JPS6091275A - 電気信号の測定方法および装置 - Google Patents
電気信号の測定方法および装置Info
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- JPS6091275A JPS6091275A JP59197731A JP19773184A JPS6091275A JP S6091275 A JPS6091275 A JP S6091275A JP 59197731 A JP59197731 A JP 59197731A JP 19773184 A JP19773184 A JP 19773184A JP S6091275 A JPS6091275 A JP S6091275A
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- 238000005070 sampling Methods 0.000 claims description 23
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
- G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
- G01R31/302—Contactless testing
- G01R31/305—Contactless testing using electron beams
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- General Physics & Mathematics (AREA)
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Structure Of Printed Boards (AREA)
- Printing Elements For Providing Electric Connections Between Printed Circuits (AREA)
- Parts Printed On Printed Circuit Boards (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、ゾンデを用いてサンプリング原理により例え
ば集積回路の回路節点における電気信号を測定するため
の方法および装置に関する。
ば集積回路の回路節点における電気信号を測定するため
の方法および装置に関する。
たとえば電子ゾンデにより集積回路の少なぐとも１つの
回路節点における電気信号の状態ダイアダラムがサンプ
リング法で記録されるとき、サンプリング窓は非線形な
仕方で回路の作動周期にわたりシフトされる（米国特許
第４２２０８５４号明細書参照）。その際、電気信号は
周期的に測定的に与えられる。集積回路の基本クロック
が立上がり縁および立下がり縁を有するたびに、通常の
仕方で公知技術により測定点に生ずる電位が電気信号の
１つの特定の位相における複数回のサンプリングにより
測定される。その際、集積回路の基本クロックの立上が
り縁または立下がり縁と合致する電気信号の位相点のみ
がこの公知の測定方法により取得される。この公知の方
法では、それぞれの測定点において生ずる論理的状態変
化は確かに正確に取得することができる。なぜならば、
これらの論理的状態変化は集積回路の基本クロックの立
上がり縁または立下がり縁と合致しているからである。
回路節点における電気信号の状態ダイアダラムがサンプ
リング法で記録されるとき、サンプリング窓は非線形な
仕方で回路の作動周期にわたりシフトされる（米国特許
第４２２０８５４号明細書参照）。その際、電気信号は
周期的に測定的に与えられる。集積回路の基本クロック
が立上がり縁および立下がり縁を有するたびに、通常の
仕方で公知技術により測定点に生ずる電位が電気信号の
１つの特定の位相における複数回のサンプリングにより
測定される。その際、集積回路の基本クロックの立上が
り縁または立下がり縁と合致する電気信号の位相点のみ
がこの公知の測定方法により取得される。この公知の方
法では、それぞれの測定点において生ずる論理的状態変
化は確かに正確に取得することができる。なぜならば、
これらの論理的状態変化は集積回路の基本クロックの立
上がり縁または立下がり縁と合致しているからである。
しかし、集積回路の基本クロックの立上がり縁または立
下がり縁と合致しない短い擾乱パルス（スパイク）が生
ずると、これらの擾乱パルスは公知の測定方法によって
