JPS6088343A - レンズの偏心測定機 - Google Patents

レンズの偏心測定機

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JPS6088343A
JPS6088343A JP19570283A JP19570283A JPS6088343A JP S6088343 A JPS6088343 A JP S6088343A JP 19570283 A JP19570283 A JP 19570283A JP 19570283 A JP19570283 A JP 19570283A JP S6088343 A JPS6088343 A JP S6088343A
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JP
Japan
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optical axis
half mirror
lens
mirror
reflected
Prior art date
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Application number
JP19570283A
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English (en)
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JPH0354287B2 (ja
Inventor
Hiroshi Mizutani
寛 水谷
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Mitsutoyo Manufacturing Co Ltd
Original Assignee
Mitsutoyo Manufacturing Co Ltd
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Publication date
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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01MTESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01M11/00Testing of optical apparatus; Testing structures by optical methods not otherwise provided for
    • G01M11/02Testing optical properties
    • G01M11/0221Testing optical properties by determining the optical axis or position of lenses
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/26Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring angles or tapers; for testing the alignment of axes

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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 この発明はレンズの偏心測定13Mの改良に関する。
光軸に対するレンズ表面の円弧中心軸のずれ、あるいは
鏡筒に対するずれ等を測定するための従来の偏心測定機
の一つとして、第1図に示されるようなものがある。
このレンズの偏心測定機は、基本光軸10上に、被検レ
ンズ12、対物レンズ14、第1のハーフミラ−16及
び該第1のハーフミラ−16に対して進退自在の反射鏡
18をこの順で配置すると共に、前記第1のハーフミラ
−16上で前記基本光軸10と交差する観測側光軸20
上に、第2のハーフミラ−22及び目盛24を配置し、
該観測側光@20の側方から前記第2のハーフミラ−2
2に、ターゲット126を投射して前記第1のハーフミ
ラ−16方向に前記観測側光軸20に沿って反射させ、
更に該第1のハーフミラ−16により、前記基本光軸1
0に沿って前記反射鏡18方向に反則させ、この反射鏡
18によって反射された後、前記第1のハーフミラ−1
6で反射され、第2のハーフミラ−22を透過する光路
を通って前記目盛24上に第1のターゲラ1−像を結像
させ、前記第1のハーフミラ−16及び対物レンズ14
