097258A JP S6097258 A JPS6097258 A JP S6097258A JP 58204716 A JP58204716 A JP 58204716A JP 20471683 A JP20471683 A JP 20471683A JP S6097258 A JPS6097258 A JP S6097258A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- fixing member
- ultrasonic head
- support rod
- ultrasonic
- sample
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N29/00—Investigating or analysing materials by the use of ultrasonic, sonic or infrasonic waves; Visualisation of the interior of objects by transmitting ultrasonic or sonic waves through the object
- G01N29/04—Analysing solids
- G01N29/06—Visualisation of the interior, e.g. acoustic microscopy
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
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- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（技術分野）
本発明は超音波顕微鏡に関するものである。
（従来技術〕
超音波顕微鏡においては、通常、圧電トランスジューサ
を有する超音波ヘッドと、試料を載置した試料台との距
離を近づけながら、その出力により自動的に、あるいは
手動的に焦点合わせを行なうようにしている。しかし、
このようにして焦点合わせを行なうにあたって、従来、
超音波ヘッドと試料とが当接したのを検知する特別な手
段がなかったために、これらが当接しているにも拘らず
更に両者を押し付けてしまって試料や超音波ヘッドある
いはその支持機構等を損傷することがしばしばあった。
を有する超音波ヘッドと、試料を載置した試料台との距
離を近づけながら、その出力により自動的に、あるいは
手動的に焦点合わせを行なうようにしている。しかし、
このようにして焦点合わせを行なうにあたって、従来、
超音波ヘッドと試料とが当接したのを検知する特別な手
段がなかったために、これらが当接しているにも拘らず
更に両者を押し付けてしまって試料や超音波ヘッドある
いはその支持機構等を損傷することがしばしばあった。
また、試料の走査中に、試料面の凹凸によって超音波ヘ
ッドと試料とが当接して同様に試料や超音波ヘッド等が
損傷することがあった。
ッドと試料とが当接して同様に試料や超音波ヘッド等が
損傷することがあった。
（発明の目的）
本発明の目的は、上述した点に鑑み、超音波ヘッドと試
料との当接による試料、超音波ヘッド等の損傷を有効に
防止し得るよう適切に構成した超音波顕微鏡を提供しよ
うとするものである。
料との当接による試料、超音波ヘッド等の損傷を有効に
防止し得るよう適切に構成した超音波顕微鏡を提供しよ
うとするものである。
（発明の概要）
本発明の超音波顕微鏡は、圧電トランスジューサを有゛
する超音波ヘッドを保持し、超音波の投射方向と直交す
る方向に延在する支持棒と、この支持棒をエアベアリン
グを介して長手方向に変位可能に保持する固定部材と、
前記支持棒と固定部材との間に直列に接続した電源およ
び通電検知回路を有し、前記超音波ヘッドの試料への当
接による前記支持棒と固定部材との接触を検知する保護
装置とを具えることを特徴とするものである。
する超音波ヘッドを保持し、超音波の投射方向と直交す
る方向に延在する支持棒と、この支持棒をエアベアリン
グを介して長手方向に変位可能に保持する固定部材と、
前記支持棒と固定部材との間に直列に接続した電源およ
び通電検知回路を有し、前記超音波ヘッドの試料への当
接による前記支持棒と固定部材との接触を検知する保護
装置とを具えることを特徴とするものである。
（実 施 例）
第１図、第２図および第８図は本発明の超音波顕微鏡の
要部の一例の構成を示す断面図、部分平面図および側面
図である。圧電トランスジューサを有する超音波ヘッド
１１は、超音波の投射方向と直交する方向に延在する導
電性の支持棒１２のほぼ中央に着脱自在に取付け、この
支持棒１２″ｆ：超音波ヘッド１１の両側においてエア
