JPS6053804A - 厚み測定装置 - Google Patents
厚み測定装置Info
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- JPS6053804A JPS6053804A JP16053683A JP16053683A JPS6053804A JP S6053804 A JPS6053804 A JP S6053804A JP 16053683 A JP16053683 A JP 16053683A JP 16053683 A JP16053683 A JP 16053683A JP S6053804 A JPS6053804 A JP S6053804A
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/02—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
- G01B11/06—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material
- G01B11/0608—Height gauges
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（技術分野）
本発明は、光ピツクアップの出力光を用いて被測定物の
厚みを測定する装置に関するものである。
厚みを測定する装置に関するものである。
（従来技術）
第１図は、レーザ光を用いた被測定物の厚み測定装置の
従来例を示す構成図である。この装置は（２） レーザ光を発するレーザ光＃１０と、レーザ光の方向を
所定の角度に変化させる偏光器１１と、レーザ光を平行
光線にするコリメータレンズ１２と、平行光線を収束さ
せる対物レンズ１３と、収束光の焦点の位置に光を電気
信号に変換するための受光素子１４とから構成されてい
る。動作原理について説明すると、被測定物１５を所定
の位置に置き、レーザ光源１０から発するレーザ光を偏
光器１１を介して所定の角度に順次変化させて被測定物
１５に照射１−、レーリ′光が被測定物１５の影となる
部分つまり厚みの部分に当り、受光素子１４で光を感知
１−ない時間を計測する。その時間とレーザ光の角度を
変化する速度とにより被測定物１５の厚みを所定する。
従来例を示す構成図である。この装置は（２） レーザ光を発するレーザ光＃１０と、レーザ光の方向を
所定の角度に変化させる偏光器１１と、レーザ光を平行
光線にするコリメータレンズ１２と、平行光線を収束さ
せる対物レンズ１３と、収束光の焦点の位置に光を電気
信号に変換するための受光素子１４とから構成されてい
る。動作原理について説明すると、被測定物１５を所定
の位置に置き、レーザ光源１０から発するレーザ光を偏
光器１１を介して所定の角度に順次変化させて被測定物
１５に照射１−、レーリ′光が被測定物１５の影となる
部分つまり厚みの部分に当り、受光素子１４で光を感知
１−ない時間を計測する。その時間とレーザ光の角度を
変化する速度とにより被測定物１５の厚みを所定する。
しかしながら、偏光器１１の精度が直接測定値に影響す
るため、偏光器１１に対して極めて高い精度が要求され
る割に測定精度が悪く、帰還ループをもたないため経時
変化が大きく、較正を行う必要がある。また、被測定物
１５の幅が広い場合、測定面つまり厚みの部分をレーザ
光に完全な垂直とならなければ大きな誤差を生ずるので
、被測定物１５の設置に時間がかかり容易でないという
欠点があろた。
るため、偏光器１１に対して極めて高い精度が要求され
る割に測定精度が悪く、帰還ループをもたないため経時
変化が大きく、較正を行う必要がある。また、被測定物
１５の幅が広い場合、測定面つまり厚みの部分をレーザ
光に完全な垂直とならなければ大きな誤差を生ずるので
、被測定物１５の設置に時間がかかり容易でないという
欠点があろた。
（発明の目的）
本発明は、これらの従来の問題点に着目してなされたも
ので、測定系を負帰還系とすることにより温度、電圧、
レーザ等の経時変化に対して極めて安定かつ正確な測定
が可能で、また焦点制御信号を被測定物の厚みの信号と
