JPS6065674A - Ccdイメージヤを具備したカメラ - Google Patents

Ccdイメージヤを具備したカメラ

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JPS6065674A
JPS6065674A JP59174841A JP17484184A JPS6065674A JP S6065674 A JPS6065674 A JP S6065674A JP 59174841 A JP59174841 A JP 59174841A JP 17484184 A JP17484184 A JP 17484184A JP S6065674 A JPS6065674 A JP S6065674A
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 この発明は、2回サンプリンクを避けつ\CCDカメラ
の映像応答に伴なうノイズを減少させる装置に関する。
〈発明の背景〉 この明細身で、電荷転送装置に関する説明は次のmJ提
に従うものとする。すなわち装置のゲート電極が配置さ
れる半導体基体の表面は、たとえそのゲート電極が基体
表面に関して異って削向さiつ。
ていても装置の・・上面・・と称す。ざらに、この明細
1)では・・下・および・・上・の用語もこの約束に従
って使用されている。
通常、C O Dの浮動拡散出力段は、この浮動拡散出
力段に接続されたゲート電極を有する金属ー絶縁物ー半
導1本電界効果トフンジヌタ( MISFE.、T )
と合体して構成されている。浮動拡散領域の電位を測定
するために、トランジスタは電位計として共通ドレン(
まだは共通ソース)構成で動作する。
この電位は浮動拡散領域の中の電位ウェル中の電荷を表
わす。この電位の測定は、リセット期間中(で設けられ
た信号サンプリンタ期間中に不連続的に行なわれる。
このようなリセット期間中、浮動拡散領域はMf S 
F E ’I’によってリセット・ドレンにおける基準
電位にクランプされる。さらに詳しく言えば、浮動拡1
°i々領域はこのMISFET動作における実質上のソ
ースとなり、このM I S F P2 T動作は、浮
動拡散領域とリセット・ドレンとの間に配@されたリセ
ツ)・・ゲート電極に供給される電位に応答して生ずる
。り十ツl′・パルスに対する電位の応答が浮動拡散領
域上で誘導されるのを防止するために、浮動拡散領域と
リセツ1−電極との間に別のゲート電極を挿入し、この
別のゲート電極に直流電位を印加する方法が一般に行な
われている。
浮動拡散領域をリセット・°ドレンの電位に周期的(C
クランプするリセット動作は、す+ット・ノイズと呼ば
れる形式のノイズが発生する点で好ましくない。このリ
セット・ノイズは1リセット期間カラ他のリセット期間
に浮動拡散領域上に残存する電位の変動として現わ八る
。リセッ1−・ノイズは、浮動拡散出方段をもった電荷
転送装置と同様に、浮動ゲート出方段をもった電荷転送
装置においても問題となる。リセット・ノイズはCCI
)イメージヤのような電荷転送装置の出力信号の高い方
のビデオ周波数において強く現われるノイズである。リ
セット・ノイズは一般に浮動拡散領域に続<へ4工5F
ET電位計段におけるノイズよpも約adb大きくなる
。低いビデオ周波数ではフリッカ(あるいは・・1/f
・)ノイズが強くなる。フリッカ・ノイズはM工5FE
T電位計段において現われる。
映像出力信号をサンプル−ホールド回路に供給するとと
は知らσれている。このような回路は映像出力信号のサ
ンプル期間中サンプルし、サンプルとサンプルとの期間
にわたってそのサンプルをホールドする。サンプル−ホ
ールド回路の応答性は、それが受信するイメージヤの出
力信号に比較してベースパンlζ(1次高調波ヌベク)
−ル)の内容が増大し、高次高調波スペクトルの内容が
減少する特性をもっている。映像出力信号のデユーティ
・サイクルと後続する増1@処理期間中に混合されるノ
イズのデユーティ・サイクルはサンプリングとホールド
の期間中(で互いに等しくされる。そのため、信号対雑
音比はこのような増幅期間中、それ程大きな害を受けな
い。この処理をこ\では・・単一サンプリングηと称す
フリッカおよびリセットの双方のノイズを減少させる必
要性により互いに関連する2回サンプリンクが実行され
るようになった。この処理では、CCI)イメージヤ出
力レジヌタの各クロック・サイクルにおいて、リセツl
−・ノイズに依存するが信号には依存しない電荷が浮動
拡散領域の下に誘導σ幻る電位ウェル中に存在する初期
に、上記浮動拡散領域の信号がサンプ)vされる。次い
でリセット・ノイズおよび信号の両方に依存する電荷が
浮動拡散領域上にある第2の時点で、信号がサンプル妊
れる。次いで1対のサンプルは合成されて、リセット・
ノイズが抑制されて実質的に信号にのみ依存するサンプ
ルが発生きれる。
相互に関連する2回サンプリンクは、電荷転送装置の出
力段のサンプリンク率が大きくなると実用的でなくなる
。パルヌ幅は狭くなQ、!f、たパルス間隔は、浮動拡
散領域あるいは浮動ゲート出方の下の電荷の平衡のため
に必要とする時間によって制限される限界に向って短が
くなる。出カVジスタのクロック率が数メガヘルツ以上
に上昇すると、互いに関連する2回サンプリングの実施
は困難6てなる。本願発明者は、相関2重サンプリング
によって、イメージヤ装置で1ooKHzのクロック率
でノイズが20 db減少するが、JMHzのクロック
率では3乃至6db以上ノイズを減少させるのは困難で
