JPS6078125A - 真空バネ - Google Patents
真空バネInfo
- Publication number
- JPS6078125A JPS6078125A JP18496983A JP18496983A JPS6078125A JP S6078125 A JPS6078125 A JP S6078125A JP 18496983 A JP18496983 A JP 18496983A JP 18496983 A JP18496983 A JP 18496983A JP S6078125 A JPS6078125 A JP S6078125A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vacuum chamber
- vacuum
- movable member
- fixed
- spring
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16F—SPRINGS; SHOCK-ABSORBERS; MEANS FOR DAMPING VIBRATION
- F16F15/00—Suppression of vibrations in systems; Means or arrangements for avoiding or reducing out-of-balance forces, e.g. due to motion
- F16F15/02—Suppression of vibrations of non-rotating, e.g. reciprocating systems; Suppression of vibrations of rotating systems by use of members not moving with the rotating systems
- F16F15/023—Suppression of vibrations of non-rotating, e.g. reciprocating systems; Suppression of vibrations of rotating systems by use of members not moving with the rotating systems using fluid means
- F16F15/0232—Suppression of vibrations of non-rotating, e.g. reciprocating systems; Suppression of vibrations of rotating systems by use of members not moving with the rotating systems using fluid means with at least one gas spring
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Aviation & Aerospace Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Vibration Prevention Devices (AREA)
- Fluid-Damping Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は真空バネに関するものである。
従来比較的低い固有振動数の得られる防振支持装置とし
て固定部材と可動部材間を柔軟弾性材よシなる可撓部材
で密封して空気室を形成し内部に圧縮空気を収容した空
気バネが用いられているが、被支持物と外部との間で非
常に低い振動数の伝達を防止するには固有振動数を非常
に低くするように空気室を大きくする必要があって大き
いスペースを要しかつ価格も高くなシ実用性が低くなる
という難点がある。
て固定部材と可動部材間を柔軟弾性材よシなる可撓部材
で密封して空気室を形成し内部に圧縮空気を収容した空
気バネが用いられているが、被支持物と外部との間で非
常に低い振動数の伝達を防止するには固有振動数を非常
に低くするように空気室を大きくする必要があって大き