することにより被測定物の反射率に関係なく測定可能で
、更に測定面と基準面の平行度が容易に得られるような
厚み測定装置を提供することを目的とする。更に、２個
の光ピツクアップを被測定物の表裏の両面に配置するこ
とより、被測定物の幅が広い場合でも粘度よく厚みを測
定可能な厚み測定装置を提供することを目的とする。
ので、測定系を負帰還系とすることにより温度、電圧、
レーザ等の経時変化に対して極めて安定かつ正確な測定
が可能で、また焦点制御信号を被測定物の厚みの信号と
することにより被測定物の反射率に関係なく測定可能で
、更に測定面と基準面の平行度が容易に得られるような
厚み測定装置を提供することを目的とする。更に、２個
の光ピツクアップを被測定物の表裏の両面に配置するこ
とより、被測定物の幅が広い場合でも粘度よく厚みを測
定可能な厚み測定装置を提供することを目的とする。
以下、本発明を図面に基づいて詳細に説明する。
（発明の構成及び作用）
第２図は、本発明の一実施例を示す構成図である。本実
施例は焦点制御信号検出方法として非点（３） 収差方式を利用したもので、後述する光ピツクアップの
出力光を基準面及び基桑面の上に置く被測定物に照射す
ることにより両者の焦点制御信号の差から被測定物の厚
みを測定する装置である。２０はレーザ光源で、例えば
半導レーザなどで構成される。２１はコリメータレンズ
で、レーザ光源２０から発せられたレーザ光を平行光線
にする。２２は偏光ビームスプリッタで、入射するレー
ザ光の偏波面に応じてレーザ光を透過又は分割させる。
施例は焦点制御信号検出方法として非点（３） 収差方式を利用したもので、後述する光ピツクアップの
出力光を基準面及び基桑面の上に置く被測定物に照射す
ることにより両者の焦点制御信号の差から被測定物の厚
みを測定する装置である。２０はレーザ光源で、例えば
半導レーザなどで構成される。２１はコリメータレンズ
で、レーザ光源２０から発せられたレーザ光を平行光線
にする。２２は偏光ビームスプリッタで、入射するレー
ザ光の偏波面に応じてレーザ光を透過又は分割させる。
２３は１／４波長板で、入射光がこれを通過したときに
常光線と異常光線の位相差をπ／２あるいは１／４波長
とする。２４は可動対物レンズで、コリメータレンズ２
１、偏光ビームスプリッタ２２．１／４波長板２３及び
可動対物レンズ２４を介して入射するレーザ光を収束さ
せ、その焦点は基準面２９又は基準面２９の上に置かれ
た被測定物１５の上面に位置するように光軸方向の上下
に移動可能である。基準面２９は、レーザ光源２０、コ
リメータレンズ２１、偏光ビームスプリッタ２２゜１／
４波長板２３及び可動対物レンズ２４からな（４） る光学系に対し固定された位置に設けられている。
常光線と異常光線の位相差をπ／２あるいは１／４波長
とする。２４は可動対物レンズで、コリメータレンズ２
１、偏光ビームスプリッタ２２．１／４波長板２３及び
可動対物レンズ２４を介して入射するレーザ光を収束さ
せ、その焦点は基準面２９又は基準面２９の上に置かれ
た被測定物１５の上面に位置するように光軸方向の上下
に移動可能である。基準面２９は、レーザ光源２０、コ
リメータレンズ２１、偏光ビームスプリッタ２２゜１／
４波長板２３及び可動対物レンズ２４からな（４） る光学系に対し固定された位置に設けられている。
２５は円柱レンズで、基準面２９又は被測定物１５から
の反射光を可動対物レンズ２４．１７４波長板２３、偏
光ビームスプリッタ２２を介して受光素子２６に収束さ
せる。２６は受光素子で１例えば第３図に示すように４
つのフォトディテクタが図のように接続されている４分
割フォトディテクタで構成され、各フォトディテクタに
照射される充積に応じて電気信号を出力する。ここで、
光ピツクアップはレーザ光源２０ 、コリメータレンズ
２１、偏光ビームスプリッタ２２．１／４波長板２３、
可動対物レンズ２４１円柱レンズ２５、受光素子２６で
構成されている。２７は差動増幅器で、受光素子２６か
ら出力された電気信号の電圧差をめる。２８はドライバ
で、基準面２９又は被測定物１５の−１−面にレーザ光
の焦点を合わせるため、可動対物レンズ２４を駆動させ
る焦点制御用モータ３０に対して焦点制御信号を出力す