あることを発見した。
1982年5月18日付のデビイ氏(L、N、Davy
 ) (D米国特許第4,330,753号、発明の名
称[電荷転送装置から信号を再生するだめの方法および
装置(ME’l’ビ○D ANJ)APPARATTJ
S FORRE−COVERING SIG、NAL 
FROM A C[(AR()ET RA M SF 
F 、HD E V工CE)Jの明細書中には、電荷転
送装置1!の出力段から比較的ノイズのない情報信号を
得るための方法が示されている。この方法では、規II
I的にサンプリンクする電位計段からの出力信号は帯域
1i1t7もフィルタで開披されて、電位計段のクロッ
ク周波j散の冶J調波の両側に位置する両側帯波振幅変
調の側帯波を分離する。個々の側帯波はその〃ロン2周
波数の高調波で動作する切換復調器を使用して同期検波
される。同期検波さi;tA+ψ側帯波のベースバンド
・スベクトルハ関連する高調波スペクトルから分離され
る。このベースバンド・スペクトルは、イメージヤ出力
信号のベースバンド・ヌベクトルよシもむしろ同期検波
に先立って帯域通過開披によって抑制された電荷転送装
置からの出力信号として使用さ7江る。
n11述のデビイ氏の特許明細書に示されている方法は
、ノイズが主としてベースバンド中で残留する電位計段
中のフリッカ・ノイズを抑圧するのに有効である。
デビイ氏の特許ではリセット・ノイズは無視されている
が、前述のように、浮動ゲートあるいは浮動拡散出力段
をもった半導体イメージヤ中のノイズの主な源となって
いる。リセット・ノイズは広帯域で半導体イメージヤ出
力において供給されるビデオ・サンフ諏しの高調波周波
数ヌベクトルにわたって拡がっている。その結果、イメ
ージヤ出力サンプルからビデオ信号を再生するために、
クロック周波数の高調波を囲む側帯波の同期検波が使用
されていても、リセット・ノイズがノイズの主たる原因
どなる。前述のデビイ氏の特許明細書では、リセット・
パルスの貫通結合(feedthr○υgh)の減少の
みを取扱っているが、本願発明では、リセット・ノイズ
はりセット・パルスの単なる貫通結合を対象としている
のではない。
本願発明者は、CODイメージヤの出力信号がサンプリ
ンク−ホールド前に高域通過フィルタで7慮波されるか
、あるいは微分されると、サンプル−ホールド回路はイ
メージヤ出力信号の高調波スペクトルを、同期検波にお
ける周波数領域VCあるベースバンド・スペクトル成分
に変換するということを発見した。その結果、イメージ
ヤ出力信号を高域通過フィルタで濾波する(/cも拘ら
ず、映像の低周波成分は回復ざ九る。ざらにボールド動
作は、映像出力信号のj%調波スペクトル成分のピーク
に応答し、平均絶対値には応答しない。そのだめ、目下
期待される処理の変換効率はデビイ氏の特許明細J)に
述べられている同期検波におけるよりも著しく向」ニす
る。この処理ではホールドを行なうことなく直接サンプ
リングが後続して行なわれ、低域通過フィルタにより検
波の応答性が平滑化される。
木i 出願人であるアールシーニー コーポレーション
のデビット サーノフ リサーチ センタ(Dayi−
d 5arnoff Re5ear(3h Cente
r ) +7) 1 ソ/ キー(W、 F 、 Ko
sonocky )氏およびカー不ヌ(6丁、E、Ca
r−nes )氏は、1975年9月発行の7 = ル
シ−x −レビ−+−−(RCA ReV’1.eW)
 VOl、36 ノ第566頁の「電荷結合装置の基礎
概念(Ba5i−c Concepts ofChar
ge−Couplecl Devj−ces ) Jの
論文中で、浮動拡散増1陥器について述べている。この
論文(Cは、浮動拡散領域をゲートによって与えられる
障壁電位にリセットすることが示されている。このゲー
トは″直流電位によってバイアスさ九、浮動拡1枚領域
とりセット・ゲートとして動作するゲートとの間に挿入
されている。すなわち、浮動拡散領域は、電荷転送チャ
ンネルの終端にあるドレン電位ではなく、その浮動拡散
領域が配置される電荷転送チャンネル内のチャンネル電
位にリセットされる。
浮動拡散領域をリセットするこのやり方は、変調伝達関
数(MTE )中に著しい低周波歪を導入するので、通
常は実用的でないとして採用されていない。出力8力S
W通に処理された出刃サングヌを有し、クロックの貫“
通結合を抑制するためにサングルーホールド回路が使用
されているときには、ドレン電圧よりもむしろチャンネ
ル内の電圧1/C’Jセツトされた浮動拡散出方段を有
するCODイメージヤからのビデオ・サンプルによって
得られるテレビジョン表示中では、暗い映像領域へ入り
込む明るい領域の尾端の1cじみが目立つようになる。
本願発明者は、上記コツツギ−氏およびカーネス氏の論
文に示されているリセット処理における低周波歪はCO
Dイメージヤ出カ出御信号波数ヌベクトルのベースバン
ド部分のみ((悪影響を牛えることを発見した。もしベ
ースバンド(あるいは少なくとも歪が現われるより低い
周波数)はサンプルおよびホールドの前に抑制されて相
互間隔のない信号が再生されるならば、コンツキ−氏お
よびカー不ス氏の処理に対する歪は、サンプルおよびホ
ールド出力応答中に現わ八ない。
本願発明者は、リセット・パルスが適当に調時されてお
れば、各画素(ピクチャ・エレメント)サンプルがクロ
ックされて電位計測定用の拡散領域の下に送り込寸れた
後、浮動拡散領域がリセットσれたドレン電位にリセッ
トされても、リセツ1−・ノイズは抑I]されるという
