JPH0212380B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0212380B2 JPH0212380B2 JP58165088A JP16508883A JPH0212380B2 JP H0212380 B2 JPH0212380 B2 JP H0212380B2 JP 58165088 A JP58165088 A JP 58165088A JP 16508883 A JP16508883 A JP 16508883A JP H0212380 B2 JPH0212380 B2 JP H0212380B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- liquid metal
- seal
- shaft
- rotating shaft
- sample chamber
- Prior art date
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- Expired - Lifetime
Links
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/18—Vacuum locks ; Means for obtaining or maintaining the desired pressure within the vessel
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は、例えば電子顕微鏡のゴニオメータ
のような精密微動機構用シール装置に関するもの
である。
のような精密微動機構用シール装置に関するもの
である。
従来、電子顕微鏡のゴニオメータのようにミク
ロン程度の滑らかで精密な微動（回転、スリコギ
運動、直進）にはグリース状潤滑剤を少量塗布し
たエラストマシール（Ｏリングやウイルソンシー
ル等）が使用されている。しかしながらこのよう
な公知のシール機構では、Ｏリングおよびその潤
滑剤からの有機蒸気分子の発生および有機構成分
子の表面移動が試料室内の真空を汚染し、試料表
面の清浄度維持の点で問題となつている。
ロン程度の滑らかで精密な微動（回転、スリコギ
運動、直進）にはグリース状潤滑剤を少量塗布し
たエラストマシール（Ｏリングやウイルソンシー
ル等）が使用されている。しかしながらこのよう
な公知のシール機構では、Ｏリングおよびその潤
滑剤からの有機蒸気分子の発生および有機構成分
子の表面移動が試料室内の真空を汚染し、試料表
面の清浄度維持の点で問題となつている。
そこで、この発明の目的は、精密微動の特性を
損なうことなしに有機分子の試料室内への混入を
防止できる精密微動機構用シール装置を提供する
ことにある。
損なうことなしに有機分子の試料室内への混入を
防止できる精密微動機構用シール装置を提供する
ことにある。
この目的を達成するために、この発明によれ
ば、回転軸にエラストマガスケツトシールと、こ
のエラストマガスケツトシールより試料室側に位
置決めされた液体金属シールとを設け、上記液体
金属シールが、回転軸に対向した表面を軸の表面
から一定のすき間をあけて保持した多孔質体リテ
ーナと、この多孔質体リテーナの上部に設けた液
体金属溜めとから成り、液体金属溜め内の液体金
属を多孔質体リテーナを介してその表面から滲み
出さして回転軸と接触するように構成した試料の
精密微動機構用シール装置が提供される。
ば、回転軸にエラストマガスケツトシールと、こ
のエラストマガスケツトシールより試料室側に位
置決めされた液体金属シールとを設け、上記液体
金属シールが、回転軸に対向した表面を軸の表面
から一定のすき間をあけて保持した多孔質体リテ
ーナと、この多孔質体リテーナの上部に設けた液
体金属溜めとから成り、液体金属溜め内の液体金
属を多孔質体リテーナを介してその表面から滲み
出さして回転軸と接触するように構成した試料の
精密微動機構用シール装置が提供される。
以下この発明を添附図面を参照してさらに説明
する。
する。
図面にはこの発明の一実施例による精密微動機
構用シール装置を概略的に示し、１は回転軸、２
は軸受ハウジングであり、この軸受ハウジング２
にはエラストマガスケツトシール３が設けられ、
またこのエラストマガスケツトシール３より真空
側すなわち例えば試料室側において液体金属シー
ル４が設けられている。液体金属シール４には
GaやGa−In系およびその他の常温付近で液体と
なる金属或いは合金が用いられ、この液体金属シ
ール４は図示したように、例えばポーラスタング
ステン等の多孔焼結金属から成り、回転軸１に対
向した表面をこの回転軸１の表面から一定のすき
間（1μｍ〜5μｍ程度）をあけて位置決めした多
孔質体リテーナ５と、この多孔質体リテーナ５の
上記表面の反対側に位置した液体金属溜め６と、
この液体金属溜め６内に真空の外側から漬るよう
にされた可動プラグ７とを有している。液体金属
溜め６は大気圧で液面を押圧するのを防ぐため大
気圧または真空に保持される。可動プラグ７を液
体金属溜め６内へ入り込むようにすることによつ
て液体金属溜め６内の液体金属は符号８で示すよ
うに多孔質体リテーナ５を通つて回転軸１に対向
した表面から滲み出し、回転軸１に接触し、表面
張力によつて上記リテーナ５の表面と回転軸１と
の間にシール８を形成する。一方可動プラグ７を
液体金属溜め６から引つ込めることにより液体金
属８は回転軸１から離れて多孔質体リテーナ５内
に収納される。また図面において９は、エラスト
マガスケツトシール３と液体金属シール４との間
において回転軸１と軸受ハウジング２との間のす
き間から中間真空を引くための補助ポンプに連結
される開口である。
構用シール装置を概略的に示し、１は回転軸、２
は軸受ハウジングであり、この軸受ハウジング２
にはエラストマガスケツトシール３が設けられ、
またこのエラストマガスケツトシール３より真空
側すなわち例えば試料室側において液体金属シー
ル４が設けられている。液体金属シール４には
GaやGa−In系およびその他の常温付近で液体と
なる金属或いは合金が用いられ、この液体金属シ
ール４は図示したように、例えばポーラスタング
ステン等の多孔焼結金属から成り、回転軸１に対
向した表面をこの回転軸１の表面から一定のすき
間（1μｍ〜5μｍ程度）をあけて位置決めした多
