JPH0465343B2 - - Google Patents
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- JPH0465343B2 JPH0465343B2 JP58204712A JP20471283A JPH0465343B2 JP H0465343 B2 JPH0465343 B2 JP H0465343B2 JP 58204712 A JP58204712 A JP 58204712A JP 20471283 A JP20471283 A JP 20471283A JP H0465343 B2 JPH0465343 B2 JP H0465343B2
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- JP
- Japan
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- connector
- ultrasonic
- ultrasonic head
- high frequency
- excitation
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- 230000005284 excitation Effects 0.000 claims description 19
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 238000002604 ultrasonography Methods 0.000 description 6
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- BGPVFRJUHWVFKM-UHFFFAOYSA-N N1=C2C=CC=CC2=[N+]([O-])C1(CC1)CCC21N=C1C=CC=CC1=[N+]2[O-] Chemical compound N1=C2C=CC=CC2=[N+]([O-])C1(CC1)CCC21N=C1C=CC=CC1=[N+]2[O-] BGPVFRJUHWVFKM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G10—MUSICAL INSTRUMENTS; ACOUSTICS
- G10K—SOUND-PRODUCING DEVICES; METHODS OR DEVICES FOR PROTECTING AGAINST, OR FOR DAMPING, NOISE OR OTHER ACOUSTIC WAVES IN GENERAL; ACOUSTICS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G10K11/00—Methods or devices for transmitting, conducting or directing sound in general; Methods or devices for protecting against, or for damping, noise or other acoustic waves in general
- G10K11/18—Methods or devices for transmitting, conducting or directing sound
- G10K11/26—Sound-focusing or directing, e.g. scanning
- G10K11/35—Sound-focusing or directing, e.g. scanning using mechanical steering of transducers or their beams
- G10K11/352—Sound-focusing or directing, e.g. scanning using mechanical steering of transducers or their beams by moving the transducer
-
- G—PHYSICS
- G10—MUSICAL INSTRUMENTS; ACOUSTICS
- G10K—SOUND-PRODUCING DEVICES; METHODS OR DEVICES FOR PROTECTING AGAINST, OR FOR DAMPING, NOISE OR OTHER ACOUSTIC WAVES IN GENERAL; ACOUSTICS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G10K11/00—Methods or devices for transmitting, conducting or directing sound in general; Methods or devices for protecting against, or for damping, noise or other acoustic waves in general
- G10K11/18—Methods or devices for transmitting, conducting or directing sound
- G10K11/26—Sound-focusing or directing, e.g. scanning
