JPS6084883A - バイポ−ララテラル磁気トランジスタ - Google Patents
バイポ−ララテラル磁気トランジスタInfo
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- JPS6084883A JPS6084883A JP59138056A JP13805684A JPS6084883A JP S6084883 A JPS6084883 A JP S6084883A JP 59138056 A JP59138056 A JP 59138056A JP 13805684 A JP13805684 A JP 13805684A JP S6084883 A JPS6084883 A JP S6084883A
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- transistor
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 11
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 9
- 238000002513 implantation Methods 0.000 claims description 5
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 4
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 4
- 239000000969 carrier Substances 0.000 description 3
- 241000237504 Crassostrea virginica Species 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 239000007943 implant Substances 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/66—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/82—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor controllable by variation of the magnetic field applied to the device
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/66—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/68—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor controllable by only the electric current supplied, or only the electric potential applied, to an electrode which does not carry the current to be rectified, amplified or switched
- H01L29/70—Bipolar devices
- H01L29/72—Transistor-type devices, i.e. able to continuously respond to applied control signals
- H01L29/73—Bipolar junction transistors
- H01L29/735—Lateral transistors
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- Engineering & Computer Science (AREA)
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- Measuring Magnetic Variables (AREA)
- Injection Moulding Of Plastics Or The Like (AREA)
- Bipolar Transistors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は磁界センサとして使用されるパイポー2ラテ
ラル磁気トランジスタに関する。
ラル磁気トランジスタに関する。
第1導電型の半導体基板と、この半導体基板の上表面に
連続かつ離間して形成される領域であって、前記半導体
基板と同じ導電型の第1ペース領域と、第2導電型の注
入領域と、第2導電型のコレクタ領域と、第1導電型の
第2に−ス領域から成るバイポーララテラル磁気トラン
ジスタが知られている。このトランジスタでは外部磁界
は磁気トランジスタの側面により、電流線に垂直に印加
される。
連続かつ離間して形成される領域であって、前記半導体
基板と同じ導電型の第1ペース領域と、第2導電型の注
入領域と、第2導電型のコレクタ領域と、第1導電型の
第2に−ス領域から成るバイポーララテラル磁気トラン
ジスタが知られている。このトランジスタでは外部磁界
は磁気トランジスタの側面により、電流線に垂直に印加
される。
しかし、このような磁気トランジスタでは0.5μA以
上の電流磁界には感度が悪いという欠点がある。
上の電流磁界には感度が悪いという欠点がある。
この発明の目的は、コレクタ電流が大きくても磁界の感
度が良い磁気トランジスタを提供することである。
度が良い磁気トランジスタを提供することである。
上記目的を達成するためにこの発明のバイポーララテラ
ル磁気トランジスタは、第1導電型の半導体基板と、そ
れぞれ前記半導体基板の上表面に、連続かつ離間して作
られる領域であって、前記第1導電型と同じ導電型の第
1ペース領域と、第2導電型の注入領域と、前記第2導
電型と同じ導電型のコレクタ領域と、前記第1導電型と
同じ導電型の第2ペース領域と、前記第1ペース領域の
反対側に形成され、前些第2、導電型と同じ導電型の第
2注入領域とで構成される。
ル磁気トランジスタは、第1導電型の半導体基板と、そ
れぞれ前記半導体基板の上表面に、連続かつ離間して作
られる領域であって、前記第1導電型と同じ導電型の第
1ペース領域と、第2導電型の注入領域と、前記第2導
電型と同じ導電型のコレクタ領域と、前記第1導電型と
同じ導電型の第2ペース領域と、前記第1ペース領域の
反対側に形成され、前些第2、導電型と同じ導電型の第
2注入領域とで構成される。
この発明のバイポーラ2チラル磁気1ランジオー
スタによれば、2又は3のヤダのコレクタ電流の増大に
伴って発生する非常に弱い磁界を検出することができる
。
伴って発生する非常に弱い磁界を検出することができる
。
以下図面を参照してこの発明の一実施例を説明する。
バイポーララテラル磁気トランジスタはn型導電性を有
する半導体基板1と、この半導体基板ノの上表面に連続
かつ離間して形成される、nI5&導電性の第1ペース
領域2と、p型導電性を有する注入領域3と、p型導電
性を有するコレクタ領域4と、n型導電性を有する第2
ペース領域5とで構成される。さらにp型導電性を有す
る第2注入領域が第1ペース領域2の反対側に形成され
ている。
する半導体基板1と、この半導体基板ノの上表面に連続
かつ離間して形成される、nI5&導電性の第1ペース
領域2と、p型導電性を有する注入領域3と、p型導電
性を有するコレクタ領域4と、n型導電性を有する第2
ペース領域5とで構成される。さらにp型導電性を有す
る第2注入領域が第1ペース領域2の反対側に形成され
ている。
注入領域3および6は共に接続され、外部OC電詐U
Iから、第2ペース領域5に対して順方向パイスス電圧
がかけられる。前記ペース領域5と同一電源同極性の電
圧が第1ペース領域2に印加される。コレクタp−n接