ベアリング１８．１４ｉ介して導電性の固定部材１５に
保持すると共に、その両端部を固定部材１５に絶縁部材
１６．１７を介して取付けた鈑ばね１８．１９に支持し
て、固定部材】５と電気的に絶縁した状態で長手方向に
変位可能に構成する。この支持棒１２の一端には、ボイ
スコイル２０ｉ、その中心軸が支持棒１２の長手方向で
、かつ磁気回路を構成するポールピース２１の外周に位
置するように取付ける。磁気回路は、ポールピース２１
と、このポールピース２１の一端に設けた磁石２２と、
この磁石２２から発生する磁束がボイスコイル２０を横
切るように、ボイスコイル２０を介シテボールビース２
１と対向して配置したリング状のヨーク２８と、このヨ
ーク２８と磁石２２とを連結するヨーク２４とをもって
構成し、超音波ヘッド１１の先端がヨーク２・・８，２
４がら突出するように・非磁性スリーブ２５を介して非
磁性のねじ２６により固定部材１５に取付ける。
要部の一例の構成を示す断面図、部分平面図および側面
図である。圧電トランスジューサを有する超音波ヘッド
１１は、超音波の投射方向と直交する方向に延在する導
電性の支持棒１２のほぼ中央に着脱自在に取付け、この
支持棒１２″ｆ：超音波ヘッド１１の両側においてエア
ベアリング１８．１４ｉ介して導電性の固定部材１５に
保持すると共に、その両端部を固定部材１５に絶縁部材
１６．１７を介して取付けた鈑ばね１８．１９に支持し
て、固定部材】５と電気的に絶縁した状態で長手方向に
変位可能に構成する。この支持棒１２の一端には、ボイ
スコイル２０ｉ、その中心軸が支持棒１２の長手方向で
、かつ磁気回路を構成するポールピース２１の外周に位
置するように取付ける。磁気回路は、ポールピース２１
と、このポールピース２１の一端に設けた磁石２２と、
この磁石２２から発生する磁束がボイスコイル２０を横
切るように、ボイスコイル２０を介シテボールビース２
１と対向して配置したリング状のヨーク２８と、このヨ
ーク２８と磁石２２とを連結するヨーク２４とをもって
構成し、超音波ヘッド１１の先端がヨーク２・・８，２
４がら突出するように・非磁性スリーブ２５を介して非
磁性のねじ２６により固定部材１５に取付ける。
このようにして、ボイスコイル２ｏに所要の交番電流を
供給することにより、ボイスコイル２゜および支持棒１
２を介して超音波へラド１１を超音波の投射方向と直交
する方向に振動させて、超音波ヘッド１１の下方に配置
される試料を走査する。
供給することにより、ボイスコイル２゜および支持棒１
２を介して超音波へラド１１を超音波の投射方向と直交
する方向に振動させて、超音波ヘッド１１の下方に配置
される試料を走査する。
本例では、第２図に示すように、固定部材１５および絶
縁部材１６に保持される一方の板ばね１８の一端部にそ
れぞれ接続して給電端子２７゜２８を設け、これら給電
端子２７．２８間に保護装置２９を設ける。本例ではこ
の保護装置２９を、給電端子２７．２８間に直列に接続
した電源８０および通電検知回路８１と、この通電検知
回路８１の出力によって制御されるランプやブザーを有
する警報回路８２とをもって構成し、超音波へラド１１
と試料とが当接して、エアベアリング１８．１４の部分
において支持棒１２が固定部材１５に接触したときの通
電検知回路８０の出力によ＃）警報回路８２を作動させ
る。
縁部材１６に保持される一方の板ばね１８の一端部にそ
れぞれ接続して給電端子２７゜２８を設け、これら給電
端子２７．２８間に保護装置２９を設ける。本例ではこ
の保護装置２９を、給電端子２７．２８間に直列に接続
した電源８０および通電検知回路８１と、この通電検知
回路８１の出力によって制御されるランプやブザーを有
する警報回路８２とをもって構成し、超音波へラド１１
と試料とが当接して、エアベアリング１８．１４の部分
において支持棒１２が固定部材１５に接触したときの通
電検知回路８０の出力によ＃）警報回路８２を作動させ
る。
このようにすれば、警報回路８２の作動により゛、超音
波ヘッド１１と試料との接触を検知することができるか
ら、これにより例えば試料台の超音波ヘッド１１の方向
への移動を停止させることによって、試料や超音波ヘッ
ド１１等の損傷を有効に防止することができる。
波ヘッド１１と試料との接触を検知することができるか
ら、これにより例えば試料台の超音波ヘッド１１の方向
への移動を停止させることによって、試料や超音波ヘッ
ド１１等の損傷を有効に防止することができる。
なお、本発明は上述した例にのみ限定されるものではな
く、幾多の変形または変更が可能である。
く、幾多の変形または変更が可能である。
例えば、上述した例では通電検知回路８１の出力によっ
て警報回路８２を駆動させるようにしたが、その出力に
よってボイスコイル２０への通電を遮断したり、試料台
