JP2601425Y2 - 空気ばね装置 - Google Patents
空気ばね装置Info
- Publication number
- JP2601425Y2 JP2601425Y2 JP1992053937U JP5393792U JP2601425Y2 JP 2601425 Y2 JP2601425 Y2 JP 2601425Y2 JP 1992053937 U JP1992053937 U JP 1992053937U JP 5393792 U JP5393792 U JP 5393792U JP 2601425 Y2 JP2601425 Y2 JP 2601425Y2
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- JP
- Japan
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- bellows portion
- diaphragm
- horizontal
- upward
- bellows
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本考案は、電子顕微鏡、半導体露
光装置等の精密機器類の除振台として使用される空気ば
ね装置に関する。
光装置等の精密機器類の除振台として使用される空気ば
ね装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】空気ばね装置により好ましい除振を行う
には水平方向および上下方向の両固有振動数をなるべく
低くする必要がある。
には水平方向および上下方向の両固有振動数をなるべく
低くする必要がある。
【０００３】一般に空気室の上面をダイヤフラムにより
気密に封止してなる空気ばね装置においては、上下方向
にのみ突出するべロー部を設けていることから上下方向
の固有振動数を低くすることに比べて水平方向の固有振
動数を低くすることは困難である。
気密に封止してなる空気ばね装置においては、上下方向
にのみ突出するべロー部を設けていることから上下方向
の固有振動数を低くすることに比べて水平方向の固有振
動数を低くすることは困難である。
【０００４】そこで、本願出願人は先に、水平方向の固
有振動数を低くするように構成した空気ばね装置につき
考案し、これを実用新案登録出願した（実願昭６２−９
６１５５号）。
有振動数を低くするように構成した空気ばね装置につき
考案し、これを実用新案登録出願した（実願昭６２−９
６１５５号）。
【０００５】この空気ばね装置は図２に示されるよう
に、ケース１と、このケース１内に垂下され、ケース１
の上面を気密に封止して空気室２を形成したダイヤフラ
ム３と、ダイヤフラム３の底部に配設された支持部材４
と、この支持部材４上に支柱５を介して配置された、精
密機器類を載置する受け部材６とを備え、ケース１内に
垂下されたダイヤフラム３に接するようにリング状の補
強部材７を配設して水平方向に突出するベロー部８を設
けたものである。
に、ケース１と、このケース１内に垂下され、ケース１
の上面を気密に封止して空気室２を形成したダイヤフラ
ム３と、ダイヤフラム３の底部に配設された支持部材４
と、この支持部材４上に支柱５を介して配置された、精
密機器類を載置する受け部材６とを備え、ケース１内に
垂下されたダイヤフラム３に接するようにリング状の補
強部材７を配設して水平方向に突出するベロー部８を設
けたものである。
【０００６】この空気ばね装置では、ダイヤフラム３の
垂下量を適当な長さとすることにより水平方向の固有振
動数を低くすることが可能であるが、ダイヤフラム３に
水平方向に突出するベロー部８を設けたことによっても
水平方向の固有振動数を低くすることができる。
垂下量を適当な長さとすることにより水平方向の固有振
動数を低くすることが可能であるが、ダイヤフラム３に
水平方向に突出するベロー部８を設けたことによっても
水平方向の固有振動数を低くすることができる。
【０００７】
【考案が解決しようとする課題】しかしながら、この従
来の空気ばね装置においてはダイヤフラム３の最上部の
ベロー部８が空気室２内の空気圧により補強部材７およ
び支持部材４が図示よりも持ち上がって横断面形状が最
も安定な斜め上方に突出する半円形になり易く、最上部
のベロー部８が斜め上方に突出する半円形となったとき
は、上下方向の固有振動数が高くなってしまうという難
点があった。
来の空気ばね装置においてはダイヤフラム３の最上部の
ベロー部８が空気室２内の空気圧により補強部材７およ
び支持部材４が図示よりも持ち上がって横断面形状が最
も安定な斜め上方に突出する半円形になり易く、最上部
のベロー部８が斜め上方に突出する半円形となったとき
は、上下方向の固有振動数が高くなってしまうという難
点があった。
【０００８】本考案は、このような従来の難点を解消す
べくなされたもので、水平方向および上下方向の両固有
振動数を低くなしうる空気ばね装置を提供することを目
的とする。
べくなされたもので、水平方向および上下方向の両固有
