RU1783293C - Двухкоординатное оптическое измерительное устройство - Google Patents

Двухкоординатное оптическое измерительное устройство

Info

Publication number
RU1783293C
RU1783293C SU904858217A SU4858217A RU1783293C RU 1783293 C RU1783293 C RU 1783293C SU 904858217 A SU904858217 A SU 904858217A SU 4858217 A SU4858217 A SU 4858217A RU 1783293 C RU1783293 C RU 1783293C
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
lenses
standard
eyepiece
size
possibility
Prior art date
Application number
SU904858217A
Other languages
English (en)
Inventor
Евгений Григорьевич Делеур
Лев Васильевич Кузьмин
Анатолий Филиппович Фомочкин
Original Assignee
Институт Проблем Прочности Ан Усср
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Институт Проблем Прочности Ан Усср filed Critical Институт Проблем Прочности Ан Усср
Priority to SU904858217A priority Critical patent/RU1783293C/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU1783293C publication Critical patent/RU1783293C/ru

Links

Landscapes

  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)

Abstract

Изобретение относитс  к измерительной технике и может быть использовано дл  бесконтактного контрол  размеров деталей в процессе их изготовлени , а также дл  измеренных деформации деталей (образцов ), наход щихс  под нагрузкой. Цель изобретени  - расширение функциональных возможностей устройства путем обеспечени  измерений в произвольно ориентированной плоскости Устройство содержит последовательно установленные осветитель , четыре функционально попарно объединенных и расположенных в одной плоскости объектива, общий коллиматор- ный объектив, измерительную шкалу и окул р . Объективы одной из пар могут перемещатьс  один относительно другого по одной из координатных осей и могут совместно перемещатьс  вдоль второй координатной оси. Объективы второй пары установлены с возможностью совместного перемещени  в направлении, ортогональном направлению перемещени  первых двух объективов и с возможностью независимого перемещени  объективов в двух взаимно ортогональных направлени х. При тарировке устройства перемещением объективов добиваютс  совмещени  фокусов объективов с границами эталонного объекта . При этом в поле зрени  окул ра наблюдают равномерно свет щийс  фон. При замене эталонного объекта на контролируемый , регистр которого не совпадает с размерами эталона, в поле зрени  окул ра наблюдают изображение либо светлой, либо темной вертикальной или горизонтальной полосы соответственно. Светла  полоса возникает, если измер емый размер меньше размера эталона, темна  - больше размера эталона. Измер ют ширину полос по измерительной шкале, определ ют величины отклонений от эталона и вычисл ют контролируемые размеры. 1 п. ф. 1 ил. V4 00 СО ьо о СА

