JPS6053448A - 透光性薄膜ヒ−タ - Google Patents
透光性薄膜ヒ−タInfo
- Publication number
- JPS6053448A JPS6053448A JP58163010A JP16301083A JPS6053448A JP S6053448 A JPS6053448 A JP S6053448A JP 58163010 A JP58163010 A JP 58163010A JP 16301083 A JP16301083 A JP 16301083A JP S6053448 A JPS6053448 A JP S6053448A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- conductive film
- light permeable
- electrode films
- ptc thermistor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05B—ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
- H05B3/00—Ohmic-resistance heating
- H05B3/84—Heating arrangements specially adapted for transparent or reflecting areas, e.g. for demisting or de-icing windows, mirrors or vehicle windshields
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05B—ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
- H05B2203/00—Aspects relating to Ohmic resistive heating covered by group H05B3/00
- H05B2203/013—Heaters using resistive films or coatings
Landscapes
- Surface Heating Bodies (AREA)
- Thermistors And Varistors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は透光性薄膜ヒータに関するものである。
この種のヒータとして近年酸化インジウム(Inx C
h )に酸化スズ(SnOz)をドープしでなるITO
膜等の透光性導電膜を用いたものが提案されており、視
認性や意匠性を損なうことがないため、従来の金属膜ヒ
ータに代えて自動車リヤウィンドのデフロスタ用あるい
は液晶表示器の液晶加熱用等の用途に使用されている。
h )に酸化スズ(SnOz)をドープしでなるITO
膜等の透光性導電膜を用いたものが提案されており、視
認性や意匠性を損なうことがないため、従来の金属膜ヒ
ータに代えて自動車リヤウィンドのデフロスタ用あるい
は液晶表示器の液晶加熱用等の用途に使用されている。
ところで、ヒータの温度を適正に維持するために上記導
電膜への通電量を制御しているが、この為に従来は別途
温度センサーt” II ti11回路を必要としてい
た。
電膜への通電量を制御しているが、この為に従来は別途
温度センサーt” II ti11回路を必要としてい
た。
本発明は上記問題点に鑑み、温度センサや制御回路を不
要となしたきわめてコンパクトかつ信頼性の高い自己制
御形の透光性簿膜ヒータを提供することを目的としてい
る。
要となしたきわめてコンパクトかつ信頼性の高い自己制
御形の透光性簿膜ヒータを提供することを目的としてい
る。
すなわち、本蹟明の透光性n膜ヒータは透光性基板上に
所定の抵抗値を有する透光性導電膜を形成するとともに
上記導電膜の相対向する端縁表面にはそれぞれ通電用電
極膜を形成し、かつ上記電極膜の一方と3#電膜との間
にはI” T Cサーミスタ膜を形成した構造としであ
る。
所定の抵抗値を有する透光性導電膜を形成するとともに
上記導電膜の相対向する端縁表面にはそれぞれ通電用電
極膜を形成し、かつ上記電極膜の一方と3#電膜との間
にはI” T Cサーミスタ膜を形成した構造としであ
る。
以下、図示の実施例により本発明を説明する。
第1図、第2図において自動車のりA7ウインドを構成
するソータガラス製基板1には電子ビーム蒸着法により
200OAの膜厚で110膜よりなる透光性導電膜2が
形成しである。なお、導電膜2の比抵抗は5×100・
cmである。
するソータガラス製基板1には電子ビーム蒸着法により
200OAの膜厚で110膜よりなる透光性導電膜2が
形成しである。なお、導電膜2の比抵抗は5×100・
cmである。
導電IIU2には両端縁の膜面上にぞれぞれ通電用Ti
極膜3a 、3bが形成し・て必り、上記電極膜3aと
導電膜2との間にはP T C’ノーミスタ膜4が形成
しである。
極膜3a 、3bが形成し・て必り、上記電極膜3aと
導電膜2との間にはP T C’ノーミスタ膜4が形成
しである。