振動数を低くなしうる空気ばね装置を提供することを目
的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本考案の空気ばね装置
は、上面が開口されたケースと、このケース内に垂下さ
れ、ケースの上面を気密に封止して空気室を形成したダ
イヤフラムと、ダイヤフラム底部に配設された支持部材
と、この支持部材上に支柱を介して配置された受け部材
とを備えた空気ばね装置において、前記ダイヤフラム
に、その最上部に上方向に突出する上向きベロー部を設
け、前記上向きベロー部の下方に水平方向に突出する水
平ベロー部を設け、前記上向きベロー部と水平ベロー部
の境界部における前記上向きベロー部の内側壁に当接さ
せて、前記上向きベロー部と水平ベロー部のベロー形状
をほぼ一定に保持するための円筒状の補強部材を配設し
たことを特徴とするものである。
は、上面が開口されたケースと、このケース内に垂下さ
れ、ケースの上面を気密に封止して空気室を形成したダ
イヤフラムと、ダイヤフラム底部に配設された支持部材
と、この支持部材上に支柱を介して配置された受け部材
とを備えた空気ばね装置において、前記ダイヤフラム
に、その最上部に上方向に突出する上向きベロー部を設
け、前記上向きベロー部の下方に水平方向に突出する水
平ベロー部を設け、前記上向きベロー部と水平ベロー部
の境界部における前記上向きベロー部の内側壁に当接さ
せて、前記上向きベロー部と水平ベロー部のベロー形状
をほぼ一定に保持するための円筒状の補強部材を配設し
たことを特徴とするものである。
【００１０】
【作用】空気室内に圧縮空気が封入され所定圧になる
と、ダイヤフラムが膨脹し円筒状の補強部材および支持
部材により上向きべロー部と水平べロー部とが形成さ
れ、かつそれらのベロー形状がほぼ一定に保持される。
この状態で使用される。上向きべロー部により上下方向
の固有振動数を低くなし得、かつ水平べロー部により水
平方向の固有振動数を低くなし得る。
と、ダイヤフラムが膨脹し円筒状の補強部材および支持
部材により上向きべロー部と水平べロー部とが形成さ
れ、かつそれらのベロー形状がほぼ一定に保持される。
この状態で使用される。上向きべロー部により上下方向
の固有振動数を低くなし得、かつ水平べロー部により水
平方向の固有振動数を低くなし得る。
【００１１】
【実施例】以下、本考案の空気ばね装置を図に示した実
施例に従い説明する。
施例に従い説明する。
【００１２】図１は本考案の一実施例を示す断面図であ
る。図１において空気室１０は、上面が開口した円筒状
のケース１１の上面をダイヤフラム１２により気密に封
止することにより形成されている。
る。図１において空気室１０は、上面が開口した円筒状
のケース１１の上面をダイヤフラム１２により気密に封
止することにより形成されている。
【００１３】ダイヤフラム１２の外縁部は、ケース１１
の上部に固着された押え部材１３により挾持され気密に
固定されている。ダイヤフラム１２上の底部中央に支持
部材１４が配置されている。支持部材１４上に支柱１５
を介して受け部材１６が配置されている。受け部材１６
は、除振すべき精密機器類（図示せず）を載置する平板
部からなる台である。
の上部に固着された押え部材１３により挾持され気密に
固定されている。ダイヤフラム１２上の底部中央に支持
部材１４が配置されている。支持部材１４上に支柱１５
を介して受け部材１６が配置されている。受け部材１６
は、除振すべき精密機器類（図示せず）を載置する平板
部からなる台である。
【００１４】ダイヤフラム１２の最上部に上方向に突出
する上向きべロー部１７が設けられ、この上向きべロー
部１７の側壁に当接するように円筒状の補強部材１８が
配設されている。ダイヤフラム１２の、補強部材１８と
支持部材１４との間に、水平方向に突出する水平べロー
部１９が設けられている。
する上向きべロー部１７が設けられ、この上向きべロー
部１７の側壁に当接するように円筒状の補強部材１８が
配設されている。ダイヤフラム１２の、補強部材１８と
支持部材１４との間に、水平方向に突出する水平べロー
部１９が設けられている。
【００１５】補強部材１８は、上向きべロー部１７と水
平べロー部１９の境界部分に接着材により接着されて位
置され、上向きべロー部１７と水平べロー部１９のベロ
ー形状を常時ほぼ一定に保持する作用をする。
平べロー部１９の境界部分に接着材により接着されて位
置され、上向きべロー部１７と水平べロー部１９のベロ
ー形状を常時ほぼ一定に保持する作用をする。
【００１６】なおケース１１の側壁に空気源（図示せ
ず）に連通される給気孔２０が設けられている。
ず）に連通される給気孔２０が設けられている。
【００１７】本考案の空気ばね装置は上記のように構成
され、使用時に給気孔２０より空気室１０内に圧縮空気
が封入される。所定圧になると、ダイヤフラム１２が膨
脹し円筒状の補強部材１８および支持部材１４により上
向きべロー部１７と水平べロー部１９とが形成され、か
つそれらのベロー形状がほぼ一定に保持される。
され、使用時に給気孔２０より空気室１０内に圧縮空気