る。
の反射光を可動対物レンズ２４．１７４波長板２３、偏
光ビームスプリッタ２２を介して受光素子２６に収束さ
せる。２６は受光素子で１例えば第３図に示すように４
つのフォトディテクタが図のように接続されている４分
割フォトディテクタで構成され、各フォトディテクタに
照射される充積に応じて電気信号を出力する。ここで、
光ピツクアップはレーザ光源２０ 、コリメータレンズ
２１、偏光ビームスプリッタ２２．１／４波長板２３、
可動対物レンズ２４１円柱レンズ２５、受光素子２６で
構成されている。２７は差動増幅器で、受光素子２６か
ら出力された電気信号の電圧差をめる。２８はドライバ
で、基準面２９又は被測定物１５の−１−面にレーザ光
の焦点を合わせるため、可動対物レンズ２４を駆動させ
る焦点制御用モータ３０に対して焦点制御信号を出力す
る。
３０は焦点制御用モータで、可動対物レンズを上下に駆
動させるものである。
動させるものである。
次に本実施例の動作について説明する。
レーザ光源２０から発せられたレーザ光は、コリメータ
レンズ２１によって平行光線になり、偏光ビームスプリ
ッタ２２，１７４波長板２３、用動対物レンズ２４を介
して基準面２９に収束［７、基準面２９からの反射光は
、可動対物レンズ２４゜１／４波長板２３、偏光ビーム
スプリッタ２２゜円柱レンズ２５を介して受光素子２６
に収束する。
レンズ２１によって平行光線になり、偏光ビームスプリ
ッタ２２，１７４波長板２３、用動対物レンズ２４を介
して基準面２９に収束［７、基準面２９からの反射光は
、可動対物レンズ２４゜１／４波長板２３、偏光ビーム
スプリッタ２２゜円柱レンズ２５を介して受光素子２６
に収束する。
このとき可動対物レンズ２４の焦点位置と基準面２９と
が一致していない場合、受光素子２６において照射され
る像が楕円形となり、光量に差が生じる。照射された光
は受光素子２６で、電気信号に変換され、差動増幅器２
７を介して光量の差に対応した電気信号を検出信号とし
て出力する。ドライバ２８は、この検出信号を増幅して
焦点制御信号を出力する。この焦点制御信号に基づいて
焦点制御用モータ３０を駆動し、可動対物レンズあの基
準面２９に対する焦点を制御する。次に基準面２９の上
に被測定物１５を置いて、基準面２９の焦点制御と同様
に焦点制御を行なう。そして、基準面２９の焦点制御時
と被測定物１５の焦点制御時とのドライバ２８から出力
された焦点制御信号を端ｒ−１を介して検出し、両者の
差を取る。この差の値は被測定物の厚みに比例するので
、以上の動作によって被ｊｌす宝物１５の厚みが算定で
きる。
が一致していない場合、受光素子２６において照射され
る像が楕円形となり、光量に差が生じる。照射された光
は受光素子２６で、電気信号に変換され、差動増幅器２
７を介して光量の差に対応した電気信号を検出信号とし
て出力する。ドライバ２８は、この検出信号を増幅して
焦点制御信号を出力する。この焦点制御信号に基づいて
焦点制御用モータ３０を駆動し、可動対物レンズあの基
準面２９に対する焦点を制御する。次に基準面２９の上
に被測定物１５を置いて、基準面２９の焦点制御と同様
に焦点制御を行なう。そして、基準面２９の焦点制御時
と被測定物１５の焦点制御時とのドライバ２８から出力
された焦点制御信号を端ｒ−１を介して検出し、両者の
差を取る。この差の値は被測定物の厚みに比例するので
、以上の動作によって被ｊｌす宝物１５の厚みが算定で
きる。
本実施例によれば、測定系が負帰還系となっているため
レーリ′光強度の変動、可動対物レンズの移動距離の非
的線性１反射率の変動などは装置全体の帰還量分の１に
低減される。一般に帰還量は４０ ｄｒ−１〜６０ｄＢ
とすることができるので、変動要因は１／１（３０〜
１／１０００となり極めて小さくかつ安定となる。また
、焦点制御信号を厚みの信号としているため、被測定物
の反射率によらない測定かり能である。更に、測定面と
基準面の平行度が容易に得られるので、容易な測定が可
能である。
レーリ′光強度の変動、可動対物レンズの移動距離の非
的線性１反射率の変動などは装置全体の帰還量分の１に
低減される。一般に帰還量は４０ ｄｒ−１〜６０ｄＢ
