JPS608832A - 光学走査露光装置 - Google Patents
光学走査露光装置Info
- Publication number
- JPS608832A JPS608832A JP11615683A JP11615683A JPS608832A JP S608832 A JPS608832 A JP S608832A JP 11615683 A JP11615683 A JP 11615683A JP 11615683 A JP11615683 A JP 11615683A JP S608832 A JPS608832 A JP S608832A
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- Japan
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- slit
- film
- luminous flux
- exposure
- optical system
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、静止したマイクロフィルム等のIJij稿の
隊を移動)1−学系により投影し、その投影像を、移動
する感光体ヘメリノト4’、に光する光学走査1落光ニ
;1“Vに関し、1〕に感光IA−表面の照度ムラを補
正する上記の装置に関する。
隊を移動)1−学系により投影し、その投影像を、移動
する感光体ヘメリノト4’、に光する光学走査1落光ニ
;1“Vに関し、1〕に感光IA−表面の照度ムラを補
正する上記の装置に関する。
従来、静止した片招買例えばマイクロフィルムを、移動
する感光体に拡大投影する力よとして、フィルム多動方
式、投影レンズ移動力式及び像界走台方式があるが、最
初の2つの方式は変倍1111には、それぞれフィルム
やレンズの移動速度を変える必要があり、(1へ成が複
雑になるため、第1図に示すような故界走査力式がj)
y案されている。この方式は、第1図において、固定し
たフィルム1の、固定した投影レンズ2による投11j
z 1fjLを、f);界側に設けた移動光学系の走査
ミラー6a及び4aを介して、感光体5にスリット露光
する方式であるが、変イア5時でも移動光学系の走r′
r、ミラー6a及び4aの走査速度が一定であるため、
構成も比較的簡単となる。
する感光体に拡大投影する力よとして、フィルム多動方
式、投影レンズ移動力式及び像界走台方式があるが、最
初の2つの方式は変倍1111には、それぞれフィルム
やレンズの移動速度を変える必要があり、(1へ成が複
雑になるため、第1図に示すような故界走査力式がj)
y案されている。この方式は、第1図において、固定し
たフィルム1の、固定した投影レンズ2による投11j
z 1fjLを、f);界側に設けた移動光学系の走査
ミラー6a及び4aを介して、感光体5にスリット露光
する方式であるが、変イア5時でも移動光学系の走r′
r、ミラー6a及び4aの走査速度が一定であるため、
構成も比較的簡単となる。
しかしながら、本方式では第1図(ニアj1すように、
フィルl、1の画像Aの結1象光味(a及び1lll1
1象Bの結像光束1)は、それぞれ、走111:ミラー
3a、4a及び移動した走査t1−ミラー3b、4bに
より、!+t’+光体5の露光の中心位置Eに異なった
角1凭でスリット投影゛され、その結果、感光体上には
cos d来則による照度ムラが生じる。νjにマイク
ロフィルムの照1!Jj系によるノ・うが加わる。この
ような照度ムラを補正する為に、従来は透過光ri′J
を不均一にした)1−学フィルターを用いたり、露光ス
リット全体を一体的に回転させたりしているが、前者は
製作に難点があり、後者は4+’li成が複雑になる、
という欠点がある。
フィルl、1の画像Aの結1象光味(a及び1lll1
1象Bの結像光束1)は、それぞれ、走111:ミラー
3a、4a及び移動した走査t1−ミラー3b、4bに
より、!+t’+光体5の露光の中心位置Eに異なった
角1凭でスリット投影゛され、その結果、感光体上には
cos d来則による照度ムラが生じる。νjにマイク
ロフィルムの照1!Jj系によるノ・うが加わる。この
ような照度ムラを補正する為に、従来は透過光ri′J
を不均一にした)1−学フィルターを用いたり、露光ス
リット全体を一体的に回転させたりしているが、前者は
製作に難点があり、後者は4+’li成が複雑になる、
という欠点がある。
本発明は、」二記の欠点を解消するために為されたもの
で、投影レンズと感光体の間に、露光用スリットを配置
iQ”し、更に、スリットの長手方向に平行で、移動光
学系に連動する遮光部材な配置(’7.することにより