は捕捉されない。
下がり縁と合致しない短い擾乱パルス（スパイク）が生
ずると、これらの擾乱パルスは公知の測定方法によって
は捕捉されない。
擾乱パルスが偶然に１つのサンプリング時点と合致する
ときし７か、このような擾乱パルスは公知の測定方法に
より捕捉し得ない。
ときし７か、このような擾乱パルスは公知の測定方法に
より捕捉し得ない。
集積回路の基本クロックの立上がり縁または立下がり縁
と合致せずに生ずる短い擾乱パルスを取得できるように
するためには、従来、集積回路の回路節点における電気
信号のタイムダイアダラムを記録する必要があった。こ
のことは、回路の作動周期のすべてが線形に記録された
ことを意味する。その際、集積回路の回路節点における
電気信号は、測定技術的に他の位相点から識別可能であ
る各位相点で同一の仕方で測定かつ記録された。
と合致せずに生ずる短い擾乱パルスを取得できるように
するためには、従来、集積回路の回路節点における電気
信号のタイムダイアダラムを記録する必要があった。こ
のことは、回路の作動周期のすべてが線形に記録された
ことを意味する。その際、集積回路の回路節点における
電気信号は、測定技術的に他の位相点から識別可能であ
る各位相点で同一の仕方で測定かつ記録された。
しかし、集積回路内の１つの測定点における１つの電気
信号が、測定技術的に互いに識別可能であるすべての位
相点において測定される場合には、電気信号のこのよう
な全記録を得るだめの時間的費用が非常に大きい。
信号が、測定技術的に互いに識別可能であるすべての位
相点において測定される場合には、電気信号のこのよう
な全記録を得るだめの時間的費用が非常に大きい。
本発明が解決しようとする問題点は、冒頭に記載した種
類の方法であって、集積回路の１つの回路節点における
電気信号の迅速な記録を可能とし、また同時に、集積回
路の基本クロックの２つのクロック縁の間に少なくとも
１つの擾乱信号が生ずるときには擾乱信号の記録を可能
とする方法を得ることである。
類の方法であって、集積回路の１つの回路節点における
電気信号の迅速な記録を可能とし、また同時に、集積回
路の基本クロックの２つのクロック縁の間に少なくとも
１つの擾乱信号が生ずるときには擾乱信号の記録を可能
とする方法を得ることである。
上述の問題点は本発明によれば、特許請求の範囲第１項
に記載の方法により達成される。
に記載の方法により達成される。
本発明の実施態様および利点は特許請求の範囲第２項お
よび第３項、以下の説明および図面に示されている。
よび第３項、以下の説明および図面に示されている。
本発明による方法を実施する際には、電子ゾンデだけで
なく、集積回路の回路節点に、おける電気信号の記録を
行なう他の任意のゾンデ、たとえばレーザー・スキャナ
、も用いることができる。本発明による方法は、集積回
路の出力端において捕捉し得る電気信号の記録のために
も用いることができる。本発明による方法は基本的に、
集積回路ではなく他の任意の電気配線において取得され
得る電気信号の記録のためにも利用可能である。
なく、集積回路の回路節点に、おける電気信号の記録を
行なう他の任意のゾンデ、たとえばレーザー・スキャナ
、も用いることができる。本発明による方法は、集積回
路の出力端において捕捉し得る電気信号の記録のために
も用いることができる。本発明による方法は基本的に、
集積回路ではなく他の任意の電気配線において取得され
得る電気信号の記録のためにも利用可能である。
以下、図面により本発明を一層詳細に説明する。
第１図には、本発明による方法を実施するための装置の
一例がブロック図で示されている。この例では、電子ゾ
ンデを用いてサンプリング法を実施するだめの公知の測
定装置に基づく装置が示されている。電子ゾンデを用い
てサンプリング法を実施するだめの装置はたとえば前記
米国特許第４２２０８５４号明細書から公知である。こ
の明細書にはサンブリンク法の実施の仕方も記載されて
いる。サンプリング法を実施するだめの若干改良された
装置は米国特許第４２７７６７９号明細書からも公知で
ある。サンプリング法を実施するだめのこのような公知
の装置では、シーケンス制御装＃ＣＯＮを介して、試験
対象回路ＰＲ，たとえば集積回路、に与えられる基本ク
ロックＣＬと同期して一次電子ＰＥから電子線キーイン
グ装置ＢＰによりサンプリングパルスＥＰが形成される
。これらのサンプリングパルスＥＰは基本クロックＣＬ
の各室りがりおよび各立下がりの際に試験対象回路ＰＲ
の１つの測定点上に衝突する。試験対象回路ＰＲのこの
