JPS6074545A - ウエハの着脱方法 - Google Patents

ウエハの着脱方法

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JPS6074545A
JPS6074545A JP58181961A JP18196183A JPS6074545A JP S6074545 A JPS6074545 A JP S6074545A JP 58181961 A JP58181961 A JP 58181961A JP 18196183 A JP18196183 A JP 18196183A JP S6074545 A JPS6074545 A JP S6074545A
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JP
Japan
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wafer
ring
holder
annealing
handling arm
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JP58181961A
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English (en)
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Junji Sakurai
桜井　潤治
Mamoru Maeda
守 前田
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Fujitsu Ltd
Original Assignee
Fujitsu Ltd
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01272122A (ja) * 1988-04-22 1989-10-31 Tokyo Electron Ltd 熱処理方法
JPH0277119A (ja) * 1988-06-27 1990-03-16 Tokyo Electron Ltd 熱処理方法
JP2002520808A (ja) * 1998-05-11 2002-07-09 シュテアク エルテーペー システムズ ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング 基板を熱処理するための方法および装置

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JPH0277119A (ja) * 1988-06-27 1990-03-16 Tokyo Electron Ltd 熱処理方法
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