とすることができるので、変動要因は１／１（３０〜
１／１０００となり極めて小さくかつ安定となる。また
、焦点制御信号を厚みの信号としているため、被測定物
の反射率によらない測定かり能である。更に、測定面と
基準面の平行度が容易に得られるので、容易な測定が可
能である。
第４図は、本発明の他の実施例を示す構成図である。本
実施例は、第２図に示す実施例と同様非点収差方式を利
用したものである。しかし、第２１図に示す実施例では
０工動対物レンズの焦点制御を光軸方向のみで行なうが
１本実施例では、可動対（７） 物レンズの焦点制御を光軸方向と光軸方向に垂直な方向
とで行なう。そのために１本実施例は第２図に示す実施
例の構成に加えて、可動対物レンズを光軸方向に垂直な
方向（水平方向）に移動させる焦点制御用モータ４０と
、検出する焦点制御信号の直流成分を遮断するためのコ
ンデンサ４１で構成される。焦点制御用モータ４０には
可動対物レンズ２４の駆動を制御するためのパルスが印
加される。
実施例は、第２図に示す実施例と同様非点収差方式を利
用したものである。しかし、第２１図に示す実施例では
０工動対物レンズの焦点制御を光軸方向のみで行なうが
１本実施例では、可動対（７） 物レンズの焦点制御を光軸方向と光軸方向に垂直な方向
とで行なう。そのために１本実施例は第２図に示す実施
例の構成に加えて、可動対物レンズを光軸方向に垂直な
方向（水平方向）に移動させる焦点制御用モータ４０と
、検出する焦点制御信号の直流成分を遮断するためのコ
ンデンサ４１で構成される。焦点制御用モータ４０には
可動対物レンズ２４の駆動を制御するためのパルスが印
加される。
次に本実施例の動作について説明する。
測定は、既に基準面２９の上に被測定物１５が所定の位
置に置かれた状態から開始する。この状態はパルスＰ０
によって設定される。レーザ光源２゜から発せられたレ
ーザ光はコリメータレンズ２１によって平行光線になり
、偏光ビームスプリッタ２２．１／４波長板２３．可動
対物レンズ２４を介して基準面２９の被測定物１５が置
かれていない部分に収束する。その反射光は可動対物レ
ンズ２４．１／４波長板２３、偏光ビームスプリッタ２
２、円柱レンズ２５を介して受光素子２６に収（８） 束する。受光素子２６に照射された光は電気信号に変換
され、差動増幅器２７を介してその差がめられ、ドライ
バ２８を介して増幅された焦点制御信号によって焦点制
御が行なわれる。次に、パルスＰ２によって可動対物レ
ンズ２４を光軸方向に垂直な方向（水平方向）に移動さ
せ、被測定物１５にシーツ光が収束するようにする。そ
の後で、上述と同様に焦点制御を行なって、焦点制御信
号を検出する。ここで、水平スキャンのパルス印加時間
は焦点制御が十分処理可能な時間に設定される。
置に置かれた状態から開始する。この状態はパルスＰ０
によって設定される。レーザ光源２゜から発せられたレ
ーザ光はコリメータレンズ２１によって平行光線になり
、偏光ビームスプリッタ２２．１／４波長板２３．可動
対物レンズ２４を介して基準面２９の被測定物１５が置
かれていない部分に収束する。その反射光は可動対物レ
ンズ２４．１／４波長板２３、偏光ビームスプリッタ２
２、円柱レンズ２５を介して受光素子２６に収（８） 束する。受光素子２６に照射された光は電気信号に変換
され、差動増幅器２７を介してその差がめられ、ドライ
バ２８を介して増幅された焦点制御信号によって焦点制
御が行なわれる。次に、パルスＰ２によって可動対物レ
ンズ２４を光軸方向に垂直な方向（水平方向）に移動さ
せ、被測定物１５にシーツ光が収束するようにする。そ
の後で、上述と同様に焦点制御を行なって、焦点制御信
号を検出する。ここで、水平スキャンのパルス印加時間
は焦点制御が十分処理可能な時間に設定される。
検出された焦点制御信号は本実施例の動作において対物
レンズの移動が光軸方向と水平方向に連続的に行なわれ
るので、コンデンサ４１により直流成分が遮断されたも
のとなる。したがって、基準面２９の焦点制御信号の値
と被測定物１５の焦点制御信号の値との差によって、被
測定物１５の厚みを算定できる。本実施例では前述した
第２図に示す実施例の効果の他に、基準面と被測定面の