、41に走査方向の照度ムラを抽圧して、露光饋1或全
体に亘り、照度の均一化が可能な光学走査露光装置を提
供することを、目的とする。
で、投影レンズと感光体の間に、露光用スリットを配置
iQ”し、更に、スリットの長手方向に平行で、移動光
学系に連動する遮光部材な配置(’7.することにより
、41に走査方向の照度ムラを抽圧して、露光饋1或全
体に亘り、照度の均一化が可能な光学走査露光装置を提
供することを、目的とする。
以下、本発明の詳細(二ついて、本発明の一実施例をボ
ず第2.第3.第4及び第5図を参照しながら説明する
。なお第1図で示したL2,3の部材は、これらの図で
は省+1131.た。a、b、C。
ず第2.第3.第4及び第5図を参照しながら説明する
。なお第1図で示したL2,3の部材は、これらの図で
は省+1131.た。a、b、C。
dは、それぞれフィルム1のレンズ2に対する各内角の
結像光束で、感光体5に投影される際、露光用スリット
7によって光束幅が制限される。該M:6光川メ用ット
は、その長手方向で15140が変えてあり、該長手方
向の照度ムラを抽圧する働きを有する。Eは、スリ17
)!光の中心位置、4aは走査ミラーで、第2図にm
個ずようにフィルム1の中心7;IS分の光束aを、露
光用スリット7を通して、感光体5に投影する。41)
、4C及び4dは、各々移動した前記の走査ミラー4a
を示し、それぞれフィルム1の中心部分から少し14(
[れた部分の光束1)(第6図)、フィルム端%41S
分の光束C(第4図)及び光束d(第5図)を投影する
。6は遮光部4」で、露光用スリット7の長手方向に平
行で、かつ、走査ミラー4aに同動(ミラー4aと一定
距離、同一方向に動く)するように、移動光学系に一体
的に収付けられている。このため遮光部材6は、第2図
に示すようにフィルム中心部分ではその結像光束aの一
部を遮光し、フィルム中心部分から遠ざかるに従って、
初めのうちはほとんど同じたけ遮光するが、第6図(二
車す結像光束1)からは遮光部が漸減し、フィルタ・端
部分では、第4図に示すように、その結像光束Cは遮光
されない。該フィルムit’i、旨1′15分と反対側
のフィルム端部分の結像光束dも同様に、第5図に示す
ように遮光されない。
結像光束で、感光体5に投影される際、露光用スリット
7によって光束幅が制限される。該M:6光川メ用ット
は、その長手方向で15140が変えてあり、該長手方
向の照度ムラを抽圧する働きを有する。Eは、スリ17
)!光の中心位置、4aは走査ミラーで、第2図にm
個ずようにフィルム1の中心7;IS分の光束aを、露
光用スリット7を通して、感光体5に投影する。41)
、4C及び4dは、各々移動した前記の走査ミラー4a
を示し、それぞれフィルム1の中心部分から少し14(
[れた部分の光束1)(第6図)、フィルム端%41S
分の光束C(第4図)及び光束d(第5図)を投影する
。6は遮光部4」で、露光用スリット7の長手方向に平
行で、かつ、走査ミラー4aに同動(ミラー4aと一定
距離、同一方向に動く)するように、移動光学系に一体
的に収付けられている。このため遮光部材6は、第2図
に示すようにフィルム中心部分ではその結像光束aの一
部を遮光し、フィルム中心部分から遠ざかるに従って、
初めのうちはほとんど同じたけ遮光するが、第6図(二
車す結像光束1)からは遮光部が漸減し、フィルタ・端
部分では、第4図に示すように、その結像光束Cは遮光
されない。該フィルムit’i、旨1′15分と反対側
のフィルム端部分の結像光束dも同様に、第5図に示す
ように遮光されない。
この様な遮光部+2を設ければ、フィルム中心部分に近
づくほど露光用が少なくなるため(二、走査方向のjl
、7(度ムラを抽圧することが可能となる。
づくほど露光用が少なくなるため(二、走査方向のjl
、7(度ムラを抽圧することが可能となる。
なお史に、他の一実施例として第6.第7及び第8図に
示すように、遮光部材6を2枚用いて各々、結像光束C
及びdにほぼ平行に配置することにより、同様に走査方
向の照度ムラを抽圧することができる。この場合は、フ
ィルム中心部から外れて辿ざかるに従い、初めから遮光
:iが除々に減少する。
示すように、遮光部材6を2枚用いて各々、結像光束C
及びdにほぼ平行に配置することにより、同様に走査方
向の照度ムラを抽圧することができる。この場合は、フ
ィルム中心部から外れて辿ざかるに従い、初めから遮光
:iが除々に減少する。
また、遮光部材6の形状としては、本実施例で用いた板
状の他に、1.lli血が円形のワイヤー状のものでも
同様の効果が得られることはもちろんである。
状の他に、1.lli血が円形のワイヤー状のものでも
同様の効果が得られることはもちろんである。
更に又、遮光部材6は定食ミラー3aに対して、同動す
