JPS6073818A - 光学部品の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

本発明は光学′部品の！！！造方法け：関する。 従来光学部品であるレンズ、ミラーおよびフィルターな
どの多くは−ｒｌラスで形成されていた。 ガラスには多くの移類が４うり、要求に応じた光学部 １だ加１．コストも旨くなる欠点がある。また、特ＩＣ
Ｉ）球面光学素子を形成する場合、加工コストー一層高
くなる欠点がある。 とｉｌらの欠点を解消する光学部品の他の製造法として
、透明な樹脂を型に注入して成形加工（て、条件を選へ
ｉＪ゛低コス°トで太量牛産がｎ」能である。 しか１７、光学部品ｌ−シての高い光学精度を備えたも
のをつくるのは容易でなく、ｔた、物理的あるいは化学
的性質においてもガラス拐料に比べて劣つでおり、特に
、熱膨張率や熱による屈折率変化が大きく、加工に際１
−で内部に歪やひけが生じやすい欠点がある。 このようなガラス材料と樹脂材料のもつ双方の欠点を補
う方法とＬ７て、両者の１１刺を併用したうし学部品の
製造方法がある。この方法は、形成しようとする光学部
品の光学表面を有するマスターとガラス基板とを近接１
１．て配置し、その間隙に樹脂を挾んで又は注入して固
化することによって、ガラス基板とマスターとの間に光
学表面を有する樹脂層を形成し、次いでマスターとガラ
ス基板とを分離することで、ガラス基板と樹脂層とから
なる光学部品を形成するものである。 って光学部品と（−２ての光学精度を得る２：とができ
懸 るため、ガラス自体の研梶工程を大幅に省略でき、また
、樹脂層は薄膜になっているので、熱膨張や熱による屈
折率の変化による影響が小さく、歪やひけの発生も最小
限に押えることができる。非球面レンズなどの非球面を
備えた光学部品もマスターの形状を非球面にすることに
よって球面の場合と全く同様に容易に形成できる。この
マスターを用いる方法の最も大きい問題点は、マスター
とガラス基板との間に樹脂層を形成後、マスターとガラ
ス基板とを分離する際、樹脂層とマスターが樹脂層の光
学表面を損傷することなく分離することが容易でない点
に９る。そこで従来この問題に対処するために、樹脂材
料中にマスターとの接着性を阻止して離型ｆ６：容易に
する物質を混入する方法があり、シリコ−／オイル、各
柚ワックス類などが用いられている。これらの物質は多
くの場合樹脂材料との相溶性がないか、又は低いもので
あって、成形した樹脂層の表面に滲み出して離型の効果
を果すものてめる。したがって樹脂層の機械的特性、透
明性、表面物性等を劣化させることが多い。 また成形した樹脂層の表面に他の光学部品の接着を行う
等の二次加工に除しては、接着剤の接着性を低下させる
ので好ましいことではない。 −万能型剤を樹脂材料中に混入しないで、マスターの表
面に塗布して離型層とし、樹脂材料とマスターとの接着
を防ぐ方法も一般的に利用されでいる方法である。 このような離型層と１〜ではシリコーンオイル、シリコ
ーングリース、シリコーンオイル、カルナバワックス、
ミネラルワックス、フッ累積１月りの粉末またはコープ
インク被膜、水溶性樹脂、グリセリン、各ｆｉｔの油脂
類、ステ７リノ酸塩等が用いられている。しかしながら
、これらの離型剤では、十分な離型効果が期待てきなか
１）だものである。 特Ｖ（従来のＰ＆型剤でｆ（Ｊレンズ、ミラー等の光学
部品の精密成形では、成形材料がアクリル樹脂、Ｊ−ボ
゛キシ樹脂等の液状モノマー又はオリゴマーが多く利用
されている。このような液状桐料の注入の際、なかんず
くエポキシ樹脂のようにとくに接着性のすぐれた拐料の
場合はとくにマスターとの接着が起りやすい。 寸だ、光学部品の場合は、樹脂層表面の成形精度が間融
とされる／ｒめ、離型層はできるだけ薄いことが望まれ
るが、従来の離型剤では、薄くてきないか、薄くすると
