JPH0640872B2 - 位置センサ−を有する超音波変換器プロ−ブ駆動装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は超音波診断用画像形成に使用するための超音波
変換器プローブに関し、特にそのようなプローブに使用
するための変換器位置センサーを有する駆動装置に関す
る。

超音波画像形成用の変換器プローブは、患者の内部組織
構造の実時間画像を形成するためには、小さく、軽く、
かつ取扱いが容易であるように設計される。実時間画像
を形成するために、超音波エネルギーのビームが患者に
迅速に伝搬され、そして表示に適切な画像形成フォーマ
ットで迅速に処理するためにエコーがプローブによって
受信されねばならない。プローブは小さいことが一般に
望ましいが、また良好な解像力で、プローブアパーチャ
より広い視野にわたって画像形成できることが望まし
い。これらの矛盾する要求は、いわゆる扇形走査を生じ
るような、異なる方向に多数の超音波ビームを掃引又は
走査することによって解決できる。これを行なうには、
一般に二つの方法がある。その一つは、放射状の異なる
方向に向かう超音波エネルギーの「操向」ビームを同相
関係で励起することができる直線配列の素子を有する変
換器を使用することである。また、受信された信号が選
択された伝搬方向で可干渉性であるように、エコー情報
を受信する間も位相調整が必要である。しかしながら、
この電子的ビーム操向技術は、異なる方向にビームを誘
導するために、かつ受容された反射情報を処理するため
に非常に多くの複雑な電子装置を必要とする。第二の技
術は、多くの異なる放射方向で超音波エネルギーを伝搬
及び受信できるように、円弧に沿って変換器を機械的に
動かすことである。望ましいことに、変換器を動かすた
めに必要な機構並びにこれと結合される駆動及び制御用
電子装置は、同相配列式ビーム操向システム用の電子装
置よりかなり簡単であり、かつ経済的である。

本発明の原理に従えば、駆動機構は、与えられた移動の
円弧に沿って回動自在に取付けられた変換器を振動させ
るように設けられる。この機構はクランクシャフトに接
続されたリニアモータから成る。クランクシャフトの他
端は、変換器が回動する軸からオフセットされた個所で
変換器組立体に接続されている。リニアモータは往復運
動するようにクランクシャフトを動かし、これによって
クランクシャフトは変換器をそのピボット軸のまわりの
円弧に沿って振動させる。

このタイプのリニアモータは、二つの主要部分、すなわ
ち永久磁石部及び電磁石部から成る。電磁石部は変化す
る電磁界を発生する信号で駆動される。永久磁石部から
発する磁界は、変化する電磁界と相互に作用して、この
２つの部分間に相対運動を生じる。

超音波変換器プローブにおいて、移動モータ部は小さい
質量を有することが望ましい。小さい質量のモータ部を
移動させることがプローブに生じる振動特性を小さくす
ることになる。このことは、プローブが患者に取付けら
れ、移動されている間も、使用者が少しもプローブの振
動を感じないので、望ましいことである。理想的には、
プローブは少しの振動も発するべきではない。従って、
従来は、永久磁石が電磁石より一般に大きいので、永久
磁石を固定して、電磁石を移動部材にすべきであるとさ
れていた。このような原理は米国特許第4,421,118号に
開示された変換器プローブモータに例示されている。

しかしながら、従来の知識は、永久磁石が同重量の電磁
石コイルの磁束の１０倍に達する磁束を発するというこ
とを完全には考慮していない。粘性液体中で実用的な大
きさの変換器を振動させるために使用されるモータの設
計において、この関係の利点を完全に利用するために
は、電磁石コイルの巻数を増加する必要がある。さら
に、重量に比べてその比較的少ない磁束のために、電磁
石はむしろ大きくなり、モータの大きさを増大させ、故
に、プローブの寸法を増大させる。

