JPS6086293A - 微少部分メツキ装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 げ）発明の技術分野 この発明は電気、電子部品、特に工Ｃｙ−ドフレームの
ドツトメッキに好適な微小部分メッキ装置に関する。

（ロ）従来技術と問題点 電気・電子部品にメッキそれも金メッキを施す場合、金
の消費量を低くするだめメッキ部位をなるべく小サイズ
にしたいという傾向がある。メッキ処理量が多いため相
対的に金の消費量が多くなっているＩＣリードフレーム
の金メッキ処理にあって、この傾向は一段と強く、第２
図で示すように従来ＩＣリードフレーム１の各リードピ
ン２の先端部６及びチップを載せるアイランド部４等を
含む区域人を部分メッキしていたものが→アイランド部
４以外の先端部６を含む区域Ｂの部分メッキとなり→更
には先端部６内のワイヤーボンディングに必要々微小部
分５のみの微小部分メッキを。

目１旨すようになっている。ところで、これらの部分メ
ッキの装置は第１図で示されるように、「スハーシャー
」と称されている部分の要部が、メッキ液乙の噴射開孔
７を有するプレート状の上蓋８と、この噴射開孔７に対
向して配置されたメッキ液６の噴射用ノズル９と、この
ノズル９に組合わせられたアノード１０等から形成され
、更にメッキ対象物１１を上蓋８の面上で確実に支持す
るためのプレス１２が付設されており、上蓋８をマスク
板として機能せしめ、噴射開孔７内で露出されている予
めカソード化されたメッキ対象物１１の部分１６にのみ
メッキ液６を噴射して施すようにしている。従って、マ
スク板として機能している上蓋８の噴射開孔７のサイズ
を、「部分」より［微小部分」へと変更すれば同一の噴
射メッキの原理を微小部分メッキ装置に十分適応し得る
ことになる。

しかしながら、「微・４・部分」メッキに比べて比較的
サイズが太きく々る「部分」メッキの場合、噴射開孔７
の径及びノズル９の伜が大きく、極間距雇ｔ〔即ち、カ
ソードとしてのメッキ対象物１１とアノード１０との距
離ｄ＋］が大きくても電圧は上がらないが、「微小部分
」をメッキする場合には噴射開孔７の径が微Ｊ＼サイズ
となるので（徹間距＃Ｕｄ＋が従来のま捷大きいと電圧
が高くなってしまい具合が悪く、々るべく極間距離ｄ、
を小さくすることが望ましいのである。

このために、ノズル９の位置を噴射開孔７へ近づけたシ
或いは噴射開孔７内に配置することも考えられるが、こ
の場合アノードイオンを消費したメッキ液を排出し離く
なシ、微トサイズの噴射開孔にかかる圧が高くなり過ぎ
又従来のノズル９ではサイズが太き過ぎてしまい、その
ままでは微小サイズの噴射開孔に組合わせて使用しすら
いという不具合がある。更に従来の部分メッキよりも大
なる電流密度を童図するので同電流密度で比較した場合
、電圧を下げておく必要がある。

（ハ）発明の目的 この発明の目的は、従来の部分メッキ装置に用いられて
いたようなノズルの使用を廃止し、これに代えて微小孔
付きの開口部を薄い厚さのプレート状の受体に設け、と
の受体の開口部をアノード部、ドレン部利きの閉塞体で
閉塞し、もってメッキ液の給供用空間として活用するよ
うにして受体閉塞体を組合わせ、以って極間距離の短縮
と、メッキ対象物にかかるメッキ液圧の減圧と、使用済
みメッキ液の効率のよい給供排出とを可能とした微小部
分メッキ装置を、提供せんとするものである。

に）発明の効果 この発明に係る微小部分メッキ装置は、上記の目的を達
成するだめにメッキ対象物受止め用の載置面を一面１１
１＋に、この載置面に微小孔を臨ませるメッキ液供給用
の開口部を他面（ＩＩｌ＋に、各々設けた薄い厚さのプ
レート状の受体と、 上記微小孔に対して近接配置されるアノード部、及び上
記開口部に連通しメッキ液を排出せしめるドレン部を有
し、開口部を受体の他面側で閉塞し目、つこの開口部を
メッキ液供給用の空間として区画形成する閉塞体とを、
少なくとも備えて成る構成としている。

