JPS6066330A - テ−プ状媒体の製造方法 - Google Patents
テ−プ状媒体の製造方法Info
- Publication number
- JPS6066330A JPS6066330A JP17452883A JP17452883A JPS6066330A JP S6066330 A JPS6066330 A JP S6066330A JP 17452883 A JP17452883 A JP 17452883A JP 17452883 A JP17452883 A JP 17452883A JP S6066330 A JPS6066330 A JP S6066330A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- medium
- tape
- targets
- space
- target
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
- Thin Magnetic Films (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（イ）産業上の利用分野
本発明はＶＴＲ等に使用する磁気テープ等のテープ状媒
体の製造方法に関する。
体の製造方法に関する。
（ロ）従来技術
Ｖ Ｔ Ｒ＋７）稠密記録傾向に対応して磁性１１を蒸
着法、スパヅタリング法等で付設する磁気テープが提案
されている。これらの方法でテープ状基台の両面の面内
方向に磁気異方性を持たせようとする場合、キャンロー
ラによって移送されるテープ状基台に対して斜め方向か
ら磁性粒子を付設させるよう（二しているので、第１図
≦二示す如く、独立≦二動作する２つの蒸発源（Ａｌ
（Ｂ）を使りて基台ｆｏ）の両面（０＋）（Ｏｚ）に付
設する必要がある。これは実質的に２つの付着装ｆｉｉ
′ｊＸ：倫えることと同じであり、装置の有効利用の観
点で劣る。そのため１％別の要請がない限り、基台の片
面Ｃ二のみ磁性層を形成するタイプが主流を占めている
。しかし、この場合、薄膜（磁性＋ｔｉ）の内部応力や
基台の熱変形（二よってカーリングを生じる傾向がある
。このカーリングは基台の反対側≦ニダミーの薄膜を形
成すること区二よつ℃除去できることが知られているが
、そのために別途、薄膜付設工程を付加することは生産
性の面で好ましくない。
着法、スパヅタリング法等で付設する磁気テープが提案
されている。これらの方法でテープ状基台の両面の面内
方向に磁気異方性を持たせようとする場合、キャンロー
ラによって移送されるテープ状基台に対して斜め方向か
ら磁性粒子を付設させるよう（二しているので、第１図
≦二示す如く、独立≦二動作する２つの蒸発源（Ａｌ
（Ｂ）を使りて基台ｆｏ）の両面（０＋）（Ｏｚ）に付
設する必要がある。これは実質的に２つの付着装ｆｉｉ
′ｊＸ：倫えることと同じであり、装置の有効利用の観
点で劣る。そのため１％別の要請がない限り、基台の片
面Ｃ二のみ磁性層を形成するタイプが主流を占めている
。しかし、この場合、薄膜（磁性＋ｔｉ）の内部応力や
基台の熱変形（二よってカーリングを生じる傾向がある
。このカーリングは基台の反対側≦ニダミーの薄膜を形
成すること区二よつ℃除去できることが知られているが
、そのために別途、薄膜付設工程を付加することは生産
性の面で好ましくない。
し→ 発明の目的
本発明は以上の点６二鑑みなされたもので、１つの蒸発
源を使って基台の両面に実質的に均等な薄膜を付設する
ことのできるテープ状媒体の製造方法を提供しようとす
るものである。
源を使って基台の両面に実質的に均等な薄膜を付設する
ことのできるテープ状媒体の製造方法を提供しようとす
るものである。
に）発明の槽成
本発明は対向タープブトを持つスパヴタ装置に２つのキ
ャンローラを対向させ、これらキャンローラに案内され
るテープ状媒体の両面に薄膜を実質的に同一条件で付設
することを特徴とするものである。そのため、対向ター
ゲ９ト間の望間Ｃ二１４′ｒ接して、該空間Ｃニキャン
ローラが対面する領域を制限する窓を持つシールドを配
備し、また、対間ターゲヴトに対する両キャンローラの
位置関係を対称にしている。そして、好ましい態様では
、キャンローラの回転面を対向ターゲプトの面と平行に
配備してテープ状媒体の幅方向Ｃ二おける薄膜成形条件
を大巾に変えないようイニする。
ャンローラを対向させ、これらキャンローラに案内され
るテープ状媒体の両面に薄膜を実質的に同一条件で付設
することを特徴とするものである。そのため、対向ター
ゲ９ト間の望間Ｃ二１４′ｒ接して、該空間Ｃニキャン
ローラが対面する領域を制限する窓を持つシールドを配
備し、また、対間ターゲヴトに対する両キャンローラの
位置関係を対称にしている。そして、好ましい態様では
、キャンローラの回転面を対向ターゲプトの面と平行に
配備してテープ状媒体の幅方向Ｃ二おける薄膜成形条件
を大巾に変えないようイニする。
１に１１実施例
第２図は本発明方法に使用される装置の模型口を示すも
のである。装置ｆｓｌは対向タープｖ ト式蒸着装置で
あり、装置（Ｔｌはテープ移送装置である。
