JPS6082838A - 透明フイルムの欠陥検査方法 - Google Patents
透明フイルムの欠陥検査方法Info
- Publication number
- JPS6082838A JPS6082838A JP19200083A JP19200083A JPS6082838A JP S6082838 A JPS6082838 A JP S6082838A JP 19200083 A JP19200083 A JP 19200083A JP 19200083 A JP19200083 A JP 19200083A JP S6082838 A JPS6082838 A JP S6082838A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- polarizing filter
- defect
- checked
- light
- filter
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/8803—Visual inspection
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は透明フィルムの欠陥検査方法に関する。
従来より光学的な用途や電気的な表示装置に使う透明プ
ラスチンクフィルム等では表面の微細な傷や平面性が問
題になっていた。特に電気的な表示装置においてはフィ
ルム表面に極めて薄い透明導電性電極を付けることが多
（、表面欠陥はその断線の原因になる可能性が高いため
、充分な検査が要求されていた。
ラスチンクフィルム等では表面の微細な傷や平面性が問
題になっていた。特に電気的な表示装置においてはフィ
ルム表面に極めて薄い透明導電性電極を付けることが多
（、表面欠陥はその断線の原因になる可能性が高いため
、充分な検査が要求されていた。
このような欠陥の検査方法としては、従来は■裸眼によ
る被検査物の直接の目視検査、■低倍率（く１０倍）の
拡大鏡による目視検査、■高倍率（〉１０倍）の顕微鏡
や拡大投影機による目視検査が行なわれていたが、実用
的な検査速度或いは設備の点から主として■、■の方法
により検査が行なわれていた。ところが■、■の方法で
は個人の検査能力に頼るため、熟練者を必要とし、また
作業者による作業能率の変動が大きく、また高品位高均
質の検査を維持することが困難であった。
る被検査物の直接の目視検査、■低倍率（く１０倍）の
拡大鏡による目視検査、■高倍率（〉１０倍）の顕微鏡
や拡大投影機による目視検査が行なわれていたが、実用
的な検査速度或いは設備の点から主として■、■の方法
により検査が行なわれていた。ところが■、■の方法で
は個人の検査能力に頼るため、熟練者を必要とし、また
作業者による作業能率の変動が大きく、また高品位高均
質の検査を維持することが困難であった。
また長時間にわたる微細欠陥の目視検査は作業者の視力
に悪い影響を与え、この点からも改善がめられていた。
に悪い影響を与え、この点からも改善がめられていた。
本発明は上記従来方法の欠点を解消し、簡単な設備で欠
陥を容易、迅速に検査できる方法の提供を目的とする。
陥を容易、迅速に検査できる方法の提供を目的とする。
図面を参照して本発明を具体的に説明する。まず光源１
と適当なレンズ系２により平行光線Ａを作る。この平行
光線Ａに対して垂直方向に第１の偏光フィルタ３を置く
ことにより、通過する光を偏光にする。そしてこの偏光
を被検査物Ｓにその表面に対して３０°〜９０°の方向
から照射する（図は９０°の方向から照射した例を示し
ている）。
と適当なレンズ系２により平行光線Ａを作る。この平行
光線Ａに対して垂直方向に第１の偏光フィルタ３を置く
ことにより、通過する光を偏光にする。そしてこの偏光
を被検査物Ｓにその表面に対して３０°〜９０°の方向
から照射する（図は９０°の方向から照射した例を示し
ている）。
被検査物Ｓは透明体、例えば透明のプラスチックフィル
ムである。この被検査物Ｓは第２の偏光フィルタ４上に
置かれる。第２の偏光フィルタ４は前記第１の偏光フィ
ルタ３に対してその偏光軸を直交させて配し、この例で
は両フィルタは平行である。この第２の偏光フィルタ４
は被検査物Ｓを透過した光を吸収する。したがって被検
査物Ｓの背面側は暗いバンクグラウンドを形成すること
になる。この場合、第２の偏光フィルタ４の下に黒い無
反射シート５を配すれば、第２の偏光フィルタ４を通過
する光があっても、これを吸収するので一層良好なバッ
クグラウンドを形成する。前記被検査物Ｓに照射された
偏光は、その大部分が透過して第２の偏光フィルタ４に
吸収され、残りの大部分は被検査物Ｓ表面で全反射され
る。一方、被検査物Ｓの表面に欠陥があると、その欠陥
部分で光が乱反射される。したがってこの散乱反射光が
強く出ている方向から観測すると、欠陥部分がそれ以外
の部分に較べて明るく輝いて観測できる。
ムである。この被検査物Ｓは第２の偏光フィルタ４上に
置かれる。第２の偏光フィルタ４は前記第１の偏光フィ
ルタ３に対してその偏光軸を直交させて配し、この例で
は両フィルタは平行である。この第２の偏光フィルタ４
は被検査物Ｓを透過した光を吸収する。したがって被検
査物Ｓの背面側は暗いバンクグラウンドを形成すること
になる。この場合、第２の偏光フィルタ４の下に黒い無
反射シート５を配すれば、第２の偏光フィルタ４を通過
する光があっても、これを吸収するので一層良好なバッ
クグラウンドを形成する。前記被検査物Ｓに照射された
偏光は、その大部分が透過して第２の偏光フィルタ４に
吸収され、残りの大部分は被検査物Ｓ表面で全反射され
る。一方、被検査物Ｓの表面に欠陥があると、その欠陥
部分で光が乱反射される。したがってこの散乱反射光が
強く出ている方向から観測すると、欠陥部分がそれ以外
の部分に較べて明るく輝いて観測できる。
観測は人間の目６、その他カメラ等の機械により行なう
ことができる。さらに前記被検査物Ｓの表面欠陥に起因
する散乱反射光を前記第１の偏光フィルタ３に対してそ
の偏光軸を直交させて配置した第３の偏光フィルタ７を
通して観測することにより一層欠陥の発見を容易にする
ことができる。
ことができる。さらに前記被検査物Ｓの表面欠陥に起因
