JPS6097254A - 超音波顕微鏡の超音波ヘツド装着機構 - Google Patents
超音波顕微鏡の超音波ヘツド装着機構Info
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- JPS6097254A JPS6097254A JP58204712A JP20471283A JPS6097254A JP S6097254 A JPS6097254 A JP S6097254A JP 58204712 A JP58204712 A JP 58204712A JP 20471283 A JP20471283 A JP 20471283A JP S6097254 A JPS6097254 A JP S6097254A
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- Japan
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- connector
- high frequency
- ultrasonic
- half part
- ultrasonic wave
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- G—PHYSICS
- G10—MUSICAL INSTRUMENTS; ACOUSTICS
- G10K—SOUND-PRODUCING DEVICES; METHODS OR DEVICES FOR PROTECTING AGAINST, OR FOR DAMPING, NOISE OR OTHER ACOUSTIC WAVES IN GENERAL; ACOUSTICS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G10K11/00—Methods or devices for transmitting, conducting or directing sound in general; Methods or devices for protecting against, or for damping, noise or other acoustic waves in general
- G10K11/18—Methods or devices for transmitting, conducting or directing sound
- G10K11/26—Sound-focusing or directing, e.g. scanning
- G10K11/35—Sound-focusing or directing, e.g. scanning using mechanical steering of transducers or their beams
- G10K11/352—Sound-focusing or directing, e.g. scanning using mechanical steering of transducers or their beams by moving the transducer
-
- G—PHYSICS
- G10—MUSICAL INSTRUMENTS; ACOUSTICS
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- G10K11/26—Sound-focusing or directing, e.g. scanning
- G10K11/30—Sound-focusing or directing, e.g. scanning using refraction, e.g. acoustic lenses
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- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Multimedia (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
技 術 分 野
本発明は超音波顕微鏡、特に超音波ヘッドを加振装置の
加振軸に交換自在に装着する超音波ヘッドの装着機構に
関するものである。
加振軸に交換自在に装着する超音波ヘッドの装着機構に
関するものである。
従 来 技 術
従来、超音波顕微鏡によって試料の超音波像を表示する
場合には、圧電トランスジューサを有する超音波ヘッド
を加振装置の〃０振軸に取付けてこれをＸ方向に高速で
振動させると共に試料を載置した試料台をＹ方向に低速
で移動させて二次元走査を行なっている。従来の加振装
置においては、例えば第１図に示すように音響レンズお
よび圧電トランスジューサを有する超音波ヘッドｌをア
ーム２に固着し、このアームを加振装置の加振軸８の一
端に連結し、この加振軸の他端を、磁石４、ヨーク５お
よびポールピース６を有する磁気回路の磁束を横切るよ
うにヨーク５とポールピース６との間に巻装したボイス
コイル７のボビンに連Ｍすると共に、板はね８により般