のである。装置ｆｓｌは対向タープｖ ト式蒸着装置で
あり、装置（Ｔｌはテープ移送装置である。
対向ターゲヴト式蒸Ｈ装置ｆｓ）は通常のスパプタ装置
と同様、真空容器（１）と、真空容器を排気する真空ポ
ンプ等を含む排気系（２）と、真空容器内に所定のガス
を導入して真空容器内の圧力を所定のガス圧力に設定す
るガス導入系（３）を備えている。
と同様、真空容器（１）と、真空容器を排気する真空ポ
ンプ等を含む排気系（２）と、真空容器内に所定のガス
を導入して真空容器内の圧力を所定のガス圧力に設定す
るガス導入系（３）を備えている。
ターゲヴト（４１ｆ５１はターゲヴト面（４ａ）（５ａ
）が互に対向するよう（二離間して配置されており。
）が互に対向するよう（二離間して配置されており。
各ターゲヴトの背面側（二はターゲヴト面に直交する方
向（二１方回磁界を発生させるように永久磁石ｆ６１（
７）が図示の極性で配備されている。各タープ・Ｉ）
ｆ４）（５１１４よｉ３源（８）からの負電位がブラケ
ヴト＋９）（９）を通じて刊与され、正″ａ位が付与さ
れた真空容器（１）との間で放電を発生しうるよう（ニ
している。ブラケヴ） （９１（９）は何れも絶縁部材
（１■（１０）で真空容器（１）から絶縁されている。
向（二１方回磁界を発生させるように永久磁石ｆ６１（
７）が図示の極性で配備されている。各タープ・Ｉ）
ｆ４）（５１１４よｉ３源（８）からの負電位がブラケ
ヴト＋９）（９）を通じて刊与され、正″ａ位が付与さ
れた真空容器（１）との間で放電を発生しうるよう（ニ
している。ブラケヴ） （９１（９）は何れも絶縁部材
（１■（１０）で真空容器（１）から絶縁されている。
尚、タープ、ｙ ト（４）（５１はＣ。
−ｐｔ金合金ある。
シールド（１１）はスパヴタリング時（二おけるプラズ
マ粒子の拡散方向を制限するもので、シールド（Ｌｉ２
上の窓（１１ａ）（１１ｂ）は後述の基板に対向して配
備され、ブラケ、 ）（９）（９）及び絶縁部材（１（
＋＋（１ωをプラズマ粒子の付着から保護しており、ま
たターゲＷト表面以外の部分での異常放電を防止するよ
うにしている。
マ粒子の拡散方向を制限するもので、シールド（Ｌｉ２
上の窓（１１ａ）（１１ｂ）は後述の基板に対向して配
備され、ブラケ、 ）（９）（９）及び絶縁部材（１（
＋＋（１ωをプラズマ粒子の付着から保護しており、ま
たターゲＷト表面以外の部分での異常放電を防止するよ
うにしている。
テープ移送装置（Ｔ）は供給リール囚と、第１のキャン
ローラ（２１１と、案内ローラ１２２１（２３１（２沿
と、第２のキャンローラＣ５）と１巻取リールイ；）と
を備え℃おり、テープ状媒体Ｃ７）は供給リール（２０
）から巻取リール（、！６１に回けて一定速度で移送さ
れている。第１のギャンローラシυは軸（２１ａ）を中
心に時計方向（二回転し、これに周接する媒体１２ηの
１而をシールド（ＩＩ）の窓（１１ａ ）に対面させる
ようにしている。同様に、第２のキャンローラＩ２５）
は軸（２５ａ）を中心に反時計方向Ｃ二回転し、これに
周接する媒体（２力の他面をシールド圓の窓（１１ｂ）
−二対面させるようにしている。両キャンローラ（２更
■の軸はターゲプト（４１（５１から等距離（ｄｌ＝ｄ
２）ｌ二配設されている。本爽施例では各キャンローラ
（２１）Ｌ＝！５肋回転平面乞ターゲヴ） （４，）（
５１のタープ・ット面（４ａ）（５ａ）と直交する関係
に配置しているが、第３１Ｘ１に示すようＣ二両面を平
行に配置するようにしても良い。ターゲット（４）の形
状が円板状である場合。
ローラ（２１１と、案内ローラ１２２１（２３１（２沿
と、第２のキャンローラＣ５）と１巻取リールイ；）と
を備え℃おり、テープ状媒体Ｃ７）は供給リール（２０
）から巻取リール（、！６１に回けて一定速度で移送さ
れている。第１のギャンローラシυは軸（２１ａ）を中
心に時計方向（二回転し、これに周接する媒体１２ηの
１而をシールド（ＩＩ）の窓（１１ａ ）に対面させる
ようにしている。同様に、第２のキャンローラＩ２５）
は軸（２５ａ）を中心に反時計方向Ｃ二回転し、これに
周接する媒体（２力の他面をシールド圓の窓（１１ｂ）
−二対面させるようにしている。両キャンローラ（２更
■の軸はターゲプト（４１（５１から等距離（ｄｌ＝ｄ
２）ｌ二配設されている。本爽施例では各キャンローラ
（２１）Ｌ＝！５肋回転平面乞ターゲヴ） （４，）（
５１のタープ・ット面（４ａ）（５ａ）と直交する関係
に配置しているが、第３１Ｘ１に示すようＣ二両面を平
行に配置するようにしても良い。ターゲット（４）の形
状が円板状である場合。
前者では第４図に示す如く媒体（２７）の巾方向（ハ）
におけるターゲット（４）との位置関係がｄ １ ＜ｄ
２と相違するため傾向として媒体の中央部で膜厚が大
きく両側で薄くなるが、後者の場合（＝は巾方向におけ
るターゲットとの関係が均等であるので原理上均一な膜
厚な得ることができる。
におけるターゲット（４）との位置関係がｄ １ ＜ｄ
２と相違するため傾向として媒体の中央部で膜厚が大
きく両側で薄くなるが、後者の場合（＝は巾方向におけ
るターゲットとの関係が均等であるので原理上均一な膜