ことを発見したOさらにこのリセットは、各絵素(ピク
セル)の走査期間中、1度以上すンフ諏しする必要なし
に行なわれる、。
リセットに続いて、電位計CCD出力段の浮動素子の下
に次の電荷バケツ1〜を導入する前にある期間のあるこ
とが認められた。この先行期間中のリセット・ノイズの
レベルは、電荷の導入後で、次のリセット前の後続期間
中のリセット・ノイズのレベルと同じである。この現象
はイ目関2回サンプリンクで利用きれる。
この現象を別の点から考えてみると、発明者は、浮動素
子の下に電荷パケットが導入されることによって生じる
信号の変移はりセラ1−・ノイズのベテスタ)I/上に
重畳され、このようなノイズのペデスタルは絵素飲によ
ってのみ変(しすることに気イ゛・」いた。また本願発
明者は、との発明によれば、CODイメージヤ出力信−
号の時間に関する微分は、電荷パケットが浮動素子の下
(C導入されることによって生じる上記の変移に関連す
るリセット・ノイズ・ペデスタルCC対する応答を抑制
するというととに気付いた。次いで、これらの変移に対
する減衰応答の各一定部分にわたって伸びる−11゛ン
プリンタ期間にわたって微分出力信号の同期検波が行な
われる。その結果、得られた出力信号は良好な信号対リ
セット・ノイズ比を得ることができる。
〈発明の概要〉 この発明は、くり返しリセットされる浮動素子(例えば
浮動拡散領域あるいは浮動ゲート)出力電位計段、それ
に続く微分回路およびサンプルーホールト回路を具備し
たCCDイメージヤあるいはそれに類する装置をもった
ノイズ減少カメラで実施される。
く詳細な説明〉 以下、図を参照しつ−この発明の詳細な説明する。
第1図に:にいて、この発明の信号■主装置は、半導体
イメージヤと共に使用するものとして示されている。−
例として、イメージヤは電荷転送形式のCODイメージ
ヤ10である。CODイメージヤ10はイメージ(捷だ
けA)レジスタ11、フィールド(寸たはB)レジスタ
12、および並列入力−直列出力(まだはC)レジスタ
13を有している。
出力信号サンプルは、例えば浮動拡散形式の電荷−電圧
変換段を使用してCレジスタ13の右端((C転送され
た電荷パケットから転送される。このような変防段では
、電荷パケットはCレジスタユ3の下から浮動拡散領域
14の下に配置ざizた電位フェルに規則的にクロック
で進められる。次いで、電位ウェル中の各パケットの電
荷の太き芒は電位計によって決定される。電位計ね縦続
接続されたソース・ホロワ金属−絶縁物−半導体電界効
果1〜ランジスタ(MISFET )15.16を含ん
でいる。別のMISFET15に対する定電流発生ソー
ス負荷として接続されている。チップ外の抵抗器28は
MISFET 16yc対するソース負荷となっている
0CCJ〕イメージヤlOの出力信号サンプルは抵抗器
28の両端間に現われる。MISFET15.16のド
レンには直、流電位○Dが供給されて、これらのMIS
FETをソース・ホロワとして動作させる。MISFE
T16のソースはCODイメージヤ10の出力信−号端
子27に接続されており、従って、負荷抵抗器28を経
てアースに接続されている。
CODイメージヤ]0の出力端子27に供給される出力
信号サンプルは低ノイズ電圧増幅器29の入力接続部に
供給される。増幅器29の出力接続部は微分回路30に
入力信号サンプルを供給する。増幅器29は微分回路3
0の入力接続部をMISFETユ6から分離するバッフ
ァとして作用する。増幅器29は多少高いロール讐オフ
警ビデオ周波数に制限される充分な帯域幅を持っている
ことが望ましい。このようなロール・オフ周波数に定め
られていると、微分回路30は、(a)低いスルー・レ
ート(出力電圧の最大変化率)を持った信号変移に応答
して、より大きなエネルギの内容をもったパルスを発生
し、(b)最終ビデオ応答信号中に、タロツク信号の通
過によって存在する可能性のある過大な振幅スパイクを
導入することはない。微分回路30の時間に関して嶽分
されたビデオ応答信号は入力信号として広帯域低ノイズ
増幅器35に供給される0各電荷パケツトが測定σれた
後、浮動拡散領域]、4上の電位はφrパルスに応答し
てリセツ1−される0φrパルヌはリセット・ゲート1
8に供給され、通草はCレジスタ13のクロック・ゲー
トC図には示されていない)に供給きれるクロック・パ
ルスよりモ多少狭い。φrパルヌはクロック・パルスが
現われる時間内で発生する。リセット°ゲー1゛18は
・Cレジスタ13より浮動拡散領域14およびリセツl
−・ドレン20を含んで伸びる電荷転送チャンネル19
上に配置されている。さらに詳しく言えば、リセット・
ゲート18は浮動拡散領域J4とリセット・ドレン20
との間の電荷転送チャンネル19上VC1!!ii!置
されておシ、その前方にはDCゲート2Jが設けられて
いる。ゲート21には直流電位RGが供給される。
ゲート21は、その下に蓄積されるゲートの量を少なく
するために短かいゲートであることが望ましい。ゲート
21は、リセット・ゲー1−18に供給されたφrパル
ヌが浮動拡散領域14[静電的に結合されるのを防止す
る。
第1図に示されているクロック発生器25は、フィール
ド転送形式のCODイメージヤ用に一般に慣用されてい
るように、3相りロック信号の各組をAレジスタ111
Bレジスタ]2およびCレジスタ13VC供給する0 
2相、44°E、1相あるいは実際」二有効な相を使用
する他の周知のクロック法を使用することもできる0ク
ロック発生器25は」二連のようなφrパルスを発生し