部分的に離型層が剥＊＋ｃ　Ｌ、て（−まう問題があっ
た。 このような難点を避Ｈる一つの方法と１−５て、ヤＹ来
、金・銀・畑などの金属蒸着膜を熱型層に利用する方法
が知られている。それにはまずマスター表面にこれらの
金属をスパッタリング、７１空参着たどの手段できわめ
て尚１７；　ｊ６ｐと１．て形成する。との上に所望の
（立１月旨拐料ンたとえはキャスティングなどで注型（
−１離ハリを行う。このとき離型用の金ｒ／Ａ蒸着層は
成形品の表ＵＩＩにイボ泊［２て型から外されてくる。 （５，だがって次の工程と［７て成形品表面に付着した
離型１台の金属Ｉｌψを取除く必要があり、酸・アルカ
リ等て化ｑ′的Ｖｔｌ散解［だり、粘Ａブーブ智を用い
て引きはがず機械的手段が第１１用されている。 そ６゛１だめＴＪｌ／形品の表面が部品の影夢、Ｉをう
りて肌荒わを起］−たりキズが入るなどの弊害か生り、
るとともに離型層除去の「１−程が必髪となるなとの欠
点が住してくる。 而１〜て本発明ｋ１１１１１１Ｉ型性が良好て、離型ｆ
′１１［」の持続性ｌｌ？Ｐｈ、且つ薄く形成できる部
ｌ！ｌＪ、層を用いることによって、光学精度の高い表
面を有する光学部品の製造方法を提供することを主たる
目的とする。 本発明は表面圧離型層を有するマスターとガラス基板と
の間に形成される間隙に樹脂を介在させることによシガ
ラス基板表面に樹脂層を形成し、た後、マスターを分離
してガラス基板と樹脂層からなる光学部品を製造する方
法において、フッ素萌換炭化水素基とアルコキシシラン
基若しくはハロダン化シラ／基とを有する化合物からな
る離型層を形成後、多価アルコールの存在下で離型層を
形成する化合物がマスター表面に化学結合ず乙ように離
型層を処理することを特徴とするものである。 本発明による光学部品の製造方法の代表的ｆｒ態様は第
１図〜第５図に示される。 第１図は、ガラス、金属などの基板１の上にマスター２
が固定さＪｌている部拐を示す。マスター２の表面Ｖｉ
成形しようとする光学表面精度を有（２ており、ガラス
、金属などで形成されている。このマスター２上に第２
図に示すように離型層３を形成する。この離型層れ１７
ツ紫ト換炭化水素基唱アルコキシシラン基若しくはハロ
ケ８／化シラン基とを有する化合物で形成−）る８ 一方、第３図に示すように　ガラス基板４を支持部月５
に固定載置し、ガラス基板４の上には樹脂６を少脅滴下
し７ておく。次に第４図Ｖζ示ずように、ガラス基板４
の」二ニマスター２を重ねることによって、マスター２
とガラス基板４との間隙に樹脂が充満し固化して樹脂ノ
＠８が形成できる。マスターとカラス基板との所望の間
隙はスベーヤ−７によって希保される。次に、マスター
２をガラス基板から分離することによって、第５図に示
すような光学表面を有する樹脂層８とガラス基板４から
成る光学部品が形成できるもび）である。マスターの表
面が平面の場合、球面の場合および非球面の場合には子
ｉ１それ、フィルター、球面レンズおよび非球面レンズ
あるいは、ミラー、球面ミラー非球面ミラーなとの光学
部品が成形てきるものである。なお、ミラーの場合には
、樹脂層を形成後、その上に、ＡｔＳＡｇなどの金属を
蒸着して形成できるものである。 本発明に用いる離型剤の代表的なものは、フッ素置換炭
化水素基と、次の一般式で示されるアルコキシシラン基
（１）又はノ・ログン化シラン基（２）を有するもので
ある。 −５ｉ（０１もｌ）ｎ’も口（：う−ｎ）−−−−（１
１−８ｉＸｒ訣１１１（３−ｍ）、　−−−−一（２１
ここで、Ｒ１および■（・■はアルキル基（例えば、メ
チル基、エテル基、プロピル基、ブチル基なと）、ｎお
よびｍけ１，２ま’Ａ：、　ｒ、ｒ　３　、　ｆ（・川
にアルキル（例えば、メチル基、エテル基、プロピル基
、ブチル基など）又はアルコキシ基（例えに、メトキシ
基、エトキシ基、ブトキシ基など）である。Ｘけハロケ