測定点に１つの周期的信号ＳＩが存在する。この周期的
信号ＳＩの検知は、測定点上への一次電子ＰＥの衝突の
際に二次電子ＳＥが放出され、これらの二次電子が検出
器ＤＴ内で検知されて二次正午測定信号に変換されるこ
とにより行なわれる。この測定信号は先ず前置増幅器Ａ
Ｉ内で増幅される。公知のサンプリング法では、信号Ｓ
Ｉの１つの特定の位相点に層する試験対象回路ＰＲ上の
測定点の電位をめる際に良好なＳＮ比を得るだめ、信号
ＳＩは同一の位相点において次々と複数回サンプリング
される。信号ＳＩの同一の位相点に属する測定信号は回
路ＳＨ，たとえばサンプル・アンド・ホールド回路また
は積分性回路（ボックスカー積分器）、のなかで累算さ
れる。この累算の結果は次いでもう１つの増＠麩２内で
再び増幅される。この第２の増＠器Ａ２の出力端Ｕに、
試験対象回路ＰＲの測定点に存在する信号ＳＩの１つの
特定の位相点における電位の測定結果が得らハ、る。
一例がブロック図で示されている。この例では、電子ゾ
ンデを用いてサンプリング法を実施するだめの公知の測
定装置に基づく装置が示されている。電子ゾンデを用い
てサンプリング法を実施するだめの装置はたとえば前記
米国特許第４２２０８５４号明細書から公知である。こ
の明細書にはサンブリンク法の実施の仕方も記載されて
いる。サンプリング法を実施するだめの若干改良された
装置は米国特許第４２７７６７９号明細書からも公知で
ある。サンプリング法を実施するだめのこのような公知
の装置では、シーケンス制御装＃ＣＯＮを介して、試験
対象回路ＰＲ，たとえば集積回路、に与えられる基本ク
ロックＣＬと同期して一次電子ＰＥから電子線キーイン
グ装置ＢＰによりサンプリングパルスＥＰが形成される
。これらのサンプリングパルスＥＰは基本クロックＣＬ
の各室りがりおよび各立下がりの際に試験対象回路ＰＲ
の１つの測定点上に衝突する。試験対象回路ＰＲのこの
測定点に１つの周期的信号ＳＩが存在する。この周期的
信号ＳＩの検知は、測定点上への一次電子ＰＥの衝突の
際に二次電子ＳＥが放出され、これらの二次電子が検出
器ＤＴ内で検知されて二次正午測定信号に変換されるこ
とにより行なわれる。この測定信号は先ず前置増幅器Ａ
Ｉ内で増幅される。公知のサンプリング法では、信号Ｓ
Ｉの１つの特定の位相点に層する試験対象回路ＰＲ上の
測定点の電位をめる際に良好なＳＮ比を得るだめ、信号
ＳＩは同一の位相点において次々と複数回サンプリング
される。信号ＳＩの同一の位相点に属する測定信号は回
路ＳＨ，たとえばサンプル・アンド・ホールド回路また
は積分性回路（ボックスカー積分器）、のなかで累算さ
れる。この累算の結果は次いでもう１つの増＠麩２内で
再び増幅される。この第２の増＠器Ａ２の出力端Ｕに、
試験対象回路ＰＲの測定点に存在する信号ＳＩの１つの
特定の位相点における電位の測定結果が得らハ、る。
出力端Ｕにおける測定結果を直線化するため、検出器Ｄ
Ｔ、増幅器ＡＩ、積分性回路Ｓ Ｈおよび増幅器Ａ２か
ら成る測定縦続回路は、二次電子エネルギーをめるだめ
の減速電界スペクトロメータのなかの減速格子ＧＲにお
ける電圧を制御する１つの閉じられた制御ループＦＬを
形成している。
Ｔ、増幅器ＡＩ、積分性回路Ｓ Ｈおよび増幅器Ａ２か
ら成る測定縦続回路は、二次電子エネルギーをめるだめ
の減速電界スペクトロメータのなかの減速格子ＧＲにお
ける電圧を制御する１つの閉じられた制御ループＦＬを
形成している。
本発明による方法を実施するためには、前置増幅５ＡＩ
と積分性回路ＳＴＴとの間の点Ｐにおける測定信号が取
出されて、たとえばもう１つの増幅器Ａ３に与えちれる
。この増＠器Ａ３の出力は２つのＴ＜Ｓフリップフロッ
プＦｌ、１’；”２の線制御されるセット入力端に与え
られる。両フリップフロップ］”１ 、Ｆ２の出力は１
つのアンド論理回路Ｃの入力◇；１ハに与えら丸る。こ
のアンド論理回路Ｃの出力は、試験対象回路ＰＲの基本
クロックＣＬの２つの縁の間の範囲に擾乱信号が生じて
いるか否かを指示する。
と積分性回路ＳＴＴとの間の点Ｐにおける測定信号が取
出されて、たとえばもう１つの増幅器Ａ３に与えちれる
。この増＠器Ａ３の出力は２つのＴ＜Ｓフリップフロッ
プＦｌ、１’；”２の線制御されるセット入力端に与え
られる。両フリップフロップ］”１ 、Ｆ２の出力は１
つのアンド論理回路Ｃの入力◇；１ハに与えら丸る。こ
のアンド論理回路Ｃの出力は、試験対象回路ＰＲの基本
クロックＣＬの２つの縁の間の範囲に擾乱信号が生じて
いるか否かを指示する。
第２図および第３図は、基本クロックＣＬのクロック縁
