JPS6059645A - 試料の精密微動機構用シ−ル装置 - Google Patents
試料の精密微動機構用シ−ル装置Info
- Publication number
- JPS6059645A JPS6059645A JP58165088A JP16508883A JPS6059645A JP S6059645 A JPS6059645 A JP S6059645A JP 58165088 A JP58165088 A JP 58165088A JP 16508883 A JP16508883 A JP 16508883A JP S6059645 A JPS6059645 A JP S6059645A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- seal
- liquid metal
- retainer
- rotary shaft
- reservoir
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/18—Vacuum locks ; Means for obtaining or maintaining the desired pressure within the vessel
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は、例えば電子顕微鏡のゴニオメータのような
精密微動機構用シール装置に関するものである。
精密微動機構用シール装置に関するものである。
従来、電子顕微鏡のゴニオメータのようにミクロン程度
の清らかで精密な微動（回転、スリコギ運動、直進）に
はグリース状潤滑剤を少量塗布したエラストマシール（
０リングやウィルソンシール等）が使用されている。し
かしながらこのような公知のシール機構では、Ｏリング
およびその潤滑剤からの有機蒸気分子の発生および有機
構成分子の表面移動が試料室内の真空を汚染し、試料表
面の清浄度維持の点で問題となっている。
の清らかで精密な微動（回転、スリコギ運動、直進）に
はグリース状潤滑剤を少量塗布したエラストマシール（
０リングやウィルソンシール等）が使用されている。し
かしながらこのような公知のシール機構では、Ｏリング
およびその潤滑剤からの有機蒸気分子の発生および有機
構成分子の表面移動が試料室内の真空を汚染し、試料表
面の清浄度維持の点で問題となっている。
そこで、この発明の目的１ｄ１、打ｔ Ｓ’ｌ微動の特
性を損なうことなしに有機分子の試料室内への混入を防
止できる精密微動機構用シール装置を提供することにあ
る。
性を損なうことなしに有機分子の試料室内への混入を防
止できる精密微動機構用シール装置を提供することにあ
る。
この目的を達成するために、この発明によれｄ′、回転
軸にエラストマガスケットシールと、このエラストマガ
スケットシールよ多試料室側に位置決めされた液体金属
シールとを設け、上記液体金属シールが、回転軸に対向
した懺ＤＪＩを軸の表面から一定のすき間をあけて保持
した多孔質体リテーナと、この多孔質体リテーナの上部
に設けた液体金属溜めとから成シ、液体金属溜め内の液
体金属を多孔質体リテーナを介してその表面からしみ出
さして回転軸と接触するように構成した試料の精密微動
機構用シール装置が提供される。
軸にエラストマガスケットシールと、このエラストマガ
スケットシールよ多試料室側に位置決めされた液体金属
シールとを設け、上記液体金属シールが、回転軸に対向
した懺ＤＪＩを軸の表面から一定のすき間をあけて保持
した多孔質体リテーナと、この多孔質体リテーナの上部
に設けた液体金属溜めとから成シ、液体金属溜め内の液
体金属を多孔質体リテーナを介してその表面からしみ出
さして回転軸と接触するように構成した試料の精密微動
機構用シール装置が提供される。
以下この発明を添附図面を参照してさらに説明する。
図面にはこの発明の一実施例による精密微動機構用シー
ル装置を概略的に示し、／は回転軸、コは軸受ハウジン
グであｐｌこの軸受ハウジングコにはエラストマガスケ
ットシール３が設けられ、またこのエラストマガスケッ
トシール３よ）真空側すなわち例えば試料室側において
液体金属シール≠が設けられている。液体金属シールグ
にはＧａやＧａ−Ｉｎ系およびその他の常温付近で液体
となる金属或いは合金が用いられ、この液体金属シール
Ｖは図示したように、例えばポーラスタングステン等の
多孔焼結金属から成シ、回転軸ｌに対向した表面をこの
回転軸ｌの表面から一定のすき間（／μｍ−ｊμｍ程度
）をあけて位置決めした多孔質体リテーナよと、この多
孔質体リテーナｊの上記表面の反対側に位置した液体金
属溜め乙と、この液体金属面め６内に真空の外側から漬
るようにされた可動プラグ７とを有している。可動シラ
グアを液体金属溜めｔ内へ入シ込むようにすることによ
って液体金属溜め６内の液体金属は符号ｔで示すように
多孔質体リテーナｊを通って回転Ｑｌ＋ ／に対向した