孔質体リテーナ５と、この多孔質体リテーナ５の
上記表面の反対側に位置した液体金属溜め６と、
この液体金属溜め６内に真空の外側から漬るよう
にされた可動プラグ７とを有している。液体金属
溜め６は大気圧で液面を押圧するのを防ぐため大
気圧または真空に保持される。可動プラグ７を液
体金属溜め６内へ入り込むようにすることによつ
て液体金属溜め６内の液体金属は符号８で示すよ
うに多孔質体リテーナ５を通つて回転軸１に対向
した表面から滲み出し、回転軸１に接触し、表面
張力によつて上記リテーナ５の表面と回転軸１と
の間にシール８を形成する。一方可動プラグ７を
液体金属溜め６から引つ込めることにより液体金
属８は回転軸１から離れて多孔質体リテーナ５内
に収納される。また図面において９は、エラスト
マガスケツトシール３と液体金属シール４との間
において回転軸１と軸受ハウジング２との間のす
き間から中間真空を引くための補助ポンプに連結
される開口である。
図示実施例では可動プラグ７は一つだけ設けら
れているが、必要ならば例えば二つ設けてもよ
い。
れているが、必要ならば例えば二つ設けてもよ
い。
なお、この発明によるシール装置は上記図示実
施例に限定されるものではなく、清浄な真空系に
回転を導入するための他の種々の回転軸機構にも
応用することができる。
施例に限定されるものではなく、清浄な真空系に
回転を導入するための他の種々の回転軸機構にも
応用することができる。
以上説明してきたように、この発明によれば、
回転軸に対してエラストマガスケツトシールと液
体金属シールとの二重シールを設け、しかも液体
金属シールを多孔質体に含浸させた液体金属を回
転軸表面上のすき間に滲み出さして表面張力によ
り軸との間に液体金属を保持するように構成して
いるので、精密微動の特性を損なうことなしにエ
ラストマガスケツトシールにおけるＯリングおよ
びその潤滑剤からの有機蒸気分子および有機構成
分子が試料室内へ侵入または混入するのを防ぎ、
その試料室内の真空を汚染することがなく、従つ
て試料表面の清浄度を所望のレベルに維持するこ
とができる。
回転軸に対してエラストマガスケツトシールと液
体金属シールとの二重シールを設け、しかも液体
金属シールを多孔質体に含浸させた液体金属を回
転軸表面上のすき間に滲み出さして表面張力によ
り軸との間に液体金属を保持するように構成して
いるので、精密微動の特性を損なうことなしにエ
ラストマガスケツトシールにおけるＯリングおよ
びその潤滑剤からの有機蒸気分子および有機構成
分子が試料室内へ侵入または混入するのを防ぎ、
その試料室内の真空を汚染することがなく、従つ
て試料表面の清浄度を所望のレベルに維持するこ
とができる。
図面はこの発明によるシール装置の一実施例を
示す断面図である。 図中、１：回転軸、２：軸受ハウジング、３：
エラストマガスケツトシール、４：液体金属シー
ル、５：多孔質体リテーナ、６：液体金属溜め、
９：中間真空用接続管口。
示す断面図である。 図中、１：回転軸、２：軸受ハウジング、３：
エラストマガスケツトシール、４：液体金属シー
ル、５：多孔質体リテーナ、６：液体金属溜め、
９：中間真空用接続管口。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 軸にエラストマーガスケツトシールとこのエ
ラストマーガスケツトシールより試料室側に位置
決めされた液体金属シールとを設け、上記液体金
属シールが、軸に対向した表面を軸の表面から一
定のすき間をあけて保持した多孔質体リテーナ
と、この多孔質体リテーナの上部に設けた液体金
属溜めとから成り、液体金属溜め内の液体金属を
多孔質体リテーナを介してその表面から滲み出さ
して軸と接触するように構成した試料の精密微動
機構用シール装置。 ２ 試料室側が真空にされ、エラストマーガスケ
ツトシールと液体金属シールとの間で中間真空を
とるように構成した特許請求の範囲第１項に記載
の装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58165088A JPS6059645A (ja) | 1983-09-09 | 1983-09-09 | 試料の精密微動機構用シ−ル装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58165088A JPS6059645A (ja) | 1983-09-09 | 1983-09-09 | 試料の精密微動機構用シ−ル装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6059645A JPS6059645A (ja) | 1985-04-06 |
| JPH0212380B2 true JPH0212380B2 (ja) | 1990-03-20 |
Family
ID=15805650
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58165088A Granted JPS6059645A (ja) | 1983-09-09 | 1983-09-09 | 試料の精密微動機構用シ−ル装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6059645A (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4991144B2 (ja) | 2005-11-30 | 2012-08-01 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 試料測定方法、及び荷電粒子線装置 |
| WO2017069343A1 (ko) * | 2015-10-20 | 2017-04-27 | 한국표준과학연구원 | 위치조절이 용이한 전자현미경용 전자총 및 이를 포함하는 전자현미경 |
-
1983
- 1983-09-09 JP JP58165088A patent/JPS6059645A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6059645A (ja) | 1985-04-06 |
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