いスペースを要しかつ価格も高くなシ実用性が低くなる
という難点がある。
この発明はこのような点を解消して非常に低い固有振動
数が容易に得られる小形で安価な実用性が高い真空バネ
を提供す、るものである。
数が容易に得られる小形で安価な実用性が高い真空バネ
を提供す、るものである。
以下図面を参照しながらこの発明の実施例について説明
する。
する。
第１図に示すこの発明の一実施例において、１０は全体
としての真空バネを示す。１１は基台９０に固定されて
所定位置に配置した固定部材で、中央に開口部１２を有
し環状に形成しである。
としての真空バネを示す。１１は基台９０に固定されて
所定位置に配置した固定部材で、中央に開口部１２を有
し環状に形成しである。
ｌ３は可動部材で、中央の突出部１５が開口部１２を間
隔をもって貫通している以外は固定部材１１の下部でこ
の固定部材１１に囲まれるように配置させである。１Ｇ
はこの可動部材の外周面で上方に向かって大径になるよ
うにテーパーさせである。１７はこの外周面と間隔をも
ってほぼ直立するように固定部材１１に形成した内周面
である。
隔をもって貫通している以外は固定部材１１の下部でこ
の固定部材１１に囲まれるように配置させである。１Ｇ
はこの可動部材の外周面で上方に向かって大径になるよ
うにテーパーさせである。１７はこの外周面と間隔をも
ってほぼ直立するように固定部材１１に形成した内周面
である。
１８はゴム等の柔軟弾性材よシなる薄い可撓部材で、中
央部が可動部材１３の下面にメネジ部材２０によυ円形
当板２１を介して気密に固定してあシかつ周縁部はネジ
２２にょシ環状当板２．３を介して固定部材１１の下面
に気密に固定しである。
央部が可動部材１３の下面にメネジ部材２０によυ円形
当板２１を介して気密に固定してあシかつ周縁部はネジ
２２にょシ環状当板２．３を介して固定部材１１の下面
に気密に固定しである。
この可撓部材１８は内部に補強繊維が埋設してあっても
よい。２５は可動部材１３の突出部１５に上方から下部
を螺合させて固着した筒体である。
よい。２５は可動部材１３の突出部１５に上方から下部
を螺合させて固着した筒体である。
２６はゴム等の柔軟弾性材よりなるもう一つの薄い可撓
部材で、中央部は筒体２５を貫通させて環状当板２８を
介してメネジ部材２７により可動部材１３の突出部１５
の上面に気密に固定してありかつ周縁部は環状当板３１
を介してネジ３ｏにより固定部材１１の上面に気密に固
定してあり突出部１５と固定部材１１０間隔を覆うよう
になっている。３２は固定部材１１．可動部材１３及び
可撓部材１８，２’６により囲まれて気密に環状に形成
された真空室で、図示してない真空ポンプによりパイプ
３３を介して内部が真空にしである。したがって、可動
部材１３は固定部材１１に対して上方へ吸引されかつ上
下方向に振動可能になっている。又、大気圧によって可
撓部材１８は上方へ向かって屈曲し可撓部材２６は下方
へ向かって屈曲するようになっている。
部材で、中央部は筒体２５を貫通させて環状当板２８を
介してメネジ部材２７により可動部材１３の突出部１５
の上面に気密に固定してありかつ周縁部は環状当板３１
を介してネジ３ｏにより固定部材１１の上面に気密に固
定してあり突出部１５と固定部材１１０間隔を覆うよう
になっている。３２は固定部材１１．可動部材１３及び
可撓部材１８，２’６により囲まれて気密に環状に形成
された真空室で、図示してない真空ポンプによりパイプ
３３を介して内部が真空にしである。したがって、可動
部材１３は固定部材１１に対して上方へ吸引されかつ上
下方向に振動可能になっている。又、大気圧によって可
撓部材１８は上方へ向かって屈曲し可撓部材２６は下方
へ向かって屈曲するようになっている。
３５は筒体２５の中央部を貫通する弾性のある金属製の
支持棒で、下端部の可動部４２１３を貫通するネジ部３
６に螺合するナツト３７により可動部材１３に固着して
ちり、かつ上端部は連結部材３８によって被支持物９１
の下面に固着されている。この支持棒は被支持物９１か
ら作用する荷重が支持棒のざ屈荷重に近い値になると極
めて水平方向の低い固有振動数が得られるものである。
支持棒で、下端部の可動部４２１３を貫通するネジ部３