本発明の別の態様に従えば、モータの永久磁石が変換器
を振動させるための駆動手段として使用される。モータ
によって分配される力は、設計時に電磁石コイルの巻数
を増加又は減少することによって選択され、これによっ
て永久磁石によって示される比較的大きい磁束の利点を
利用できる。巻数を増加すると、モータの直径が大きく
なり、これは一般に許容できることである一方、その長
さを増大せず、これは望ましい特性である。モータが比
較的短いということが、プローブを過度に長くする必要
なしに、変換器組立体、位置センサー及び電気的接続の
ための他の部品をプローブ中に設置するのを可能にす
る。さらに、永久磁石は一般に不変であるので、その移
動部の慣性特性を変えることなく、より大きい、もしく
はより小さい出力を有するようにモータを再設計するこ
とができる。なおさらに、電磁石が移動する場合、その
駆動用回路に接続するワイヤーはくり返し曲げられる。
曲げられるワイヤーは時間の経過で切断されるので、こ
のことが信頼性の問題を生じさせる。この電磁石移動モ
ータ固有の問題が本発明では避けられる。

振動式変換器プローブの無視できない特徴は、それが超
音波エネルギーを伝搬及び受信する度毎に、変換器の角
度的位置を知ることが必要であるということである。こ
の能力がないと、各位置でのエコー情報の協調が０なわ
れず、かつ位置的に正確な像が形成されない。本発明の
他の態様に従えば、プローブモータの移動永久磁石は、
変換器を振動させる時に、コイルを通る金属性ピンを移
動させる。コイルを通るピンの移動がコイルのインダク
タンスを変化させ、その変化は位置センサー回路によっ
て検知され、そして超音波画像を形成するのに使用され
る位置情報を引き出すために使用される。本発明の好ま
しい実施態様において、ピンは、コイルのインダクタン
スを増加させる金属から成る部材と、コイルのインダク
タンスを減少させる金属から成る第二の部材とのバイメ
タルである。これらの特性を有するピンを使用すること
により、単一の材料から成るピンを使用することによっ
て得られるインダクタンス変化より広範なインダクタン
ス化を生みだすことになる。

まず第１図を参照すると、この図には、本発明の原理に
従って構成された超音波変換器プローブが示されてい
る。プローブ要素は、アルミニウム、デルリン、ポリス
ルホン又は同様な材料で作ることができるケース１０内
に収められている。音透過性コーン即ちキャップ１２が
ケースの先に取付けられている。キャップ１２は、超音
波に対して高い透過性を有するポリエチレン又は他の材
料で作られる。使用時には、超音波エネルギーは、プロ
ーブ内の媒介液によって、超音波変換器３０に、そして
そこからキャップ１２を通過する。音波透過性キャップ
１２は、ケースの先端の外周開口のまわりの溝にかん合
され、圧縮バンド１６によってしっかり保持されてい
る。このシールがキャップ１２及びケース１０の間で圧
縮されたＯ−リングによって液密にされる。

変換器３０は変換器リング３２に着座されている。変換
器リング３２は変換器カップ３４内の所定の位置にスナ
ップばめしてある。これによって同一外側寸法の変換器
リングで種々の異なる特性の変換器を製造することが可
能になる。特定の変換器を有するプローブが註文された
場合、選択された変換器及びリングモジュールは、必要
な電気接続がなされて変換器カップにスナップばめする
ことができる。次いで、完成したプローブは検査され、
註文主に送ることができる。

変換器カップ３４は、両側にボールベアリング取付具を
有し、硬鋼製の軸ピン３６がそれを貫通している。ステ
ンレス鋼製のクランクピン３８が軸ピン３６に平行に変
換器カップにプレス固定されている。本発明の図示の実
施態様において、クランクピン３８は、0.090インチ
（約2.3mm）の距離で軸ピン３６から離間している。こ
の間隔が、変換器が振動する角度の決定因子の一つであ
る。図示の実施態様において、振動角度は９０度であっ
た。離間距離における千分の１インチの変化が振動角度
で約１度の変化に相当するということが判明した。

クランクシャフト４０の一方の端部がベアリング支持で
クランクピン３８に連結されている。クランクシャフト
４０の他方の端部もベアリング支持でモータの移動磁石
組立体６０に連結されている。変換器カップ３４から延
びている軸ピン３６の両端はジンバルカップ４２の基体
から延びているアーム４４の穴内に位置されている。軸
ピンはジンバルカップのアームに直交方向の止めねじに
よってジンバルカップアームの穴内で固着されている。
ジンバルカップは、その穴を貫通し、モータをゆるく囲
んでいる拡張式ブッシュ４８のねじ穴に至るねじ５０及
び５２によってプローブにしっかり保持されている。従
って、ジンバルカップの基体及びスプール形状の拡張ブ
ッシュは、ケース１０の内周面に沿って延びているスナ
ップリング４６を挟んでいる。この構造の技術は「超音
波変換器プローブ組立体（ULTRASONIC TRANSDUCER PROB
E ASSEMBLY）」と言う名称の特許願第691,319号にさら
に完全に記載されている。