- G10K11/30—Sound-focusing or directing, e.g. scanning using refraction, e.g. acoustic lenses
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Multimedia (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
技術分野
本発明は超音波顕微鏡、特に超音波ヘツドを加
振装置の加振軸に交換自在に装着する超音波ヘツ
ドの装着機構に関するものである。
振装置の加振軸に交換自在に装着する超音波ヘツ
ドの装着機構に関するものである。
従来技術
従来、超音波顕微鏡によつて試料の超音波像を
表示する場合には、圧電トランスジユーサを有す
る超音波ヘツドを加振装置の加振軸に取付けてこ
れをＸ方向に高速で振動させると共に試料を載置
した試料台をＹ方向に低速で移動させて二次元走
査を行なつている。従来の加振装置においては、
例えば第１図に示すように音響レンズおよび圧電
トランスジユーサを有する超音波ヘツド１をアー
ム２に固着し、このアームを加振装置の加振軸３
の一端に連結し、この加振軸の他端を、磁石４、
ヨーク５およびポールピース６を有する磁気回路
の磁束を横切るようにヨーク５とポールピース６
との間に巻装したボイスコイル７のボビンに連結
すると共に、板ばね８によりボイスコイル７の軸
方向で、超音波ヘツド１からの超音波の投射方向
と直交する方向に変位可能に支持して、ボイスコ
イル７に所要の交番電流を供給することにより超
音波ヘツド１をＸ方向に振動させるようにしたも
のがある。
表示する場合には、圧電トランスジユーサを有す
る超音波ヘツドを加振装置の加振軸に取付けてこ
れをＸ方向に高速で振動させると共に試料を載置
した試料台をＹ方向に低速で移動させて二次元走
査を行なつている。従来の加振装置においては、
例えば第１図に示すように音響レンズおよび圧電
トランスジユーサを有する超音波ヘツド１をアー
ム２に固着し、このアームを加振装置の加振軸３
の一端に連結し、この加振軸の他端を、磁石４、
ヨーク５およびポールピース６を有する磁気回路
の磁束を横切るようにヨーク５とポールピース６
との間に巻装したボイスコイル７のボビンに連結
すると共に、板ばね８によりボイスコイル７の軸
方向で、超音波ヘツド１からの超音波の投射方向
と直交する方向に変位可能に支持して、ボイスコ
イル７に所要の交番電流を供給することにより超
音波ヘツド１をＸ方向に振動させるようにしたも
のがある。
上述した従来の超音波顕微鏡においては超音波
の周波数、したがつて分解能を変えるためには、
その都度超音波ヘツド１を交換するようにしてい
る。このため超音波ヘツド１はアーム２に固着
し、このアームを加振軸３にねじ９により着脱自
在に固着するようにしている。したがつて超音波
ヘツド１を交換するたびに面倒な作業が要求され
る欠点がある。また、超音波ヘツド１の圧電トラ
ンスジユーサには高周波ケーブル１０が接続され
ており、このケーブルの位置および特性によつて
も加振装置に与える影響は変動し、超音波ヘツド
１がその振動範囲内において一定の速度で移動せ
ず、このため解像度の高い超音波像が得られない
不具合がある。このような不具合は、特に振動範
囲を大きくして走査領域を大きくする場合に著し
くなる。
の周波数、したがつて分解能を変えるためには、
その都度超音波ヘツド１を交換するようにしてい
る。このため超音波ヘツド１はアーム２に固着
し、このアームを加振軸３にねじ９により着脱自
在に固着するようにしている。したがつて超音波
ヘツド１を交換するたびに面倒な作業が要求され
る欠点がある。また、超音波ヘツド１の圧電トラ
ンスジユーサには高周波ケーブル１０が接続され
ており、このケーブルの位置および特性によつて
も加振装置に与える影響は変動し、超音波ヘツド
１がその振動範囲内において一定の速度で移動せ
ず、このため解像度の高い超音波像が得られない
不具合がある。このような不具合は、特に振動範
囲を大きくして走査領域を大きくする場合に著し
くなる。
発明の目的
本発明の目的は、上述した不具合を解決し、加
振装置に対して超音波ヘツドをきわめて簡単に交
換することができ、超音波ヘツドを交換した場合
でも常に所望の振動範囲内で一定速度で正確に振
動し得るよう適切に構成した超音波顕微鏡を提供
しようとするものである。
振装置に対して超音波ヘツドをきわめて簡単に交
換することができ、超音波ヘツドを交換した場合
でも常に所望の振動範囲内で一定速度で正確に振
動し得るよう適切に構成した超音波顕微鏡を提供
しようとするものである。
発明の概要
本発明は、圧電トランスジユーサを有する超音
波ヘツドを加振装置の加振軸に交換可能に装着す
る機構において、前記加振軸に固定した一方の高
周波コネクタ半部に高周波ケーブルを連結し、超
音波ヘツドを内蔵し、圧電トランスジユーサの電
極に対するリード線を接続するための窓を有する
レンズホルダを連結した他方の高周波コネクタ半
部を前記一方の高周波コネクタ半部に分離可能に
連結し得るよう構成したことを特徴とするもので
ある。
波ヘツドを加振装置の加振軸に交換可能に装着す
る機構において、前記加振軸に固定した一方の高
周波コネクタ半部に高周波ケーブルを連結し、超
音波ヘツドを内蔵し、圧電トランスジユーサの電
極に対するリード線を接続するための窓を有する
レンズホルダを連結した他方の高周波コネクタ半
部を前記一方の高周波コネクタ半部に分離可能に
連結し得るよう構成したことを特徴とするもので
ある。
実施例