６に螺合するナツト３７により可動部材１３に固着して
ちり、かつ上端部は連結部材３８によって被支持物９１
の下面に固着されている。この支持棒は被支持物９１か
ら作用する荷重が支持棒のざ屈荷重に近い値になると極
めて水平方向の低い固有振動数が得られるものである。
すなわち、水平方向の低い固有振動数を必要とする場合
例えばざ屈荷重がｌｏｏＫｇであれば９７に、ｇ、９Ｇ
Ｋｇ等で少くとも５ＧＫｇ以上の荷重が作用することが
望ましいものである。前記筒体２５はこの支持棒３５が
曲がって折れるのを防止する作用を行うものである。
例えばざ屈荷重がｌｏｏＫｇであれば９７に、ｇ、９Ｇ
Ｋｇ等で少くとも５ＧＫｇ以上の荷重が作用することが
望ましいものである。前記筒体２５はこの支持棒３５が
曲がって折れるのを防止する作用を行うものである。
以上のように構成した真空バネ１０は被支持物９１から
作用する荷重に対して真空室３２内の真空を適当になる
ようにして低い固有振動数で被支持物９１を支持するよ
うになっており、その理論は後述する。
作用する荷重に対して真空室３２内の真空を適当になる
ようにして低い固有振動数で被支持物９１を支持するよ
うになっており、その理論は後述する。
第２図も参照すると、例えば４個等の複幹個の真空バネ
１０により被支持物９１を支持する場合が示してあり、
被支持物９１には各真空バネ１０の支持棒３５の上端部
に結合した被支持台９２が設けてあり、その上に例えば
電子顕微鏡等の機器９３が支持しである。９５は被支持
台９２に設けだ載置枠で、適当な重９９６を載置するよ
うになっている。これは各真空バネ１０で可動部材１３
に作用する荷重を調節して可動部材１３が適当々昇降位
置に保持されて上下方向に振動できるようにするためで
ある。
１０により被支持物９１を支持する場合が示してあり、
被支持物９１には各真空バネ１０の支持棒３５の上端部
に結合した被支持台９２が設けてあり、その上に例えば
電子顕微鏡等の機器９３が支持しである。９５は被支持
台９２に設けだ載置枠で、適当な重９９６を載置するよ
うになっている。これは各真空バネ１０で可動部材１３
に作用する荷重を調節して可動部材１３が適当々昇降位
置に保持されて上下方向に振動できるようにするためで
ある。
次にこの発明の理論について説明する。
一般に膜状の可撓部材を用いる空気バネの理論では平面
形状が円形の場合その圧力有効直径として可撓部材の断
面の円弧の中心の位置を境界とすれば十分であることが
知られている。例えば第３図に示すように可撓部材８０
の断面の中心Ｑを通る直径りを圧力有効直径としてその
内側又は外側を圧力有効面積とすることが公知である。
形状が円形の場合その圧力有効直径として可撓部材の断
面の円弧の中心の位置を境界とすれば十分であることが
知られている。例えば第３図に示すように可撓部材８０
の断面の中心Ｑを通る直径りを圧力有効直径としてその
内側又は外側を圧力有効面積とすることが公知である。
したがって、第１図に示す実施例で圧力有効面積は第４
図に示す直径ＤＩの円の面積から直径Ｄ２０円の面積を
差引いた面積である。
図に示す直径ＤＩの円の面積から直径Ｄ２０円の面積を
差引いた面積である。
第５図は第１図に示す実施例で可動部材】３が昇降する
場合の圧力有効面積が変化する状態を示し、可動部材１
３が実線に示す状態から鎖線で示す状態に上昇すると可
撓部材１８の断面円弧の中心ＱはＱ′で示す位置へくる
ようになっており、はぼ中心Ｑは直線りに沿って変化す
る。この直線りの傾斜角をにラジアンとする。可動部材
１３の外側の圧力有効直径がＤｌで示す状態から下方へ
向かってＸだけ下降した場合の圧力有効面積Ａは次のよ
うになる。
場合の圧力有効面積が変化する状態を示し、可動部材１
３が実線に示す状態から鎖線で示す状態に上昇すると可
撓部材１８の断面円弧の中心ＱはＱ′で示す位置へくる
ようになっており、はぼ中心Ｑは直線りに沿って変化す
る。この直線りの傾斜角をにラジアンとする。可動部材
１３の外側の圧力有効直径がＤｌで示す状態から下方へ
向かってＸだけ下降した場合の圧力有効面積Ａは次のよ
うになる。
したがって、これをＸで微分すると ・Ｘ、＝０におい
て となる。Ｐを真空室３２内の絶対圧力、Ｐａを大気圧、
