JPS608956Y2 - スライシングマシンスピンドル - Google Patents
スライシングマシンスピンドルInfo
- Publication number
- JPS608956Y2 JPS608956Y2 JP1976067731U JP6773176U JPS608956Y2 JP S608956 Y2 JPS608956 Y2 JP S608956Y2 JP 1976067731 U JP1976067731 U JP 1976067731U JP 6773176 U JP6773176 U JP 6773176U JP S608956 Y2 JPS608956 Y2 JP S608956Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- hollow shaft
- bearing
- pulley
- inner diameter
- machine spindle
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C32/00—Bearings not otherwise provided for
- F16C32/06—Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings
- F16C32/0681—Construction or mounting aspects of hydrostatic bearings, for exclusively rotary movement, related to the direction of load
- F16C32/0696—Construction or mounting aspects of hydrostatic bearings, for exclusively rotary movement, related to the direction of load for both radial and axial load
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C32/00—Bearings not otherwise provided for
- F16C32/06—Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings
- F16C32/0603—Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings supported by a gas cushion, e.g. an air cushion
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
- Pulleys (AREA)
- Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
この考案は、スラストすきま調整が容易で性能及び生産
性がともに優れ、しかも耐久性が大きく、かつコンパク
トで低価格のシリコンウェハー素材切断用のスライシン
グマシンスピンドルに関するものである。
性がともに優れ、しかも耐久性が大きく、かつコンパク
トで低価格のシリコンウェハー素材切断用のスライシン
グマシンスピンドルに関するものである。
近時、集積回路基板となるシリコンウェハーは、その性
能向上のために逐次大型化の方向に進んでおり、ウェハ
ーの素材径は３インチ程度のものから６インチ程度のも
のまでが要求されるに至った。
能向上のために逐次大型化の方向に進んでおり、ウェハ
ーの素材径は３インチ程度のものから６インチ程度のも
のまでが要求されるに至った。
従って内径面に切削部を有する砥石を使用するスライシ
ングマシンスピンドルもこれに応じて大型化される一方
、切断面の品質向上のため砥石の振れを極小にすること
が要求される。
ングマシンスピンドルもこれに応じて大型化される一方
、切断面の品質向上のため砥石の振れを極小にすること
が要求される。
従来からスライシングマシンスピンドルの支持軸受には
ころがり軸受や静圧油軸受が使用されてきた。
ころがり軸受や静圧油軸受が使用されてきた。
ころがり軸受を使用した場合にはスピンドルの大型化に
つれて溝横振れの小さな高精度の軸受の製作が容易でな
く、得られても高価であった。
つれて溝横振れの小さな高精度の軸受の製作が容易でな
く、得られても高価であった。
更に、スピンドルの大型化、高速化に伴い軸受の精度寿
命や耐久寿命も短くなって耐久性に問題があった。
命や耐久寿命も短くなって耐久性に問題があった。
また、静圧油軸受で支承した場合には、ピンドルの大型
化、高速化につれて油の粘性係数が空気などの気体に比
べて大きいため駆動馬力がきわめて大きくなり、またそ
れによって発熱量も大きくなるばかりでなく、シールが