の間に生ずる擾乱信号の検知が可能でない公知のサンプ
リング法による装置の作用を説明するたｈの図である。
の間に生ずる擾乱信号の検知が可能でない公知のサンプ
リング法による装置の作用を説明するたｈの図である。
第２図には、試験対象回路ＰＲにおける基本クロックＣ
Ｌと、１つの測定点に周期的に現わ力、ておりまた１つ
の擾乱信号ＳＰを含んでいる信号ＳＩと、基本クロック
ＣＬの各線で生ずる一次電子すンプリングパルスβＰと
に１・；測定点Ｐにおける測定信号Ｐ１と、出力端Ｕに
おける測定結果Ｕ１とが示されている。測定結果Ｕ１の
図かられかるように、公知の方法および公知の装置では
信号ＳＩ内の擾乱信号ＳＰが検知され得ない。
Ｌと、１つの測定点に周期的に現わ力、ておりまた１つ
の擾乱信号ＳＰを含んでいる信号ＳＩと、基本クロック
ＣＬの各線で生ずる一次電子すンプリングパルスβＰと
に１・；測定点Ｐにおける測定信号Ｐ１と、出力端Ｕに
おける測定結果Ｕ１とが示されている。測定結果Ｕ１の
図かられかるように、公知の方法および公知の装置では
信号ＳＩ内の擾乱信号ＳＰが検知され得ない。
第３図に示されているように、公知の方法では、１つの
有限の時間範囲にわたり信号ＳＩが次々と複数回サンプ
リングされる位相点の位相Ｐ Ｔ（が周期的信号の全周
期にわたりステップ状にシフトされる。その際、相続ぐ
種々の位相点の個々の位相の間にそれぞれ少なからざる
間隔が生ずるので、１つの周期的信号ＳＩの記録の際に
いぐっがの少数の位相点しか取得さね、ない。
有限の時間範囲にわたり信号ＳＩが次々と複数回サンプ
リングされる位相点の位相Ｐ Ｔ（が周期的信号の全周
期にわたりステップ状にシフトされる。その際、相続ぐ
種々の位相点の個々の位相の間にそれぞれ少なからざる
間隔が生ずるので、１つの周期的信号ＳＩの記録の際に
いぐっがの少数の位相点しか取得さね、ない。
第４図および第５図には、本発明による方法ではどのよ
うな改善が達「戊されるか、寸だこれらの改善がどのよ
うにして達成されるかが示されている。第４図には、本
発明による方法を実施するだめの装置により点Ｐにおい
て取出され得る測定信号Ｐ２が示さね、ている。本発明
による方法では、第５図に示されているように、サンプ
リングパルスＥＰが測定点における周期的信号ＳＩをサ
ンプリングする位相Ｉ）Ｉ−Ｔが、公知の方法について
第３図に示されているように大きなステップでステップ
状に変更されるのではｔ【（、周期的信号ＳＩの選び出
された個々の位相点において位相ＰＨがもつと長い時間
ｔにわたり一定にとどめられる。このことは、これらの
位相へが、信号ＳＩのこの位相点において測定点が有す
る１つの明確に定義された電位値を取得するｔ、ｌ／′
Ｉに、次々と複数回サンプリングされるととを意味する
。明確に定義された電位値Ｕが取得されるそれぞれ２つ
のとのような位相点の間では、測定技術的に識別可ＩＴ
ｒなすべての位相点がそれぞれ、これらの位相点に１つ
の擾乱信号ＳＰが存在するか否かが確認され得るまでの
みサンプリングされる。すなわち、周期的信号ＳＩのこ
れらの上記の位相点において、良好なＳＮ比の結果とし
て１つの明確に定義された電位値が出力端Ｕにおいて指
示され得る才でサンプリングされるのでは決してなく、
基本クロックＣＬの２つのクロック縁の卯の中間範囲内
に１つの擾乱信号が存在するか否かが出力端５１１−い
て指示さｈ７得る寸でのみサンプリングさね、る−０す
なわち、本発明による方法を実施する際には、擾乱信号
ＳＰの立上がりおよび立下がりが確認され得るような位
相点に丸・いても周期的信号ＳＩがサンプリングされる
。擾乱信号ＳＰの立上がり縁において一次電子すンプリ
ングパルスＥＰが測定点」二に侑突すれば、そね、に対
［７て測定信号Ｐ２内に本発明による方法では１つの相
応の正の信号が発生される。擾乱信号ＳＰの立下がり縁
においては同様な仕方で測定信号Ｐ２内に１つの負の信
号が発生される。測定信号Ｐ２は増幅器Ａ３内で増幅さ
れて、フリップフロップＰＬ、Ｆ２の縁制御されるセッ
ト入力端に導かれる。フリップフロップＦ１は擾乱信号
ＳＰの立−にかり縁において応動し、フリップフロップ
Ｆ２は擾乱信号ＳＰの立下がり縁において応動する。出
力端Ｕで、第２図による公知の方法の場合のように同一
のサンプリング時点で信号取得が行なわれる。基本クロ
ックＣＬの緑におけるこれらのサンプリング時点で信号
Ｓｒが公知のサンプリング法によりサンプリングされる
。すなわち信号ＳＴの１つの特定の位相点が次々と複数
回サンプリングされる。
うな改善が達「戊されるか、寸だこれらの改善がどのよ