Description

Предлагаемое устройство относитс  к оптическим измерительным приборам, в частности к приборам дл  линейных измерений . Оно может быть использовано дл  бесконтактного контрол  размеров деталей в процессе их изготовлени , а также дл  измерени  деформаций деталей (образцов), наход щихс  под нагрузкой
Оптические приборы дл  линейных измерений широко известны. Это проекторы, микроскопы и другие. В них объектив создает увеличенное изображение объекта измерений , которое сравниваетс  с эталонной шкалой. Изображение и шкала рассматриваютс  либо непосредственно глазом, либо через окул р.
Недостатком известных устройств  вл етс  зависимость точности измерений от диапазона измерений. Обусловлено это тем, что в них диапазон измерений не превышает линейного пол  зрени  оптической системы, которое определ етс  увеличением последней, При возрастании увеличени  пропорционально падает ее поле зрени . Следовательно, чем больше точность измерени  (больше увеличение), тем меньше поле зрени  (диапазон измерений).
Наиболее близким по технической сущности и достигаемому эффекту к изобретению  вл етс  двухкоординатное оптическое измерительное устройство, содержащее последовательно установленные источник излучени , пропорциональную оптическую систему, выполненную в виде трех объективов, два из которых установлены с возможностью взаимно соосных перемещений в плоскости перпендикул рной оси измерени , а третий - в ходе измерени  на его оси за первыми двум  объективами, измерительную шкалу и окул р . Описанное устройство обеспечивает измерени  лишь по одной координате. Однако в р де случаев, например, при измерении деформации объективов (образцов), подвергаемых в процессе испытаний механическому и тепловому нагружению, перемещение объекта обеспечить практически невозможно. Поэтому указанное техническое решение имеет ограниченные функциональные возможности.
Целью изобретени   вл етс  расширение функциональных возможностей устройства путем обеспечени  измерений в произвольно ориентированной плоскости.
Указанна  цель достигаетс  тем, что в известном оптическом измерительном устройстве , содержащем последовательно установленные источник излучени , проекционную оптическую систему, выполненную в виде трех объективов, два из которых установлены с возможностью взаимно соосных перемещений в плоскости, перпендикул рной оси измерени , а третий - в ходе измерени  на его оси за первыми двум  объективами, согласно изобретению устройство снабжено двум  дополнительными объективами, установленными в одной плоскости с первыми двум  объективами и с возможностью совместного перемещени  пары дополнительных объективов в направлении , ортогональном направлению перемещени  первых двух объективов в двух взаимно ортогональных направлени х.
С целью измерени  малых объектов подвижные объективы выполнены децентри- ро ванными.
При этом устройство содержит по сути четыре объектива с подвижным компонентом вместо одного объектива. Пол  зрени  объективов совмещены, а каждый объектив
строит изображение только границы объекта , а не всего объекта, что позвол ет расширить диапазон измерений. Диапазон измерений определ етс  не увеличением оптической системы, а величиной диамет0 ров коллиматорных объективов, что позвол ет повысить увеличение оптической системы и, как следствие, повысить точность измерений.
В предлагаемом устройстве оптическа 
5 система обеспечивает получение регистрации изменени  положени  объекта путем локального увеличени  границ объекта, например , образца, подвергаемого механическому и тепловому нагружению.
0 Схема устройства представлена на фиг.1. Оно состоит из осветител  1 и измерительного устройства 2, между которыми установлен объект измерений 3, например, образец дл  испытаний на термическую ус5 талость. Причем ось образца 3 перпендику- л рна оптической оси. Образец 3 установлен в захватах установки дл испытаний на термоусталость (на чертеже не показана ).
0 Измерительное устройство 2 содержит общий коллиматорный объектив 4, перед которым в параллельном ходе лучей размещены четыре коллиматорных объектива 5, 6, 7, 8, измерительную шкалу 9 и окул р 10. Оп5 тические оси всех объективов параллельны. Объективы 5, б и 7, 8 функционально объединены в пары и установлены в направл ющих , обеспечивающих их перемещение в плоскости, перпендикул рной оптической
0 оси, в направлени х осей координат X и Y. Диаметры объективов пар 5, 6 и 7, 8 меньше диаметра объектива 4.
Объективы 5, 6 образуют первую пару и обеспечивают измерение размеров вдоль
5 оси X. Каждый объектив этой пары может перемещатьс  относительно друг друга вдоль оси X и оба объектива пары могут перемещатьс  совместно вдоль оси Y.
Объективы 7, 8 образуют вторую пару и
0 обеспечивают измерение размеров вдоль оси Y. Каждый объектив этой пары может перемещатьс  вдоль осей X и Y независимо друг от друга. Дл  обеспечени  возможности измерени  малых размеров объективы
5 5, б, 7, 8 выполнены децентрированными. Величина децентровки выбираетс  исход  из возможности совмещени  фокусов объективов пар 5, б и 7, 8 при минимальном рассто нии между объективами. При этом фокусы объективов 5, 6, 7, 8 расположены в
одной плоскости,  вл ющейс  предметной плоскостью измерительного устройства.
Устройство работает следующим образом .
Предварительно провод т его тарировку . Дл  этого после включени  осветител  1 в предметной плоскости измерительного устройства 2 устанавливают эталонный объект 3 (образец) с аттестованными размерами а и в, соответствующими номинальным измер емым размерам. При этом объективы 5, 6, 7, 8 формируют парал-, лельные световые пучки от объекта измерений 3, поступающие в общий объектив 4 и образующие в плоскости эталонной шкалы 9 (фокальной плоскости объектива 4) четыре теневых изображени  четырех границ объекта измерени  3, налагаемых друг на друга. Перемещением объективов 5 и 6 вдоль оси X и 7 и 8 вдоль оси Y фокусы этих объективов совмещают с границами эталона. При этом в поле зрени  наблюдаетс  равномерно свет щийс  фон, так как границы теневых изображений от каждого объектива пары соприкасаютс , а светлые и темные части изображений накладываютс  одно на другое . Наблюдение пол  производитс  через окул р 10.
После этого в предметной плоскости измерительного устройства устанавливают измер емый объект 3 и наблюдают через окул р 10 картину в поле зрени .
Если размеры а или в измер емого объекта 3 не совпадают с размерами эталона , в поле зрени  окул ра 10 наблюдаетс  изображение либо светлой, либо темной вертикальной или горизонтальной полосы соответственно. Светла  полоса наблюдаетс , если измер емый размер меньше размера эталона, темна  - больше размера эталона, Измерив ширину полосы по изме- рителъной шкале 9, определ ют величину отклонени  от эталона и вычисл ют измер емый размер.
Совместное перемещение объективов 5,6 или 7,8 вдоль координатных осей позвол ет производить измерение размеров в различных сечени х измер емых образцов.
Наблюдаема  картина пол  зрени  не зависит от измер емого размера, т.е. от рассто ни  между фокусами объективов пары, а определ етс  только отступлением измер емого размера от эталонного. Погрешность измерени  определ етс  только 5 увеличением оптической системы, а диапазон измерений - световыми диаметрами объективов 4, 5,6,7, 8. Чем больше разность световых диаметров общего объектива 4 и объективов пар 5, 6 и 7, 8, тем больше диа0 пазон измерений, так как изображение в поле зрени  окул ра 10 формируетс  только при перемещении объективов пар 5, 6 и 7, 8 в пределах светового отверсти  объектива 4. При этом погрешность измерений остает5 с  практически посто нной в пределах всего диапазона измерений, что  вл етс  техническим преимуществом данного устройства . При этом диапазон измерений данного устройства в сравнении с прототипом
0 при одинаковом или даже большем увеличении значительно больший, т.е. при большем диапазоне измерений точность предложенного устройства выше.