が封入される。所定圧になると、ダイヤフラム１２が膨
脹し円筒状の補強部材１８および支持部材１４により上
向きべロー部１７と水平べロー部１９とが形成され、か
つそれらのベロー形状がほぼ一定に保持される。
【００１８】そして上向きべロー部１７により上下方向
の固有振動数を低くなり、かつ水平べロー部１９により
水平方向の固有振動数を低くなる。
の固有振動数を低くなり、かつ水平べロー部１９により
水平方向の固有振動数を低くなる。
【００１９】なお図示しないが、本考案においては補強
部材１８と支持部材１４との間に、図２に示したと同様
なリング状の補強部材を複数本配設して水平ベロー部の
数を増やし水平方向の性能をさらに改善するようにして
もよい。
部材１８と支持部材１４との間に、図２に示したと同様
なリング状の補強部材を複数本配設して水平ベロー部の
数を増やし水平方向の性能をさらに改善するようにして
もよい。
【００２０】
【考案の効果】以上説明したように本考案によれば、ダ
イヤフラムに、その最上部に上方向に突出する上向きべ
ロー部を設け、上向きべロー部の下方に水平方向に突出
する水平べロー部を設け、上向きべロー部と水平べロー
部の境界に、上向きべロー部と水平べロー部のベロー形
状をほぼ一定に保持する円筒状の補強部材を配設したこ
とにより、水平方向および上下方向の両固有振動数を低
くなしうる。
イヤフラムに、その最上部に上方向に突出する上向きべ
ロー部を設け、上向きべロー部の下方に水平方向に突出
する水平べロー部を設け、上向きべロー部と水平べロー
部の境界に、上向きべロー部と水平べロー部のベロー形
状をほぼ一定に保持する円筒状の補強部材を配設したこ
とにより、水平方向および上下方向の両固有振動数を低
くなしうる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本考案の空気ばね装置の一実施例を示す断面
図。
図。
【図２】従来の空気ばね装置の一実施例を示す断面図。
１０………空気室 １１………ケース １２………ダイヤフラム １３………押え部材 １４………支持部材 １５………支柱 １６………受け部材 １７………上向きべロー部 １８………補強部材 １９………水平べロー部
Claims (1)
- 【請求項１】上面が開口されたケースと、このケース内
に垂下され、ケースの上面を気密に封止して空気室を形
成したダイヤフラムと、ダイヤフラム底部に配設された
支持部材と、この支持部材上に支柱を介して配置された
受け部材とを備えた空気ばね装置において、前記ダイヤ
フラムに、その最上部に上方向に突出する上向きベロー
部を設け、前記上向きベロー部の下方に水平方向に突出
する水平ベロー部を設け、前記上向きベロー部と水平ベ
ロー部の境界部における前記上向きベロー部の内側壁に
当接させて、前記上向きベロー部と水平ベロー部のベロ
ー形状をほぼ一定に保持するための円筒状の補強部材を
配設したことを特徴とする空気ばね装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1992053937U JP2601425Y2 (ja) | 1992-07-31 | 1992-07-31 | 空気ばね装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1992053937U JP2601425Y2 (ja) | 1992-07-31 | 1992-07-31 | 空気ばね装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0614575U JPH0614575U (ja) | 1994-02-25 |
| JP2601425Y2 true JP2601425Y2 (ja) | 1999-11-22 |
Family
ID=12956657
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1992053937U Expired - Fee Related JP2601425Y2 (ja) | 1992-07-31 | 1992-07-31 | 空気ばね装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2601425Y2 (ja) |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02101143U (ja) * | 1989-01-27 | 1990-08-13 |
-
1992
- 1992-07-31 JP JP1992053937U patent/JP2601425Y2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0614575U (ja) | 1994-02-25 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19990907 |
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