厚な得ることができる。
（へ）発明の効果
本発明は１つの蒸着源を使って媒体の両面酸二膜を略同
じ条件で付着させるものであるから蒸着源を効率よく利
用でき両面≦二磁性層を持つ媒体を格安（二提供できる
。又、媒体の両面に磁性層をほぼ同じ条件で付着せしめ
るのでカール現象を防ぐことができその防止手段を別途
杓する必要がない。
じ条件で付着させるものであるから蒸着源を効率よく利
用でき両面≦二磁性層を持つ媒体を格安（二提供できる
。又、媒体の両面に磁性層をほぼ同じ条件で付着せしめ
るのでカール現象を防ぐことができその防止手段を別途
杓する必要がない。
纂１図は膜を両面Ｃ二付着する従来装置の原理図。
第２図は本発明方法に使用される装置の構成図。
第３図は同装置の他の実施例の構成図、第４図は膜の付
設状態の説明図である。 主な図番の説明 ＜４）ｆ５１−ター’ｆ ット−（１１１・＝；ｙ−ル
Ｆ、 （１１ａ ） （１ｌ ｂ ） ・”ｖ−ルドの
窓、（２Ｄ（２５１＝−第１゜第２のキャンローラ、
（２７１・・・媒体。 代理人 弁理士 佐 野 静 夫 ４ｊＪＬ、Ｌｊ／′
八〇
設状態の説明図である。 主な図番の説明 ＜４）ｆ５１−ター’ｆ ット−（１１１・＝；ｙ−ル
Ｆ、 （１１ａ ） （１ｌ ｂ ） ・”ｖ−ルドの
窓、（２Ｄ（２５１＝−第１゜第２のキャンローラ、
（２７１・・・媒体。 代理人 弁理士 佐 野 静 夫 ４ｊＪＬ、Ｌｊ／′
八〇
Claims (3)
- （１）空間を卜Ａててタープづト面が平行（二対向する
よう≦二１対のターグプトからなる対向ターゲヅトを配
備すると共に該空間の前記ターゲット面間に直流磁界を
付与する装置を配備し、さら（二該空間を囲んで該空間
（二対向する領域を制限する窓を待つシールドを配備し
て、 １ＪｉＪ記窓な通じて前記空間に対面するように
配備された第１、第２キヤンローラに、５Ｋ ’キャン
ロー２側では第１面がそしてシ惑２キャンローラ側では
前記第１面とは反対側のれ４２面がそれぞれ前記空間≦
二対面するように案内されるテープ状媒体の両面ｊｔ二
、前記対向ターゲットのスバ・ツタにより薄膜を形成す
ることｆｒ：特徴とするテープ状媒体の製造方法。 - （２） 前記ターゲリトは円板状であり、又前記両キャ
ンローラはその回転面が該ターゲヴトのターゲツト面を
二平行でありかつｎＩＪ記対向ターゲヴトから等距離（
：配備てれていることを特徴とする特許請求の範囲第（
１１項記載のテープ状媒体の製造方法。 - （３）空間を隔ててターゲツト面が平行を二対向するよ
うに１対のターゲプトからなる対向ターゲヅトを配’Ａ
ｆｒすると共に該空間の前記タープ・ット面間に直流磁
界を付与する装置を配備し、さらに該空間を囲んで該空
間に対面する領域を制限する窓る・持つシールドを配４
ｉｈ Ｌで、前記窓を通して前記′孕間イニ対面するよ
うに配備されたキャンローラ（二案内？Ｊれるテープ状
媒体（二１１１１記対向ターゲヴトのスパダタζ二より
薄膜を形成するテープ状媒体の製〕蛋゛。 方法Ｃ二おい゛〔、自ＩＩ記ターゲヴトン円板状と−Ｃ
ると共に該ターゲヴトのタープ・ソト面と前記キャンロ
ーラの回転面を平行Ｃ二配備することを特徴とするテー
プ状媒体の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17452883A JPS6066330A (ja) | 1983-09-20 | 1983-09-20 | テ−プ状媒体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17452883A JPS6066330A (ja) | 1983-09-20 | 1983-09-20 | テ−プ状媒体の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6066330A true JPS6066330A (ja) | 1985-04-16 |
| JPH0321970B2 JPH0321970B2 (ja) | 1991-03-25 |
Family
ID=15980100
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17452883A Granted JPS6066330A (ja) | 1983-09-20 | 1983-09-20 | テ−プ状媒体の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6066330A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008214724A (ja) * | 2007-03-07 | 2008-09-18 | Toppan Printing Co Ltd | スパッタリング装置及び透明導電膜形成方法並びに有機電界発光素子の製造方法 |