＋／原子（例えは、Ｃｔ　、　Ｂｒ　、　Ｉ　）である
。 まだ、Ｉも＋　’＋　Ｒｎ　、　Ｒｍ又Ｖ．ｔ　ｘがＳ
ｔに２以上結合している場合Ｋ　ｋ−１、上記の基又Ｉ
ｌ′：Ｉフヨの範囲内で例えば、２つのＲｍがアルキル
糸とアルコキシ基であるように異っていてもよい。 どのパーフルメロ基（ａおよびａ′は整数）をもつフッ
素置換炭化水素基が好ｔ　Ｌ．　＜、また、パーフルメ
ロ基の長さが炭素数に１−で２個υ上が好す［く、ＣＩ
ｉ”３（ＣＦ２）　Ｆｌ　−　ノＣＦ３ＶＣ　ッ”；　
（　ＣＦ，７１ｊ）ｈｌｄ５以上が適切である。 またノぐーフルオロ基に１ｂ釦でｐする必要−なく、Ｆ たとえばｃｉ；、、”、　）　Ｃ’Ｆ　（　Ｆ２）　２
’　（’）　ヨウＫ　分岐ｍ造を有し７でいてもよい。 この場合に−はａ′は４以上が好井しい。このように本
発明

【■Ｊる離型性は、このパーフルオロ基によって発
４ｊｉｉされるものである。 本発明で使用する離型剤の、パーフルオロ基のない方の
一端は少くとも１つのアルコキシシラン基あるいーハロ
ヶゞン化シラン基を有している。アルコキシシラン基−
Ｓ　ｉ　ＯＩＬ　（およびハロヶ８ン化シラン基−Ｓｉ
Ｘけ水分と反応し２て一Ｓ　ｉ　ＯＨ外となりさらにこ
れがガラス、金属等の型材料の表面Ｖこ存在する−０１
−１基との間で脱水縮合又（ｊ水素結合管を起して結合
する。 すなわち木兄明証使用する離型剤はその一端て成形用の
マスターの表面に化学結合１，２、他端にパーフルオロ
基を配向してマスター型表面を被うこととなり、薄くて
耐久性に優れ均一な離型層を形成すること力Ｓできるー パーフルオロ基とアルコキシシラン基又はハロケ９ン化
シラ／基の珪素原子とは直接結合されてぃＴＪ　モｊ　
イｉ、　＊　造単＆　ト（、”Ｃ１−（’ＣＨ，，）ｔ
−。 −０−（ＯＨ２）　ｔ−０−、−ＮＨ−（ＣＨ２）　ｔ
　−ＮＨ−。 （ＣＨ２）−０−（Ｃ）１つ）ｔ　−、−（ＣＨ２）ｚ
−Ｎ）］−（ＣＨ２）ｚ　−。 −ＣＯＮＩ−１−（ＣＨ２）ｚ−、−Ｃｏｏ（ＣＨ２）
ｚ−等の構造を介し７て結合されていてもよい。これら
の構造は可能なかきり短いものでｔけ３ヌにそれ以下が
よい。 具体的な化合物例としては、下記のものを挙けることが
できる。 （］）ＣＦ３−＜ｃＦ２）ツー（ＣＨ２）３　ＮＨ−（
’ＣＨ２）７　５ｉ（ＯＣＨＩ３）７（２＋ＣＦ３　（
ＣＰ’２）７０　（Ｇ４２）３０８＋（、’ＯＣＨ，）
３（３１０Ｆ！！−（ＣＦ２）、　−ＮＨ−（ＣＨ２）
３−ＮＨ−８１（ＯＣＨ３）３（４）　ＣＦ３−（ＣＦ
２）７−（ＣＨ２）３−０−（Ｃ）１２）ｓ　５ｉ（Ｏ
ＣＨｓ）５（５）　ＣＦ３−（ＣＦ２）ｓ　−Ｃ０ＮＨ
−（ＣＨ２）３−８ｉ　（ｏｃ、、Ｈ５）３（６）ＣＦ
’３　（ＣＦ２）７　（ＣＨ２）３５ｔ（ＯＣＨ３）３
（７）ＣＦ、、−（ＣＩｉ”２）、ｌ−０００−（ＣＨ
２）３　−８ｉ（ＯＣＨＩ）５（８）ＣＦ３−（ＣＦ２
）、−（ＣＨ２）３−ＮＨ−（ＣＩ−１２）！ｌ　−８
ｉＣＩ　３（９）　ＣＦ”３−（ＣＦ２）７−〇−（Ｃ
Ｆ］２）ｐ−０−８ｉＣｂ（ＪＩＪ）　ＣＦ、−（ＣＦ
２）、ＮＨ−（ＣＨ２）５−Ｍ−１−８３（ＯＣＨｙ、
＞ｚ喝 １ （Ｈ）ＣＦｖ−（ＣＦａ）ｙ　（ＣＨ２）３０　（、’
ＣＨ２）３−８ｉ（ＯＣ１ｉ３）２ＣＩ （＋２１”３　（’ＣＦ２）７　（’Ｃ１１２）ｚ　５
ｒ（ＯＣＨｘ）。 １ 上記のフッ素熱型剤は通常は固体であるが、これをマス
ター表面に適用するには廟機溶剤に溶解した溶液とする
必要がある。離型剤の分子構造によって異ってくるが、
多くはその溶媒としてフッ化炭化水素系の溶剤又ｄそれ
に若干の有機溶媒を混合したイ、のが適している。たと
えは、ｃＣｌ　２Ｆ　ｅＣ１２Ｆ　、　ｅｅｌ　２ＦＣ
ＣＩ　Ｂ”２　Ｅ）　ルイＩｒｌ　コれらとメタノール
、エタノール、アセトン、トリクロルエチレンなど相溶
性のある有機溶媒を混合したものを用いることができる