を透過して、前記被検レンズ12表面で反射され、更に
該対物レンズ14、第1のハーフミラ−16を透過して
前記反射鏡18で反射された後、前記第1のハーノミラ
ー16で反射され、第2のハーフミラ−22を透過する
光路を通って、前記目盛24上に第2のターゲツト像を
結像さゼ、これ・ら第1及び第2のターゲツト像のずれ
量により被検レンズ12の偏心を測定するものがある。
ここで、前記反tA鏡18はコーナーキューブ18A及
び平面反射IN 18 Bとから構成されている。
又、前記被検レンズ12と対物レンズ14の基通った前
記ターゲツト像が被検レンズ12表面の曲率中心12A
の位置に結像するようにされている。
図の符号28は接眼レンズ、29(ユターグツ1〜(f
d 26の照明ランプをそれぞれ示覆。
この偏心測定機においては、前記コーナーキューブ18
Aを平面反射鏡18 B及び対物レンズ14に対して基
本光軸10に沿って進退させることにより、目盛24に
第1及び第2のターゲツト像が結像できるように調整さ
れるものである。
このとき、コーナーキューブ18Aによる調整可能範囲
は対物レンズ゛14の焦点距離により決定されるが、同
時に、観測側光軸20上の光路では、コーナーキューブ
18Aによる調整か不能であるので、これによっても、
調整可能範囲が狭められ、従って、この偏心測定機によ
る測定範囲が制約されてしまうという問題点がある。
又、対物レンズ14の倍率によつ工、目盛24における
偏心角度の読みが変わってしまうというnr+ ei 
IJ5素、焦ス 更に、コーナーキューブ18Aを含む反射鏡18は、製
造コストが高いと共に、重吊増人、取付調整に手数を要
するという問題点がある。
この発明は上記問題点に鑑みてなされたものであって、
測定範囲を大幅に拡大できると共に、対物レンズの倍率
により目盛の角度の読みが変わらないようにしたレンズ
の偏心測定nを提供することを目的とする。
又この発明は重量、取付調整の手数及び製造コストを低
減できるようにしたレンズの偏心測定機を提供すること
を目的とする。
この発明は、上記のようなレンズの偏心測定係において
、前記観測側光軸上の、前記第1のハーフミラ−と第2
のハーフミラ−との間の位置に、コリメータレンズを、
又、前記基本光軸上の、前記第1の前記ターゲツト像を
、前記第1のハーフミラ−から見て第1の対物レンズと
反対側の基本光軸上にリレー結像させる第2の対物レン
ズを、それぞれ配置することにより上記目的を達成する
ものである。
又この発明は、上記のようなレンズの偏心測定1幾にお
いて、前記観測側光軸上の、前記第1のハーフミラ−と
第2のハーフミラ−との間の位置に、コリメータレンズ
を、又、前記基本光軸上の、前記第1の前記ターゲツト
像を、前記第1のハーフミラ−から見て第1の対物レン
ズど反対側の基本光軸上にリレー結像させる第2の対物
レンズを、それぞれ配置し、且つ、前記反射鏡を基本光
軸と直交する反射面を備えた平面鏡とすると共に、前記
対物レンズと被検レンズ間の光路を両者間に介在された
第3のハーフミラ−を介して、前記基本光軸の側方に外
して設け、且つ、前記基本光軸上における前記対物レン
ズ′の前記第3のハーフミラ−側の焦点位置に、前記平
面鏡の反射面の前記基本光軸に対する直交度を確認する
モニタ手段を設(ブることにより上記目的を達成するも
のである。
この発明においては、ターゲツト像が基本光軸上で、第
1のハーフミラ−から見て反61 tit側の位置でリ
レー結像され、これが前記従来の偏心測定(縦にお(プ
るターゲットに代替され、これにより前記反射鏡による
調整範囲即ち測定範囲が拡大されるものである。
又、第2シを明においては、前記反射鏡が単一の平面反
射鏡とされると共に、この平面反射鏡の基本光軸に対す
る直交度はモニタ手段によって調整f[認される。
以T本光明の実施例を図面を参照して説明する。
この実施例において、前記第1図に示された従来のレン
ズの偏心測定鵬におけると同−又は相当部分には第1図
と同一の符号を則することにより説明を省略するものと
する。
この実施例は、第2図に示されるように、基本光軸10
上に、被検レンズ12、対物レンズ14、第1のハーフ
ミラ−16及び該第1のハーフミラ−16に対して進退
自在の反射鏡18をこの順で配置すると共に、前記第1
のハーフミラ−16上で前記基本光軸10と交差する観
測側光軸20上に、第2のハーフミラ−22及び目盛2
4を配置し、該観測側光軸20の側方から前記第2のハ
ーフミラ−22に、ターゲット26を照射して前記第1
のハーフミラ−16方向に前記観測側光軸20に治って
反射させ、更に該第1のハーフミラ−16により、前記
基本光軸10に沿って前記反射鏡18方向に反射さヒ、
この反Q:J鏡18によ一つ工反射された後、前記第1
のハーフミラ−16及び対物レンズ14を透過して、前
記被検レンズ12表面−ξ反則され、更に該対物レンズ