第２図は本発明による加振装置への超音波ヘツ
ド装着機構の一例の構成を示す断面図である。本
例では加振装置の加振軸２１にねじ孔２１ａを形
成し、ここにオスコネクタ部座２２を螺合する。
このオスコネクタ部座２２にはさらにオス高周波
コネクタ受け２３を螺着し、このオス高周波コネ
クタ受け２３の内部にはオス高周波コネクタ２４
を配置する。一方、音響レンズ２５および圧電ト
ランスジユーサ２６を有する超音波ヘツド２７を
レンズホルダ２８により保持し、このレンズホル
ダの上部をメス高周波コネクタ受け２９に螺着す
る。レンズホルダ２８には窓２８ａを形成し、こ
の窓を介して圧電トランスジユーサ２６の下部電
極をリード線３０を経てレンズホルダ２８に接続
し、上部電極をリード線３１を介してメス高周波
コネクタ３２に接続した導電ピン３３に接続す
る。このようにした圧電トランスジユーサ２６の
電極をレンズホルダ２８およびメス高周波コネク
タ３２に接続した後、レンズホルダ２８の外周に
カバー３４を覆せ、窓２８ａを塞ぐ。このように
超音波ヘツド２６に接続したメス高周波コネクタ
３２をオス高周波コネクタ２４と連結した後、止
めリング３５を回わしてこれらコネクタ２４およ
び３２を強固に連結することができる。この場合
圧電トランスジユーサ２６の下部電極はアース電
極として作用し、リード線３０、金属製のレンズ
ホルダ２８、メス高周波コネクタ受け２９、止め
リング３５およびオス高周波コネクタ受け２３を
介して高周波ケーブル３６の外側シールド導体に
接続されることになり、上部電極はリード線３
１、導体ピン３３、メス高周波コネクタ３２およ
びオス高周波コネクタ２４を介して高周波ケーブ
ル３６の内部導体に接続されるようになる。
ド装着機構の一例の構成を示す断面図である。本
例では加振装置の加振軸２１にねじ孔２１ａを形
成し、ここにオスコネクタ部座２２を螺合する。
このオスコネクタ部座２２にはさらにオス高周波
コネクタ受け２３を螺着し、このオス高周波コネ
クタ受け２３の内部にはオス高周波コネクタ２４
を配置する。一方、音響レンズ２５および圧電ト
ランスジユーサ２６を有する超音波ヘツド２７を
レンズホルダ２８により保持し、このレンズホル
ダの上部をメス高周波コネクタ受け２９に螺着す
る。レンズホルダ２８には窓２８ａを形成し、こ
の窓を介して圧電トランスジユーサ２６の下部電
極をリード線３０を経てレンズホルダ２８に接続
し、上部電極をリード線３１を介してメス高周波
コネクタ３２に接続した導電ピン３３に接続す
る。このようにした圧電トランスジユーサ２６の
電極をレンズホルダ２８およびメス高周波コネク
タ３２に接続した後、レンズホルダ２８の外周に
カバー３４を覆せ、窓２８ａを塞ぐ。このように
超音波ヘツド２６に接続したメス高周波コネクタ
３２をオス高周波コネクタ２４と連結した後、止
めリング３５を回わしてこれらコネクタ２４およ
び３２を強固に連結することができる。この場合
圧電トランスジユーサ２６の下部電極はアース電
極として作用し、リード線３０、金属製のレンズ
ホルダ２８、メス高周波コネクタ受け２９、止め
リング３５およびオス高周波コネクタ受け２３を
介して高周波ケーブル３６の外側シールド導体に
接続されることになり、上部電極はリード線３
１、導体ピン３３、メス高周波コネクタ３２およ
びオス高周波コネクタ２４を介して高周波ケーブ
ル３６の内部導体に接続されるようになる。
本発明の超音波顕微鏡においては、加振装置の
加振軸２１には一方のコネクタ半部のオス高周波
コネクタ２４および高周波ケーブル３６を固定的
に取付け、他方のコネクタ半部にはオス高周波コ
ネクタ２４と分離可能に連結されるメス高周波コ
ネクタ３２と超音波ヘツド２７とを設け、この他
方のコネクタ半部を各超音波ヘツド毎に準備して
おき、これらの内の所望の一つを一方のコネクタ
半部に選択的に連結することにより超音波ヘツド
の交換を簡単かつ迅速に行なうことができる。高
周波ケーブル３６は一方のコネクタ半部に固定的
に連結されており、すべての他方のコネクタ半部
に対して共通に用いられるので高周波ケーブル３
６が加振装置に及ぼす影響は超音波ヘツドを交換
しても何んら変動することはなく、正確な加振が
行なわれることになる。この場合、他方のコネク
タ半部の重量はすべて等しくなるように適当なバ
ランスウエイトを他方のコネクタ半部に設けるの
が好適である。
加振軸２１には一方のコネクタ半部のオス高周波
コネクタ２４および高周波ケーブル３６を固定的
に取付け、他方のコネクタ半部にはオス高周波コ
ネクタ２４と分離可能に連結されるメス高周波コ
ネクタ３２と超音波ヘツド２７とを設け、この他
方のコネクタ半部を各超音波ヘツド毎に準備して
おき、これらの内の所望の一つを一方のコネクタ
半部に選択的に連結することにより超音波ヘツド
の交換を簡単かつ迅速に行なうことができる。高
周波ケーブル３６は一方のコネクタ半部に固定的
に連結されており、すべての他方のコネクタ半部
に対して共通に用いられるので高周波ケーブル３
６が加振装置に及ぼす影響は超音波ヘツドを交換
しても何んら変動することはなく、正確な加振が
行なわれることになる。この場合、他方のコネク
タ半部の重量はすべて等しくなるように適当なバ
ランスウエイトを他方のコネクタ半部に設けるの
が好適である。
本発明は上述した実施例にのみ限定されるもの
ではなく、幾多の変形が可能である。例えば高周
波コネクタとしては上述した構造のものだけに限
定されるものではなく、種々の形式のものを用い
ることができる。ただし、加振装置により加振さ
れたときに不所望な振動が生じたり、連結がゆる