うにして達成されるかが示されている。第４図には、本
発明による方法を実施するだめの装置により点Ｐにおい
て取出され得る測定信号Ｐ２が示さね、ている。本発明
による方法では、第５図に示されているように、サンプ
リングパルスＥＰが測定点における周期的信号ＳＩをサ
ンプリングする位相Ｉ）Ｉ−Ｔが、公知の方法について
第３図に示されているように大きなステップでステップ
状に変更されるのではｔ【（、周期的信号ＳＩの選び出
された個々の位相点において位相ＰＨがもつと長い時間
ｔにわたり一定にとどめられる。このことは、これらの
位相へが、信号ＳＩのこの位相点において測定点が有す
る１つの明確に定義された電位値を取得するｔ、ｌ／′
Ｉに、次々と複数回サンプリングされるととを意味する
。明確に定義された電位値Ｕが取得されるそれぞれ２つ
のとのような位相点の間では、測定技術的に識別可ＩＴ
ｒなすべての位相点がそれぞれ、これらの位相点に１つ
の擾乱信号ＳＰが存在するか否かが確認され得るまでの
みサンプリングされる。すなわち、周期的信号ＳＩのこ
れらの上記の位相点において、良好なＳＮ比の結果とし
て１つの明確に定義された電位値が出力端Ｕにおいて指
示され得る才でサンプリングされるのでは決してなく、
基本クロックＣＬの２つのクロック縁の卯の中間範囲内
に１つの擾乱信号が存在するか否かが出力端５１１−い
て指示さｈ７得る寸でのみサンプリングさね、る−０す
なわち、本発明による方法を実施する際には、擾乱信号
ＳＰの立上がりおよび立下がりが確認され得るような位
相点に丸・いても周期的信号ＳＩがサンプリングされる
。擾乱信号ＳＰの立上がり縁において一次電子すンプリ
ングパルスＥＰが測定点」二に侑突すれば、そね、に対
［７て測定信号Ｐ２内に本発明による方法では１つの相
応の正の信号が発生される。擾乱信号ＳＰの立下がり縁
においては同様な仕方で測定信号Ｐ２内に１つの負の信
号が発生される。測定信号Ｐ２は増幅器Ａ３内で増幅さ
れて、フリップフロップＰＬ、Ｆ２の縁制御されるセッ
ト入力端に導かれる。フリップフロップＦ１は擾乱信号
ＳＰの立−にかり縁において応動し、フリップフロップ
Ｆ２は擾乱信号ＳＰの立下がり縁において応動する。出
力端Ｕで、第２図による公知の方法の場合のように同一
のサンプリング時点で信号取得が行なわれる。基本クロ
ックＣＬの緑におけるこれらのサンプリング時点で信号
Ｓｒが公知のサンプリング法によりサンプリングされる
。すなわち信号ＳＴの１つの特定の位相点が次々と複数
回サンプリングされる。
基本クロックＣＬの縁と合致している２つのこのような
サンプリング時点の間に測定信号Ｐ２において少なくと
も２回の信号反転が生ずれば、両フリップフロップＦｘ
、Ｐ２がセットされる。その後に出力Ｓは、基本クロッ
クＣＬのクロック縁と合致している２つのこのようなサ
ンプリング時点の間に少なくとも１つの擾乱信号が生じ
ていることを指示する。シーケンス制御装置ＣＯＮは少
な（とも、信号ＳＩのサンプリングすべき位相点が反転
されるべき各クロック縁の後にフリップフロップＦ’ｌ
、Ｆ２をリセットしなければならない。
サンプリング時点の間に測定信号Ｐ２において少なくと
も２回の信号反転が生ずれば、両フリップフロップＦｘ
、Ｐ２がセットされる。その後に出力Ｓは、基本クロッ
クＣＬのクロック縁と合致している２つのこのようなサ
ンプリング時点の間に少なくとも１つの擾乱信号が生じ
ていることを指示する。シーケンス制御装置ＣＯＮは少
な（とも、信号ＳＩのサンプリングすべき位相点が反転
されるべき各クロック縁の後にフリップフロップＦ’ｌ
、Ｆ２をリセットしなければならない。
測定結果Ｕ２を得るためには、信号ＳＩの位相点が反転
されるべき基本クロックＣＬの各クロック縁の後に出力
端ＵＩ：おける信号とならんで擾乱信号指示Ｓも問合わ
せられなけね、ばならない。測定された状態ダイアグラ
ムＵ２の再現の際には、少なぐとも１つの擾乱信号が生
じている中７−ｆｆｉ 範囲は行別にマークされなけれ
ばならない。第４図では測定結果ＩＪ２において、ハツ
チングを施されている範囲に少なくとも１つの擾乱信号
が生じて因る。
されるべき基本クロックＣＬの各クロック縁の後に出力
端ＵＩ：おける信号とならんで擾乱信号指示Ｓも問合わ
せられなけね、ばならない。測定された状態ダイアグラ
ムＵ２の再現の際には、少なぐとも１つの擾乱信号が生
じている中７−ｆｆｉ 範囲は行別にマークされなけれ
ばならない。第４図では測定結果ＩＪ２において、ハツ
チングを施されている範囲に少なくとも１つの擾乱信号
が生じて因る。