焦点制御を連続に行なうので光ピツクアップの特性差に
よる補正は不要となる。
レンズの移動が光軸方向と水平方向に連続的に行なわれ
るので、コンデンサ４１により直流成分が遮断されたも
のとなる。したがって、基準面２９の焦点制御信号の値
と被測定物１５の焦点制御信号の値との差によって、被
測定物１５の厚みを算定できる。本実施例では前述した
第２図に示す実施例の効果の他に、基準面と被測定面の
焦点制御を連続に行なうので光ピツクアップの特性差に
よる補正は不要となる。
第５図は１本出願による別の発明の一実施例を示す構成
図である。本実施例は２個の光ピツクアップを被測定物
の表裏の両面に設けた厚み測定装置である。３１．３２
は光ピツクアップで、レーザ光源と、レーザ光源の出力
光を照射面に収束光として照射する光学系と、照射面か
らの反射光を検出する手段とからなる。詳細は前述した
とおりである。光ピツクアップ３１．３２は各々の収束
光の光軸が一致するように所定の間隔を隔てて設置され
ている。３３．３４はドライバで、光ピツクアップ３１
．３２から検出された反射光に基づき収束光の焦点制御
信号を得、収束光の焦点が照射面と一致するように光学
系を制御する。３５は差動増幅器で、ドライバ３３から
出力された焦点制御信号と、ドライバ３４から出力され
た焦点制御信号の差を出力する。
図である。本実施例は２個の光ピツクアップを被測定物
の表裏の両面に設けた厚み測定装置である。３１．３２
は光ピツクアップで、レーザ光源と、レーザ光源の出力
光を照射面に収束光として照射する光学系と、照射面か
らの反射光を検出する手段とからなる。詳細は前述した
とおりである。光ピツクアップ３１．３２は各々の収束
光の光軸が一致するように所定の間隔を隔てて設置され
ている。３３．３４はドライバで、光ピツクアップ３１
．３２から検出された反射光に基づき収束光の焦点制御
信号を得、収束光の焦点が照射面と一致するように光学
系を制御する。３５は差動増幅器で、ドライバ３３から
出力された焦点制御信号と、ドライバ３４から出力され
た焦点制御信号の差を出力する。
次に本実施例の動作について説明する。
光ピツクアップ３１．３２は、各々収束光の光軸が一致
するように所定の間隔を隔てて設置され、互いに向き合
う方向にレーザ光の収束光を発する。
するように所定の間隔を隔てて設置され、互いに向き合
う方向にレーザ光の収束光を発する。
各々の光軸−１−に被測定物１５を挿入１７、被測定物
１５０両面に光ピツクアップ３１．３２の各々の焦点が
一致するように、ドライバ３３．３４によって制御する
。したがって、被測定物の両面と光ピツクアップ３１．
３２の各々の焦点が一致したときの各焦点制御信号を差
動増幅器３５に入力し差をめ被ｊｌ１１定物１５の厚み
を算定する。本実施例によれば、ｎ１１述した経時変化
に対する安定性及び被測定物の反射率によらない１ｌｌ
ｌｌ定が可能となる他に、どちらか一方を基準面にした
り表裏面から同時測定を行なうことも極めて簡単に行な
うことができ。
１５０両面に光ピツクアップ３１．３２の各々の焦点が
一致するように、ドライバ３３．３４によって制御する
。したがって、被測定物の両面と光ピツクアップ３１．
３２の各々の焦点が一致したときの各焦点制御信号を差
動増幅器３５に入力し差をめ被ｊｌ１１定物１５の厚み
を算定する。本実施例によれば、ｎ１１述した経時変化
に対する安定性及び被測定物の反射率によらない１ｌｌ
ｌｌ定が可能となる他に、どちらか一方を基準面にした
り表裏面から同時測定を行なうことも極めて簡単に行な
うことができ。
被測定物の形状や状態に関係なく測定が可能である。す
なわち、被測定物が多少傾斜している場合や幅が広い場
合でも精度の高い測定が可能である。
なわち、被測定物が多少傾斜している場合や幅が広い場
合でも精度の高い測定が可能である。
（発明の効果）
以」−説明したように、本発明によれば、光ピツクアッ
プを用いｆ＋＋１定系を負帰還系とすることにより温度
、電圧、シー９′等の経時変化に対して極めて安定かつ
市価な測定が可能で、また厚みを検出するためのパラメ
ータとして焦点制御信号を用い（工１ ） ることにより被測定物の反射率に関係なく測定可能で、