を超音波へラド１１から離間する方向に自動的に移動さ
せることもできる。また上述した例は、試料台を超音波
ヘッド１１に対して接近および離間する方向に移動させ
る場合について説明したが、これは超音波ヘッド１１．
その支持および駆動機構を含む第１図に示す構成部分全
体を試料台に対して接近および離間する方向に移動させ
る場合でも同様である、更に、超音波ヘッド１１を振動
させる手段は上述したボイスコイルを用いる以外に、圧
電バイモルフ板、偏心カム電磁石等を用いて構成するこ
ともできる。
て警報回路８２を駆動させるようにしたが、その出力に
よってボイスコイル２０への通電を遮断したり、試料台
を超音波へラド１１から離間する方向に自動的に移動さ
せることもできる。また上述した例は、試料台を超音波
ヘッド１１に対して接近および離間する方向に移動させ
る場合について説明したが、これは超音波ヘッド１１．
その支持および駆動機構を含む第１図に示す構成部分全
体を試料台に対して接近および離間する方向に移動させ
る場合でも同様である、更に、超音波ヘッド１１を振動
させる手段は上述したボイスコイルを用いる以外に、圧
電バイモルフ板、偏心カム電磁石等を用いて構成するこ
ともできる。
（発明の効果）
以上述べたように、本発明においては、試料と超音波ヘ
ッドとの当接を検知するようにしたから、これにより試
料と超音波ヘッドとの必要以上の当接を有効に防止でき
る。したがって、これら試料や超音波ヘッド等の損傷を
有効に防止することができる。
ッドとの当接を検知するようにしたから、これにより試
料と超音波ヘッドとの必要以上の当接を有効に防止でき
る。したがって、これら試料や超音波ヘッド等の損傷を
有効に防止することができる。
第１図は本発明の超音波顕微鏡の要部、の−例の構成を
示す断面図、 第２図は第１図の部分平面図、 第８図は同じく側面図である。
示す断面図、 第２図は第１図の部分平面図、 第８図は同じく側面図である。
Claims (1)
- １ 圧電トランスジューサを有する超音波ヘッドを保持
し、超音波の投射方向と直交する方向に延在する支持棒
と、この支持棒をエアベアリングを介して長手方向に変
位可能に保持する固定部材と、前記支持棒と固定部材と
の間に直列に接続した電源および通電検知回路を有し、
前記超音波ヘッドの試料への当接による前記支持棒と固
定部材との接触を検知する保護装置とを具えることを特
徴とする超音波顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58204716A JPS6097258A (ja) | 1983-11-02 | 1983-11-02 | 超音波顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58204716A JPS6097258A (ja) | 1983-11-02 | 1983-11-02 | 超音波顕微鏡 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6097258A true JPS6097258A (ja) | 1985-05-31 |
| JPH0427503B2 JPH0427503B2 (ja) | 1992-05-12 |
Family
ID=16495120
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58204716A Granted JPS6097258A (ja) | 1983-11-02 | 1983-11-02 | 超音波顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6097258A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102788847A (zh) * | 2012-07-20 | 2012-11-21 | 广西大学 | 声发射检测中连接传感器的谐振传导杆 |
-
1983
- 1983-11-02 JP JP58204716A patent/JPS6097258A/ja active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102788847A (zh) * | 2012-07-20 | 2012-11-21 | 广西大学 | 声发射检测中连接传感器的谐振传导杆 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0427503B2 (ja) | 1992-05-12 |
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