第１図は本発明による方法を実施するための装置の一例
のブロック接続図、第２図は擾乱信書記録なしの公知の
方法により得られるタイムダイアゲラム、第３図は第２
図による公知の方法における測定値取得のだめの位相経
過を示す線図、第４図は第２図の信号と異なり擾乱信号
記録ありの本発明による方法により得ら稍、るタイムダ
イアダラム、第５図は本発明による方法における測定値
取得のための位相経過を示す線図である。 Ａ１−Ａ３・・増幅器、 ＢＰ・・電子線キーイング装
置、 ＣＬ・・基イ（クロック、ＣＯＮ・・シーケンス
制御装置、 ｌ’ＪＴ・・検出器、 ＰＩ、Ｆ２・フリ
ップフロップ、Ｉｉ’Ｌ・制御ループ、 Ｇ・・アンド
論理回路、 ＧＲ・・減速格子、 ＰＥ−次電子（ゾン
デ）、 ＰＲ・・試験対象回路、Ｓ・・擾乱信号指示、
ＳＥ・二次電子、 ＳＩＩ積分性回路、 Ｕ・出力端
。 ＩＧ １ ＩＧ２ Ｉ Ｐ υ１ １−ｍ− ＩＧ ４ ＩＧ５ を−一◆
のブロック接続図、第２図は擾乱信書記録なしの公知の
方法により得られるタイムダイアゲラム、第３図は第２
図による公知の方法における測定値取得のだめの位相経
過を示す線図、第４図は第２図の信号と異なり擾乱信号
記録ありの本発明による方法により得ら稍、るタイムダ
イアダラム、第５図は本発明による方法における測定値
取得のための位相経過を示す線図である。 Ａ１−Ａ３・・増幅器、 ＢＰ・・電子線キーイング装
置、 ＣＬ・・基イ（クロック、ＣＯＮ・・シーケンス
制御装置、 ｌ’ＪＴ・・検出器、 ＰＩ、Ｆ２・フリ
ップフロップ、Ｉｉ’Ｌ・制御ループ、 Ｇ・・アンド
論理回路、 ＧＲ・・減速格子、 ＰＥ−次電子（ゾン
デ）、 ＰＲ・・試験対象回路、Ｓ・・擾乱信号指示、
ＳＥ・二次電子、 ＳＩＩ積分性回路、 Ｕ・出力端
。 ＩＧ １ ＩＧ２ Ｉ Ｐ υ１ １−ｍ− ＩＧ ４ ＩＧ５ を−一◆
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １）ゾンデ（Ｐ Ｅ）を用いてサンプリング原理により
電気信号（Ｓ′Ｉ）を測定するため、信号（ＳＩ）が種
々の位相点においてそれぞれ次々と複数回サンプリング
される方法において、信号（ｓｒ）が電位測定のために
それぞれ次々と複数回サンプリングされる各２つの相続
く位相点の間でも、位相点においてサンプリングにより
、この中間範囲内に１つの擾乱信号（ｓ 、ｐ ）が存
在するがどうがのみが試験されることを特徴とする電気
信号の測定方法。 ２）回路（Ｐ Ｒ）の基本クロックＩ ＣＴ、 ）の立
上がりｉｔまゾこは立下がり縁と合致する信号（ＳＴ）
の位相点において、１つの付属の出力信号（Ｕ）を生ず
る電位測定が、次々と複数回行なわれるサンプリングに
より実行され、また１つの測定信号（Ｆ２）内で２つの
このような電位測定の間に生ずる少なくとも２つの信号
反転が１つの擾乱信号指示１）のアクティブ化に通ずる
ことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の方法。 ３）ゾンデ（ＰＦＪ）を用いてサンプリング原理により
電気的（Ｆ号（ＳＩ）ｆ測定するだめ、積分性回路（Ｓ
Ｈ）とその後に位置する電位測定信号出力端（Ｕ）と
を含んでいる装置において、この積分性回路（Ｓ Ｈ）
に対して並列に、２つの互いに並列に接続されており線
制御されるフリップフロップ（Ｆ’ｌ、Ｆ２）を有する
１つの装置が接続されており、一方のフリップフロップ
（Ｆｌ）は測定信号（Ｆ２）の立上がり縁において、ま
た他方のフリップフロップ（Ｆ２）はその立下がり縁に
おいてセットされ、また両フリップ７０ツブ（Ｆｌ。 Ｆ２）は、積分性回路（ＳＨ）内で電位を取得される測
定信号（Ｓｌ）の１つの位相点の各サンプリングの後に
シーケンス制御装置（ＣＯＮ）によりリセットされ、ま
たこれらの両フリップフロップ（Ｆｌ 、Ｆ２）の出力
が１つの論理演算装置（Ｇ ）に与えられ、この論理演
算装置（Ｇ ）の出力（Ｓ）が擾乱信号指示を与えるこ
とを特徴とする電気信号の測定装置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE19833334530 DE3334530A1 (de) | 1983-09-23 | 1983-09-23 | Verfahren zum raschen messen von elektrischen signalen an schaltungsknoten integrierter schaltungen, bei dem auch stoersignale erfasst werden, und vorrichtung zur durchfuehrung eines solchen verfahrens |