必要となり装置が複雑となり軸受の寸法や回転速度に大
きな制約を生じた。
化、高速化につれて油の粘性係数が空気などの気体に比
べて大きいため駆動馬力がきわめて大きくなり、またそ
れによって発熱量も大きくなるばかりでなく、シールが
必要となり装置が複雑となり軸受の寸法や回転速度に大
きな制約を生じた。
さらに、すきま調整、特にスラストすきま調整が困難で
あった。
あった。
また、支承軸受部の小型化のために、スライシング用砥
石を取付けた中空軸に小径部を設け、この部分に静圧油
軸受あるいはころがり軸受を取付けることも考えられる
が、シリコンウェハーの取出し装置などの構造に制約を
受は問題がある。
石を取付けた中空軸に小径部を設け、この部分に静圧油
軸受あるいはころがり軸受を取付けることも考えられる
が、シリコンウェハーの取出し装置などの構造に制約を
受は問題がある。
この考案は、長手方向にわたり同一内径を有する中空軸
を気体軸受で支承し、かつ鍔を一体に形成したプーリを
中空軸の一端に軸方向に位置決め可能に装着し、プーリ
の鍔をスラストすきま調整容易なスラスト軸受部とする
ことによって、上述の問題点を除去したものであって、
実施例を図面につき説明すると、中空軸１は全長にわた
って同−の内径を有し、一端に保持チャック２により、
スライシング砥石３を固着している。
を気体軸受で支承し、かつ鍔を一体に形成したプーリを
中空軸の一端に軸方向に位置決め可能に装着し、プーリ
の鍔をスラストすきま調整容易なスラスト軸受部とする
ことによって、上述の問題点を除去したものであって、
実施例を図面につき説明すると、中空軸１は全長にわた
って同−の内径を有し、一端に保持チャック２により、
スライシング砥石３を固着している。
前記スライシング砥石には内径面にシリコンウエノ＼−
用の切削部４が設けられている。
用の切削部４が設けられている。
さらに中空軸１を支承する気体軸受５は軸箱１３に収容
され、ラジアル軸受部６を有すると共に、中空軸１に形
成された鍔７との間及び中空軸１の他端に装着したプー
リ９の鍔１４との間にそれぞれスラスト軸受部８，８が
形成されている。
され、ラジアル軸受部６を有すると共に、中空軸１に形
成された鍔７との間及び中空軸１の他端に装着したプー
リ９の鍔１４との間にそれぞれスラスト軸受部８，８が
形成されている。
プーリ９の内径面は中空軸１の外径面に嵌挿され、プー
リの９のフランジと中空軸の端面にねじ込まれたボルト
１５により固定されているが、例えば中空軸端とプーリ
のフランジとの間に適宜の厚みの輪状物を介装すること
によって軸方向の位置決めが可能となり、スラストすき
まを所望の価にとることができるようになっている。
リの９のフランジと中空軸の端面にねじ込まれたボルト
１５により固定されているが、例えば中空軸端とプーリ
のフランジとの間に適宜の厚みの輪状物を介装すること
によって軸方向の位置決めが可能となり、スラストすき
まを所望の価にとることができるようになっている。
なお１０はラジアル軸受部６への給気溝、１１はスラス
ト軸受部８への給気溝、１２は排気孔である。
ト軸受部８への給気溝、１２は排気孔である。
プーリ９を介して中空軸１に回転が伝えられると図示し
ないシリコンウェハーは砥石３の切削部４によって切断
され、中空軸１の内径部を通って順次排出されるのであ
るが、試作した結果チャック２の径が４３０φ、中空径
３６５φのもので２５０Ｏｒ、ｐ。
ないシリコンウェハーは砥石３の切削部４によって切断
され、中空軸１の内径部を通って順次排出されるのであ
るが、試作した結果チャック２の径が４３０φ、中空径
３６５φのもので２５０Ｏｒ、ｐ。
ｍの高速が容易に得られた。
この際、スピンドルの回転横振れは０．００５ｒｒＩＪ
ｎ以下、温度上昇は１０℃以下であり、駆動馬力は１．
５ｂであった。
ｎ以下、温度上昇は１０℃以下であり、駆動馬力は１．
５ｂであった。
この考案は、気体軸受を使用して中空軸１を支承し全長
にわたり同一内径とし、かつ鍔１４を一体に設けたプー
リ９を中空軸１の一端に位置決め可能に装着し、プーリ
の鍔をスラストすきま調整容易なスラスト軸受部とした
ので ■ 形状が単純であり、部品点数も少くさらにスラスト
すきまの調整が容易となり、さらに組立や調整も容易で
ある。
にわたり同一内径とし、かつ鍔１４を一体に設けたプー
リ９を中空軸１の一端に位置決め可能に装着し、プーリ
の鍔をスラストすきま調整容易なスラスト軸受部とした
ので ■ 形状が単純であり、部品点数も少くさらにスラスト
すきまの調整が容易となり、さらに組立や調整も容易で
ある。
また大型スピンドルの場合は結局低価格となる。
■ 中空軸は、全長にわたって同一内径を有するので、
シリコンウェハーの取出し装置の設置が容易となる。
シリコンウェハーの取出し装置の設置が容易となる。
■ 中空軸の重量が軽減され、しかも中空軸の剛性が大
きいので気体軸受の弱点がカバーされる。
きいので気体軸受の弱点がカバーされる。