表面から滲み出し、回転ｌ１１１Ｉ／に接触し、！ −
／ 表面張力によって上記リテーナｊの表面と回転軸／との
間にシールざを形成する。一方可動プラグ７を液体金属
溜め乙から引っ込めることによシ液体金属ｔは回転軸ｌ
から離れて多孔質体リテーナｊ内に収納される。また図
面においてり社、エラストマガスケットシール３と液体
金属シールグとの間において回転軸ｌと軸父ハウジング
λとの間のすき間から中間真空を引くための相（助ボン
ゾに連結される開口である。
ル装置を概略的に示し、／は回転軸、コは軸受ハウジン
グであｐｌこの軸受ハウジングコにはエラストマガスケ
ットシール３が設けられ、またこのエラストマガスケッ
トシール３よ）真空側すなわち例えば試料室側において
液体金属シール≠が設けられている。液体金属シールグ
にはＧａやＧａ−Ｉｎ系およびその他の常温付近で液体
となる金属或いは合金が用いられ、この液体金属シール
Ｖは図示したように、例えばポーラスタングステン等の
多孔焼結金属から成シ、回転軸ｌに対向した表面をこの
回転軸ｌの表面から一定のすき間（／μｍ−ｊμｍ程度
）をあけて位置決めした多孔質体リテーナよと、この多
孔質体リテーナｊの上記表面の反対側に位置した液体金
属溜め乙と、この液体金属面め６内に真空の外側から漬
るようにされた可動プラグ７とを有している。可動シラ
グアを液体金属溜めｔ内へ入シ込むようにすることによ
って液体金属溜め６内の液体金属は符号ｔで示すように
多孔質体リテーナｊを通って回転Ｑｌ＋ ／に対向した
表面から滲み出し、回転ｌ１１１Ｉ／に接触し、！ −
／ 表面張力によって上記リテーナｊの表面と回転軸／との
間にシールざを形成する。一方可動プラグ７を液体金属
溜め乙から引っ込めることによシ液体金属ｔは回転軸ｌ
から離れて多孔質体リテーナｊ内に収納される。また図
面においてり社、エラストマガスケットシール３と液体
金属シールグとの間において回転軸ｌと軸父ハウジング
λとの間のすき間から中間真空を引くための相（助ボン
ゾに連結される開口である。
なお、この発明によるシール装置Ｉ′イケユ」二ｉ□己
図２Ｊ〈実施例に限定されるものではなく％ｆｆｆ／Ｊ
ｉな真窒糸に回転を導入するための他の種々の回転軸機
構にも応用することができる。
図２Ｊ〈実施例に限定されるものではなく％ｆｆｆ／Ｊ
ｉな真窒糸に回転を導入するための他の種々の回転軸機
構にも応用することができる。
以上説明してきたように、この発明によれば、回転軸に
対してエラストマガスケットシールと液体金属シールと
の二重シールを設け、しかも液体金属シールを多孔質体
に含浸させた液体金属を回転軸表面上のすき間に滲み出
さして表面張力にょシ軸との間に液体金属を保持するよ
うに構成しているので、に１４＠微動の特性を損なうこ
となしにエラストマガスケットシールにおける０リング
寂よびその飼滑剤からの有機蒸気分子および有機蒸気分
子が試料室内へ侵入または混入するのを防ぎ、その試料
室内の真空を汚染することがなく、従って試料表面の清
浄度を所望のレベルに維持することができる。
対してエラストマガスケットシールと液体金属シールと
の二重シールを設け、しかも液体金属シールを多孔質体
に含浸させた液体金属を回転軸表面上のすき間に滲み出
さして表面張力にょシ軸との間に液体金属を保持するよ
うに構成しているので、に１４＠微動の特性を損なうこ
となしにエラストマガスケットシールにおける０リング
寂よびその飼滑剤からの有機蒸気分子および有機蒸気分
子が試料室内へ侵入または混入するのを防ぎ、その試料
室内の真空を汚染することがなく、従って試料表面の清
浄度を所望のレベルに維持することができる。
図面はこの発明によるシール装置の一実施例を示す断面
図である。 図中、ｌ二回転軸、２：軸受ハウジング％３：エラスト
マガスケットシール、４Ｌ：液体金属シール、ｊ：多孔
質体リテーナ、ｔ：液体金属溜め１り：中間真空用接続
管口。 手続補正書輸発） 昭和５９年１月１２日 特許庁長官殿 １、事件の表示 昭和５８ 年特許願第１６５０８８号 ２、発明の名称 試料の精密微動機構用クール装置 ３、補正をする者 事件との関係 特許出願人 任 所 神奈川県茅ケ崎市萩園２５００番地名称 日本
真空技術株式会社 ４、代理人 ５、補正の対象 明細書の発明の詳細な説明および図面の簡単な説明の掴
並びに図面 ６、補正の内容 （１） 明細誉第４貞第５竹中の１・ぼしている。」の
後に「液体金属溜め６は大気圧で液面を押圧するのを防
ぐため大気圧または真空に保持される。」を挿入します
。 （２） 同第４頁第１８〜１９行間にＦ記を挿入します
。 １−図示実施例では可動プラグ７は一つだけ設けら牡て
いるが、必要ならば例えば二つ設けてもよい。」 （３） 図面を別紙の辿＃）＠正しまづ−。
図である。 図中、ｌ二回転軸、２：軸受ハウジング％３：エラスト
マガスケットシール、４Ｌ：液体金属シール、ｊ：多孔
質体リテーナ、ｔ：液体金属溜め１り：中間真空用接続