| DE3334530.9 | 1983-09-23 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6091275A true JPS6091275A (ja) | 1985-05-22 |
Family
ID=6209914
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59197731A Pending JPS6091275A (ja) | 1983-09-23 | 1984-09-20 | 電気信号の測定方法および装置 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4721855A (ja) |
| EP (1) | EP0135869B1 (ja) |
| JP (1) | JPS6091275A (ja) |
| AT (1) | ATE36198T1 (ja) |
| DE (2) | DE3334530A1 (ja) |
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| DE3866079D1 (de) * | 1987-09-30 | 1991-12-12 | Siemens Ag | Automatische frequenznachfuehrung bei korpuskularstrahlmessverfahren unter anwendung eines modulierten primaerstrahls. |
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| DE2813947C2 (de) * | 1978-03-31 | 1986-09-04 | Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München | Verfahren zur berührungslosen Messung des Potentialverlaufs in einem elektronischen Bauelement und Anordnung zur Durchführung des Verfahrens |
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| DE3040733A1 (de) * | 1980-10-29 | 1982-05-13 | Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München | Verfahren zur untersuchung einer auf einem halbleiterplaettchen integrierten schaltungsanordnung |
| DE3110140A1 (de) * | 1981-03-16 | 1982-09-23 | Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München | Vorrichtung und verfahren fuer eine rasche interne logikpruefung an integrierten schaltungen |
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| DE3235700A1 (de) * | 1982-09-27 | 1984-03-29 | Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München | Verfahren und vorrichtung zur aufzeichnung von signalverlaeufen an einer zyklisch betriebenen probe in abhaengigkeit von einem sporadisch auftretenen ereignis |
-
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-
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