する散乱反射光を前記第１の偏光フィルタ３に対してそ
の偏光軸を直交させて配置した第３の偏光フィルタ７を
通して観測することにより一層欠陥の発見を容易にする
ことができる。
これは第３の偏光フィルタ７が被検査物Ｓの欠陥部分以
外からの反射光を吸収し、これにより欠陥部からの散乱
反射光が一層大きなコントラスＩ−をもって観測できる
からである。 ゛ なお、上記において光源１は高輝度の点光源を用いるの
が好ましく、またレンズ系２は広い面積の平行光線を作
るためのもので凸レンズと凹レンズの組合せである。ま
たレーザ光線を用いて平行光線としてもよい。
外からの反射光を吸収し、これにより欠陥部からの散乱
反射光が一層大きなコントラスＩ−をもって観測できる
からである。 ゛ なお、上記において光源１は高輝度の点光源を用いるの
が好ましく、またレンズ系２は広い面積の平行光線を作
るためのもので凸レンズと凹レンズの組合せである。ま
たレーザ光線を用いて平行光線としてもよい。
本発明は以上の構成よりなり、欠陥部分からの光を光輝
状態で観測することができ、フィルムの欠陥を極めて容
易、迅速に発見することができる。
状態で観測することができ、フィルムの欠陥を極めて容
易、迅速に発見することができる。
また本発明によれば、被検査物の広範囲、ないし全範囲
を一度に観測することも可能であるので、検査に要する
時間を一層短縮することができる。
を一度に観測することも可能であるので、検査に要する
時間を一層短縮することができる。
また第３の偏光フィルタを通して観測すれば一層検査が
容易、迅速となる。
容易、迅速となる。
図面は本発明の方法を実施する一装置の概略を示す斜視
図である。 ３−第１の偏光フィルタ ４−・・・第２の偏光フィルタ ７−第３の偏光フィルタ Ａ −平行光線 Ｓ−被検査物 特許出願人 日東電気工業株式会社 代理人 弁理士面１）新
図である。 ３−第１の偏光フィルタ ４−・・・第２の偏光フィルタ ７−第３の偏光フィルタ Ａ −平行光線 Ｓ−被検査物 特許出願人 日東電気工業株式会社 代理人 弁理士面１）新
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 （１１第１．第２の偏光フィルタをその偏光軸を直交さ
せて配し、平行光線を第１の偏光フィルタを通して第２
の偏光フィルタ上におがれた被検査物上に照射し、被検
査物の表面欠陥に起因する散乱反射光を観測することを
特徴とする透明フィルムの欠陥検査方法。 （２）被検査物の表面欠陥に起因する散乱反射光を第１
の偏光フィルタとその偏光軸を直交させた第３の偏光フ
ィルタを通して観測する特許請求の範囲第１項記載の透
明フィルムの欠陥検査方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19200083A JPS6082838A (ja) | 1983-10-13 | 1983-10-13 | 透明フイルムの欠陥検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19200083A JPS6082838A (ja) | 1983-10-13 | 1983-10-13 | 透明フイルムの欠陥検査方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6082838A true JPS6082838A (ja) | 1985-05-11 |
Family
ID=16283935
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19200083A Pending JPS6082838A (ja) | 1983-10-13 | 1983-10-13 | 透明フイルムの欠陥検査方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6082838A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0534641A (ja) * | 1991-07-30 | 1993-02-12 | Kimisato Kurihara | 観察装置および観察方法 |
| JP2002232261A (ja) * | 2001-01-30 | 2002-08-16 | Kinseki Ltd | 弾性表面波装置 |
| JP2012519265A (ja) * | 2009-02-27 | 2012-08-23 | サン−ゴバン グラス フランス | 基板の欠陥を検出するシステム及び方法 |
| JP2022098254A (ja) * | 2020-12-21 | 2022-07-01 | 新日本空調株式会社 | 塗装表面観察方法 |
| JP2023163836A (ja) * | 2022-04-28 | 2023-11-10 | ニシハツ産業株式会社 | 海苔異物確認装置 |
-
1983
- 1983-10-13 JP JP19200083A patent/JPS6082838A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0534641A (ja) * | 1991-07-30 | 1993-02-12 | Kimisato Kurihara | 観察装置および観察方法 |
| JP2002232261A (ja) * | 2001-01-30 | 2002-08-16 | Kinseki Ltd | 弾性表面波装置 |
| JP2012519265A (ja) * | 2009-02-27 | 2012-08-23 | サン−ゴバン グラス フランス | 基板の欠陥を検出するシステム及び方法 |
| JP2022098254A (ja) * | 2020-12-21 | 2022-07-01 | 新日本空調株式会社 | 塗装表面観察方法 |
| JP2023163836A (ja) * | 2022-04-28 | 2023-11-10 | ニシハツ産業株式会社 | 海苔異物確認装置 |
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