モータの上部ベアリング６４はジンバルカップ４２の基
体中の溝内に一端で固定されている。下部ベアリング６
６は緩衝取付スプリング７４及び管７６によって所定の
位置に保持され、この管７６はガラス／金属シール１８
に接触している。シールの内部１８ａはガラスで作ら
れ、それを貫通する多数の電気接続ピン１９を有してい
る。変換器、モータ及び位置センサー（図示せず）から
の導線がこれらのピンに接続される。シールの外周面１
８ｂは金属で作られ、Ｏ−リング２０によって囲まれて
いる。このＯ−リング２０はプローブの背後部で液密シ
ールを形成し、モータ及び変換器組立体が配置されてい
る液室を区切っている。液室の外側の接続ピンと接続器
２２との間が接続されている。接続器２２はケーブルの
先の対応するプラグと合わされ、プローブに及びプロー
ブから必要な信号をもたらすことができる。

クランクシャフト４０はジンバルカップ４２及び上部ベ
アリング６４の中心の穴を通って、磁石組立体６０に接
続されている。磁石組立体６０は、デルリン製のベアリ
ング６４及び６６中で往復運動するようにスライドす
る。圧縮ばね７０及び７２が磁石組立体６０の両側に配
置され、モータが動作していないときにモータの中央位
置に磁石組立体６０を位置させる作用をする。この位置
で、変換器は図示するように前方にまっすぐ向かって置
かれている。圧縮ばね７０及び７２はまた、磁石組立体
６０がその移動方向を逆にしようとして方向転換する度
毎にモータの方向転換を補助する。円筒状の磁石組立体
６０は環状のコイル組立体６２で囲まれている。位置セ
ンサーピン８２は磁石組立体の下端部（右手）でねじ穴
にねじ込まれている。コイル組立体６２が励起される
と、磁石組立体６０は前後、即ち図で水平に移動する。
これによって、クランクシャフト４０が前後に往復運動
し、軸ピン３６のまわりに振動するように変換器カップ
及び変換器を動かす。同時に、磁石組立体は下部ベアリ
ング６６の一部として形成されている位置センサーのコ
イルフォーム８０を通して位置センサーピン８２を移動
する。コイルはコイルフォーム８０（第３図参照）のま
わりに巻かれ、コイルを通る位置センサーピン８２の移
動がピンの位置に関連してコイルのインダクタンス及び
それに対応して変換器の角度配向を変化させる。この変
化するインダクタンスが検知され、変換器のその時の位
置を確かめることに使用される。

第２図に、第１図のプローブの変換器駆動装置の主要素
の組立図が示されている。図の左側に変換器３０があ
る。変換器の背後に接続されたワイヤー３１がプローブ
液室の背後の接続ピン１９にプローブを通して導かれて
いる。ワイヤー３１は、変換器リング３２及び変換器カ
ップ３４を通ってジルバルカップ４２の内周にある切欠
き４３に至る。この切欠き４３は上部ベアリング６４の
溝９３、コイル組立体６２の溝６３及び下部ベアリング
６６の溝９５と一列に並んでいる。そこからワイヤーが
モータの下端部の空間を通って接続ピン１９に達してい
る。コイル組立体の溝６３及び下部ベアリングの溝９５
において、変換器からのワイヤー３１はコイル組立体６
２からのワイヤー１６２と一緒にされている。

変換器３０は変換器リング３２の環状溝内に固定されて
いる。この溝は弾性の軟質ゴム材のコーティングを有し
ている。軟質ゴムに変換器を着座させることによって、
変換器リングへの超音波の伝播が大幅に防げる。これは
プローブにおける反射の発生及びその画像のアーティフ
ァクトを最小限にする。

変換器リング３２は変換器カップ３４にスナップばめす
る。変換器カップの前面はスナップばめを可能にするた
めに、リングを取り囲むようにほぼ２０度毎に溝が切ら
れている。軸ピン３６は、変換器カップを貫通して示さ
れており、その一つが９０で示されている。ポールベア
リングを備えた取付具に着座されている。クランクピン
３８は変換器カップにしっかりプレスばめされている。