可動部材１３に作用する荷重をＷ１バネ定数をＫとする
と Ｗ−Ａ（Ｐａ−Ｐ） ・・・・・（８）ｄＷ ｄＰ ｄ
Ａ Ｋ ＝ ＝ ＝ −−Ａ、 ＋ （Ｐ ａ −Ｐ ）−
・・・・（４）ｄ ｘ ｄ ｘ、 ｄ ｘ 真空室３２内の空気が断熱変化するものとし比熱比をγ
（はぼ１．４）、定数をＣ１真空室３２の容積を■とす
れば次の式が得られる。
て となる。Ｐを真空室３２内の絶対圧力、Ｐａを大気圧、
可動部材１３に作用する荷重をＷ１バネ定数をＫとする
と Ｗ−Ａ（Ｐａ−Ｐ） ・・・・・（８）ｄＷ ｄＰ ｄ
Ａ Ｋ ＝ ＝ ＝ −−Ａ、 ＋ （Ｐ ａ −Ｐ ）−
・・・・（４）ｄ ｘ ｄ ｘ、 ｄ ｘ 真空室３２内の空気が断熱変化するものとし比熱比をγ
（はぼ１．４）、定数をＣ１真空室３２の容積を■とす
れば次の式が得られる。
ＰＶｌ−Ｃ・・・・・（５）
又、
（５） 、 （ａ’）式より
さらに（２）、（４）、（ア）式より
２を重力の加速度とすれば固有振動数ｆはでめることが
できる。真空室３２内の絶対圧力Ｐは十分小さくするこ
とができるため、（８） ＋ （９）式から極めて低い
固有振動数が得られることが理解できる。真空室３２内
の絶対圧力Ｐがほとんど零の場合＋８） 、 （１）、
（８１、（９）式よシＫ ＝ ｙｔ ｋ −Ｄ １
・Ｐ ａがめられ、固有振動数ｆは荷重にも容積にも無
関係になる。したがって、真空室３２の容積に無関係で
小型に設計できかつ可動部材１３のテーパー等の寸法や
形状により固有振動数をいくらでも零に接近させて低く
できることが理解できる。
できる。真空室３２内の絶対圧力Ｐは十分小さくするこ
とができるため、（８） ＋ （９）式から極めて低い
固有振動数が得られることが理解できる。真空室３２内
の絶対圧力Ｐがほとんど零の場合＋８） 、 （１）、
（８１、（９）式よシＫ ＝ ｙｔ ｋ −Ｄ １
・Ｐ ａがめられ、固有振動数ｆは荷重にも容積にも無
関係になる。したがって、真空室３２の容積に無関係で
小型に設計できかつ可動部材１３のテーパー等の寸法や
形状により固有振動数をいくらでも零に接近させて低く
できることが理解できる。
第１図に示す実施例において、Ｉ）１が１ ｏ ｃｍ。
］）２が３ｃｍ５ｋが００１５．２が９８０ ｃｍ／５
ｅｃＬの場合（１０）式により固有振動数ｆは０．４Ｈ
２になシかつこの場合の荷重Ｗは Ｗ−−メ（１０２−３”） ｖ＋＝ ７１．５ Ｋｇと
なる。同じ性能をとれに最も近い形状の第７図に示すロ
ーリングシール型空気バネと比較すると次のようになる
。ここで可撓部材８５が間に設けである固定部材８６の
外周面と可動部材８７の内周面はいずれもテーパーする
ことなく直立している場合を考える。・この場合 Ｗ＝Ａ （Ｐ−Ｐａ ） −−−−−（１Ｂ）であり、
Ｗが７１５Ｋｇ１ Ｐが６ Ｋ ｆ’ ／ ｃ ｍ”、
Ｐａが１Ｋｇ７ｃｍ”とすると、（１Ｂ）式よりＡが１
４．３ｃｍ”、（層成よりＤが４．２６ｃｍとなる。又
、ｆがｏ、４Ｈｚ。
ｅｃＬの場合（１０）式により固有振動数ｆは０．４Ｈ
２になシかつこの場合の荷重Ｗは Ｗ−−メ（１０２−３”） ｖ＋＝ ７１．５ Ｋｇと
なる。同じ性能をとれに最も近い形状の第７図に示すロ
ーリングシール型空気バネと比較すると次のようになる
。ここで可撓部材８５が間に設けである固定部材８６の
外周面と可動部材８７の内周面はいずれもテーパーする
ことなく直立している場合を考える。・この場合 Ｗ＝Ａ （Ｐ−Ｐａ ） −−−−−（１Ｂ）であり、
Ｗが７１５Ｋｇ１ Ｐが６ Ｋ ｆ’ ／ ｃ ｍ”、
Ｐａが１Ｋｇ７ｃｍ”とすると、（１Ｂ）式よりＡが１
４．３ｃｍ”、（層成よりＤが４．２６ｃｍとなる。又
、ｆがｏ、４Ｈｚ。
γが１．４ の場合（ｌ→式から■が３７２７ ｃｍ”
となる。
となる。
もしこの体積を直径１０ ｃｍの円筒形のタンクで確保
するとその高さは４７ ｃｍとなシ真空バネに比べて圧
力有効直径こそ小さくできるものの非常に大きい容積を
必要とするものである。
するとその高さは４７ ｃｍとなシ真空バネに比べて圧
力有効直径こそ小さくできるものの非常に大きい容積を
必要とするものである。
第６図に示すこの発明の他の実施例においては可動部材
１３に設けた複数個の支柱４０が真空室３２を横切るこ