イスコイル７の軸方向で、超音波ヘッド１からの超音波
の投射方向と直交する方向に変位可能に支持して、ボイ
スコイル７に所要の交番電流を供給することにより超音
波ヘッド１をＸ方向に振動させるようにしたものがある
。
場合には、圧電トランスジューサを有する超音波ヘッド
を加振装置の〃０振軸に取付けてこれをＸ方向に高速で
振動させると共に試料を載置した試料台をＹ方向に低速
で移動させて二次元走査を行なっている。従来の加振装
置においては、例えば第１図に示すように音響レンズお
よび圧電トランスジューサを有する超音波ヘッドｌをア
ーム２に固着し、このアームを加振装置の加振軸８の一
端に連結し、この加振軸の他端を、磁石４、ヨーク５お
よびポールピース６を有する磁気回路の磁束を横切るよ
うにヨーク５とポールピース６との間に巻装したボイス
コイル７のボビンに連Ｍすると共に、板はね８により般
イスコイル７の軸方向で、超音波ヘッド１からの超音波
の投射方向と直交する方向に変位可能に支持して、ボイ
スコイル７に所要の交番電流を供給することにより超音
波ヘッド１をＸ方向に振動させるようにしたものがある
。
上述した従来の超音波顕微鏡においては母音波の周波数
、シたがって分解能を変えるためには、その都度超音波
ヘッド１を交換するようにしている。このため超音波ヘ
ッド１はアーム２に固着し、このアームを加振軸３にね
じ９により着脱自在に固着するようにしている。したが
って超音波ヘッドｌを交換するたびに面倒な作業が要求
される欠点がある。また、超音波ヘッド１の圧電トラン
スジューサには高周波ケーブル１０が接続されており、
このケーブルの位置および特性によっても加振装置に与
える影響は変動し、超音波ヘッド１がその振動範囲内に
おいて一定の速度で移動せず、このため解像度の高い超
音波像が得られない不具合がある。このような不具合は
、特に振動範囲を大きくして走査領域を大きくする場合
に著しくなる。
、シたがって分解能を変えるためには、その都度超音波
ヘッド１を交換するようにしている。このため超音波ヘ
ッド１はアーム２に固着し、このアームを加振軸３にね
じ９により着脱自在に固着するようにしている。したが
って超音波ヘッドｌを交換するたびに面倒な作業が要求
される欠点がある。また、超音波ヘッド１の圧電トラン
スジューサには高周波ケーブル１０が接続されており、
このケーブルの位置および特性によっても加振装置に与
える影響は変動し、超音波ヘッド１がその振動範囲内に
おいて一定の速度で移動せず、このため解像度の高い超
音波像が得られない不具合がある。このような不具合は
、特に振動範囲を大きくして走査領域を大きくする場合
に著しくなる。
発 明 の 目 的
本発明の目的は、上述した不具合を解決し、加振装置に
対して超音波ヘッドをきわめて簡単に交、換することが
でき、超音波ヘッドを交換した場合でも常に所望の振動
範囲内で一定速度で正確に振動し得るよう適切に構成し
た超音波顕微鏡を提供しようとするものである。
対して超音波ヘッドをきわめて簡単に交、換することが
でき、超音波ヘッドを交換した場合でも常に所望の振動
範囲内で一定速度で正確に振動し得るよう適切に構成し
た超音波顕微鏡を提供しようとするものである。
発 明 の 概 要
本発明は、圧電トランスジューサを有する超音波ヘッド
を加振装置の加振軸に交換可能に装着する機構において
、前記加振軸に固定した一方の高周波コネクタ半部に高
周波ケーブルを連結し、超音波ヘッドを内蔵した他方の
高周波コネクタ半部を前記一方の高周波コネクタ半部に
分離可能に連結し得るよう構成したことを特徴とするも
のである０ 実 飾 例 第２図は本発明による加振装置への超音波ヘッド装着機
構の一例の構成を示す断面図である。本例では加振装置
の加振軸２１にねじ孔２１ａを形成し、ここにオスコネ
クタ部属２２を螺合する。
を加振装置の加振軸に交換可能に装着する機構において
、前記加振軸に固定した一方の高周波コネクタ半部に高
周波ケーブルを連結し、超音波ヘッドを内蔵した他方の
高周波コネクタ半部を前記一方の高周波コネクタ半部に
分離可能に連結し得るよう構成したことを特徴とするも
のである０ 実 飾 例 第２図は本発明による加振装置への超音波ヘッド装着機
構の一例の構成を示す断面図である。本例では加振装置
の加振軸２１にねじ孔２１ａを形成し、ここにオスコネ
クタ部属２２を螺合する。
、このオスコネクタ部属２２にはさらにオス高周波コネ
クタ受け２３を螺着し、このオス高周波コネクタ受け２
３の内部にはオス高周波コネクタ２４を配置する。一方
、音鞠レンズ２５および圧電トランスジューサ２６を有
する超音波ヘッド２７をレンズホルダ２８により保持し
、このレンズホルダの上部をメス高周波コネクタ受け２
９に螺着する。レンズホルダ２８には窓２８ａを形成し
、この窓を介して圧電トランスジューサ２６の下部電極
をリード線８ｏを経てレンズホルダ２８に接続し、上部
電極を％ ＩＪ−ド線８１を介してメス高周波コネクタ
８２に接続した導電ビン８８に接続する。このようにし
た圧電トランスジューサ２６の電極をレンズホルダ２８
およびメス高周波コネクタ８２に接続した後、レンズホ
ルダ２８の外周にカバー３４を覆す、窓２８ａｔ−塞ぐ