更に、測定面と基準面の平行度が容易に得られるように
することにより容易な測定が１１能な厚み測定装置を提
供することができる。更に、本発明によれば、２個の光
ピツクアップを被測定物の表裏の両面に配置することに
より、被測定物の幅が広い場合でも精度よく厚みを測定
することができる厚み測定装置を提供することができる
。また１本発明は磁気ヘッド等の厚み測定に有益である
。
プを用いｆ＋＋１定系を負帰還系とすることにより温度
、電圧、シー９′等の経時変化に対して極めて安定かつ
市価な測定が可能で、また厚みを検出するためのパラメ
ータとして焦点制御信号を用い（工１ ） ることにより被測定物の反射率に関係なく測定可能で、
更に、測定面と基準面の平行度が容易に得られるように
することにより容易な測定が１１能な厚み測定装置を提
供することができる。更に、本発明によれば、２個の光
ピツクアップを被測定物の表裏の両面に配置することに
より、被測定物の幅が広い場合でも精度よく厚みを測定
することができる厚み測定装置を提供することができる
。また１本発明は磁気ヘッド等の厚み測定に有益である
。
第１図はレーザ光を用いた被測定物の厚み測定装置の従
来例を示す構成図、第２図は本発明の一実施例を示す構
成図、第３図は４分割フォトディテクタの構造図、第４
図は本発明の他の実施例を示す構成図、第５図は本出願
による別の発明の一実施例を示す構成図である。 １・・・端子、 １０．２０・・・レーザ光源、１１・
・・偏光器、 １２．２１・・・コリメータレンズ、１
３・・・対物レンズ、 １４．２６・・・受光素子、１
５・・・（１２） 被測定物、２２・・・偏光ビームスプリッタ、２３・・
・１／４波長板、２４・・・可動対物レンズ。 ２５・・円柱レンズ、 ２７．３５・・・差動増幅器、
２８、３３．３４・・ドライバ、２９・・・基準面、
３０゜４０・・・焦点制御用モータ、３１．３２・光ピ
ツクアップ、４１・・・コンデンサ。 特許出願人 ティーディーケイ株式会社 特許出願代理人 弁１１士 山 本 恵 − 第１図 第２図 第３図
来例を示す構成図、第２図は本発明の一実施例を示す構
成図、第３図は４分割フォトディテクタの構造図、第４
図は本発明の他の実施例を示す構成図、第５図は本出願
による別の発明の一実施例を示す構成図である。 １・・・端子、 １０．２０・・・レーザ光源、１１・
・・偏光器、 １２．２１・・・コリメータレンズ、１
３・・・対物レンズ、 １４．２６・・・受光素子、１
５・・・（１２） 被測定物、２２・・・偏光ビームスプリッタ、２３・・
・１／４波長板、２４・・・可動対物レンズ。 ２５・・円柱レンズ、 ２７．３５・・・差動増幅器、
２８、３３．３４・・ドライバ、２９・・・基準面、
３０゜４０・・・焦点制御用モータ、３１．３２・光ピ
ツクアップ、４１・・・コンデンサ。 特許出願人 ティーディーケイ株式会社 特許出願代理人 弁１１士 山 本 恵 − 第１図 第２図 第３図
Claims (4)
- （１） レーザ光源と、該レーザ光源の出力光を照射面
に収束光として照射する光学系と、前記照射面からの反
射光を検出する手段を具備する光ピツクアップと、前記
検出された反射光に基づき前記収束光の焦点制御信号を
得、前記収束光の焦点が照射面と一致するように前記光
学系を制御する手段と、被測定物を設置する基準面とを
有し、前記収束光を基準面及び基準面上に置かれた被測
定物に照射し、両者の焦点制御信号の差から被測定物の
厚みを測定することを特徴とする厚み測定装置。 - （２）前記光学系の制御が、収束光の光軸方向に行なわ
れることを特徴とする特許請求の範囲第１項に記載の厚
み測定装置。 - （３）前記光学系の制御が、収束光の光軸方向及び該光
軸方向と垂直方向に行なわれることを特徴とする特許請
求の範囲第１項に記載の厚み測定装ｒ １ ） 噌１ 置０ - （４） レーザ光源と、該レーザ光源の出力光を照射面
に収束光として照射する光学系と、前記照射面からの反
射光を検出する手段を具備する光ピツクアップと、前記
検出された反射光に基づき前記収束光の焦点制御信号を
得、前記収束光の焦点が前記照射面と一致するように前
記光学系を制御する手段とを各々２個有し、２つの光ピ
