JPH0915095A - 光学材料の均質性検査装置 - Google Patents

光学材料の均質性検査装置

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Publication number
JPH0915095A
JPH0915095A JP7184869A JP18486995A JPH0915095A JP H0915095 A JPH0915095 A JP H0915095A JP 7184869 A JP7184869 A JP 7184869A JP 18486995 A JP18486995 A JP 18486995A JP H0915095 A JPH0915095 A JP H0915095A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
optical material
light
homogeneity
linearly polarized
polarized light
Prior art date
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Pending
Application number
JP7184869A
Other languages
English (en)
Inventor
Yumiko Tanihira
由美子 谷平
Hideji Sawada
秀治 沢田
Masanao Kagaya
政直 加賀谷
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nikon Corp
Original Assignee
Nikon Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Nikon Corp filed Critical Nikon Corp
Priority to JP7184869A priority Critical patent/JPH0915095A/ja
Publication of JPH0915095A publication Critical patent/JPH0915095A/ja
Pending legal-status Critical Current

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  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
  • Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】コントラストが十分に高く、したがって光学材
料の均質性の検査を容易に行うことができる検査装置を
提供する。 【構成】検査しようとする光学材料4に平行光を入射
し、光学材料4を透過した透過光を結像レンズ5によっ
て結像させることにより、光学材料4の均質性を検査す
る装置において、光学材料4に入射する平行光として直
線偏光の光を用い、該直線偏光の偏光方向と光学材料4
とのいずれか一方を、光軸を中心として回転可能に配置
したことを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、光学材料の均質性を検
査する装置に関する。
【0002】
【従来の技術】光学材料がその特性を十分に発揮するた
めには、脈理、泡、異物等のない均質な光学材料である
必要がある。従来より光学材料の均質性、特に脈理の有
無を検査する方法の一つとして、検査しようとする光学
材料に平行光束を入射して観察する方法がある。これを
図2(A)によって説明すると、光源1から出た光束を
ピンホール2に通し、コリメータレンズ3によって平行
光束とし、この平行光束を検査しようとする光学材料、
すなわち被検物4に入射し、被検物4を透過した透過光
を結像レンズ5によって結像させて目視検査を行うもの
である。また図2(B)に示すように、光学材料の像を
スクリーン6に写し出して、脈理の有無などの均質性を
検査することも行われていた。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】上記従来の方法では、
光学材料の像のコントラストが低いために脈理の有無な
どが見えにくく、必ずしも十分な均質性の検査を行うこ
とができなかった。そこで本発明は、コントラストが十
分に高く、したがって光学材料の均質性の検査を容易に
行うことができる検査装置を提供することを目的とす
る。
【0004】
【課題を解決するための手段】本発明者は上記目的を達
成するために研究を重ね、脈理などの光学材料に不均質
性をもたらす要因の中には、偏光特性があるものがあ
り、したがってランダムな偏光を入射したときにはコン
トラストが低いが、特定の偏光を入射したときにはコン
トラストが高くなって観察がより容易になることを見い
だした。本発明はこの知見に基づいてなされたものであ
り、すなわち、検査しようとする光学材料に平行光を入
射し、光学材料を透過した透過光を結像レンズによって
結像させることにより、光学材料の均質性を検査する装
置において、光学材料に入射する平行光として直線偏光
の光を用い、該直線偏光の偏光方向と光学材料とのいず
れか一方を、光軸を中心として回転可能に配置したこと
を特徴とする光学材料の均質性検査装置である。
【0005】
【作用】本発明では検査しようとする光学材料に直線偏
光を入射しており、しかもその直線偏光の偏光方向を光
学材料に対して可変としているために、光学材料に不均
質性をもたらす要因のうちで偏光特性を有するものにつ
いては、偏光方向を変更することによってコントラスト
を高めることができ、したがって光学材料の均質性の検
査をより容易に行うことができる。
【0006】
【実施例】以下本発明の実施例を図面を参照しながら説
明する。図1(A)は本発明の一実施例による検査装置
の概略の構成図を示している。光源1から出た光は、ピ
ンホール2を通り、コリメータレンズ3によって平行光
束に変換されている。本実施例では光源1として、特定
の偏光方向を持たないランダム偏光の光源を用いてい
る。またコリメータレンズ3としては、焦点距離200
mm程度のものを用いている。コリメータレンズ3から
射出した平行光束中には、偏光板7が光軸を軸芯として
回転可能に配置されており、偏光板7から射出した平行
光束中に検査しようとする光学材料、すなわち被検物4
が配置されている。被検物4を透過した平行光束は、結
像レンズ5によって集光されており、これを目視によっ
て観察するように構成されている。
【0007】本実施例は以上のように構成されており、
光学材料に不均質性をもたらす要因のなかには偏光特性
を持つものがあるから、偏光板7を回転して被検物4に
入射する偏光の方向を変更することによって、被検物4
の像のコントラストを高めることができる。発明者が行
った実験によれば、脈理の方向と偏光方向とが直交する
とき、コントラストが最も高かった。すなわち偏光板7
を回転することによって脈理を発見したときには、偏光
方向が脈理の方向と直交するように偏光板7を調節する
ことが望ましい。
【0008】なお上記実施例では被検物4の像を直接目
視したが、図1(B)に示すように被検物4の結像面に
スクリーン6を配置し、スクリーン6に写し出された被
検物4の像を目視、あるいはCCDなどによって観察す
ることもできる。またスクリーン6に代えて、結像面に
直接CCDを配置して画像情報を得ることもできる。な
お被検物である光学材料の使用目的に応じて、光源1か
らの光としては可視光や赤外光などとすることができ、
このときCCDも可視光用のCCDや赤外光用のCCD
などとすることができる。
【0009】また上記実施例では平行光束中に回転可能
な偏光板7を介在させたが、被検物4の像のコントラス
トを高めるためには、被検物4に入射する直線偏光の偏
光方向と被検物4とが相対的に回転できればよい。した
がって偏光板7を用いずに、光源1としてHe−Neレ
ーザーなどの直線偏光を発生するものを用い、光源1自
体を光軸回りに回転させてもよい。また光源1として直
線偏光を発生するものを用い、偏光板7に代えて、1/
2波長板を回転可能に配置することもできる。更に被検
物4に入射する直線偏光の偏光方向は可変とせずに、被
検物4を光軸回りに回転可能に配置することもできる。
更に、上記実施例は、被検物4が赤外線用光学材料のと
きに、特に有効に機能する。
【0010】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、光学材料
のの像のコントラストを高めることができるから、作業
者が脈理などをより発見しやすくなり、したがって作業
負担の軽減を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例を示す概略構成図
【図2】従来例を示す概略構成図
【符号の説明】
1…光源 2…ピンホール 3
…コリメータレンズ 4…被検物 5…結像レンズ 6
…スクリーン 7…偏光板