。このように超音波ヘッド２６に接続したメス高周波コ
ネクタ３２をオス高周波コネクタ２４と連結した後、止
めリング８５を回わしてこれらコネクタ２４および８２
を強固に連結することができる。この場合、ＥＥ Ｎ
） ５ ンスジューサ２６の下部電極はアース電極とし
て作用し、リードｉ８ｏ、金属製のレンズホルダ２８、
メス高周波コネクタ受け２９、止めリング８５およびオ
ス高周波コネクタ受け２８を介して高周波ケーブル３６
の外側シールド導体に接続されることになり、上部電極
はリード線８１、導体ビン３３、メス高周波コネクタ３
２およびオス高周波コネクタ２４を介して高周波ケーブ
ル８６の内部導体に接続されるようになる。
クタ受け２３を螺着し、このオス高周波コネクタ受け２
３の内部にはオス高周波コネクタ２４を配置する。一方
、音鞠レンズ２５および圧電トランスジューサ２６を有
する超音波ヘッド２７をレンズホルダ２８により保持し
、このレンズホルダの上部をメス高周波コネクタ受け２
９に螺着する。レンズホルダ２８には窓２８ａを形成し
、この窓を介して圧電トランスジューサ２６の下部電極
をリード線８ｏを経てレンズホルダ２８に接続し、上部
電極を％ ＩＪ−ド線８１を介してメス高周波コネクタ
８２に接続した導電ビン８８に接続する。このようにし
た圧電トランスジューサ２６の電極をレンズホルダ２８
およびメス高周波コネクタ８２に接続した後、レンズホ
ルダ２８の外周にカバー３４を覆す、窓２８ａｔ−塞ぐ
。このように超音波ヘッド２６に接続したメス高周波コ
ネクタ３２をオス高周波コネクタ２４と連結した後、止
めリング８５を回わしてこれらコネクタ２４および８２
を強固に連結することができる。この場合、ＥＥ Ｎ
） ５ ンスジューサ２６の下部電極はアース電極とし
て作用し、リードｉ８ｏ、金属製のレンズホルダ２８、
メス高周波コネクタ受け２９、止めリング８５およびオ
ス高周波コネクタ受け２８を介して高周波ケーブル３６
の外側シールド導体に接続されることになり、上部電極
はリード線８１、導体ビン３３、メス高周波コネクタ３
２およびオス高周波コネクタ２４を介して高周波ケーブ
ル８６の内部導体に接続されるようになる。
本発明の超音波顕微鏡においては、加振装置の加振軸２
１には一方のコネクタ半部のオス高周波コネクタ２４お
よび高周波ケーブル３６を固定的に取付け、他方のコネ
クタ半部にはオス高周波コネクタ２４と分離可能に連結
されるメス高周波コネクタ３２と超音波ヘッド２６とを
設け、この他方のコネクタ半部を各超音波ヘッド毎に準
備しておき、これらの内の所望の一つを一方のコネクタ
半部に選択的に連結することにより超音波ヘッドの交換
を簡単かつ迅速に行なうことができる。高周波ケーブル
８６は一方のコネクタ半部に固定的に連結されており、
すべての他方のコネクタ半部に対して共通に用いられる
ので高周波ケーブル３６が加振装置に及ぼす影響は超音
波ヘッドを交換しても何んら変動することはなく、正確
な加振が行なわれることになる。この場合、他方のコネ
クタ半部の重りはすべて等しくなるように適当なバラン
スウェイトを他方のコネクタ半部に設けるのが好適であ
る。
１には一方のコネクタ半部のオス高周波コネクタ２４お
よび高周波ケーブル３６を固定的に取付け、他方のコネ
クタ半部にはオス高周波コネクタ２４と分離可能に連結
されるメス高周波コネクタ３２と超音波ヘッド２６とを
設け、この他方のコネクタ半部を各超音波ヘッド毎に準
備しておき、これらの内の所望の一つを一方のコネクタ
半部に選択的に連結することにより超音波ヘッドの交換
を簡単かつ迅速に行なうことができる。高周波ケーブル
８６は一方のコネクタ半部に固定的に連結されており、
すべての他方のコネクタ半部に対して共通に用いられる
ので高周波ケーブル３６が加振装置に及ぼす影響は超音
波ヘッドを交換しても何んら変動することはなく、正確
な加振が行なわれることになる。この場合、他方のコネ
クタ半部の重りはすべて等しくなるように適当なバラン
スウェイトを他方のコネクタ半部に設けるのが好適であ
る。
本発明は上述した実施例にのみ限定されるものではなく
、幾多の変形が可能である。例えば高周波フネクタとし
ては上述した構造のものだけに限定されるものではなく
、種々の形式のものを用いることができる。ただし、加
振装置により加振されたときに不所望な振動が生じたり
、連結がゆるんだりすることがないようなものを選んで
使用する必要がある。また、超音波ヘッドとしては、音
響レンズを持たず、圧電トランスジューサそのものを湾
曲させて超音波ビームを集束させるようにしたものを用
いることもできる。
、幾多の変形が可能である。例えば高周波フネクタとし
ては上述した構造のものだけに限定されるものではなく
、種々の形式のものを用いることができる。ただし、加
振装置により加振されたときに不所望な振動が生じたり
、連結がゆるんだりすることがないようなものを選んで
使用する必要がある。また、超音波ヘッドとしては、音
響レンズを持たず、圧電トランスジューサそのものを湾
曲させて超音波ビームを集束させるようにしたものを用
いることもできる。
発 明 の 効 果
本発明の超音波顕微鏡によれは、高周波コネクタの一方