。溶媒の濃度はと＜Ｋ限定顔ないが必要とする離型膜は
とくに薄いことが特徴であるので、濃ｍけ低いもので充
分であり１〜３重量ｅおでよい。 との溶液をマスターの表面に塗布するには浸漬塗布、ス
プレー塗布、ハケ塗り等の通常の塗布方法を用いること
ができる。とくに光学部品ではホコリ・ゴミ等の月着は
り１−ましくないので、塗布する溶液、塗布雰囲気、型
そのもの等はホコリを取除いてお・く必要がある。塗布
後に通常は自然乾燥で溶媒を蒸発させて乾燥塗膜とする
が、このとき塗布された膜厚はとくに規定するべきもの
ではないが、２０μ以丁が適当である。 隙型屓はマスター表向と強固医密着するように、多価ア
ルコールの存在下で離型剤をマスター表面に化合結合す
るように処理することが有効である。 このための処理の例としては、アミン又は酸による処理
が挙けらＩ］、る。例えは、離型剤の塗布が終つプζマ
スターは、アミンを含有する処理液中で加熱処理さｉす
る。こ＼で用いるアミン−１級アミン。 ２級アミン、３級フミンの倒れでもよいが、とくに】糾
アミ／と２級アミンが有効である。具体的にはたとえは
エチルアミ／、プロｖ″ルアミ／、ブチルアミ／、アミ
ルアミ／、ヘギシルアミン等の１級アミンや２級アミン
としてはジエチルアミン等がある。これらのアミンはい
ずれも水溶性のアミンで、少くとも２０重量％まで水に
溶解する。 これらのアミツリ処理液から＃＃型層中に拡散し、離型
剤のアルコ片ジシラン又げハロケ゛／化シラ／の基と反
応して、−ト地のマスター表面の−ＯＨとの脱水縮合を
促進することがその目的であるので、分子構造相なるべ
く簡単な構造を持ちかつ分子月も小さく、離型剤層内に
拡散しやすいものが適し。 ている○これらアミ／の一醸−ｔ：Ｉ’　＋　５重量％
以下望し７〈げ０５〜３重惜％８亀か適（７ている。 この処理液のもう一つの１′１川−離型剤末端のＳ　ｉ
　−０１′ＬＩ又（ｄＳｊｘを−８＋０Ｉ−１ｆｃ　ｊ
ＪＩｌ　水分解ずルコトにあるので、この処、理液目水
を有″４−ることが要件である。したがって処理液と（
−７ではアミンの水溶液を用いる。 この処理液中ての処理１ｄ：　６０〜９５℃の温度て０
５〜３時間程度の条件下で行われるのがよい。 湿度は反応促進の意味では高温である方かよいが、９５
℃を越えると水が沸騰を起し、気泡が激しく発生してマ
スター表面を攻撃して離型剤層を機械的に脱落させるこ
とがあるので上記の通り６０〜９５℃が適切である。 また、本発明の好ましい具体例でね、アミン化合物又は
酸の水溶液を予めマスターの表面に塗布し、これを乾燥
し／こ後に、前述と同様のパーフルオロ基とアルコキシ
シラン基若しくは、ノ・ロｒン化、　シラ／基を少なく
とも有する離型剤を塗布することによって離型膜を形成
することもできる。 アミンは離型処理に際してあらかじめマスターの表面に
塗布されるが、このときマスター材料として用いられる
ガラス又は金属の表面に存在する−　０１１基との間に
水素結合を起すかあるいは単純な吸着を起すなどしてマ
スター表面に結合する０次に離型剤がこの上に塗布され
、後述の熱水処理が行われるときに、離型剤分子構造の
末端の一８ｉＯＲ＋又は−８ｉＸを一８ｉＯＨに加水分
解し、さらに型表面の−ＯＨと脱水縮合を起す際に、こ
れらのアミンは触媒作用を発揮する。したがって水の存
在は必須であるので、あらかじめ使用するアミンも水溶
液として使用するのが妥当である。しかし７ながら次に
使用されるｌ！Ｉ型剤は、水と相溶性がないので、この
アミン処理の後にマスターの表面が液体の水あるいはア
ミンで濡ノまた状態で−、離型剤を塗布する時にその溶
液から離型剤か析出して均一な塗膜となり得ない。そこ
でアミン溶液塗布後のマスターは一応乾像状態にする必
要がある。 しかし型表向から完全にアミンを無くすることは無意味
であるので、乾燥Ｆｉ風乾かあるいは６０〜７０°Ｃ程