、浮動拡散出力段のゲート電極18に供給する。
クロック発生器25は壕だ直列線読出し期間中、Cレジ
スタ13のクロック周波数に等しいくり返し率φSを発
生する。このφSパルスは線路26を経て同期検波器4
0に供給される。φSパルヌは、広帯域低ノイズ増招1
i35の出力接続部から同期検波器4oに供給される信
号が同期検波処理でサンプルでれる時間を制御するだめ
のキャリヤとして使用される、増幅器35は、信号に伴
なうノイズが次の同期検波処理によって導入されるノイ
ズよりも大きくなるように上記信号レベルを増大する電
圧利得を有している。この場合、増幅器35に起因する
ノイズはCCDイノ−ジャ10内て発生する1/fノイ
ズに比して無視できる。
微分回路30は、直列キャパシタ31と並列抵抗器32
とからなる単一の高域通過フィルタとして第1図に示さ
れている。R、Cll?j定数では、CODイメージヤ
ニOの出力サンプルのベーヌハン+−” m t iヌ
ベクトルのうちで、少なくとも背景の熱ノイズに比して
相当に大きなフリッカまたは1/fノイズを伴なうスペ
クトル部分と同程度に抑制するように選択されている。
このベースバンド周波数スペクトルの抑制は、同期検波
器40に供給される微分回路3oの周波数応答信号中で
明らかになる。時定数τは、釘秒嶺シラジアンで表わさ
れるコーナ周波数(3db低下遮断周波数)fcの逆数
で、その周波ifeの振幅成分はECフィルタによって
3C1,b押えられる。周波数fcは、微分回路30の
入力信s中に存在するが、その出力信号中には選択的に
のみ存在する周波数の実質的に抑制される周波数と実質
的に抑制されない周波数とのu■の境界層11数と考え
ることができる。
Cレジスタ13の7.5 MHzのクロック周波数を持
つ信号再生装置中では、430pFのキャパシタ31と
75オームの抵抗器32とが使用されている。F C7
b域通過フィルタは、τ=35ナノ秒の時定数をもち、
5M、l(Zのコーナ周波数を与える。微分回路30か
らのCCDイメージヤ10の出力サンプルのベースバン
ド・スベクl−/しの上側周波数は、同期検波器10の
出力信号中の復調された第1高調波スペクトルと合成さ
れて、高い周波数のビデオ・ピーキンクを与える。ベー
スバンド信号の残余の部分と復調された第]高調波ヌベ
クトル信号は相互に関連して算術的に加算され、一方、
各帯域(バンド)からのノイズ成分は相関せず、ベク)
/し的に加算される。その結果、この形式のビデオ高周
波ビーキンクによって信号対ノイズ比がよくなるO同期
検波器40の代υに、切換復調器とこれに後続する低域
通過フィルタを使用することができるclしかしながら
、このような切換復調器は平均検波器として作用し、強
い高調波スペクトルを伴なう再生されたベースバンドの
復調器の出力信号を発生する。再生されたベースバンド
・スペクトル対する検波処理による高調波スペクトル残
留成分の強度を押えるために、元来ピーク検波である同
期検波を使用することが好捷しい。サンプル−7ト一ル
ド回路はこ\ではこのような同期検波器として作用する
0 第1図は、M工SFET41とキャパシタ42とからな
る単一のサンプル−ホールド回路を示している。
(値工SFET41のチャンネルが導通すると、各サン
フ諏しをキャパシタ42に入力し、キャパシタ42は入
力されたサンプルをホールドする。!ψ工SFET41
のゲートには線路26よすφSSパルプ供給される。
このφSSパルプCレジヌタ・クロック周波数に等しい
周波数で供給される。各φSパルスに応答してM工SF
ET41のチャンネルは導通状態(Cされる。
M工SFET4ユは、制御信号(線路26からのφSS
パルプが導電チャンネルに感知できる程度には流れ込ま
ない形式の伝送ゲートとして動作する。同期検波器のこ
の形式の出力回路は、導電チャンネルに供給される入力
信号に関して平衡していない。
この同期検波器の入力に供給されるベースバンド・スペ
クトルの残りは、ベースバンド・スペクトルのより高い
周波数成分を通過きせるその出力に現われる。これはあ
る程度のビデオ・高周波ピーキンクを与える。
切換復調器から直接供給される信号とは違ってサンプル
−ホールド回路40から供給される検波された出力信号
は使用可能なビデオ信号であり、ビデオ増幅器のカット
・オフによって与えられる濾波以外の濾波を必要としな
い。検波器50からの検波出力信号はバッファ増幅器5
0に、次いで平滑フィルタ51に供給されるものとして
示されている。
フィルタ5ユは残留クロック周波数を除去する低域通過
フィルタであることが望ましく、映像細部のエイリアシ
ンク( ali−asi−n(g :とびとびの時間に
つ(八での標本値だけでフーリエ解析したために高周波
成分が消失し、これによって低周波成分の計算値に誤差
の出ること)の無い低ノイ7、゛・ビデ/1−信号を供
給する。通常、この低ノイズ・ビデオ信号は、クロック
発生器25のタイミンクと同等の時点で同期および等化
パルスが挿入されるビデメー処理増1咄器(図示されて
いない)K導かれる0クロック発生器25よシ線路26
を経てM I S F E T41のゲートに供給でれ
るパルスの位相は、そのトランジスタのブーヤンネルが
、CODイメージヤ10の出力信号レベル中のある変移
に応答する微分回路3oのスパイクの′t1.哀部分の
期間中に導通するよウニ調整きれている。このある変移
(−!浮動拡11父領域14の下の電荷バケツ1−の導
入によるものである。
この変移はリセット・ノイズには付帯しない。しかしな