となくして固定部材１１を昇降可能に貫通しておシかつ
各支柱の上端に共通の支持台４２が固着しである。真空
室３２の周囲には剛性のある環状部材４３を埋設した筒
状の可撓部材４５により気密に閉塞しである。この実施
例において圧力有効面積は図示の直径りを有する円の面
積であるかが、可動部材１３の昇降によシ変化するもの
でおる。
１３に設けた複数個の支柱４０が真空室３２を横切るこ
となくして固定部材１１を昇降可能に貫通しておシかつ
各支柱の上端に共通の支持台４２が固着しである。真空
室３２の周囲には剛性のある環状部材４３を埋設した筒
状の可撓部材４５により気密に閉塞しである。この実施
例において圧力有効面積は図示の直径りを有する円の面
積であるかが、可動部材１３の昇降によシ変化するもの
でおる。
この発明は前述したように真空室３２を有する真空バネ
であるから、被支持物９１を支持する場合の固有振動数
を非常に低くすることができる小型で安価な防振装置が
得られるという効果を有している。したがって、電子顕
微鏡やＬＳＩの製造装置等の低い固有振動数の高性能な
弾性支持装置として利用できるものである。
であるから、被支持物９１を支持する場合の固有振動数
を非常に低くすることができる小型で安価な防振装置が
得られるという効果を有している。したがって、電子顕
微鏡やＬＳＩの製造装置等の低い固有振動数の高性能な
弾性支持装置として利用できるものである。
この発明において第１図に示す実施例のように可動部材
工３の昇降にょシ圧力有効面積が変化するものは真空室
３２内の圧力を低くすることにより固有振動数をいくら
でも零に接近する低い値にできるという利点を有するも
のである。
工３の昇降にょシ圧力有効面積が変化するものは真空室
３２内の圧力を低くすることにより固有振動数をいくら
でも零に接近する低い値にできるという利点を有するも
のである。
なお、この発明の第１図に示す実施例において可動部材
１３の外周面１６をほぼ直立させ固定部材１１の内周面
１７を上方に向かって小径になるようにテーパーさせる
等にょシ上方になるにしたがって間隔が狭くなるように
すれば可動部材１３が上昇するにしたかっ、て圧力有効
面積が減少するという作用が得られるものである。又、
この発明において可撓部材１８，２６，４３等はゴム以
外に合成樹脂で製造してもよく可撓性が大きくてＩＫ
ｇ ／ ｃ ｍ” 程度の圧力に耐えられるならば十分
である。
１３の外周面１６をほぼ直立させ固定部材１１の内周面
１７を上方に向かって小径になるようにテーパーさせる
等にょシ上方になるにしたがって間隔が狭くなるように
すれば可動部材１３が上昇するにしたかっ、て圧力有効
面積が減少するという作用が得られるものである。又、
この発明において可撓部材１８，２６，４３等はゴム以
外に合成樹脂で製造してもよく可撓性が大きくてＩＫ
ｇ ／ ｃ ｍ” 程度の圧力に耐えられるならば十分
である。
第１図はこの発明の一実施例を示す縦断面図、第２図は
第１図に示す実施例を複数個用いて被支持物を支持する
状態を示す正面図、第３図は可撓部材についての圧力有
効直径の説明図、第４図は第１図に示す実施例の圧力有
効面積の説明用断面図、第５図はその圧力有効面積の変
化を示す説明用断面図、第６図はこの発明の他の実施例
を示す縦断面図、第７図はこの発明と比較のため示す空
気バネの縦断面図である。 １０は真空バネ、１１は固定部材、１３は可動部材、１
８は可撓部材、２６は可撓部材、＆２は真空室、４３は
可撓部材。 代理人 弁理士 勝 部 明 長 第３図 （α） （ｂ） （Ｃ） 第４図 ＃５図 第 ６１１Ｏ 第 ７ 図
第１図に示す実施例を複数個用いて被支持物を支持する
状態を示す正面図、第３図は可撓部材についての圧力有
効直径の説明図、第４図は第１図に示す実施例の圧力有
効面積の説明用断面図、第５図はその圧力有効面積の変
化を示す説明用断面図、第６図はこの発明の他の実施例
を示す縦断面図、第７図はこの発明と比較のため示す空
気バネの縦断面図である。 １０は真空バネ、１１は固定部材、１３は可動部材、１
８は可撓部材、２６は可撓部材、＆２は真空室、４３は