軸ピン３６の両端はジンバルカップ４２のアーム４４の
両側の穴に固定されている。アーム４４の先端に、軸ピ
ンを所定の位置に確実に保持するために使用される止め
ねじ用の穴が見られる。

上部ベアリング６４及び下部ベアリング６６は第２図に
も示されている。各ベアリングの大径部の外周にベアリ
ングを貫通している多数の穴６５及び６７がある。これ
らの穴が移動磁石組立体６０の両端における各ベアリン
グの内側とモータの外側との間に液体を通すことを可能
にする。モータは拡張ブッシュ４８の内側のゆるく固定
され、これによって拡張ブッシュ４８の内側表面と各ベ
アリング及びコイル組立体６２の外側表面との間に、液
体が満たされた小さい間隔を形成する。磁石組立体は前
後に移動するので、モータ内で液体にポンプ作用を生じ
せしめる。液体が流出する通路がないと、モータはモー
タ内の液体の圧力による結合効果を生じることになる。
穴６５及び６７はこの結合の問題を防止する。

各ベアリングの小径の延長部９２及び９４は、それらの
内側に移動磁石組立体６０のための軸受面を提供する。
これらの延長部９２及び９４はコイル組立体６２の両端
の内側と結合する。

組立てられたモータ及びその制御回路のさらに詳細な断
面が第３図に示されている。モータは軸ピン３６を中心
として回動する変換器カップ３４とともにクランクシャ
フト４０によって変換器カップ３４に接続されて示され
ている。磁石組立体の上部において、クランクシャフト
４０は黄銅製のプッシュ１０２に接続されている。磁石
組立体の下部において、黄銅製下端部プッシュが位置セ
ンサーピン８２を受入れるためにねじ溝が切られてい
る。プッシュ１０２及び１０４間で、いくつかのサマリ
アンコバルト鉄磁石１ａ〜１ｈが透磁性の鉄スペーサー
２ａ〜２ｄによって各対に分割されている。各磁石対は
反対の極で互いに接触している二極を有しており、かつ
各対は同一の極性の磁極で隣接対と向かい合っている。
両端の磁石１ａ及び１ｈは図示の実施態様において対と
なっていない。

磁石対の磁束線は、鉄スペーサーからそれを取囲んだコ
イル組立体６２の方に外側に向けて放射される。スペー
サー２ａ〜２ｄは電磁コイル組立体の方に放射状に磁束
線を誘導するように、高い透磁性及び高飽和磁束を示
す。

ブッシュ１０２及び１０４、磁石１ａ〜１ｈ並びにスペ
ーサー２ａ〜２ｄはステンレス鋼製の圧縮管１００内に
図に示すように積み重ねられている。管１００は一端に
おいてブッシュにろう付けされ、他端において一緒に積
み重ね体を圧縮するように曲げられている。非磁性管１
００は磁石組立体とそれを取囲んでいる電磁コイル組立
体との間に磁束線を容易に通す。

コイル組立体６２はコイル巻線を四つのグループ１１２
〜１１８に設置するアルミニウム製コイルフォーム１１
０を含んでいる。コイルは四つのグループに巻数を分配
した＃３６マグネットワイヤー６００回巻の連続巻線で
ある。グループからグループへの巻方向は図に示すよう
に逆になっている。ワイヤ１６２はコイルフォーマー１
１０の上部及び下部でコイル組立体に出入りする。

コイルフォーマー１１０及びコイル体を包囲しているの
は鋼製磁気戻し管１２０である。戻し管１２０はモータ
のまわりにケースを形成し、モータ内にモータの磁界を
保持する作用をし、かつどこを基準にするかによって、
上方または下方にコイルの外周における磁束線を誘導す
る作用もする。

組立モータがコイル組立体の中央に磁石組立体を位置さ
せた状態で静止している場合、スペーサー２ａ〜２ｄは
それぞれのコイルグループ１１２〜１１８に対して各々
の中心に置かれている。交流励磁信号がモータに与えら
れると、磁石組立体は変化する電磁界に従って中心位置
から上方または下方の位置に移動させられる。本発明の
図示した実施態様において、９０度の円弧に沿って変換
器を振動させるのに必要な移動範囲は0.15インチ（約3.
9 mm）の比較的小さなものである。