がら、φrリセット・パルスの波頭端および波尾端にお
けるCODイメージャ10の出力信号における変移に対
する微分回路30のスパイク応答信号の減衰部分からの
残留リセット・ノイズが存在する。その結果、後者の変
移はリセット・ノイズ成分を持つ。このようなノイズ成
分は、芒らに詳細に説明するように、先行する絵素(ピ
クセル)およびそのときの絵素からそれぞれ生ずる。φ
工°パルスの波頭端に対するスパイク応答信号の減衰部
分の同期検波は、微分回路30中のRC時定数rを短か
くすることによって減少される。L2かしながら、この
ような構成は通過する残留ベースバンド・ヌベク1゛ル
から得られる水平ピーキングの大きさを減少きせる。
φrリセット・パルスが浮動拡散CODイメージヤ出力
段のリセット・ゲート電極18vc供給されるタイミン
グに注意を払うことによって、上記φrノくルヌの波頭
端および波尾端における変移の同期検波をより簡単に避
けることができる。このリセ・ノト処理の複雑ざを第2
図の電位形態を示す図および第6図のタイミンク図を参
照して説明する。
第2.3.4.5図の各電位形態を示す図の頂部には、
電荷転送チャンネル中を左から右へ移動する電荷パケッ
トと対向する構成が一定の形式で示されている。この電
位形態で、よυ正の電位は図のより下にある。図では浮
動拡散領域14の下の電位ウェルは空と仮定されている
。説明を簡単にするために、端縁部の電界は無視してい
る。この発明の動作を理解する上で端縁部の電界を考慮
することは必須ではない。
第2図の電位形態を示す図は、浮動拡散領域14をリセ
ット・ドレン20に供給てれるリセッ)〜・ドレン電位
:RDvcリセットする様子を示している。
φCはCレジスタ13の最後のクロック・グー1−61
VC読出される線期間中に供給されるCレジスタ・クロ
ックの位相を示す。Cレジスタ13はクロック・ゲート
61に後続する最終ゲート62を有し、この最終ゲート
62に直流電位B I)が供給きれる。φCCパルプゲ
ート6Jをよシ低い正電位に引下げる期間を除いて、電
位BPはクロック・ゲート61の下の電位ウェルから浮
動拡散領域14の下の電位ウェルに電荷が流れるのを阻
止する高さの障壁を作る。ゲート21は、その下の電荷
チャンネルがドレン電位FDと同じまたはそれ以上の正
となるようにその下に供給される電位PGをもっている
0端縁電界効果は、浮動拡散領域ユ4と共有する電荷を
減少きせるために通常は非常に短が〈作られているゲー
ト2ユの下のチャンネル内の電位に相当大きな影響を与
える。φrは、(用電荷測定時間中の、浮動拡散領域1
4からリセット・ドレン2oの拡散領域へ電荷が流れる
のを阻止する越えることのできない障壁を形成するのに
充分な負電位と、(b) !J上セツト間中の、図示の
ように浮動拡散領域14の下の電荷レベルをRD電位に
流すのに充分な正電位との間の範囲にある。その結果、
浮動拡散領域コ4はリセット・ドレン電位HDにリセッ
トされる。
浮動拡散領域14が配置されている電荷転送部分のRC
時定数はこのリセットのや9方では短がい。
これは、時定数のC(容量)は浮動拡散領域ユ4の基体
の容量が小さく、またR(抵抗)は縦続電界効果トラン
ジスタ動作のチャンネ/I/(正方向パルスφrがリセ
ット・ゲート18に供給されるとき、浮動拡散領域ユ4
とリセッ1−・ドレン2oとの間に伸びる)によって与
えられる低抵抗であることによる。
この時定数はノイズの変動を積分して消失σせてしまう
には短かすぎるので、リセット・ドレン電位RDに重畳
される熱ノ、イズ変動の最終値へのリセットが生ずる。
これはサンプル−ホールド処理であり、次のりセット期
間まで熱ノイズ変動の最後の値の期間を引伸ばし、それ
によってりセット・ノイズが生ずる。
本願発明者は、RCAコーポレーションノ403−コラ
ム型CODイノーンヤを動作させるどきに生ずるリセツ
1−・ノイヌを100電子ポルトまたはその程度のレベ
ルから35電子ボ/L’ l・またはその程度のレベル
以下のレベルに減少させることのできる方法を発見した
。この後者のレベルのノイズはMISFET15.16
.17V?Lよるものである。この方法を第6図を参照
して説明する。
第6図において、タイミング図の波形(川は、Cレジス
タ13の最後にクロッークされるゲート電極61に供給
きれるクロック信号である。通常の動作によるこの最後
にクロックされるゲート電極の直ぐ後にゲート電極62
が後続している。ゲート電極62は直流電位でバイアス
されてお9、これに浮動拡散領域14が後続している。
説明の都合上、3相クロツクと仮定する。このクロック
・サイクルは、NTSC放送用テレビジョン信号を供給
するように動作する電荷転送形式の403コラム映像レ
ジスタCODイメージヤにおける133ns(ナノ秒)
の期間である。Cレジスタ13の最後にクロックされた
ゲート電極61に供給されるクロック電圧が負に向うと
、映像の画素をサンプルする電荷パケットは浮動拡散領
域14の下へ転送される。この転送は第6図(a)の波
形中に電圧変化時の矢印によって示されている。
第6図の波形(至)はりセット・ゲート電極18に供給
される正方向リセット・パルスφrのタイミンクを示し
ている。初期φrパルスであるφr−+が波形中)に示
されており、それにφrバルヌのφr−2、φr−aが
続いている。これらのパルスは一連のφrIJセット・
パルスの各々は、通常、相関2回サンプリングが使用さ
れない時は波形の負方向変移の直前に供給すれる。しか
しながら、波形(′b)に示すように、こ\で使用σれ