ツクアップは各々の前記収束光の光軸が一致するように
所定の間隙を隔てて設けられ、この間に被測定物を置い
てレーリ′光を照射し、前記各光ピツクアップの焦点制
御信号の差から被測定物の厚みを測定することを特徴と
する厚み測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16053683A JPS6053804A (ja) | 1983-09-02 | 1983-09-02 | 厚み測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16053683A JPS6053804A (ja) | 1983-09-02 | 1983-09-02 | 厚み測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6053804A true JPS6053804A (ja) | 1985-03-27 |
Family
ID=15717095
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16053683A Pending JPS6053804A (ja) | 1983-09-02 | 1983-09-02 | 厚み測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6053804A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02159509A (ja) * | 1988-12-12 | 1990-06-19 | Mitsubishi Electric Corp | 膜厚測定装置 |
| US5202740A (en) * | 1989-06-07 | 1993-04-13 | U.S. Philips Corporation | Method of and device for determining the position of a surface |
| FR2926632A1 (fr) * | 2008-01-22 | 2009-07-24 | 2Mi Modeles Et Moules Pour L I | Procede de controle de la conformite dimensionnelle d'une piece et dispositif de mise en oeuvre d'un tel procede |
| CN109764817A (zh) * | 2019-01-14 | 2019-05-17 | 南京信息工程大学 | 非接触式透镜中心厚测量系统及方法 |
-
1983
- 1983-09-02 JP JP16053683A patent/JPS6053804A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02159509A (ja) * | 1988-12-12 | 1990-06-19 | Mitsubishi Electric Corp | 膜厚測定装置 |
| US5202740A (en) * | 1989-06-07 | 1993-04-13 | U.S. Philips Corporation | Method of and device for determining the position of a surface |
| FR2926632A1 (fr) * | 2008-01-22 | 2009-07-24 | 2Mi Modeles Et Moules Pour L I | Procede de controle de la conformite dimensionnelle d'une piece et dispositif de mise en oeuvre d'un tel procede |
| CN109764817A (zh) * | 2019-01-14 | 2019-05-17 | 南京信息工程大学 | 非接触式透镜中心厚测量系统及方法 |
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