JPS607589B2 - 真空拡散接合装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 この発明は真空中で被接合物を接合する真空拡散接合装
置に関するものである。

つぎに、この種の従釆の真空拡散接合装置の一例を第１
図および第２図により説明する。

接合室２と冷却室１とはたがいに横方向に形成されてお
り、両室２，１をつらねた連結部にはゲートバルブ３が
取付けられている。

接合室２内の下部には固定加圧体５Ａが設置されており
、上部には加圧シリンダ７により昇降させる可動加圧体
５Ｂと、図示してない昇降手段により上下に移動させる
発熱体６とがおさめられている。冷却室１には被接合物
Ａを冷却室１から接合室２内に移動させる搬送機４が設
置されているとともに、開閉扉８が取付けられている。
この装置による被接合物Ａの真空拡散接合は下記のよう
にして行う。

まず、ゲートバルブ３を閉鎖した状態で、第２図に示す
ように開閉扉８を開き、搬送機４上に被接合物Ａを設置
する。ついで、開閉扉８を閉じ、冷却室１内を接合室２
内と同等の圧力になるまで真空に排気する。その後、ゲ
ートバルブ３を開き、被接合物Ａを接合室２内に搬入し
、固定加圧体５Ａにのせる。そして、搬送機４を冷却室
１内に後退させ、ゲートバルブ３を閉鎖する。この状態
で接合室２内を十分低圧に排気してから、発熱体６を上
方から降下させ、被接合物Ａを加熱する。被接合物Ａが
所定の温度に達したら、加圧シリング７により、可動加
圧体５８を降下させ、可動加圧体５Ｂと固定加圧体５Ａ
とにより被接合物Ａを加圧し、拡散接合する。拡散接合
が終了したら、ゲートバルブ３を開き、搬送機４によっ
て被接合物Ａを冷却室１内に搬送させ、ついでゲートバ
ルブ３を閉じる。そして開閉扉８を開いて接合の終了し
た被接合物Ａを取り出す。このような動作をくりかえす
。この装置においては、被接合物Ａを固定加圧体５Ａへ
のせるための搬送機４および発熱体６を降下させる装置
等に種々の問題があり、かつ、接合室２内には発熱体６
の移動範囲が必要であるため、装置が大形になる。

また、搬送機４による被接合物Ａの固定加圧体５Ａへの
搬入がむずかしく、上下の芯出し‘こ困難がともなう等
の欠点がある。この発明は上記の欠点を除くためのもの
で、接合室を上部に、冷却室を下部に形成し、冷却室の
下側に被接合物の移動および加圧を行う加圧シリンダを
設置したものである。

以下、この発明の一実施態様を第３図ない・し第５図に
より説明する。

接合室１川ま上部に、冷却室９は下部に形成されており
、両室１０，９をたがいにつらねた連結部にはゲートバ
ルブ１１が取付けられている。

接合室１０内には固定加圧体１３Ｂが設置されていると
ともに、発熱体１４および発熱体１４を囲ませた筒状の
断熱材１７が取付けられている。冷却室９内には加圧シ
リンダ１２により移動させる可動加圧体１３Ａがおさめ
られており、その下側には断熱材１６が取付けられてい
る。冷却室９の側方部には開閉扉１５が取付けられてい
る。この発明の装置による被接合物の真空拡散接合は下
記のようにして行う。

まず、ゲートバルブ１１を閉鎖した状態で冷却室９の開
閉扉１５を開き、被接合物Ａを可動加圧体１３Ａの上に
所定の状態に戦層する。ついで、開閉扉１５を閉じ、冷
却室９内を所定の低圧まで排気してゲートバルフ１１を
開く。この状態のもとで、加圧シリンダ１２を、被接合
物Ａが固定加圧体１３８に接触するまで作動させる。こ
の際、断熱材１６は断熱材１７の底部１７ａに接触し、
接合室１０を密封して熱効率を向上するようになってい
る。この状態で接合室１０内が十分低圧になるまで排気
し、発熱体１４により所定の温度まで被俵合物Ａを加熱
する。その後、加圧シリンダ１２により所定の圧力で被
接合物Ａを加圧し、拡散接合をする。拡散接合を終了し
たら加圧シリンダ１２により可動加圧体１３Ａを元の位
置に戻し、ゲートバルブ１１を閉じる。この状態で、冷
却室９内に冷却用の窒素もしくはアルゴンガスを導入し
、被接合物Ａを冷却する。その冷却が完了した後、開閉
扉１５を用いて被駿合物Ａを取り出す。このような動作
をくり返す。以上説明したこの発明によれば、従来の真
空拡散接合装置と同様に、接合室内を高温、高真空に維
持することができ、しかも、搬送機を省くことができる
とともに装置全体を小形にすることができ、したがって
真空ポンプも４・容量のもので足りる。

また、発熱体を固定し、機構を簡略化することができ、
かつ、常に被援合物を可動加圧体の正規の位置にのせ、
均一な加圧を行うことができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来の真空拡散接合装置の一例を示す断面側面
図、第２図は第１図の０−ロ断面図、第３図はこの発明
の一実施態様を示す断面図、第４図は第３図のＷ−Ｗ断
面図、第５図は第２図の底面図である。 ９…・・・冷却室、１０・・・・・・接合室、１１・・
・・・・ゲートバルブ、１２……加圧シリンダ、１３Ａ
……可動加圧体、１３８・・・・・・固定加圧体、１４
……発熱体、１５・・・・・・開閉扉、１６・・・・・
・断熱材、１７・・・・・・断熱材。 弟ｉ図 群２図 第３図 豹４図 努づ図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 拡散接合を行う接合室と、接合室につらなる冷却室
   と、両室の連結部を開閉するゲートバルブとをそなえた
   真空拡散接合装置において、接合室は上部に、冷却室は
   下部に形成し、冷却室の下側に加圧シリンダを設置し、
   加圧シリンダにより昇降させる下側加圧体を冷却室にお
   さめ、接合室内に上側加圧体を固定するとともに発熱体
   を取付けたことを特徴とする真空拡散接合装置。 ２ 接合室に発熱体を囲ませた断熱材を固定し、下側加
   圧体の下側に接合室の断熱材の下端部に接合させて接合
   室を封鎖状態にする断熱材を取付けた特許請求の範囲第
   １項記載の真空拡散接合装置。