鹿の温度で短時間に１トめるべきである。 次Ｋ、このようにアミンをあらかじめ塗布し、乾燥した
マスターの上に前述の離型剤を塗布する工程が用いられ
る。離型剤の塗布が終ったマスターは、次に熱水中で・
処理を行う。この処理は水を前型剤層を通してマスター
表面に拡散させ、あらかじめ塗布されているアミンと共
に先に記（また離型剤中のアルコキシシラン基又ｆ−Ｊ
ハロケ８ン化シラン基を加水分解しかつマスター表面の
一〇Ｈ基と結合させる化学反応を促進するために必要な
処理である。したがって反応促進の目的からはより高い
温度が好捷しいが、水が沸騰を起すと気泡によって離型
層が破壊され、ビンホールの発生等があるので注意しな
ければならない。したがって好ましい処理温度は６０〜
９５℃、時間は０５〜３時間程度が良好な結果を得る。 本発明の別の好ましい具体例では、パーフルオロ基とア
ルコキシシラ／基若しくは）・ロＦ′″／化シラン基を
少なくとも有する離型処理剤をマスターの上に塗布し、
次いで酸の水溶液に浸漬することによって離型層を形成
することができる。 離型剤の塗布後の型は、特に酸の水溶液中で加熱処理す
る。こ＼で用いる酸としては、塩酸、硝酸、硫酸、リン
酸などの無機酸、ギ酸、酢酸、シュウ酸、トルエンスル
フオ／酸などの有機酸が利用でべろ。これらの酸は処理
液から離型剤塗膜中を拡散しマスター表面との界面に至
って離型剤のアルコキシシラン基又ハノ・ロダン化シラ
ン基と反応してこれらを加水分解Ｅ７て一８ｊＯＨと１
゛ると共にさらにマスター表面に存在する−ＯＨ基との
間で縮合を起させる触媒としての作用をする。なおこの
とき−８１０Ｒ＋又は−５ｉｘを−５ｉｌｌ（とするに
は水の存在が必要であるので、これらの酸は水溶液とし
て使用され、その濃［１ｄ５重量％又−それ以下とし、
処理液のＰＨが３０又はそれ以下とする濃度であること
が望ましい。この処理液中での処理条Ｈは６（）〜９５
°Ｃで０５〜５０時間程度である。温良は反応促進の目
的からすねり高温の方が好寸しいが、９５℃を超えると
Ｖ（−騰が起り、気泡によって離型剤が脱落するととが
ちり好ましいことではない。 アミン、酸いずれの場合も水溶液として処理することに
なるが、このときの処理条件は反応促進の而から＋′：
Ｊ’、　ｉるべく高温がよく、一方では処理液が沸騰す
ると気泡に・よって離型層が脱落させらｉする危険があ
る。そのために６０〜９５６Ｃ程度の温度でたとえは（
）５〜５０時間の処理を行う。しかしながらけり゛しい
沸騰は起らなくても＃副処理をした表面には小さな気泡
が多数発生してくる場合がターの表面は疎水性となって
いるため、このように−塵発生した気泡は機械的攪拌等
を行ってもその表面エネルギーの関係から容易に取除く
ことができない。さらに一度マスターを処理液から取り
出して水分を取ってから再開処理液中に入れるというよ
うな方法で一度発生した気泡を完全に取り除いても再度
気泡は発生する。このように気泡が付着した離型層の部
分Ｖｉ誦黙然処理液接触できないので上記の化学処理が
進行しない。又場合によると気泡は離型層の表面ではな
く、その内部から発生してきて離型層に孔をあけて下地
を露出させてしまう場合もある。そこで、アミン又は酸
の処理液の媒体としてエチレングリコール、ポリエチレ
ングリコール、グリセリ７等の水と完全に相溶性のある
高佛点の２価アルコール又は３価アルコールなどの多価
アルコールを用いる。すなわち多価アルコールに上記反
応の要件としてのアミ／又は酸と水を溶解した１溶液を
処理溶液とするものである。種々実験の結果、水の含有
量が気泡発生にとって重要々関係があることがわかり上
記多２価アルコールに対し７溶解する水の濃度を１５重
量％以下５重量％以上が好寸しい結果を得る。 処理に用いるアミン又は、酸はそれぞれ数重量％程度必
要に応じた濃度とすれはよい。 以上は離型層を直接マスター上に塗布する方法について