（ホ）実施例 以下、この発明の詳細を第３図〜第１０図に基づいて説
明する。第３図〜第５図は、この発明の第１０実施例を
示す図である。図示されたこの９１小部分メッキ装置は
、薄い厚さのプレート状の受体２０と、との受体２０に
組み合わせる閉塞体２１とを、少なくとも、備えて成る
ものである。そして、この受体２０は厚さｔがなるべく
薄くしてあシ、その−面仰］〔図示の例では上面側〕に
メッキ対象物２２を受止めるための載置面２３を、そし
て他面側〔図示の例では下面側〕にメッキ液供給用の開
口部２４を備えている。

載置面２６は、メッキ対象物２２を受止め易くしかも受
止めだ状態でメッキ対象となる微小部分が後述する微小
孔２５と確実に位置が合致するようメッキ対象物２２の
平面サイズに相応する幅ｗ１長さｔを有しそして更に受
止めた状態でプレスにて押圧し易いようにメッキ対象物
２２の厚さサイズに相応する深さＤを有する「凹状部」
として受体２０の一面側に形成され、この「凹状部」の
底面となる載置面２６にはマスク機能を持たせるように
しである。従って載置面２６は、マスク機能を発揮し易
い材質のもので直接形成されても或いはマスク機能を発
揮し易い他の材質のものを層状にして施すようにしても
よいものである。

開口部２４はメッキ液を供給するだめのもので、微小孔
２５を上記載置面２６に臨ませている。より具体的には
、図示の例で、微小径サイズの複数の微小孔２５と、こ
れら微小孔２５を接続している導通部２６とからメッキ
液供給用の開口部２４が形成され、各微小孔２５ヘメツ
キ液を均等に分配、供給し易いようにしである。そして
この開口部２４は受体２０の他面側にあって断面が略三
角形状に凹設された形状のものとされている。

閉塞体２１は、上記の微小孔２５へ近接、配置されるア
ノード部２７と、開口部２４へ連通しメッキ液を排出せ
しめるドレン部２８とを備えており、開口部２４を受体
２０の他面側で閉塞し且つこの開口部２４をメッキ液供
給用の空間として区画形成するものである。アノード部
２７は図示の例で、閉塞体２１に形成したメッキ液の供
給孔２９内に配置自在としである。又ドレン部２８は閉
塞体２１の上面にあって溝状に形成され、受体２０の他
面側〔下面側〕に、同じく溝状に形成しである開口部２
４の上記導通部２６と相互に長手方向にわたって対向す
るようにしである。ところで、上記メッキ液の供給孔２
９は微小孔２５の下側にあって対応位置決めされるべく
微小孔２５の位置、数、に合わせて閉塞体２１に形成さ
れ、図示の例では微小孔２５、供給孔２９更にはアノー
ド部２７共−列に配置されているが、これに限定される
ものではない。

ドレン部２８は、とのような−列状態の供給孔２９に隣
り合って閉塞体２１上に配置され、各供給孔２９より矢
示Ｘ方向で供給されたメッキ液が開口部２４内に充満ｊ
−次いで矢示Ｙ方向で排出されるようにしである。そし
て、とのドレン部２８は、各供給孔２９に対応する各部
位でドレンの開口面積がそれぞれ広くなるよう壁面６０
の面形状に段差がつけヤあシ、矢示Ｙ方向、即ち上方向
」でメッキ液を排出する際のバランスを取り、排出方向
で遠近の位置にある各供給孔２９に対して均一なメッキ
液の排出ができるようにしである。尚、壁面６０は１段
差」に代えて、点ａ　、ｌ　ｂを直線で結んだ傾斜面状
のものとしてもよく、〔第４（８）或いはドレン部２８
の底面６１を高さく深さ）ＨｌよりＨｎと徐々に大きく
するようにしてもよい（第５図）。

