JPS6068034A - 有毒成分の除去法 - Google Patents
有毒成分の除去法Info
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- JPS6068034A JPS6068034A JP58169680A JP16968083A JPS6068034A JP S6068034 A JPS6068034 A JP S6068034A JP 58169680 A JP58169680 A JP 58169680A JP 16968083 A JP16968083 A JP 16968083A JP S6068034 A JPS6068034 A JP S6068034A
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-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D53/00—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols
- B01D53/34—Chemical or biological purification of waste gases
- B01D53/38—Removing components of undefined structure
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Biomedical Technology (AREA)
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- Analytical Chemistry (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Oil, Petroleum & Natural Gas (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Treating Waste Gases (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
近年、半導体工業の発展とともに、砒化水素あるいは燐
化水素などの極めて毒性の強いガスの使用量が増加して
いる。
化水素などの極めて毒性の強いガスの使用量が増加して
いる。
これらの有毒ガスは、シリコン半心体製造用のドーピン
グガスまたは、砒化ガリウムや燐化ガリウムなどの化合
物半導体の原料として不可欠な物質である。
グガスまたは、砒化ガリウムや燐化ガリウムなどの化合
物半導体の原料として不可欠な物質である。
半心体製造プロセスあるいは光フアイバ製造プロセスな
どから排出される廃ガス中には、未反応の砒化水素ある
いは燐化水素が含まれる場合が多い。砒化水素および燐
化水素はそれぞれ生物にとって極めて有害であるから、
麺塊を破壊しないため、廃ガスの排出に先立って、除去
される必要がある。
どから排出される廃ガス中には、未反応の砒化水素ある
いは燐化水素が含まれる場合が多い。砒化水素および燐
化水素はそれぞれ生物にとって極めて有害であるから、
麺塊を破壊しないため、廃ガスの排出に先立って、除去
される必要がある。
従来より砒化水素または燐化水素の除去方法として、湿
式法と乾式法が知られている。
式法と乾式法が知られている。
湿式法としては、砒化水素を硝酸酸性の硝酸銀水溶液で
酸化吸収して亜砒酸として除去する方法（特開昭５Ｏ−
１５１７８８）、過マンガン酸カリ、次亜塩素酸ソーダ
、塩化鏑の塩酸酸性水溶液で砒化水素、燐化水素などを
酸化除去する方法（東独特許１４９，４７０）などが知
られている。これらの方法は湿式であるために、装置が
大きくなることおよび保守管理に費用がかかることなど
の欠点を有する。
酸化吸収して亜砒酸として除去する方法（特開昭５Ｏ−
１５１７８８）、過マンガン酸カリ、次亜塩素酸ソーダ
、塩化鏑の塩酸酸性水溶液で砒化水素、燐化水素などを
酸化除去する方法（東独特許１４９，４７０）などが知
られている。これらの方法は湿式であるために、装置が
大きくなることおよび保守管理に費用がかかることなど
の欠点を有する。
乾式法と１−ては、硝酸銀などの硝酸塩類を多孔質担体
に担持せしめたもの、あるいは塩化第二鉄などの金属塩
化物を多孔質担体に含浸せしめたものを吸着剤として用
い、ホスフィン、アルシンを酸化的に除去する方法（特