記したが、この他１／Ｃ，あらかじめアミン溶液又は酸
溶液によってマスターを処理した後に離型剤を塗布する
方法も開発した。この場合は離型剤塗布後は上記２方法
と同様の１１程で、水のみによって加熱処理を行うので
あるが、この際も小さな気泡が発生し、かつその気泡の
挙動は上記と全く同じである。したがってこの方法を用
いる場合は離型剤塗布後の熱処理の、Ｉ−き、水のみで
処理Ｐするのでなく、上記の多価アルコールに例えば１
５軍量％以下、５重量％以上の水を溶解１．だ溶液を使
用する。このようにすることによって、処理中に気泡が
発生することなく、ピンホールや欠陥のない離型層を型
Ｊ：に形成することができる。 このようにして形成された離型層−必要に応じて薄膜化
処理される。この薄膜化処理は、上記シ、。 たアミン又は酸による処理によってマスター表面に化学
結合によって密着（〜でいる離型剤を少くなくこともマ
スター表面に均一に残して他の＃型剤を除去することに
よって行う。この除去手段としては、離型層の摺擦処理
、＃型層表面の溶剤による溶解除去など遣宜選択すれは
よいが、特にフン化炭化水素系などの溶媒中に入り超音
波洗浄を行うことで余分な離型剤が浴Ｍさぜたり、又は
一度樹脂を離型層の表面で硬化してから分離することで
マスター表面に結合した薄い離型層のみが除去されずに
残すことが好適である。 なお場合によってはマスター表面との結合を促進１てさ
らに強ド１な離型層とするためにこの後１００〜１５０
℃の温度で１〜２時間の熱処理を行ってもよい。 樹脂層形成用の樹脂としては、例えばメナルメタアクリ
レートなどのアクリル系モノマー又はオリゴマー、スチ
レン又はスチレンを主体とする共重合を目的とするコモ
ノマーの混合体又はそのオリゴマー、エポキシ樹脂、不
飽和ポリエステル樹脂等（’）　７’レポリマー等の飼
料を使用することができる。 害施例１ 直径約５０ｍｍ厚さ］　Ｏｍ、ｍ、のＪＪ　、に、　−
７ガラスの円形の基板に表面を非球面に研磨仕上けを行
ったマスター（直径約２５　ｍ、ｍ　）をエポキシ系接
着剤で接着してマスター部月を作る。これをフッ素５−
３（ダイキン工業株式会社製、商品名）で約３倍に希釈
した溶液中に浸漬して表面に均一にＦ、Ｓ−１１６を塗
布し７て自然乾燥ゴる。次にｎ−プロピルアミン１重量
％、水５重量％、エチレングリコール９４重量％の紹成
よりなる処理液中で９０°０１時間処岬した。この処理
中に被処理表面には気泡の発生は全くみとめられなかっ
た。処理後液から引ｊ−けたマスターは水滴を拭きとっ
た後にダイフｐｙｓ−３中に入れて超音波洗浄を約３分
間行った。超音波洗浄を行った後は余分なＦＳ−１１６
がとれて外観上未処理の表面と全く区別がつかない状態
になった。次に第３図に示すように黄鉋製の支持部側５
の中心部に凹球面を持ったレンズ状のＳ　Ｆ　−４ガラ
スよシなるガラス基板４を置きこの上に置かれるマスタ
ーとガラス基板４との間に、最大部分で約（１，３ｍ、
ｍ、最小部分で約Ｑ、　ｌ　ｍ−ｍ、の間隙を作るよう
に作製したスペーサー７を置く。ついで透明なエポキシ
樹脂エボテツク３０１−２（エポキシテクノロジー社製
、商品名）の少量をガラス基板の凹部におき、この上か
ら第４図に示すようにマスターを挿入する。これ−を支
持部材５から引出すとマスターの表面に硬化し７たエポ
キシ樹脂を介し２でガラス基板がイづ着して取り出され
てくる０マスターの表面１／Ｃ添ってカミソリの刃を当
て、軽く衝撃を加えるとガラス基板は硬化した樹脂層と
ともに容易にマスターから離型でき、第５図に示すよう
なガラス基板と樹脂層よりなるレンズが成形された。こ
の非球面レンズの表面け、きわめて精度の高い非球面を
な１ておりすぐれた光学部品ができた。 このマスターを用いて、離型処理を追加せずに、し／ズ
の成形をっソけたところ７回まで真１１型が可動部であ
った。なお、ＦＳ−１１６の赤外吸収スペクトルを第６