るように収付けても同じ効果が得られる。
るように収付けても同じ効果が得られる。
加え一部、本実施例では長手方向で開口の異なる露光用
スリット7を用いたが、その開口を変える代わりに、遮
光:lE 4;l’ 6の巾を変えても、照度ムラ油止
は可能である。
スリット7を用いたが、その開口を変える代わりに、遮
光:lE 4;l’ 6の巾を変えても、照度ムラ油止
は可能である。
以j二、説明したように本発明は、−光学走査露光装置
において、露光用スリン)・の長手方向に平行で、移動
光学系に連動するように遮光部材な設けることにより、
特に走査方向の照度ノ・う抽圧を1iJ能にする効果が
ある。
において、露光用スリン)・の長手方向に平行で、移動
光学系に連動するように遮光部材な設けることにより、
特に走査方向の照度ノ・う抽圧を1iJ能にする効果が
ある。
第1図は本発明を適用する像界走査方式の光学走査露光
装置を示す模式図、第2.第6.第4及び第5図は照度
ムラの油1:、部拐(遮光部イA)の一実施例、第6.
第7及び第8図は上記遮光部材の他の実施例である。 1 ・・・・フィルム、 2−・・・・投影レンズ、 3a、3b、4a、4b、4c、4d ・−・走査ミラ
ー、5・・・・感光体、 6・・・・・遮光部イΔ、 7・・・・・j落光州ヌ9ノト ) 第5図 5 ≦ 第7図 シ 第6図 第8図
装置を示す模式図、第2.第6.第4及び第5図は照度
ムラの油1:、部拐(遮光部イA)の一実施例、第6.
第7及び第8図は上記遮光部材の他の実施例である。 1 ・・・・フィルム、 2−・・・・投影レンズ、 3a、3b、4a、4b、4c、4d ・−・走査ミラ
ー、5・・・・感光体、 6・・・・・遮光部イΔ、 7・・・・・j落光州ヌ9ノト ) 第5図 5 ≦ 第7図 シ 第6図 第8図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 少なくとも、露光用ズリノドと、移動することにより1
工;λ稿を走査し、かつ走査にともなって感光体への片
禍保形成光束の入射角を変化させて行く移動光学系とを
白′する光学走査露光装置、において、l−1記スリツ
トの長手方向に平行で、上記移動光学系に1止動する。 鹿尤部祠を、配置したことを!l!l徴とする、光学走
査露光装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11615683A JPS608832A (ja) | 1983-06-29 | 1983-06-29 | 光学走査露光装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11615683A JPS608832A (ja) | 1983-06-29 | 1983-06-29 | 光学走査露光装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS608832A true JPS608832A (ja) | 1985-01-17 |
Family
ID=14680155
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP11615683A Pending JPS608832A (ja) | 1983-06-29 | 1983-06-29 | 光学走査露光装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS608832A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02249570A (ja) * | 1989-03-23 | 1990-10-05 | Sanyo Bussan Kk | パチンコ遊技機の賞品球排出装置 |
JPH04189386A (ja) * | 1990-11-22 | 1992-07-07 | Fuji Electric Co Ltd | 玉計数払出装置 |
-
1983
- 1983-06-29 JP JP11615683A patent/JPS608832A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02249570A (ja) * | 1989-03-23 | 1990-10-05 | Sanyo Bussan Kk | パチンコ遊技機の賞品球排出装置 |
JPH04189386A (ja) * | 1990-11-22 | 1992-07-07 | Fuji Electric Co Ltd | 玉計数払出装置 |
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