14、第1のハーノミラー16を透過して前記反6’1
4118で反則された後、前記第1のハーフミラ−16
で反射され、第2のハーフミラ−22を透過する光路を
通って、前記目盛24上にターグツ1〜像を結像させ、
このターゲツト像の光軸に対するずれ聞により池倹レン
ズ12の偏心を測定するレンズの偏心測定(幾において
、前記観測側光軸20上の、前記第゛1のハーフミラ−
16と第2のハーフミラ−22どの間の位置に、コリメ
ータレンズ30を、又、前記基本光軸10上の、前記第
1のハーフミラ−16と反射鏡18の間の位置に、前記
ターグツ]・像を、前記W′41のハーフミラ−16か
ら見て第1の対物レンズ14と反対側の基本光軸10上
にすレー結像さゼる第2の対物レンズ32を、それぞれ
配置したものである。
即ち、この実施例にJjいては、観測側光軸20上の第
2のハーフミラ−22に投射されたターゲット26は、
該第2のハーフミラ−22で第1のハーフミラ−16方
向に反射され、コリメータレンズ28を通ることにより
収束方向に屈折され、この状態で第1のハーフミラ−1
6で反射されて第2の対物レンズ32により、該第2の
対物レンズ32の基本光軸10上の焦点30A又はその
前後位置にリレーvi像されるようにしたものである。
即ち、このリレー結像の点は、前記第1図に示される従
来のレンズの偏心測定機におけるターゲット26の位置
と同等になる。
従って、反射鏡18の可動調整範囲内に、前記従来の偏
心測定機における観測側光軸20上の光路部分が入り、
測定範囲は大幅に拡大されることになる。
又、目盛24に結像されるターゲツト像の倍率も対物レ
ンズ゛14のイ6率によって左右されないために、目盛
24における角度の読みが変わるという煩しさは解消さ
れる。
次に第3図に示される第2光明の実施例につき説明りる
この実施例は、前記第1発明の実施例におけるコーナー
キューブ+8A及び平面反射鏡18 Bににつて偶成さ
れる反射鏡18を、1枚の平面反射lJt 18 Cに
変えると共に、この平面層!)lleft 18 Cの
反則面と前記基本光軸10との直交度を確認するための
モニタ手段34を設けたものである。
即ち、この実施例は、前記反射1118を基本光軸10
と直交する反則面を帷えた平面鏡18Cとリ−ると共に
、前記対物レンズ14と被検レンズ12の間の光路を両
者間に介在された第3のハーフミラ−36を介して、前
記基本光軸10の側方に外して設け、且つ、前記基本光
軸10上における+VJ記対1カレンズ14の前記第3
のハーフミラ−36側の焦点14Aの位置に、前記平面
鏡18Cの反射面の前記基本光軸10に対づる直交度を
確認づるモニタ手段34を設けたものである。
このモニタ手段34は、前記基本光軸1oと45°の角
度をなす反射面を有するアライメントハーフミラ−34
△と、このフライメン1〜ハーフミラ−34Aによって
反射される光路上にあり、前記対物レンズ14の焦点1
4Aと共役な位置に置かれたモニタ接眼レンズ34Bと
、オー]−コリメーション系の照明ランプ34Cと、が
らなり、このしニタ接眼レンズ34Bが6オートコリメ
ーシヨンの原理によりアライメントハーフミラ−34A
をモニタ観測することによって、平面反射鏡18Cの反
o′Jtiと基本光軸1oのずれ即ち、平面反射鏡18
Gの反射面と基本光軸1oの直交度を確認するものであ
る。
この実施例においては、前述の如く、測定範囲が大幅に
拡大されると共に、従来のコーナーキューブ+8A及び
平面反射鏡18Cからなる反射鏡を、1枚の平面反射鏡
18Gに@換えることによって、そのコスト及び重量が
低減され、且つ、取イ」け調整を容易とすることができ
る。
なお、ト霧11暢1の−T−−々壬印りA1邊→−に1
リメーシヨンの原理を利用するものであるが、本発明は
これに限定されるしのでなく、平面反射鏡18Cの基本
光軸10に対する直交度を−しニタできるものであれば
よい。
本発明は上記のように偶成したので、レンズの晴心測定
機におけるall定範囲を大幅に拡大することができる
という優れた効果を有する。
又、上記のように構成したので、レンズの偏心測定機に
おける測定範囲を大幅に拡大することができると共に、
重量、コスト及び相イ」けの手数を低減することができ
るという優れた効果を右ツる。
【図面の簡単な説明】
第1図は従来のレンズの偏心測定機にJjける光学系を
示す゛光路図、第2図は本発明に係るレンズの偏心測定
機の実施例を示す光路図、第3図は同第2実施例を示す
光路図である。 10・・・基本光軸、 12・・・被検レンズ、 14・・・対物レンズ、 16・・・第1のハーフミラ−1 18・・・反射鏡、 18A・・コーナーキューブ、 18B、18C・・・平面反射鏡、 20・・・観測側光軸、 22・・・第2のハーフミラ−1 271・・・目盛、 26・・・ターゲット、 2B・・・コリメータレンズ、 30・・・第2の対物レンズ、 34・・・モニタ手段、 3G・・・第3のハーフミラ−0 代理人 松 山 圭 佑 (ほか1名) 188 11=lハ @3図