図に示す。このチャートから明らかなように、ＦＳ−１
１６けＣＦ３（ＣＦ２　）　ｎ基とＳ　ｉ　（ＯＣＨ３
）　３基とを有する化合物であることがわかる。図中１
１はＣ−Ｆの振動スペクトル、１２け８　ｔ　ＯＣＨ３
の振動スペクトル、１３はＳｊＯの振動スペクトルを示
している。 実施例２ 実施例１において、ＦＳ−１１６塗布後のマスターを、
ｎ−グロビルアミン・水・エチレングリコール溶液で処
理しまた後の、グイフロ／ｓ−３中での超音波洗浄を行
わずに、実施例１と同様のレンズ成形実験を行った。成
形後のレンズの離型けきわに’）で容易であり、追加の
離型処理を行わずに７回まで離型できた。成形レンズの
表面は第１回目の成形レンズでにや＼干渉縞にみだれが
見られたが、２回目以後の面では異常はなく良好であっ
た。 液晶配向用特殊シランＬ　Ｐ　−ｓ　’Ｉ’　（信越化
学工業株式会社製、商品名）をダイフロンＳ−３で約２
重量％の濃度の溶液とし、これを実施例２におけるＦＳ
−１１６の代りに用いて実施例２と全く同様のレンズの
成形実験を行った。マスターと成形レンズとの離型りき
わめて容易で、マスター表面にカミソリの刃を邑で軽く
衝撃を与えることで容易に離型でき、た。さらに離型処
理を追加ぜ１ＶＣ成形をつｙけたところ７回まで離型が
可能であった。 成形レンズの樹脂表面の精度に、第１回目をのぞいて、
マスターと同様のすぐれた精度を示した。 第１回目のものは光学干渉縞に１７２λ程度のみだれが
みられた。 実施例４ フッ素系有機シロキサ／化合物 Ｃ７Ｆ１５ＣＯＮＨＣＨ２ＣＨ３ＣＨ２Ｓ　Ｉ（ＯＣＨ
３）３　＋７’）約２重乗％′△ タインロンＳ−３溶液を用いて実施例１で用いた　、マ
スターの塗布処理を行った。これをＨＣｌ　ａ１逍％、
水５重Ｍ％、エチレングリコール９２ｉ景％の網成より
なる処理液中で９０　℃１時間処理しプ妬この処理中破
マスター表面には気泡の発生は全くみられなかった。そ
の後これをダイフロンＳ−ａ中に入れて約３分間超音波
洗浄を行ってこのマスター表面に刊着し、ている上記化
合物を洗い落したところ、未処理のマスター表面と外観
上全く同じてあった。このマスターを用いて実施例Ｉと
同様のプロセスでレンズの成形を？ラフだところ、きわ
めて容易にレンズが離型できた。この離型効果は７回ま
で有効て廓）す、また成形レンズの樹脂面の精度はきわ
めて良好であった。 実施例５ フッ素系有機シロ・キサン化合物 Ｃ７Ｆｌ　６　ＣＵＯＣＨ２ＣＩ−（２ＣＨ２８ｉ　（
ＯＣＨ３）　３の約２重量％のり゛イフロ／Ｓ−３溶液
を用いて、実施例１で用いたマスターの塗布処理を行っ
た。こ第１を１１−プチルアミツ１型開゛％、水５重量
％グリセリン９４重量％の組成よりなる処理液中に入れ
、９０°Ｃ約１時間の熱処理を行った。その後これを〃
ゞイフロンＳ−３中に入れ約５分間超音波洗浄を行って
マスター表面に付着している上記化合物を洗い落したと
ころ、表面は未処理のマスターと全く区別のつかない外
観を呈し、た。このマスターを用いて実施例１と同様の
レンズの成形を行ったところ、レンズの離型けきわめて
容易Ｖｃてきた。この１ｉｉ１＃型効果げ７回の成形ま
で有効であった。また成形後の面の精匪はきわめて高く
、マスターの表面を忠実に転写していた。 実施例６ 金型用金属材料ＹＳＳＳＳマルエージングＡＧ（日立金
属株式会社製、商品名）を用いて第１図に示すマスター
部拐を一体ものとして研削仕上けで作成（−１た。マス
ター表面の部分は非球面の仙暦什上けとした。このマス
ターをＦＳ−１１６の約３重量％のダイフｏ／ｓ３溶液
に浸漬塗布し、次いでこれをｎ−ブチルアミン１重月％
水５重量％、エチレングリコール９４重量％の組成より
なる処理液中に入れて９０°Ｃ約ｌＷＪ間の熱処理を行
った。これをタイフロンＳ−３中に入れ約５分間超音波
洗浄を行った。マスター表面は、未処理のものと同じ外