の半部を加振装置の加振軸に固定すると共にこれに高周
波ケーブルを連結し、超音波ヘッドを内蔵した他方のコ
ネクタ半部を一方のコネクタ半部に分離可能に連結する
ようにしたから、超音波ヘッドの交換をきわめて容易に
行なうことができると共に超音波ヘッドを交換しても高
周波ケーブルは固定されたままであるから、加振装置に
及ぼす影響が変動せず、常に正確な走査を行なうことが
できる。
の半部を加振装置の加振軸に固定すると共にこれに高周
波ケーブルを連結し、超音波ヘッドを内蔵した他方のコ
ネクタ半部を一方のコネクタ半部に分離可能に連結する
ようにしたから、超音波ヘッドの交換をきわめて容易に
行なうことができると共に超音波ヘッドを交換しても高
周波ケーブルは固定されたままであるから、加振装置に
及ぼす影響が変動せず、常に正確な走査を行なうことが
できる。
第１図は従来の超音波顕微鏡において超音波ヘッドを装
着した加振装置を示す断面図、第２図は本発明による超
音波ヘッドの装着機構の一例の構成を示す断面図である
。 ２１・・・加振装置の加振軸 ２２・・・オスコネクタ部属 ２３・・・オスコネクタ受け 、２４・・・オスコネクタ ２７・・・超音波ヘッド２
８・・・レンズホルダ ２９・・・メスコネクタ受け３
０．８１・・・リード線 ８２・・・メスコネクタ８３
・・・導体ピン ８４・・・カバー３５・・・止めリン
グ ８６・・・高周波ケーブル。
着した加振装置を示す断面図、第２図は本発明による超
音波ヘッドの装着機構の一例の構成を示す断面図である
。 ２１・・・加振装置の加振軸 ２２・・・オスコネクタ部属 ２３・・・オスコネクタ受け 、２４・・・オスコネクタ ２７・・・超音波ヘッド２
８・・・レンズホルダ ２９・・・メスコネクタ受け３
０．８１・・・リード線 ８２・・・メスコネクタ８３
・・・導体ピン ８４・・・カバー３５・・・止めリン
グ ８６・・・高周波ケーブル。
Claims (1)
- Ｌ 圧電トランスジューサを有する超音波ヘッドを加振
装置の加振軸に交換可能に装着する機構において、前記
加振軸に固定した一方の高周波コネクタ半部に高周波ケ
ーブルを連結し、超音波ヘッドを内蔵した他方の高周波
コネクタ半部を前記一方の高周波コネクタ半部に分離可
能に連結し得るよう構成したことを特徴とする超音波顕
微鏡の超音波ヘッド装着機構。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58204712A JPS6097254A (ja) | 1983-11-02 | 1983-11-02 | 超音波顕微鏡の超音波ヘツド装着機構 |
| US06/664,429 US4587848A (en) | 1983-11-02 | 1984-10-24 | Mechanism for attaching ultrasonic head of ultrasonic microscope |
| GB08427665A GB2149111B (en) | 1983-11-02 | 1984-11-01 | Mechanism for attaching ultrasonic head of ultrasonic microscope |
| DE19843440153 DE3440153A1 (de) | 1983-11-02 | 1984-11-02 | Vorrichtung zum loesbaren befestigen eines schallkopfes eines ultraschall-mikroskops |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58204712A JPS6097254A (ja) | 1983-11-02 | 1983-11-02 | 超音波顕微鏡の超音波ヘツド装着機構 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6097254A true JPS6097254A (ja) | 1985-05-31 |
| JPH0465343B2 JPH0465343B2 (ja) | 1992-10-19 |
Family
ID=16495056
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58204712A Granted JPS6097254A (ja) | 1983-11-02 | 1983-11-02 | 超音波顕微鏡の超音波ヘツド装着機構 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4587848A (ja) |
| JP (1) | JPS6097254A (ja) |
| DE (1) | DE3440153A1 (ja) |
| GB (1) | GB2149111B (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH054010U (ja) * | 1991-07-05 | 1993-01-22 | 株式会社トキメツク | 超音波探触子 |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4701658A (en) * | 1985-03-11 | 1987-10-20 | United Technologies Corporation | Broadband acoustic point-contact transducer |