可撓部材。 代理人 弁理士 勝 部 明 長 第３図 （α） （ｂ） （Ｃ） 第４図 ＃５図 第 ６１１Ｏ 第 ７ 図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、所定位置に配置した固定部材と、被支持物を支持す
る可動部材と、前記固定部材と可動部材間の開放した部
分をすべて伸縮可能に気密に閉塞して真空室を形成する
柔軟弾性材よシなる１個又は複数個の可撓部材とを包含
し、前記真空室内を真空にしたことを特徴とする真空バ
ネ。 ２、特許請求の範囲第１項記載の真空ノ（ネであって、
前記固定部材が真空室の上面を形成しかつ可動部材が真
空室の下面を形成して固定部材に間隔を介して周囲を囲
まれるようになっておシ、前戴間隔を閉塞する前記可撓
部材は環状でダイヤフラム状に形成してあって下面より
大気圧が作用するようになってお９、前記固定部材の内
周面と可動部材の外周面間の間隔は上部で狭く下部で広
くなるように形成しであることを特徴とする真空）くネ
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18496983A JPS6078125A (ja) | 1983-10-05 | 1983-10-05 | 真空バネ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18496983A JPS6078125A (ja) | 1983-10-05 | 1983-10-05 | 真空バネ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6078125A true JPS6078125A (ja) | 1985-05-02 |
| JPS6260568B2 JPS6260568B2 (ja) | 1987-12-17 |
Family
ID=16162517
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18496983A Granted JPS6078125A (ja) | 1983-10-05 | 1983-10-05 | 真空バネ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6078125A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7466396B2 (en) | 2005-10-13 | 2008-12-16 | Nikon Corporation | Lithography apparatus and method utilizing pendulum interferometer system |
| JP2010031950A (ja) * | 2008-07-28 | 2010-02-12 | Tokkyokiki Corp | 除振装置 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01254575A (ja) * | 1988-04-02 | 1989-10-11 | Haisensu:Kk | 混載輸送用パッケージ |
-
1983
- 1983-10-05 JP JP18496983A patent/JPS6078125A/ja active Granted
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7466396B2 (en) | 2005-10-13 | 2008-12-16 | Nikon Corporation | Lithography apparatus and method utilizing pendulum interferometer system |
| JP2010031950A (ja) * | 2008-07-28 | 2010-02-12 | Tokkyokiki Corp | 除振装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6260568B2 (ja) | 1987-12-17 |
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