んだりすることがないようなものを選んで使用す
る必要がある。また、超音波ヘツドとしては、音
響レンズを持たず、圧電トランスジユーサそのも
のを湾曲させて超音波ビームを集束させるように
したものを用いることもできる。
ではなく、幾多の変形が可能である。例えば高周
波コネクタとしては上述した構造のものだけに限
定されるものではなく、種々の形式のものを用い
ることができる。ただし、加振装置により加振さ
れたときに不所望な振動が生じたり、連結がゆる
んだりすることがないようなものを選んで使用す
る必要がある。また、超音波ヘツドとしては、音
響レンズを持たず、圧電トランスジユーサそのも
のを湾曲させて超音波ビームを集束させるように
したものを用いることもできる。
発明の効果
本発明の超音波顕微鏡によれば、高周波コネク
タの一方の半部を加振装置の加振軸に固定すると
共にこれに高周波ケーブルを連結し、超音波ヘツ
ドを内蔵した他方のコネクタ半部を一方のコネク
タ半部に分離可能に連結するようにしたから、超
音波ヘツドの交換をきわめて容易に行なうことが
できると共に超音波ヘツドを交換しても高周波ケ
ーブルは固定されたままであるから、加振装置に
及ぼす影響が変動せず、常に正確な走査を行なう
ことができる。また、超音波ヘツドを内蔵するレ
ンズホルダの側面に窓を形成し、この窓を介して
圧電トランスジユーサの電極に対するリード線を
接続するようにしたので、リード線の接続作業が
簡単になるとともに超音波ヘツドを有する高周波
コネクタ半部をメス型とすることもできる。
タの一方の半部を加振装置の加振軸に固定すると
共にこれに高周波ケーブルを連結し、超音波ヘツ
ドを内蔵した他方のコネクタ半部を一方のコネク
タ半部に分離可能に連結するようにしたから、超
音波ヘツドの交換をきわめて容易に行なうことが
できると共に超音波ヘツドを交換しても高周波ケ
ーブルは固定されたままであるから、加振装置に
及ぼす影響が変動せず、常に正確な走査を行なう
ことができる。また、超音波ヘツドを内蔵するレ
ンズホルダの側面に窓を形成し、この窓を介して
圧電トランスジユーサの電極に対するリード線を
接続するようにしたので、リード線の接続作業が
簡単になるとともに超音波ヘツドを有する高周波
コネクタ半部をメス型とすることもできる。
第１図は従来の超音波顕微鏡において超音波ヘ
ツドを装着した加振装置を示す断面図、第２図は
本発明による超音波ヘツドの装着機構の一例の構
成を示す断面図である。 ２１……加振装置の加振軸、２２……オスコネ
クタ部座、２３……オスコネクタ受け、２４……
オスコネクタ、２７……超音波ヘツド、２８……
レンズホルダ、２９……メスコネクタ受け、３
０，３１……リード線、３２……メスコネクタ、
３３……導体ピン、３４……カバー、３５……止
めリング、３６……高周波ケーブル。
ツドを装着した加振装置を示す断面図、第２図は
本発明による超音波ヘツドの装着機構の一例の構
成を示す断面図である。 ２１……加振装置の加振軸、２２……オスコネ
クタ部座、２３……オスコネクタ受け、２４……
オスコネクタ、２７……超音波ヘツド、２８……
レンズホルダ、２９……メスコネクタ受け、３
０，３１……リード線、３２……メスコネクタ、
３３……導体ピン、３４……カバー、３５……止
めリング、３６……高周波ケーブル。
Claims (1)
- １ 圧電トランスジユーサを有する超音波ヘツド
を加振装置の加振軸に交換可能に装着する機構に
おいて、前記加振軸に固定した一方の高周波コネ
クタ半部に高周波ケーブルを連結し、超音波ヘツ
ドを内蔵し、圧電トランスジユーサの電極に対す
るリード線を接続するための窓を有するレンズホ
ルダを連結した他方の高周波コネクタ半部を前記
一方の高周波コネクタ半部に分離可能に連結し得
るよう構成したことを特徴とする超音波顕微鏡の
超音波ヘツド装着機構。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58204712A JPS6097254A (ja) | 1983-11-02 | 1983-11-02 | 超音波顕微鏡の超音波ヘツド装着機構 |
| US06/664,429 US4587848A (en) | 1983-11-02 | 1984-10-24 | Mechanism for attaching ultrasonic head of ultrasonic microscope |
| GB08427665A GB2149111B (en) | 1983-11-02 | 1984-11-01 | Mechanism for attaching ultrasonic head of ultrasonic microscope |
| DE19843440153 DE3440153A1 (de) | 1983-11-02 | 1984-11-02 | Vorrichtung zum loesbaren befestigen eines schallkopfes eines ultraschall-mikroskops |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58204712A JPS6097254A (ja) | 1983-11-02 | 1983-11-02 | 超音波顕微鏡の超音波ヘツド装着機構 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6097254A JPS6097254A (ja) | 1985-05-31 |