観を呈した。このマスターを用いて実施例１と同じプロ
セスでレンズの成形を行った。 ｌｆｆ１形ｆｆｌのレンズとマスターとけカミソリ刃を
用いて＾１を型をｔｉ−）ｆｃところ、きわめで容易に
離型するととがてきた。このマスターに追加の離型処理
を行わずに７回外で離型が可能であって、いずれもマス
ター表面を忠実に転写したすぐれた面精度を示した。 比較例１ の 実施例１で用いたマスター６表面にシリコーン系に一ス
ト状ＦＩｌｅ　塑剤１＜Ｓ６１．（ｙ（ム越化学工業株
式会社製、商品名）を不織布を）ｆｌいで塗布した。こ
のときマスターを約・６０°Ｃに加熱し、離型剤を軟く
してできるたけマスター表面を平滑になるように拭き上
けた。このマスターを用いて、実施例１に示したプロセ
スでレンズの成形を行つプζ。樹脂硬化後方Ｓソリの刃
を用いて離型（２ようとしたが部分的ＫＶｉ（１’離が
起ったがレンズをはずすことはできなかった○ 比較例２ 実施例１で用いたマスター表面にシリコーンフェス離型
剤に、　Ｓ　−７０（１（佃越化学工業株式会社製、Ｒ
６品名）を、１１−へキサンを用いて約１０倍に希釈し
たものを塗布した。こわを不織布を用いて光学的曲面の
精祇を害さぬようきわいに拭き上けてから、２７０’Ｃ
で１時間焼例は後徐冷した。 次いでこのマスターを用いて実施例１と同様のレンズの
成型実験を行ったところ、レンズは離型性不十分で、カ
ミソリ刃の１１ｗ一部のガラス基板にヒビが入／〕で（
まった。 比較例：３ 実施例１で用いたマスターを約８０°Ｃに加熱１゜てお
舞、このマスターの表面にカルナウバワックス（融点約
６５°Ｃ）をこすりつけて溶解し寿から塗布する。次に
不織布を用いて余分に何着してとけているカルナウバワ
ックスを拭きとり表面を平滑な処理面に拭き上げてから
常温にもどす。このマスターを用いて実施例１と同様に
し、てし／ズの成形を行ったが離型が不充分で一部レン
ズが割Ｊ′１てし７まった。離型できた部分のレンズの
樹脂表面にＶｉ、離型剤の拭きムラにもとず〈微小な凹
凸が、その表面の反射像でみられた。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に用いるマスターの断面図である０ 第２図は表面に離型層を形成したマスターの断面図であ
る。 第３図は光学部品を形成する／ζめにガラス基板を支持
部材に配置した状態の断面図である。 第４図はガラス基板とマスターを重ねた状態の断面図で
ある。 第５図は形成された光学部品のｔｌ：ｔｒ而面である。 第６図は実施例で用いた離型剤の赤外吸収スペクトル特
性を示すクラフである。 １・・・基板、２・・・マスター、３・・・離型ｌ−１
４・・・ガラス基板、５・・・支持部材、６・・・樹脂
、７・・スペーサー、　８・・・樹脂層Ｑ出願人　キャ
ノン株式会社 第２図 第３霞

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）表面に離型層を有するマスターとガラス基板との
   間に形成される間隙に樹脂を介在させることによりガラ
   ス基板表面に樹脂層を形成した後、マスターを分離して
   ガラス基板と樹脂層からなる光学部品を製造する方法に
   おいて、フッ素置換炭化水素基とアルコキシシラン基若
   し、〈はハロケゝン化シラ／基とを有する化合物からな
   る離型層を形成後、多価アルコールの存在下で離型層を
   形成する化合物がマスター表面に化学結合するように離
   型層を処理することを特徴とする光学部品の製造方法。
2. （２）　マスター表１ＪＩＩにフッ素置換炭化水素基と
   アルコキシシランＭ若Ｌ＜はハロケゝン化シラン基とを
   有する化合物を塗布後、塗布した化合物の一部をマスタ
   ー表面全体に均一に残して他を除去することにより形成
   した離型層である特許請求の範囲第１′ｇｉ記載の光学
   部品の製造方法。