るφrリセット・パルスは各クロック・パルスの負方向
変移の充分前に供給される。
各クロック・パルスは時間tの長をを有し、これはRC
時定数τよりも少なくとも明らかに短かいとは言えない
。このタイミングの設定によって、φrパパルの波頭端
および波尾端において発生する変移に対する微分回路3
0のスパイク応答信号が、φSパルスが生ずる時間によ
って実質的に完結するようKされ、浮動拡散領域14の
下の電荷パケットの導入に付帯する変移に対する微分回
路30のスパイク応答信号をサンプリンクする過程でM
ISFET41のチャンネルを導通させる。このような
φrリセット・パルスの早期発生は、この発明の目的と
は異なる目的ではあるが、相関2回サンプリングを伴な
う動作でも同様に使用される。
第6図の波形(C)は浮動拡散領域ユ4上の電位変化を
示す。多分間った直流バイアヌ・レベルではあるが、同
じ電位変化がMISFET16のソース電極およびCO
Dイメージヤ1oの負荷抵抗器28の両端間に現われる
。リセット・ノイズに起因する変化範囲Rが、波形(b
)に示すリセット・パルスφr−+トφr−2との間の
波形(C)の非クランプ部分で現われる。
同様にリセット・ノイズに起因する変化R′の範囲は波
形(1))Vc示すりセット・パルヌφr−2トφr−
3トの間の時間中に発生する波形(C)の部分で現われ
る。
変化RとR′の範囲は同じような振幅であるが、範囲R
とR′の振幅変化に相関性はない。リセット・パルスφ
r−2に続く浮動拡散領域14の下の電荷パケットの導
入は、R/の範囲のリセット・ノイズが重畳されるサン
プル高さ△を生成する。
第6図の波形(d)は微分回路30に続く増幅器35の
出力VC現われる電圧サンプルを理壮化して示したもの
である。こ\ではクロック・ノイズについては考慮して
いない。微分回路3oは、その応答信号中の低周波成分
を抑制する。この応答信号は変化の端縁部に対する応答
信号の重畳によって解析される。増幅器35の電圧利得
Gによって増幅された範囲Rのリセット・ノイズを伴な
うりセット・パルスφr−2の波頭端における波形(C
)の変化の振幅の範囲を微分することによって、φ]’
−2のパルス期間中に波形f(1)に現われるリセット
・ノイズの範囲内でGRの初期値を生じさせる。この初
期値GRは、φr−2パ/l’ スの持続期間1の間に
a R’ :exp−’(dτ−1)で指数関数的に減
衰する。範囲R′のリセット・ノイズを伴ない、増個器
35の電圧利得Gによって増幅されたφr−2パルスの
波尾端における波形(C)の変化の微分値は、非相関リ
セット・ノイズOR’によってGE −eXp−’ (
cl r−’ ) K増大する0この増加によってφr
−2とφr−3バー3パルフ全すセツ1−・ノイズの指
数関数的な減衰範171’l K対する初期INを与え
る。これらの非イ″■関すセット6ノイズ成分の和は、
φr−2パルスの波尾端におけルG(3R12+R2−
[3xp−2(dτ−’))T[実質的に等シイ平均値
Nである。
tの持続時間の後の時点で、電荷パケットが浮動拡散領
域14の下に導入された時、リセット・ノイズは値N 
( eXp ( tτ )〕に減少する。とのとき、電
圧増幅器35の微分された△のサンプル高さに対する応
答信号はG△の値をもっている。このときの信号対ノイ
ズ比は、△( Rt 2 +R2・eXp−2(dτ−
1)−H・exp(tτ−1)の値をもっている。G△
のサンプルおよびN/(exp(tτ−1)〕のりセセ
ラ1・ノイズは共に指数関数的に減衰するので、この信
号対ノイズ比はG△のサンプルが減衰するとき実質的に
一定に維持される。
第6図の波形(elは一連のφSのサンプリング・パル
スの代表的な2つの位相φS−1とφS−2を示す。こ
れらのサンプリング・パルスは線路26を経てnチャン
ネル間工5FET41のゲート電極に供給され、同期検
波器40におけるサンプル・スイッチとして使用される
。回路40はその性質上、サンプルおよびホールド回路
と考えられているが、よシ正確には各サンプルの最後の
値が、これに続くホールド期間中保持σれるので、これ
はトラックおよびホールド回路と呼ばれている。この最
後の関係においては、サンプルおよびホールド回路40
の出力応答借上−の振幅は、サンプリングがG△の負方
向への変移の直ぐ後に、更に狭いパルスによって行なわ
れるならば増加する。
先行する絵素(ピクセル)によるリセット・ノイズの成
分、そのときの絵素によるリセット・ノイズの成分は相
関せず、また平均されて同じ振幅になる傾向があるので
、d、 −1−tの所定の値に対して出来るだけαを短
かくすることはリセット・ノイズを減少きせることにな
る。フィルタ30の35ナノ秒の時定数τに比較したと
き、dを33ナノ秒、tを40ナノ秒にすることは、浮
動拡散領域14の下の電荷の導入直前のリセットに比し
てリセット・ノイズを115VC減少させることになる
0PCAコーポレーシヨンの403コラムCODイメー
ジ−Y ヲ使って特に説明した回路の動作に関して、こ
れはリセット・ノイズを35電子ポル1−の増幅器のノ
イヌ゛以下に減少させることかできる。
上述のように、回路に付帯する時定数は、浮動拡散領域
14に現われる電圧を熱ノイズにリセットすることがで
きる程に短かいので、上記浮動拡散領域14が過度のク
ランプによってリセッ1−・ドレンにリセットされると
、リセット・ノイズが生ずる。浮動拡散領域14のPC
時定数を長くするように寸法を定めることによってリセ
ッ1−・ノイズを選択的に低下させることができる。こ