開昭５６−８９８３７）が知られている。しかしながら
、この方法は、ＣＶＤ、（化学蒸着）プロセスなどから
の廃ガスを、一度湿らせてから処理する必要があるため
、装置が複雑になるという欠点を有する。
に担持せしめたもの、あるいは塩化第二鉄などの金属塩
化物を多孔質担体に含浸せしめたものを吸着剤として用
い、ホスフィン、アルシンを酸化的に除去する方法（特
開昭５６−８９８３７）が知られている。しかしながら
、この方法は、ＣＶＤ、（化学蒸着）プロセスなどから
の廃ガスを、一度湿らせてから処理する必要があるため
、装置が複雑になるという欠点を有する。
また別の乾式法として砒素を含む混合ガスを７００〜９
５０℃の温度に熱した銅、鉄、ニッケル、コバルトなど
の金属に接触させて、分解し、除去する方法（特公昭５
５−４９９０３）が知られている。この方法は反応温度
が高温であるため装置は高価な耐熱性材質で作られなけ
ればならず、またその保守が困難であるばかりでなく、
装置を加熱するために多大なエネルギーが必要とされる
。
５０℃の温度に熱した銅、鉄、ニッケル、コバルトなど
の金属に接触させて、分解し、除去する方法（特公昭５
５−４９９０３）が知られている。この方法は反応温度
が高温であるため装置は高価な耐熱性材質で作られなけ
ればならず、またその保守が困難であるばかりでなく、
装置を加熱するために多大なエネルギーが必要とされる
。
本発明者はこれらの従来技術の欠点を改善すべく、ガス
中に含まれるアルシンおよびホスフィンなどの有毒成分
の除去方法について鋭意検討した結果、重金属の酸化物
に、これらの有毒成分含有ガスを接触させると、フルシ
ンやホスフィンが除去されることを見い出した。
中に含まれるアルシンおよびホスフィンなどの有毒成分
の除去方法について鋭意検討した結果、重金属の酸化物
に、これらの有毒成分含有ガスを接触させると、フルシ
ンやホスフィンが除去されることを見い出した。
すなわち、本発明は、有拷成分として少なくともフルシ
ンおよび／またはホスフィンを含有するガスを、重金属
酸化物と接触せしめて該ガス中に含有されたアルシンお
よび／またはホスフィンを除去することを特徴とする有
毒成分の除去法である。
ンおよび／またはホスフィンを含有するガスを、重金属
酸化物と接触せしめて該ガス中に含有されたアルシンお
よび／またはホスフィンを除去することを特徴とする有
毒成分の除去法である。
本発明は窒素ガス、水素ガスまたは空気などとアルシン
および／またはホスフィンとの混合ガスに適用される。
および／またはホスフィンとの混合ガスに適用される。
アルシンには砒素の水素化物（ＡＳＨ３、ＡＳ２Ｈ６）
およびその水素原子のうちの少なくとも１原子がアルキ
ル基またはアリール基で置換された化合物（ＡｓＸ３：
）（は同一または異って水素、アルキル基またはアリー
ル基）など、またホスフィンには燐化水素（ＰＨａ）お
よびその水素原子のうち少なくとも１原子がアルキル基
またはアリール基で置換された化合物（ＰＸａ； Ｘは
同一または異って水素、アルキル基またはアリール基）
などがある。
およびその水素原子のうちの少なくとも１原子がアルキ
ル基またはアリール基で置換された化合物（ＡｓＸ３：
）（は同一または異って水素、アルキル基またはアリー
ル基）など、またホスフィンには燐化水素（ＰＨａ）お
よびその水素原子のうち少なくとも１原子がアルキル基
またはアリール基で置換された化合物（ＰＸａ； Ｘは
同一または異って水素、アルキル基またはアリール基）
などがある。
本発明はこれらの有毒成分の中でも砒化水素（ＡｓＨ３
） および／または燐化水素（ＰＨ３）の除去に好まし
く用いられる。
） および／または燐化水素（ＰＨ３）の除去に好まし
く用いられる。
本発明で使用される重金属酸化物は、たとえば、マンガ
ン、鉄、コバルト、ニッケル、銅、亜鉛およびモリブデ
ンなどのそれぞれの酸化物である。これらの重金属酸化
物はその製造条件により、酸化状態が変化するので、そ
の成分を特定するのは難しいが、代表例としては、Ｍｎ
Ｏ２、Ｍｎ０ｓＦｅｅｓＦｅ２ｕ３、Ｆｅａ０４ 、’
ＣｏｏｓＣＯ２０３、Ｃｏａ１４、ＮｉαＣｕ２へＣｕ
へＺｎＯおよびＭｏＯ３などを挙げることができる。勿
論これらの他に、化学量論的に複雑な中間的な化合物が
混在してもよい。
ン、鉄、コバルト、ニッケル、銅、亜鉛およびモリブデ
ンなどのそれぞれの酸化物である。これらの重金属酸化
物はその製造条件により、酸化状態が変化するので、そ