| JPH0465343B2 true JPH0465343B2 (ja) | 1992-10-19 |
Family
ID=16495056
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58204712A Granted JPS6097254A (ja) | 1983-11-02 | 1983-11-02 | 超音波顕微鏡の超音波ヘツド装着機構 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4587848A (ja) |
| JP (1) | JPS6097254A (ja) |
| DE (1) | DE3440153A1 (ja) |
| GB (1) | GB2149111B (ja) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4701658A (en) * | 1985-03-11 | 1987-10-20 | United Technologies Corporation | Broadband acoustic point-contact transducer |
| DE3576752D1 (de) * | 1985-04-26 | 1990-04-26 | Ibm | Abtastendes ultraschallmikroskop. |
| DE3937465C1 (en) * | 1989-11-10 | 1990-11-22 | Deutsche Forschungsanstalt Fuer Luft- Und Raumfahrt Ev, 5300 Bonn, De | Test head holder for ultrasonic testing installation - has adjuster with spherical bearing in carrier and engaging conical shell under spring pressure |
| DE4119147A1 (de) * | 1991-06-11 | 1993-02-18 | Morgenstern Juergen | Nachweisgeraet fuer aktiv abstrahlende flaechen von ultraschall-schwingern |
| JPH054010U (ja) * | 1991-07-05 | 1993-01-22 | 株式会社トキメツク | 超音波探触子 |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE7207762U (de) * | 1973-02-22 | Krautkraemer J Ges Fuer Elektrophysik | Vorrichtung zur Verbindung des Kabel endes eines Ultraschall Prüf oder meß gerates mit der Schwingereinheit eines auswechselbaren Prüf bzw Messkopfes | |
| US4014207A (en) * | 1970-08-07 | 1977-03-29 | Picker Electronics, Inc. | Sector scanning ultrasonic inspection apparatus |
| US4378699A (en) * | 1979-05-24 | 1983-04-05 | National Research Development Corporation | Scanning acoustic microscope |
| US4505160A (en) * | 1983-02-07 | 1985-03-19 | Nusonics, Inc. | High-temperature transducer |
| JPS59179372U (ja) * | 1983-05-18 | 1984-11-30 | オリンパス光学工業株式会社 | 超音波顕微鏡の音響レンズ交換ユニツト |
-
1983
- 1983-11-02 JP JP58204712A patent/JPS6097254A/ja active Granted
-
1984
- 1984-10-24 US US06/664,429 patent/US4587848A/en not_active Expired - Fee Related
- 1984-11-01 GB GB08427665A patent/GB2149111B/en not_active Expired
- 1984-11-02 DE DE19843440153 patent/DE3440153A1/de not_active Withdrawn
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| GB8427665D0 (en) | 1984-12-05 |
| US4587848A (en) | 1986-05-13 |
| JPS6097254A (ja) | 1985-05-31 |
| GB2149111A (en) | 1985-06-05 |
| DE3440153A1 (de) | 1985-05-30 |
| GB2149111B (en) | 1987-01-14 |
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