れは浮動拡散領域14をリセット・ドレン電位ではなく
nチャンネル中の電位にリセットすることによって実現
される。このようなリセットは蓄積処理を導入する。こ
の蓄積処理は浮動拡散領域14の下の電荷を時間に関し
て積分する。このような積分は浮動拡散領域J4に関連
する実効RC時定数を長くすることになる。このような
原理を使った他のりセット・モードを後枠説明する。抵
抗器31とキャパシタ32の亮域通J8Rc回路網製外
の微分回路を、この発明を実施するに当って使用し得る
ことは言う迄もない。
リセツ1−・パルスの波頭端に応答する減衰を延長して
後続する絵素のサンプルの測定に対する応答信号に重畳
させることにょシ、同期検波されたCODイメージヤの
出力信号のビデオ・ピーキンクC線走査方向)[顕著な
効果を持たせることができる。これを第6図(C1lに
よって説明する。
CODイメージヤ]0の出力信号が微分回路30を通過
する期間中のdc基帛線の消失は線リドレーア期間を除
いて直流分再生の欠如と協同して次の効果を奏する。各
リセット・パルスの波頭端に対して指数関数的に減衰す
る応答信号は、リセット・パルスに先行して浮動拡散領
域14の下に送り込捷れる映像サンプルの値に依存する
振幅成分を伴った波尾をもっている。その先行映像サン
プルの低周波成分は、そのリセツ1〜・パルス後に浮動
拡散領域コ4の下に導入される次の映像サンプルの低周
波成分と同様である。その結果、リセット・パルスの波
頭端に対する正の減衰指数関数的応答信号は、その次の
映像サンプルに対する負の減衰指数関数的応答信号と反
対になっている0この対立する関係によってイメージヤ
10の出力信号中のCレジスタ・クロック周波数の各高
調波の低周波変調を減衰きせることかできる。この対立
する関係によって、2つの映像サンプルの高い周波数成
分は不同にな)、相殺効果は顕著でなくなる。これは、
Cレジスタ・クロック周波数の高調波の低い変調周波数
側帯波の振幅に対するそれらの高い変調周波数側帯波の
振幅を増大する。
同期検波器40の出力信号が各周波数でピーキングされ
る係数は、りセット・パルスの変動やMM。
する絵素サンプルの振幅間の差の変動に拘らず実質的に
一定である。ピーキングの大きさは主として、連続する
絵素サンプルの差に対する指数関数的に減衰する正応答
信号の波尾が後の絵素サンプルに対する指数関数的に減
衰する負応答信号と重畳して減少する程度に依存してい
る0波尾信号の減少の大きさは、リセツ1−・パルスの
波頭端と浮動拡散領域14の下に導入される次の映像サ
ンプルの電荷の導入時との間の経過時間に依存している
換言すれば、波尾振幅の減少量は、リセット・パルスの
期間dと、リセット・パルスの波尾端と電荷の導入時と
の間の時間tの和(cl 十t ) K依存している。
リセット・パルスの持続時間dは同期検波器40の出力
接続部におけるビデオ応答特性を平坦にするように(も
し望むならばロール・オフ応答特性あるいはピークの与
えられたビデオ応答特性を与えるよう[)選定されてい
る。期間tの長さは、その上ピーキングに影響を与える
程度に調整することができる。上述のように、この調整
はりセラl−・ノイズを除くために必要な調整によって
制限される。d、t、τの大きざは、過ピーク・ビデオ
応答特性を与えるように、ロール・オフの変化の程度を
導入するためにMISFET4Jのチャンネルと直列に
挿入された可変抵抗器を使って選定され、ビデオ応答特
性は好みに応じて調節される0図期検波器40の前に微
分回路30を設けることによりCCDイメージヤにおい
て生ずる他の問題を解消することができる。Bレジスタ
12からCレジスタ13へ電荷パケットを並列転送する
間に基体のバイアスに過渡的な変化が生ずる。この変化
に応答してCCDイメージヤにレベル・シフトを生じさ
せる。このレベル・シフトは、ビデオ信号の各線のうち
で、クロックCレジフタから送Q出される最初の2.3
のビデオ・サンプル中に初期において目立つ減衰する過
大輝度として現われる。画像の端部におけるこの過大輝
度の吠フック・は微分回路30の応答信号中で実質的に
完全に抑制されるのに充分な遅い絵素−絵素間の率で減
衰する。
垂直りトレーヌ期間中にAレジスタからBレジスタへの
電荷の転送によって、表示された映像の頂部で現われる
同様な効果が生じる。この効果もまた微分回路30によ
って実質的に完全に減少される。
次[前に述べた別のリセット・モードについて説明する
。浮動拡散領域14をリセット・ドレン電位にリセット
する場合とチャンネル内の電位にリセットする場合の相
違を第3.4.5図に示す電位形態を参照して説明する
第3図は浮動拡散領域14をチャンネル内の電位に’)
セットする場合の電位形態を示す。チャンネル内の電位
はRD程は正でないφrの最大の正方向への振れによっ
て設定される。この最も正への振れによって、障壁よシ
も多少正の電位レベルが浮動拡散領域14上に設定され
るまで、浮動拡散領域14の領域内とゲート21の下の
電荷キャリヤによって囲寸れる高での低下した障壁が形
成される。この電位はRDよシも低い正である。電荷キ
ャリヤの熱励起に応答して流れる暗電流による小さなオ
フセットを持った障壁高さにリセットされる0この熱励
起によるオフセットの変化は、チャンネル内電位にリセ
ットされるときに変調転送関数のベースバントの低周波
ピークの主たる原因となる。
第4図は浮動拡散領域14をチャンネル内電位にリセッ
トする好ましい方法の電位形態を示す。リセット・ゲー
ト18はリセット・ドレン電位RDを含む範囲にわたっ