の成分を特定するのは難しいが、代表例としては、Ｍｎ
Ｏ２、Ｍｎ０ｓＦｅｅｓＦｅ２ｕ３、Ｆｅａ０４ 、’
ＣｏｏｓＣＯ２０３、Ｃｏａ１４、ＮｉαＣｕ２へＣｕ
へＺｎＯおよびＭｏＯ３などを挙げることができる。勿
論これらの他に、化学量論的に複雑な中間的な化合物が
混在してもよい。
本発明で使用される重金属酸化物は、それぞれ単独で用
いてもよく、また、互いの混合物として用いてもよい。
いてもよく、また、互いの混合物として用いてもよい。
混合物としては、たとえばＣｕ（）−ＺｎＯｘ 、Ｆｅ
２ｅｓ−ＭｏＯ３およびＣＯ２０３Ｃ０２Ｏ３−などが
ある。
２ｅｓ−ＭｏＯ３およびＣＯ２０３Ｃ０２Ｏ３−などが
ある。
これらの酸化物は、市販の品をそのまま用いても良く、
また、硝酸塩、硫酸塩、塩化物あるいは有機酸塩にアル
カリを加えて得られた水酸化物あるいは酸化物の中間体
の沈殿物を焼成して酸化物としても良い。また、硝酸塩
あるいは有機酸塩、あるいはモリブデン酸アンモニウム
などを溶液の状態で多孔質担体に含浸させた後、空気気
流中または窒素ガスなどの不活性ガス気流中で熱分解し
て酸化物としても良い。
また、硝酸塩、硫酸塩、塩化物あるいは有機酸塩にアル
カリを加えて得られた水酸化物あるいは酸化物の中間体
の沈殿物を焼成して酸化物としても良い。また、硝酸塩
あるいは有機酸塩、あるいはモリブデン酸アンモニウム
などを溶液の状態で多孔質担体に含浸させた後、空気気
流中または窒素ガスなどの不活性ガス気流中で熱分解し
て酸化物としても良い。
本発明で使用される重金属酸化物は、活性炭、アルミナ
、シリカ、７リカアルミナ、マグネシアなど、通常、吸
着剤や触媒製造に用いられる多孔質担体に担持させても
良いが、吸着量を増加させるためには、担体を用いない
で、たとえばペレットなどに成型したものがより好まし
い。
、シリカ、７リカアルミナ、マグネシアなど、通常、吸
着剤や触媒製造に用いられる多孔質担体に担持させても
良いが、吸着量を増加させるためには、担体を用いない
で、たとえばペレットなどに成型したものがより好まし
い。
成型する方法としては、従来公知の乾式法あるいは湿式
法を用いれば良い。このとき少量の水、グラファイト、
滑剤などを、必要に応じて用いても良い。
法を用いれば良い。このとき少量の水、グラファイト、
滑剤などを、必要に応じて用いても良い。
本発明で用いられる重金属酸化物の形状には特に制限は
ないが、球形、円柱形および筒形などが代表例として挙
げられる。
ないが、球形、円柱形および筒形などが代表例として挙
げられる。
本発明においてアルシンまたはホスフィンの濃度には特
に制限はないが、好ましくは５ｖｏβ％以下、さらに好
ましくは１０００ ｐｐｍ （ｖ／ｖ）以下である。
に制限はないが、好ましくは５ｖｏβ％以下、さらに好
ましくは１０００ ｐｐｍ （ｖ／ｖ）以下である。
本発明におけるガス流量は、体積空間速度で通常は５０
００ ｈｒ 以下とされ、１５００ｈｒ ’ 以下が好
ましい。
００ ｈｒ 以下とされ、１５００ｈｒ ’ 以下が好
ましい。
本発明が適用されるガスは、通常は乾燥状態であるが、
湿潤状態であっても吸着筒内で結露する程湿っていなけ
ればよい。
湿潤状態であっても吸着筒内で結露する程湿っていなけ
ればよい。
接触温度は常温ないし室温で十分であるが、加熱下で行
うことを妨げるものではない。加熱して温度を高くする
ことにより吸着能力はさらに大ぎくなるが、その反面加
熱に要するエネルギーが必要となる。たゾし、重金属酸
化物が銅酸化物の場合であって水素ガスが存在する場合
には、実用上高くても６００℃程度とされるが、３００
℃を越えてもよい。
うことを妨げるものではない。加熱して温度を高くする
ことにより吸着能力はさらに大ぎくなるが、その反面加
熱に要するエネルギーが必要となる。たゾし、重金属酸
化物が銅酸化物の場合であって水素ガスが存在する場合
には、実用上高くても６００℃程度とされるが、３００
℃を越えてもよい。
本発明で使用される圧力には、特に制限はなく通常は常
圧でよいが、減圧下でもよく、また、加圧下でもよい。
圧でよいが、減圧下でもよく、また、加圧下でもよい。
本発明が適用されるガス中にアルシンおよび／またはホ
スフィンの他にシランジポラン、セレン化水素、トリメ
チルガリウムおよびトリエチルアルミニウムなどの水素
化合物あるいは有機金属化合物が同時に含まれていても
アルシンまたはホスフィンの除去の妨げＫはナラナい。
スフィンの他にシランジポラン、セレン化水素、トリメ
チルガリウムおよびトリエチルアルミニウムなどの水素