| DE102013206210A1 (de) * | 2013-04-09 | 2014-10-09 | Von Ardenne Gmbh | Vakuumbeschichtungsvorrichtung und Verfahren zur Mehrfachbeschichtung |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5423507A (en) * | 1977-07-22 | 1979-02-22 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Producing apparatus of magnetic recording media |
| JPS57100627A (en) * | 1980-12-12 | 1982-06-22 | Teijin Ltd | Manufacture of vertical magnetic recording medium |
-
1983
- 1983-09-20 JP JP17452883A patent/JPS6066330A/ja active Granted
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5423507A (en) * | 1977-07-22 | 1979-02-22 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Producing apparatus of magnetic recording media |
| JPS57100627A (en) * | 1980-12-12 | 1982-06-22 | Teijin Ltd | Manufacture of vertical magnetic recording medium |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008214724A (ja) * | 2007-03-07 | 2008-09-18 | Toppan Printing Co Ltd | スパッタリング装置及び透明導電膜形成方法並びに有機電界発光素子の製造方法 |
| DE102013206210A1 (de) * | 2013-04-09 | 2014-10-09 | Von Ardenne Gmbh | Vakuumbeschichtungsvorrichtung und Verfahren zur Mehrfachbeschichtung |
| DE102013206210B4 (de) * | 2013-04-09 | 2017-05-04 | Von Ardenne Gmbh | Vakuumbeschichtungsvorrichtung und Verfahren zur Mehrfachbeschichtung |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0321970B2 (ja) | 1991-03-25 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4767516A (en) | Method for making magnetic recording media | |
| JPS6066330A (ja) | テ−プ状媒体の製造方法 | |
| JP2971586B2 (ja) | 薄膜形成装置 | |
| JPS6357855B2 (ja) | ||
| JPS5935580Y2 (ja) | スパツタリング装置 | |
| JPS61110343A (ja) | 磁気記録媒体の製造方法 | |
| JPS60167123A (ja) | 垂直磁気記録媒体の製造方法 | |
| JPH0559549A (ja) | 薄膜の製造方法及び製造装置並びに磁気記録媒体 | |
| JPS6192431A (ja) | 磁気記録媒体の製造法 | |
| JPS61196430A (ja) | 磁気記録媒体の製造方法 | |
| JPS6093640A (ja) | 磁気記録媒体の製造用装置 | |
| JPH0451889B2 (ja) | ||
| JPH0826453B2 (ja) | スパッタリング装置 | |
| JPS62230976A (ja) | 連続スパツタリング装置 | |
| JPS58126981A (ja) | 薄膜製造装置 | |
| JPS6231026A (ja) | 垂直磁気記録媒体の製造方法 | |
| JPH0978234A (ja) | スパッタリング装置およびその方法 | |
| JP2794662B2 (ja) | 垂直磁気記録媒体の製造方法 | |
| JPS6134175A (ja) | スパツタリング装置 | |
| JPS61113135A (ja) | 金属薄膜磁気テ−プ等の製造装置 | |
| JPS6095913A (ja) | 磁性薄膜の製造装置 | |
| JPH0379760A (ja) | スパッタリング装置 | |
| JPS63171425A (ja) | 磁気記録媒体の製造装置 | |
| JPH02277768A (ja) | スパッタリング方法 | |
| JPS6150219A (ja) | 磁気記録媒体の製造方法 |