サーミスタ膜4は高周波(RF )スパッタリングによ
って導電IIQ2上に1゜5μm厚に形成してあり、そ
の組成はチタン酸バリウム85wt%、チタン酸スト1
コンヂウム14.8wt%、酸化イソ1〜リウム0.2
wt%とし、キューり点は約60℃としである。また、
その比抵抗は常温で100Ω・cn+である。サーミス
タ膜4は上記RFスパッタリングによってA−ミンクに
かつ充分な強度で導電膜2上に形成される。
って導電IIQ2上に1゜5μm厚に形成してあり、そ
の組成はチタン酸バリウム85wt%、チタン酸スト1
コンヂウム14.8wt%、酸化イソ1〜リウム0.2
wt%とし、キューり点は約60℃としである。また、
その比抵抗は常温で100Ω・cn+である。サーミス
タ膜4は上記RFスパッタリングによってA−ミンクに
かつ充分な強度で導電膜2上に形成される。
電極膜3aは上記サーミスタ膜4上に白金を電子ビーム
蒸着して形成しである。なお、白金以外にニック゛ルあ
るいはインジウムを使用しても良く、ニッケルの場合に
は蒸着法以外に無電解メッキ法によっても形成できる。
蒸着して形成しである。なお、白金以外にニック゛ルあ
るいはインジウムを使用しても良く、ニッケルの場合に
は蒸着法以外に無電解メッキ法によっても形成できる。
電極HTA31)は導電膜2上にり1」ムを電子ビーム
蒸着して形成しである。
蒸着して形成しである。
上記各電極膜3a 、31) kこはスイッチ6を介し
て電源7に至るリード線5a 、5bが半田イ」り接続
してあり、これによりサーミスタ!I!4と導電膜2は
電源7に直列に接続される。なJ3、この状態?1″ナ
ーミスタ膜4の抵抗値【ま常温で約0.1Ωとしてあり
、第3図中線Xで承り如くその抵抗値は温度とともに変
化してキューり点の60℃を過ぎると急激に人ぎくなる
。また、導電膜2の抵抗値は図中線yで示す如く約1Ω
どしてあり、結局導電膜2と勺−ミスタ膜4を直列に接
続してなるヒータの抵抗値は温度とともに図中線Zのよ
うに変化する。
て電源7に至るリード線5a 、5bが半田イ」り接続
してあり、これによりサーミスタ!I!4と導電膜2は
電源7に直列に接続される。なJ3、この状態?1″ナ
ーミスタ膜4の抵抗値【ま常温で約0.1Ωとしてあり
、第3図中線Xで承り如くその抵抗値は温度とともに変
化してキューり点の60℃を過ぎると急激に人ぎくなる
。また、導電膜2の抵抗値は図中線yで示す如く約1Ω
どしてあり、結局導電膜2と勺−ミスタ膜4を直列に接
続してなるヒータの抵抗値は温度とともに図中線Zのよ
うに変化する。
このような構造の薄膜ヒータに通電すると、抵抗値の小
さい60℃以下では導電膜2に大きな電流が流れて急速
にその湿度が上Ff、 する。温度が60℃以上になる
と抵抗値が急速に増大して電流は減少し、60℃を少し
越えた温度で熱平衡に達してその温度が維持される。こ
れを第4図に示す。
さい60℃以下では導電膜2に大きな電流が流れて急速
にその湿度が上Ff、 する。温度が60℃以上になる
と抵抗値が急速に増大して電流は減少し、60℃を少し
越えた温度で熱平衡に達してその温度が維持される。こ
れを第4図に示す。
図によれば、約10秒で急速に温度が上背して熱平衡状
態に達しており、速熱性にも優れていることが知られる
。
態に達しており、速熱性にも優れていることが知られる
。
以上の如く、本発明の透光性Ftit IIS!ヒータ
は透光性導電膜の一端にP丁c(ノーミスタ膜を一体形
成して、これらを電源間に直列接続1−ることにより温
度センサや制御回路の不要な自己温度調節能力を有J−
るヒータを実現した心ので、コンパクトかつ信頼性が高
く、しかも速熱性にものれたものであり、自動車り(7
ウインドのデ゛フロスタ用ヒーク等に使用して好適であ
る。
は透光性導電膜の一端にP丁c(ノーミスタ膜を一体形
成して、これらを電源間に直列接続1−ることにより温
度センサや制御回路の不要な自己温度調節能力を有J−
るヒータを実現した心ので、コンパクトかつ信頼性が高
く、しかも速熱性にものれたものであり、自動車り(7
ウインドのデ゛フロスタ用ヒーク等に使用して好適であ
る。
第1図は薄膜ヒータの全体断面図で、第2図のI−IF
!+に沿う断面図、第2図は薄膜に−タの平面図、第3
図はその抵抗一温度特性を示す図、第4図はヒータ温度
の経時変化を示ず図Cある。 1・・・・・・基板 2・・・・・・透光性導電膜 3a、3b・・・・・・通電用電極膜 4・・・・・・P T Cサーミスタ膜第1図 ] 第2図 第3図 第4図 時間 (sec)
!+に沿う断面図、第2図は薄膜に−タの平面図、第3
図はその抵抗一温度特性を示す図、第4図はヒータ温度
の経時変化を示ず図Cある。 1・・・・・・基板 2・・・・・・透光性導電膜 3a、3b・・・・・・通電用電極膜 4・・・・・・P T Cサーミスタ膜第1図 ] 第2図 第3図 第4図 時間 (sec)
Claims (2)
- (1)透光性基板と、上記基板上に形成され所定の抵抗
値を有する透光性導電膜と、上記S電膜の相対向する端
縁表面にそれぞれ形成された通電用電極膜と、上記電極
膜の一方と導電膜の間に形成されたPTCサーミスタ膜
とを具備する透光性薄膜ヒータ。 - (2)上記透光性導電膜は酸化インジウム(Inユ 0