磁石組立体が上下に移動させられると、位置センサーピ
ンが位置センサー用コイルフォーマー８０中で上下に移
動される。コイル８８はコイルフォーマー８０に巻かれ
ている。コイルの巻数は、位置センサーピンがコイル中
を移動させられる場合にコイルが示す所望のデルタイン
ダクタンス、即ちインダクタンス変化に依存する。コイ
ル８８は、このデルタインダクタンスを検知する位置セ
ンサー回路１４０に接続されている。

本発明の原理に従えば、位置センサーピンはコイルイン
ダクタンスを増加させる金属と、インダクタンスを減少
させる他の金属とのバイメタルである。図示の実施態様
において、ピンの上部材８６は軟鋼製である。ピンのこ
の部材がコイル中を移動する場合、コイルインダクタン
スを増加させる。ピンの下部材はアルミニウム製であ
り、界面８５で上部材に結合している。このピンが上に
移動し、そして下部材８４がコイルの内部を占有してい
る場合、コイルインダクタンスの減少がなされる。位置
センサーピンの移動範囲も0.15インチ（約3.9 mm）であ
るので、図示実施態様においては、界面８５は常にコイ
ル８８内に留まっている。従って、バイメタルピンによ
り変化するコイルインダクタンスの変化の「増大」はよ
り大きなデルタインダクタンスをもたらし、したがって
単一の材料で製造されたピンから得られるものより正確
な位置検知をもたらす。

位置センサー回路は、標準の飛行機サーボシステムに使
用されるリニア電圧差動変換器（ＬＶＤＴ）回路等の通
常のものであり得る。本発明の図示実施態様において、
一定電流、１００KHzの正弦波信号が位置センサーコイ
ル８８に与えられる。変化するコイルインダクタンス
が、この信号の電圧を約0.75〜1.25ボルトに変調する。
変化信号のエンベロープが整流によって検知され、交流
結合によってその直流成分を除去し、かつ増幅されて位
置信号を形成する。次いで、位置信号は、比較駆動回路
１６０の比較器に供給され、ここで基準信号回路１５０
によって発生された三角波基準信号と比較される。この
信号比較の結果が比較駆動回路１６０によって使用さ
れ、モータコイル用の、適当に時間を定めた交流駆動信
号を引き出す。一般に、変換器の位置角度は小さな位相
遅れをもった、交流駆動電圧の位相角の関数である。サ
ーボシステムはモータを連続的に駆動し、三角波基準信
号をトラッキングする。図示実施態様において、交流駆
動信号は約１２ボルトの折返しピークを有する、２〜４
ボルトr.m.s.の範囲の実質的に一定な電流信号である。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の原理に従って組立てられた超音波変換
器プローブの部分断面図である。 第２図は第１図のプローブの変換器駆動機構の主要部分
の分解斜視図である。 第３図は本発明のモータ及び制御機構の一部ブロック図
で示す部分断面図である。 １０……ケース、１２……キャップ、３０……変換器、
３２……変換器リング、３４……変換器カップ、３６…
…軸ピン、３８……クランクピン、４０……クランクシ
ャフト、４２……ジンバルカップ、４４……アーム、６
０……移動磁石組立体、６２……コイル組立体、８０…
…コイルフォーム、８２……位置センサーピン、９０…
…取付座、１００……非磁性管、１１０……コイルフォ
ーム。