■ 軸受面積が大きくとれるばかりでなく、気体軸受の
ためシールが不要となリプーリがスラスト軸受部をかね
ることができスピンドル自体が軸方向に短くなり、その
分だけコンパクトになる。
ためシールが不要となリプーリがスラスト軸受部をかね
ることができスピンドル自体が軸方向に短くなり、その
分だけコンパクトになる。
しかも中空軸であるため、気体軸受であっても負荷容量
的には十分である。
的には十分である。
■ 横振れは、部品精度の誤差が気体潤滑膜によって平
均化されるため精度に悪影響を与えることが少く、部品
精度以上に良好となり高精度が得られる。
均化されるため精度に悪影響を与えることが少く、部品
精度以上に良好となり高精度が得られる。
また軸受に摩耗部分がないのでこの初期精度はいつまで
も保持される。
も保持される。
■ 軸受面積が大きくとれ、しかも中空軸であるため、
気体軸受であっても負荷容量的には十分である。
気体軸受であっても負荷容量的には十分である。
■ 摩擦損失がきわめて小さいので、比較的小さな駆動
力によって高速回転が得られる。
力によって高速回転が得られる。
■ 高速回転時において発熱量がきわめて小さい。
■ 従って大型で高速のピンドルが比較的容易に得られ
る。
る。
［相］ 摩耗部分がないので耐久寿命がきわめて大であ
る などの多くの優れた効果を奏する。
る などの多くの優れた効果を奏する。
この考案の実施例の部分断面図である。
１・・・・・・中空軸、２・・・・・・チャック、３・
・・・・・砥石、４・・・・・・切削部、５・・・・・
・気体軸受、９・・・・・・プーリ、１４・・・・・・
プーリの鍔。
・・・・・砥石、４・・・・・・切削部、５・・・・・
・気体軸受、９・・・・・・プーリ、１４・・・・・・
プーリの鍔。
Claims (1)
- 内径面に切削部を有するシリコンウェハー用スライシン
グ砥石を保持するチャックを中空軸の一端に設け、該中
空軸を気体軸受により支承するとともに、プーリを介し
て中空軸に回転が伝えられるようにしたスライシングマ
シンスピンドルにおいて、中空軸を全長にわたって同一
内径に形威し、かつ鍔を一体に設けたプーリを中空軸の
他端に軸方向に位置決め可能に装着し、該プーリの鍔を
スラストすきま調整可能なスラスト軸受部としたスライ
シングマシンスピンドル。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1976067731U JPS608956Y2 (ja) | 1976-05-28 | 1976-05-28 | スライシングマシンスピンドル |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1976067731U JPS608956Y2 (ja) | 1976-05-28 | 1976-05-28 | スライシングマシンスピンドル |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS52159478U JPS52159478U (ja) | 1977-12-03 |
| JPS608956Y2 true JPS608956Y2 (ja) | 1985-03-30 |
Family
ID=28534758
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1976067731U Expired JPS608956Y2 (ja) | 1976-05-28 | 1976-05-28 | スライシングマシンスピンドル |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS608956Y2 (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5143492B2 (ja) * | 1972-10-16 | 1976-11-22 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5815067Y2 (ja) * | 1974-09-26 | 1983-03-26 | 豊田工機株式会社 | シユジクソウチ |
-
1976
- 1976-05-28 JP JP1976067731U patent/JPS608956Y2/ja not_active Expired
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5143492B2 (ja) * | 1972-10-16 | 1976-11-22 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS52159478U (ja) | 1977-12-03 |
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