そして、このようなドレン部２８は、図示せぬ減圧ポン
プに接続することによシ、開口部２４内のメッキ液をい
わば強制的に排出するようにしてもよい。

次に、作用を説明する。矢示Ｘ方向より閉塞体２１の各
供給孔２９を通り、そしてその際にアノード部２７より
アノードイオンが供給されたメッキ液はメッキ液供給用
の空間としての開口部２４、具体的には導通部２６、に
充満し、それと同時に微小孔２５内にも充満し、微小孔
２５内で露呈されているメッキ対象物２２の微小サイズ
のメッキ対象部位をメッキする。このメッキ対象部位は
、受体２０の載置面２６に受止められていて、受体２０
自体が薄い厚さｔのものとされ、しかも載置面２６がこ
の受体２０に凹状部として形成されていることから、受
体２０の他面側に位置するアノード２７との距離、即ち
極間距離ｄ２は、極めて小さく設定されることになる。

従って、電圧が上がることなくメッキ°処理が行なわれ
、そして、ドレン部２８を介して開口部２４に充満して
いるメッキ液は矢示Ｙ方向で排出され、その分新鮮なメ
ッキ液を迅速に供給でき、しかも微小孔２５に掛るメッ
キ液の液圧を減少できることになる。そして、ドレン部
２８を、図示せぬ減圧ポンプに接続してドレン部２８よ
りいわば強制的にメッキ液を排出せしめる際は、矢示Ｙ
方向に於いてドレンの開口面積が順次広くなっているだ
め「一方向」への強制的な排出でも各供給孔２９に対し
て均等なメッキ液の排出が行なわれるものである。

第６図は第２実施例を示す図である。先の第１実施例で
、アノード部２７は供給孔２９内に配置してあったが、
この実施例では「アノード部」の有効面積の拡大と配置
の容易性を章図して、閉塞体２１をベース部２１ａと分
割組合わせ部２１ｂで形成するものとし、この分割組合
わせ部２１ｂの上面具体的には開口部２４への対応面に
、チタンベースに白金メッキしてアノード部６２として
いる。

どのアノード部６２は、図示の例で供給孔２９内にも配
しであるが、有効面積が開口部２４への対応面の全面に
わたっているので供給孔２９内のアノード部分３２ａを
省略してもよい。この実施例によれば、供給孔２９より
開口部２４内へ供給されしメッキ液は、開口部２４内に
充満する際にアノード部６２から十分なアノードイオン
の供給を受けることになり、又、このアノード部６２を
予め分割組合わせ部２１１１に形成１２て後、分割組合
わせ部２１ｂをベース部２１ａへ組合わせれば、アノー
ド部６２を容易に開口部２４と対応位置決めできること
になる。その他の構成、作用については第１実施例とほ
ぼ同（：：ｉにつき図中共通部分を同一符号で示すこと
と１２、重複説明を省略する。

第７図及び第８図は、この発明の第３実施例を示す。こ
の実施例では、先の第１及び第２実施例の供給孔２９を
用いず、閉塞体２１の上面で受体２０の微小孔２５の下
側に相応する部分にプレート状のアノード部６３が組込
１れており、そして、閉塞体２１で空間が区画形成され
た開口部２４へ直接メッキ液が矢示Ｘ方向より、先の実
施例の供給孔２９を介さずに、供給されるようにしであ
る。

この陥３実施例によれば、第２実施例、と同様にアノー
ド部６６の有効面積の拡大と茜装置の容易性が図れる。

その他の構成及び作用については、先の実施例と同様に
つき、共通部分を同一符号で示し重複説明は省略するも
のである。

第９図及び第１０図は第４実施例を示す図である。

先の第３実施例では、閉塞体２１で空間の区画形成され
ている開口部２４内へメッキ液を直接矢示Ｘ方向より供
給するよう、にしていだが、この第４実施例では閉塞体
２１にドレン部２８と同様の溝状のメッキ液の供給路６
４を予め形成し１おき、閉塞体２１で開口部２４を閉塞
した際にこの供給路６４が開口部２４と連通状態となる
ようにしである。尚この供給路６４は第１０図で示す如
くドレン部２８と同様に壁面６５の面形状に段差をつけ
たり、第５図で示すような底面６６の高さく深さ）を変
化させるようにしてもよい。