| DE3576752D1 (de) * | 1985-04-26 | 1990-04-26 | Ibm | Abtastendes ultraschallmikroskop. |
| DE3937465C1 (en) * | 1989-11-10 | 1990-11-22 | Deutsche Forschungsanstalt Fuer Luft- Und Raumfahrt Ev, 5300 Bonn, De | Test head holder for ultrasonic testing installation - has adjuster with spherical bearing in carrier and engaging conical shell under spring pressure |
| DE4119147A1 (de) * | 1991-06-11 | 1993-02-18 | Morgenstern Juergen | Nachweisgeraet fuer aktiv abstrahlende flaechen von ultraschall-schwingern |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59179372U (ja) * | 1983-05-18 | 1984-11-30 | オリンパス光学工業株式会社 | 超音波顕微鏡の音響レンズ交換ユニツト |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE7207762U (de) * | 1973-02-22 | Krautkraemer J Ges Fuer Elektrophysik | Vorrichtung zur Verbindung des Kabel endes eines Ultraschall Prüf oder meß gerates mit der Schwingereinheit eines auswechselbaren Prüf bzw Messkopfes | |
| US4014207A (en) * | 1970-08-07 | 1977-03-29 | Picker Electronics, Inc. | Sector scanning ultrasonic inspection apparatus |
| WO1980002595A1 (en) * | 1979-05-24 | 1980-11-27 | Nat Res Dev | Improved scanning acoustic microscope |
| US4505160A (en) * | 1983-02-07 | 1985-03-19 | Nusonics, Inc. | High-temperature transducer |
-
1983
- 1983-11-02 JP JP58204712A patent/JPS6097254A/ja active Granted
-
1984
- 1984-10-24 US US06/664,429 patent/US4587848A/en not_active Expired - Fee Related
- 1984-11-01 GB GB08427665A patent/GB2149111B/en not_active Expired
- 1984-11-02 DE DE19843440153 patent/DE3440153A1/de not_active Withdrawn
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59179372U (ja) * | 1983-05-18 | 1984-11-30 | オリンパス光学工業株式会社 | 超音波顕微鏡の音響レンズ交換ユニツト |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH054010U (ja) * | 1991-07-05 | 1993-01-22 | 株式会社トキメツク | 超音波探触子 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US4587848A (en) | 1986-05-13 |
| GB2149111B (en) | 1987-01-14 |
| DE3440153A1 (de) | 1985-05-30 |
| GB8427665D0 (en) | 1984-12-05 |
| GB2149111A (en) | 1985-06-05 |
| JPH0465343B2 (ja) | 1992-10-19 |
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