管口。 手続補正書輸発） 昭和５９年１月１２日 特許庁長官殿 １、事件の表示 昭和５８ 年特許願第１６５０８８号 ２、発明の名称 試料の精密微動機構用クール装置 ３、補正をする者 事件との関係 特許出願人 任 所 神奈川県茅ケ崎市萩園２５００番地名称 日本
真空技術株式会社 ４、代理人 ５、補正の対象 明細書の発明の詳細な説明および図面の簡単な説明の掴
並びに図面 ６、補正の内容 （１） 明細誉第４貞第５竹中の１・ぼしている。」の
後に「液体金属溜め６は大気圧で液面を押圧するのを防
ぐため大気圧または真空に保持される。」を挿入します
。 （２） 同第４頁第１８〜１９行間にＦ記を挿入します
。 １−図示実施例では可動プラグ７は一つだけ設けら牡て
いるが、必要ならば例えば二つ設けてもよい。」 （３） 図面を別紙の辿＃）＠正しまづ−。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、軸にエラストマーガスケットシールとこの工２スト
マーガスケットシールよ多試料室側に位置決めされた液
体金属り噴とを設け、上バ己液体金属シールが、軸に対
向した表面を軸の表面力諷ら一定のすき間をおけて保持
した多孔質体リテーナと、この多孔質体リテーナの上部
に設けた液体金属溜めとから成シ、液体金属溜め内の液
体金属を多重し質体リテーナを介してその光面から滲み
出さして軸と接触するように構成した試料の精密微動機
構用シール装置。 ２ 試料室側が真空にされ、エラストマーガスケットシ
ールと液体金属シールとの間で中間真空をとるように構
成した特許請求の範囲第１項にＨ己載の装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58165088A JPS6059645A (ja) | 1983-09-09 | 1983-09-09 | 試料の精密微動機構用シ−ル装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58165088A JPS6059645A (ja) | 1983-09-09 | 1983-09-09 | 試料の精密微動機構用シ−ル装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6059645A true JPS6059645A (ja) | 1985-04-06 |
| JPH0212380B2 JPH0212380B2 (ja) | 1990-03-20 |
Family
ID=15805650
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58165088A Granted JPS6059645A (ja) | 1983-09-09 | 1983-09-09 | 試料の精密微動機構用シ−ル装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6059645A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007149571A (ja) * | 2005-11-30 | 2007-06-14 | Hitachi High-Technologies Corp | 試料測定方法、及び荷電粒子線装置 |
| CN107636792A (zh) * | 2015-10-20 | 2018-01-26 | 韩国标准科学研究院 | 易于位置调节的电子显微镜用电子枪及包括其的电子显微镜 |
-
1983
- 1983-09-09 JP JP58165088A patent/JPS6059645A/ja active Granted
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007149571A (ja) * | 2005-11-30 | 2007-06-14 | Hitachi High-Technologies Corp | 試料測定方法、及び荷電粒子線装置 |
| US8071961B2 (en) | 2005-11-30 | 2011-12-06 | Hitachi High-Technologies Corporation | Charged particle beam apparatus |
| CN107636792A (zh) * | 2015-10-20 | 2018-01-26 | 韩国标准科学研究院 | 易于位置调节的电子显微镜用电子枪及包括其的电子显微镜 |
| CN107636792B (zh) * | 2015-10-20 | 2019-05-14 | 韩国标准科学研究院 | 易于位置调节的电子显微镜用电子枪及包括其的电子显微镜 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0212380B2 (ja) | 1990-03-20 |
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