この実施例によれば、矢示Ｘ方向よりのメッキ液の供給
は、溝状の供給路６４を介して開口部２，４内へのメッ
キ液の充満状態を呈し、その際プレート状のアノード部
３６よシ十分なアノードイオンの供給を受け次いでドレ
ン部２８より排出されてゆく仁とになり、メッキ液の供
給、排出の効率がよいものである。その他の構成及び作
用については、先の実施例と同様につき、共通部分を同
一符号で示すに止め重複説明を省略するものである。

（へ）発明の効果 この発明に係る微小部分メッキ装置は、以上説明してき
たような内容のものなので多くの効果が期待でき、その
主なものを列挙すれば以下の通りである。

（Ｔ）カソードとなるメッキ対象物とアノードとの間の
距離が非常に小さくできて、メッキ対象物のメッキ対象
部位にメッキ液を施すだめの微小孔のサイズが、相当微
小サイズであっても定Ｋがそれ捏上がらず、 〔■〕ドレン部の存在によシメソキ液供給用の開口部内
に供給・充満されたメッキ液は、容易、迅速に排出され
るだめ微小孔にかかるメッキ液の液圧が小きくなり、そ
の分メッキ対象物を押圧するだめに使用しているプレス
の抑圧機能を軽減でき、又容易、迅速に排出されたメッ
キ液量の分、アノードイオンが十分な、いわゆる新鮮な
、メッキ液を開口部内へ迅速に供給でき、 ［■〕従来の如きノズルを必要とし７ないので、その分
、装置全体の製造工程の１略、製造コストの低減が可能
になるという効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来の部分メビキ装置の帯部（１１１１断面図
、シ１２図はメッキ対象物としてのＩＣリードフレーム
の部分斜視図、 第３図はこの発明の第１実施例を示す微小部分メッキ装
置の要部側断面図、 第４図は第３図に示す装置の分解斜視説明図、第５図は
ドレン部の変形例を示す断面図、第６図は第２実施例を
示す第３図相当の要部側断面図、 第７図及び第８図は第３実施例を示す、第３図相当の要
部側断面図と要部の分解・組立て斜視図、そして 第９図及び第１０図は第４実施例を示す、第７図及び第
８図相当の要部側断面図と要部の分解・組立て斜視図で
ある。 ２０　受体 ２１　・閉塞体 ２２・・メッキ対象物 ２６　載置面 ２４　開口部 ２５４η小孔 ２８　ドレン部 ｄ２　・極間距離 Ｘ　メッキ液の供給方向 Ｙ　メッキ液の排出方向 第１図 第２図 第３図 第５図 と１ 第６図 ４ ＃ｒＳ７ｎｔ。 第９は１ 手続補正書く自発） 昭和５８年特許願第１９３９８４号 ２、発明の名称 微小部分メッキ装置 ３、補正をする者 事件との関係　特許出願人 ４、代理人 氏名　（６７２０）　弁理士　直列　５孟５、補正の対
象 明細書の「発明の詳細な説明」の欄 ６、補正の内容

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 メッキ対δ止め用の載置部を一面側に、この載ｆ４面に
   微小孔を臨ませるメッキ液供給用の開口部を他面側に、
   各々設けた薄い厚さのプレート状の受体と、 上記微小孔に対して近接配置されるアノード部、及び上
   記開口部に連通しメッキ液を排出せしめるドレン部を有
   し、開口部を受体の他面側で閉塞し且つこの開口部をメ
   ッキ液供給用の空間として区画形成する閉塞体とを、少
   なくとも備えてなる微小部分メッキ装置。