化合物あるいは有機金属化合物が同時に含まれていても
アルシンまたはホスフィンの除去の妨げＫはナラナい。
本発明はガス中に含まれる有毒成分であるアルシンおよ
び／またはホスフィンを乾式で、しかも、比較的低温で
効果的にかつ容易に除去することができ、工業的に優れ
た方法である。
び／またはホスフィンを乾式で、しかも、比較的低温で
効果的にかつ容易に除去することができ、工業的に優れ
た方法である。
以下実施例にて本発明をさらに具体的に税関する。
実施例 １
外側より加熱が可能な、内径２８．４１０Ｌ％長さ６０
０市の大ぎさの吸着筒に種々の重金属酸化物を充填して
所定の温度とし、この吸着筒に、窒素ガスと各種濃度の
砒化水素（ＡｓＨ５） または燐化水素（ＰＨ５）との
混合ガスをｉ 、 ６−ｅ／ｍｉｎの流量で流した。ガ
ス通過開始１０時間後に出口のガスを砒化水素用または
燐化水素用の検知管（ガスチック社製：検出下限砒化水
素；０゜０５ ｐｐｍ、燐化水素； ０ 、２５ ｐｐ
ｍ）でモニターした。
０市の大ぎさの吸着筒に種々の重金属酸化物を充填して
所定の温度とし、この吸着筒に、窒素ガスと各種濃度の
砒化水素（ＡｓＨ５） または燐化水素（ＰＨ５）との
混合ガスをｉ 、 ６−ｅ／ｍｉｎの流量で流した。ガ
ス通過開始１０時間後に出口のガスを砒化水素用または
燐化水素用の検知管（ガスチック社製：検出下限砒化水
素；０゜０５ ｐｐｍ、燐化水素； ０ 、２５ ｐｐ
ｍ）でモニターした。
結果などを第１表に示す。
実施例 ２
窒素ガスの代りに水素ガスを使用したほかは実施例１と
同様にして行なった。
同様にして行なった。
結果などを第２表に示す。
Claims (1)
- 有毒成分として少なくともアルシンおよび／またはホス
フィンを含有するガスを、重金属酸（ｔ［と接触せしめ
て該ガス中に含有されたアルシンおよび／またはホスフ
ィンを除去することを特徴とする有毒成分の除去法。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58169680A JPS6068034A (ja) | 1983-09-14 | 1983-09-14 | 有毒成分の除去法 |
| KR1019850001594A KR920003770B1 (ko) | 1983-09-14 | 1985-03-13 | 배기가스의 세정방법 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58169680A JPS6068034A (ja) | 1983-09-14 | 1983-09-14 | 有毒成分の除去法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6068034A true JPS6068034A (ja) | 1985-04-18 |
Family
ID=15890912
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58169680A Pending JPS6068034A (ja) | 1983-09-14 | 1983-09-14 | 有毒成分の除去法 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6068034A (ja) |
| KR (1) | KR920003770B1 (ja) |
Cited By (15)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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-
1983
- 1983-09-14 JP JP58169680A patent/JPS6068034A/ja active Pending
-
1985
- 1985-03-13 KR KR1019850001594A patent/KR920003770B1/ko not_active IP Right Cessation
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR920003770B1 (ko) | 1992-05-14 |
| KR860007013A (ko) | 1986-10-06 |
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