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】検査しようとする光学材料に平行光を入射
    し、前記光学材料を透過した透過光を結像レンズによっ
    て結像させることにより、光学材料の均質性を検査する
    装置において、 光学材料に入射する前記平行光として直線偏光の光を用
    い、該直線偏光の偏光方向と前記光学材料とのいずれか
    一方を、光軸を中心として回転可能に配置したことを特
    徴とする光学材料の均質性検査装置。
JP7184869A 1995-06-27 1995-06-27 光学材料の均質性検査装置 Pending JPH0915095A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP7184869A JPH0915095A (ja) 1995-06-27 1995-06-27 光学材料の均質性検査装置

Applications Claiming Priority (1)

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JP7184869A JPH0915095A (ja) 1995-06-27 1995-06-27 光学材料の均質性検査装置

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JPH0915095A true JPH0915095A (ja) 1997-01-17

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ID=16160741

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JP7184869A Pending JPH0915095A (ja) 1995-06-27 1995-06-27 光学材料の均質性検査装置

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JP (1) JPH0915095A (ja)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2002012869A1 (en) * 2000-08-09 2002-02-14 Türkiye Sise Ve Cam Farbrikalari A.S. Method and apparatus for imaging inhomogeneity in a transparent solid medium
JP2008057983A (ja) * 2006-08-29 2008-03-13 Ulvac Japan Ltd レンズ研磨精度評価装置及び評価方法
JP2008082926A (ja) * 2006-09-28 2008-04-10 Sumitomo Metal Mining Co Ltd 光散乱観察装置
JP2020012765A (ja) * 2018-07-19 2020-01-23 株式会社レクザム レンズチェッカー

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