て動作する0φrの正の振れは浮動拡1)夕領域]4が
リセットされるチャンネル内電位ではないOdCゲー)
21に供給される直流電位’RGは、それから牛するノ
イズを取除くために容易に1慮波され、リセット・1−
“レン電圧RDよりもより小さな正にされる。電位障壁
63はc3− cグー1−21の下に形成され、浮動拡
散領域コ4は僅かに正にオフセットして電位障壁63に
リセットする。このオフセットは、障壁の電位がもはや
上に位置することが出来なくなるまで電荷の流れが続く
ことによって生ずる。
第5図は、リセット・ゲート18とリセット・ドレン2
0との間に別のclcゲート64が挿入されたときに、
浮動拡散領域コ4をdcゲート21の下の障壁電位にリ
セットする電位形態を示す。このような別のdcゲート
64はRCAコーポレーション製のCCDイメージヤで
見られる。この別のdcアゲ−−64はこの装置内でd
cアゲ−2][接続されている。ゲート18がもはや正
パルスで駆動されないときは、リセット・ゲート18の
Tl)らの電荷の好ましい方向はリセット・ドレン20
に向う方向である。
これはリセット・ドレン20からの端縁の電界によりd
cゲート64の障壁を引下げ、clcゲー)21の下の
障壁電位はdcゲート64の下の障壁電位よりも容易に
は低下しない傾向があることによる。
この発明を、電荷転送形式のCCDイメージヤ10につ
いて説明したが、インターライン転送形式あるいはライ
ン転送形式等の他の形式のCOD、(メージャにも同様
に適用して同じ効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
第1図は、電荷転送形式のCCDイメージヤと使用する
ものとして示されているこの発明の信号再生装置の概略
回路図、 第2図は、浮動拡散領域をリセット・ドレン電位にリセ
ットする様子を示す電位形態を示す図、第3図、第4図
、第5図は、この発明の素子として完成された浮動拡散
領域をリセット・ドレン電位ではなくチャンネル内電位
にリセットする個々の代表的な方法を示す電位形態を示
す図、第6−図は、第2図について、浮動拡散領域をリ
セット・ドレン電位にリセットする好ましいタイミンク
を示す図である。 ユ0・・・CCDイメージヤ、14・・・浮動拡散領域
、18・・・リセット・ゲート、20・・・リセット。 ドレン、21・・・clcゲート(14,18,20,
2J・・・出力段)、30・・・微分回路、4o・・・
ザンプルーホールド回路。・

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. (1) クロック率で発生される一定間隔の一連の映像
    応答サンプルを供給する浮動素子を有し、該浮動素子は
    上記クロック率の7<ルヌに応答して周期的にリセット
    されるものである、電位出力段と、−F記映像応答サン
    プルを時間に関して微分し、それによって生成された微
    分された映像サンプル中の、コーナ周’61 ’1によ
    りも低く且つフリッカ・ノイズの実質的に全エネルギを
    含むある周波数を抑制する微分回路と、 上記微分回路から微分きれた映(象応答サンプルが供給
    され、間隔のない映像応答サンプルを生成するために、
    上記クロック率のサンプリング・)ぐルスに応答して上
    記供給されたサンプルをサンフ。 tvスると共にホールドする回路ト、 からなる、クロック率で一定間隔の一連の映像応!0答
    サンプルを発生するCODイメージヤを具備龜たカメラ
JP59174841A 1983-08-22 1984-08-21 Ccdイメージヤを具備したカメラ Granted JPS6065674A (ja)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US52549183A 1983-08-22 1983-08-22
US525491 1983-08-22
US590044 1984-03-15

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS6065674A true JPS6065674A (ja) 1985-04-15
JPH0420312B2 JPH0420312B2 (ja) 1992-04-02

Family

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6265571A (ja) * 1985-09-13 1987-03-24 ゼネラル・エレクトリック・カンパニイ 出力ビデオ信号発生回路
JPH0577177U (ja) * 1992-03-27 1993-10-19 孝 長屋 埋設式ホース巻き取り装置

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS57194677A (en) * 1981-05-27 1982-11-30 Nec Corp Signal processing circuit of solid state image pickup device

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GB8611234D0 (en) 1986-06-18
JPH0420312B2 (ja) 1992-04-02

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