合は、負荷抵抗R,を介して第2電圧源U2から第2ペ
ース領域5に対して逆バイアスされる。
Iから、第2ペース領域5に対して順方向パイスス電圧
がかけられる。前記ペース領域5と同一電源同極性の電
圧が第1ペース領域2に印加される。コレクタp−n接
合は、負荷抵抗R,を介して第2電圧源U2から第2ペ
ース領域5に対して逆バイアスされる。
一定又は交替外部磁界が磁気トランジスタの側面に垂直
に印加され、出力信号はコレクタ領域4と第2ベース領
域50間から取出される。
に印加され、出力信号はコレクタ領域4と第2ベース領
域50間から取出される。
次にこのバイポーララテラル磁気トランジスタの動作を
説明する。
説明する。
この素子は、電源電圧tr、および調整抵抗R1および
R,により動作する。2つの領域3および6が、前記基
板1に、同時に小数キャリアを注入する。そのとき、注
入領域3は負性抵抗として動作する。この磁気トランジ
スタのルクタ電流は、注入領域3から、前記基板lに注
入された小数キャリアの電流により主に決定される。磁
界Bは注入領域3および6から注入された小数キャリア
に影響し、その磁界の方向によシコレクタ電流が増減す
る。
R,により動作する。2つの領域3および6が、前記基
板1に、同時に小数キャリアを注入する。そのとき、注
入領域3は負性抵抗として動作する。この磁気トランジ
スタのルクタ電流は、注入領域3から、前記基板lに注
入された小数キャリアの電流により主に決定される。磁
界Bは注入領域3および6から注入された小数キャリア
に影響し、その磁界の方向によシコレクタ電流が増減す
る。
図はこの発明の一実施例を示す一部断面斜視図であろう
1・・・半導体基板、2.5・・・ペース領域、3゜6
・・・注入領域、4・・・コレクタ領域。
・・・注入領域、4・・・コレクタ領域。
Claims (1)
- 第1導電型の半導体基板と、それぞれ前記半導体基板の
上表面に連続かつ離間して作られる領域であって、前記
第1導電型と同じ導電型の第1ペース領域と、第2導電
型の第1注入領域と、前記第2導電型と同じ導電型のコ
レクタ領域と、前記第1導電型と同じ導電型の第2ベー
ス領域と、前記第1ペース領域の反対側に形成され、前
記第2導電型と同じ導電型の第2注入領域とから成るこ
とを特徴とするバイポーラ2チラル磁気トランジスタ。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
BG61655 | 1983-07-08 | ||
BG8361655A BG37507A1 (en) | 1983-07-08 | 1983-07-08 | Bipolar lateral magnetotransistor |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6084883A true JPS6084883A (ja) | 1985-05-14 |
Family
ID=3912453
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP59138056A Pending JPS6084883A (ja) | 1983-07-08 | 1984-07-05 | バイポ−ララテラル磁気トランジスタ |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6084883A (ja) |
BG (1) | BG37507A1 (ja) |
DE (1) | DE3424631A1 (ja) |
FR (1) | FR2548834B1 (ja) |
GB (1) | GB2143085B (ja) |
IT (1) | IT1199153B (ja) |
SU (1) | SU1702458A1 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010263231A (ja) * | 2010-06-28 | 2010-11-18 | Panasonic Electric Works Co Ltd | 磁気検出装置 |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3733836A1 (de) * | 1987-10-07 | 1989-04-27 | Messerschmitt Boelkow Blohm | Magnetfeldsonde zur messung der magnetfeldstaerke unter verwendung des halleffektes |
US5591996A (en) * | 1995-03-24 | 1997-01-07 | Analog Devices, Inc. | Recirculating charge transfer magnetic field sensor |
DE10105186A1 (de) * | 2001-02-06 | 2002-08-29 | Bosch Gmbh Robert | Halbleiteranordnung, Strommesser und Kraftfahrzeug |
CN107356885B (zh) * | 2017-08-18 | 2023-06-02 | 黑龙江大学 | 一种单片集成二维磁场传感器及其制作工艺 |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0099979B1 (de) * | 1982-07-26 | 1987-04-08 | LGZ LANDIS & GYR ZUG AG | Magnetfeldsensor und dessen Verwendung |
-
1983
- 1983-07-08 BG BG8361655A patent/BG37507A1/xx unknown
-
1984
- 1984-07-02 GB GB08416766A patent/GB2143085B/en not_active Expired
- 1984-07-04 DE DE19843424631 patent/DE3424631A1/de active Granted
- 1984-07-05 JP JP59138056A patent/JPS6084883A/ja active Pending
- 1984-07-05 SU SU847773490A patent/SU1702458A1/ru active
- 1984-07-05 IT IT48515/84A patent/IT1199153B/it active
- 1984-07-06 FR FR8410740A patent/FR2548834B1/fr not_active Expired
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010263231A (ja) * | 2010-06-28 | 2010-11-18 | Panasonic Electric Works Co Ltd | 磁気検出装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
GB8416766D0 (en) | 1984-08-08 |
GB2143085B (en) | 1986-10-29 |
FR2548834B1 (fr) | 1989-01-06 |
DE3424631A1 (de) | 1985-01-17 |
SU1702458A1 (ru) | 1991-12-30 |
GB2143085A (en) | 1985-01-30 |
IT8448515A0 (it) | 1984-07-05 |
DE3424631C2 (ja) | 1989-08-31 |
IT1199153B (it) | 1988-12-30 |
BG37507A1 (en) | 1985-06-14 |
FR2548834A1 (fr) | 1985-01-11 |
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