Claims (17)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】音透過性アパーチャを有するケースと、 軸心を中心として回動しているときに、上記音透過性ア
   パーチャを通して超音波エネルギーのビームを複数の放
   射方向に向けるように前記ケース内に回動可能に取付け
   られた変換器組立体と、 前記ケース内に設けられ、往復運動部材を有するモータ
   と、 前記往復運動部材に連結された第一の端部、および前記
   軸心からオフセットされた位置で前記変換器組立体に連
   結された第二の端部を有し、前記モータの往復運動を前
   記変換器組立体の回動運動に変換するための単一の接続
   部材、 とを備えた超音波変換器プローブ。
2. 【請求項２】前記接続部材が、前記往復運動部材に回動
   自在に接続された一方の端部、及び前記変換器組立体の
   前記個所に回動自在に接続された他方の端部を有するク
   ランクシャフトから成る特許請求の範囲第１項記載のプ
   ローブ。
3. 【請求項３】超音波変換器が往復運動の転換によって円
   弧状に運動させられる超音波変換器プローブにおいて、
   上記往復運動を生じさせるためのモータが、 各々が中心に開口を有する、軸方向に整列する複数のコ
   イルを有する電磁石組立体と、 前記電磁石組立体の開口のほぼ内部に位置し、かつ各々
   が前記コイルの各々に対応して設けられた複数の磁石を
   有する磁石積重体と、 前記電磁石組立体の内部で前記磁石積重体を往復運動し
   得るように支持する支持手段と、 前記磁石積重体の運動が前記超音波変換器の運動に転換
   されるように前記磁石組立体を前記超音波変換器に連結
   するための連結手段、 とを備えた超音波変換器プローブ。
4. 【請求項４】前記電磁石組立体が励起されていない場
   合、前記電磁石組立体内の所定の位置に前記磁石積重体
   を位置させるための戻しばねをさらに含む特許請求の範
   囲第３項記載のプローブ。
5. 【請求項５】前記磁石積重体が、前記各磁石の間に置か
   れ、かつ前記各コイルに対応して配置されている高透磁
   性を有する多数のスペーサーを含む特許請求の範囲第４
   項記載のプローブ。
6. 【請求項６】前記電磁石組立体が前記コイル体を巻く穴
   あきコイルフォームを含む特許請求の範囲第５項記載の
   プローブ。
7. 【請求項７】前記各磁石及びスペーサーが非磁性圧縮管
   内に置かれている特許請求の範囲第６項記載のプロー
   ブ。
8. 【請求項８】前記コイル体のまわりに配置された磁気戻
   し管をさらに含む特許請求の範囲第７項記載のプロー
   ブ。
9. 【請求項９】前記戻しばね手段が前記磁石積重体の両端
   にそれぞれ配置された第一のばね及び第二のばねから成
   る特許請求の範囲第４項記載のプローブ。
10. 【請求項１０】前記各スペーサーが磁石対を分割し、か
    つ二対の磁石の同一の磁極と接触している特許請求の範
    囲第５項記載のプローブ。
11. 【請求項１１】前記巻型に沿って巻かれた前記各コイル
    の隣接するコイル同士がそこを通る電流の所望の流れ方
    向に対して交互の方向に巻かれている特許請求の範囲第
    ６項記載のプローブ。
12. 【請求項１２】ケースおよびこのケース内で回動可能に
    設けられた変換器を有する超音波変換器プローブにおい
    て、往復運動を生じさせるために前記ケース内に設けら
    れたモータが、 前記ケース内に固定され、変化する磁界を生じさせるた
    めに設けられた電磁コイル組立体と、 前記コイル組立体内でスライド可能に設けられ、前記の
    変化する磁界と相互作用する磁界を生じさせる永久磁石
    組立体、 とを備え、 さらに前記プローブが、前記磁石組立と前記変換器との
    間に連結され、前記磁石組立体の往復運動を前記変換器
    の回動運動に転換するための転換手段を含んでいる超音
    波変換器プローブ。
13. 【請求項１３】振動運動のために回動可能に取付けられ
    た超音波変換器と、 前記変換器を振動させるためにこれに連結された運動手
    段と、 バイメタル要素およびコイルを含み、その一方が前記変
    換器の振動運動に対応して運動するように連結された位
    置センサ、 とを備え、 前記バイメタル要素と前記コイルとの相対運動が前記コ
    イルによって生じたインダクタンスを変化させるように
    なされている超音波変換器ブローブ。
14. 【請求項１４】前記バイメタル要素が、間に界面を有す
    る第一及び第二の金属部材から成る特許請求の範囲第１
    ３項記載のプローブ。
15. 【請求項１５】前記コイルがトロイダル形状であり、前
    記変換器を振動させると前記バイメタル要素の界面が前
    記コイルの中を移動する特許請求の範囲第１４項記載の
    プローブ。
16. 【請求項１６】前記第一の金属部材が鉄系金属から成
    り、前記第二の金属部材が非鉄金属から成る特許請求の
    範囲第１５項記載のプローブ。
17. 【請求項１７】前記バイメタル要素が鋼部材とアルミニ
    ウム部材とから成る特許請求の範囲第１６項記載のプロ
    ーブ。