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)基本光軸上に、被検レンズ、対物レンズ、第1の
    ハーフミラ−及び該第1のハーフミラ−に対して進退自
    在の反tA鏡をこの順で配置すると共に、前記第1のハ
    ーフミラ−上で前記基本光軸と交差する観測側光軸上に
    、第2のハーフミラ−及び目盛を配置し、該観測側光軸
    の側方から前記第2のハーフミラ−に、ターゲットを照
    射して前記第1のハーフミラ一方向に前記観測側光軸に
    治って反射さゼ、更に該第1のハーフミラ−により、前
    記基本光軸に沿って前記反射鏡方向に反射させ、この反
    射鏡によって反射された後、前記第1のハーフミラ−及
    び対物レンズを透過して、前記被検レンズ表面で反射さ
    れ、更に該対物レンズ、第1のハーフミラ−を透過して
    前記反射鏡で反射された後、前記第1のハーフミラ−で
    反射され、第2鳥上り−ゲツト像を桔象させ、このター
    グツ1〜1g!の光軸に刻づ”るずれ扮により被検レン
    ズの偏心を測定するレンズの偏心測定機において、前記
    観測側光軸上の、前記第1のハーフミラ−と第2のハー
    フミラ−との間の位置に、コリメータレンズを、又、前
    記基本光軸上の、前記第1のハーフミラ−と反射鏡の間
    の位置に、前記ターゲット(6!を、前記第1のハーフ
    ミラ−から見て第1の対物レンズと反対側の基本光軸上
    にリレー結像させる第2の対物レンズを、それぞれ配置
    してなるレンズの偏心測定似。
  2. (2)基本光軸上に、被検レンズ、対物レンズ、第1の
    ハーフミラ−及び該第1のハーフミラ−に対して進退自
    在の反射鏡をこの順で配置jると共に、前記第1のハー
    フミラ−上で前記基本光軸と交着する観測側光軸上に、
    第2のハーフミラ−及び目盛を配置し、該観測側光軸の
    側方から前記第2のハーフミラ−に、ターゲットを照射
    して前記第1のハーフミラ一方向に前記観測側光軸に冶
    つブー内++羽 田−葉を憤1小ハ 1で二 −kh前
    記基本光軸に沿って前記反1lFl鏡方向に反射させ、
    この反射鏡によって反則された後、前記第1のハーフミ
    ラ−及び対物レンズを透過じて、前記被検レンズ表面で
    反射され、更に該対物レンズ、第1のハーフミラ−を透
    過して前記反射鏡で反射された後、前記第1のハーフミ
    ラ−で反射され、第2のハーフミラ−を透過する光路を
    通って、前記目盛上にターゲツト像を結像さulこのタ
    ーゲツト像の光軸に対するずれ量により被検レンズの偏
    心を測定するレンズの偏心測定機において、前記観測側
    光軸上の、前記第1のハーフミラ−と第2のハーフミラ
    −との間の位置に、コリメータレンズを、又、前記基本
    光軸上の、前記第1のハーフミラ−と反射鏡の間の位置
    に、前記ターゲツト像を、前記第1のハーフミラ−から
    見て第1の対物レンズと反対側の基本光軸上にリレー結
    像させる第2の対物レンズを、それぞれ配置し、且つ、
    前記反射鏡を基本光軸と直交する反射面を備えた平面鏡
    とづると共に、前記対物レンズと被検レンズ間の光路を
    両者間に介在された第3のハーフミラ−を介して、前記
    基本光軸の側方に外して設け、且つ、前記基本光軸上に
    おける前記対物レンズの前記第3のハーフミラ−側の焦
    点位置に、前記平面鏡の反射面の前記基本光軸に対する
    直交1褒を確認するモニタ手段を設けてなるレンズの偏
    心測定機。
JP19570283A 1983-10-19 1983-10-19 レンズの偏心測定機 Granted JPS6088343A (ja)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7511803B2 (en) 2004-05-28 2009-03-31 Canon Kabushiki Kaisha Method for displaying result of measurement of eccentricity

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS53106155A (en) * 1977-02-28 1978-09-14 Nippon Chemical Ind Autoocollimater

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