Claims (1)

  1. По сравнению с прототипом предло5 жеиное устройство имеет более широкие функциональные возможности. Формула изобретени  Оптическое измерительное устройство, содержащее последовательно установлен0 ные источник излучени , проекционную оптическую систему, выполненную в виде трех объективов, два из которых установлены с возможностью взаимно соосных перемещений в плоскости, перпендикул рной оси из5 лучени , а третий в ходе излучени  на его оси за первыми двум  объективами, измерительную шкалу и окул р, отличающее- с   тем, что, с целью расширени  функциональных возможностей устройства путем
    0 обеспечени  измерений в произвольно ориентированной плоскости, оно снабжено двум  дополнительными объективами, установленными в одной плоскости с первыми двум  объективами и с возможностью со5 вместного перемещени  пары дополнительных объективов, в направлении, ортогональном направлению перемещени  первых двух объективов, и с возможностью независимого перемещени  объективов в
    0 двух взаимно ортогональных направлени х.
    ВиЗ Д
    8
SU904858217A 1990-08-08 1990-08-08 Двухкоординатное оптическое измерительное устройство RU1783293C (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU904858217A RU1783293C (ru) 1990-08-08 1990-08-08 Двухкоординатное оптическое измерительное устройство

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU904858217A RU1783293C (ru) 1990-08-08 1990-08-08 Двухкоординатное оптическое измерительное устройство

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU1783293C true RU1783293C (ru) 1992-12-23

Family

ID=21531564

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU904858217A RU1783293C (ru) 1990-08-08 1990-08-08 Двухкоординатное оптическое измерительное устройство

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU1783293C (ru)

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Воронцов Л.Н Фотоэлектрические системы контрол линейных величин. М.; Машиностроение, 1965, с.179-181, фиг.127. *

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4703434A (en) Apparatus for measuring overlay error
US7342666B2 (en) Method and apparatus for measuring holding distortion
JPH02161332A (ja) 曲率半径測定装置及び方法
US4359282A (en) Optical measuring method and apparatus
US10739125B2 (en) Precision measurement system using interferometer and image
US2484103A (en) Projection comparator for objects in relation to spaced drawings or reticles
US5075560A (en) Moire distance measurements using a grating printed on or attached to a surface
RU1783293C (ru) Двухкоординатное оптическое измерительное устройство
KR102246791B1 (ko) 포커싱 및 레벨링 장치
US3669530A (en) Lens for target image displacement in a lens measuring instrument
US20240085271A1 (en) Measuring apparatus and method for measuring a modulation transfer function of an afocal optical system
US3347130A (en) Optical measuring instruments
JP7260120B2 (ja) 瞳レンズ測定装置及び測定方法
US4040746A (en) Optical congruence comparator
US3580682A (en) Method and stereoscopic optical apparatus for determining the roughness of the surfaces of machined parts
US3535042A (en) Optical gage
JP2544389B2 (ja) レンズ中心厚測定装置
JP3750259B2 (ja) 画像検査・測定装置
JP2005003667A (ja) 基準軸設定光学系、並びにこれを用いた偏心量測定機及び偏心測定方法
JP2672771B2 (ja) 貫通孔の内径測定装置
JPH06174451A (ja) ニュートンゲージによる測定方法
JPH043291Y2 (ru)
Wyant 1.0 measurement of paraxial properties of optical systems
JP3118845B2 (ja) フォーカスインジケータを有する光学装置
JPS61159102A (ja) 二次元測定方法