3)に酸化スズ(S00□)をドープしてなるITO膜
であり、上記P −r−Cサーミスタ膜はヂタン酸バリ
ウム系磁器半導体を高周波(RF)スパッタリングによ
り上記I T O膜上に形成し、かつPTCサーミスタ
股上には白金、ニッケルおよびインジウムのいずれかを
電子ビーム蒸着して通電用電極膜となした特許請求の範
囲第1項記載の透光性薄膜ヒータ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP58163010A JPS6053448A (ja) | 1983-09-05 | 1983-09-05 | 透光性薄膜ヒ−タ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP58163010A JPS6053448A (ja) | 1983-09-05 | 1983-09-05 | 透光性薄膜ヒ−タ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6053448A true JPS6053448A (ja) | 1985-03-27 |
Family
ID=15765476
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP58163010A Pending JPS6053448A (ja) | 1983-09-05 | 1983-09-05 | 透光性薄膜ヒ−タ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6053448A (ja) |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62121153U (ja) * | 1986-01-24 | 1987-07-31 | ||
JPS63274083A (ja) * | 1987-04-30 | 1988-11-11 | Nok Corp | 面状発熱体 |
JPH02169349A (ja) * | 1988-12-20 | 1990-06-29 | Nippondenso Co Ltd | 車両窓ガラスのヒータ装置 |
WO1991001617A1 (en) * | 1989-07-18 | 1991-02-07 | Matsusita Electric Works, Ltd. | Heat generating member |
JP2020087614A (ja) * | 2018-11-20 | 2020-06-04 | 古河電気工業株式会社 | ワイヤハーネス、遮断部付きワイヤハーネス、および、hwdシステム |
JP2020085330A (ja) * | 2018-11-26 | 2020-06-04 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 熱交換形換気装置 |
JP2021117026A (ja) * | 2020-01-23 | 2021-08-10 | 株式会社デンソーウェーブ | センサ収容装置 |
JP2022020098A (ja) * | 2020-07-20 | 2022-02-01 | 株式会社デンソーウェーブ | センサ収容装置 |
-
1983
- 1983-09-05 JP JP58163010A patent/JPS6053448A/ja active Pending
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62121153U (ja) * | 1986-01-24 | 1987-07-31 | ||
JPS63274083A (ja) * | 1987-04-30 | 1988-11-11 | Nok Corp | 面状発熱体 |
JPH02169349A (ja) * | 1988-12-20 | 1990-06-29 | Nippondenso Co Ltd | 車両窓ガラスのヒータ装置 |
WO1991001617A1 (en) * | 1989-07-18 | 1991-02-07 | Matsusita Electric Works, Ltd. | Heat generating member |
JP2020087614A (ja) * | 2018-11-20 | 2020-06-04 | 古河電気工業株式会社 | ワイヤハーネス、遮断部付きワイヤハーネス、および、hwdシステム |
JP2020085330A (ja) * | 2018-11-26 | 2020-06-04 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 熱交換形換気装置 |
JP2021117026A (ja) * | 2020-01-23 | 2021-08-10 | 株式会社デンソーウェーブ | センサ収容装置 |
JP2022020098A (ja) * | 2020-07-20 | 2022-02-01 | 株式会社デンソーウェーブ | センサ収容装置 |
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