JPS6053448A - 透光性薄膜ヒ−タ - Google Patents
透光性薄膜ヒ−タInfo
- Publication number
- JPS6053448A JPS6053448A JP58163010A JP16301083A JPS6053448A JP S6053448 A JPS6053448 A JP S6053448A JP 58163010 A JP58163010 A JP 58163010A JP 16301083 A JP16301083 A JP 16301083A JP S6053448 A JPS6053448 A JP S6053448A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- conductive film
- light permeable
- electrode films
- ptc thermistor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05B—ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
- H05B3/00—Ohmic-resistance heating
- H05B3/84—Heating arrangements specially adapted for transparent or reflecting areas, e.g. for demisting or de-icing windows, mirrors or vehicle windshields
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05B—ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
- H05B2203/00—Aspects relating to Ohmic resistive heating covered by group H05B3/00
- H05B2203/013—Heaters using resistive films or coatings
Landscapes
- Surface Heating Bodies (AREA)
- Thermistors And Varistors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は透光性薄膜ヒータに関するものである。
この種のヒータとして近年酸化インジウム（Ｉｎｘ Ｃ
ｈ ）に酸化スズ（ＳｎＯｚ）をドープしでなるＩＴＯ
膜等の透光性導電膜を用いたものが提案されており、視
認性や意匠性を損なうことがないため、従来の金属膜ヒ
ータに代えて自動車リヤウィンドのデフロスタ用あるい
は液晶表示器の液晶加熱用等の用途に使用されている。
ｈ ）に酸化スズ（ＳｎＯｚ）をドープしでなるＩＴＯ
膜等の透光性導電膜を用いたものが提案されており、視
認性や意匠性を損なうことがないため、従来の金属膜ヒ
ータに代えて自動車リヤウィンドのデフロスタ用あるい
は液晶表示器の液晶加熱用等の用途に使用されている。
ところで、ヒータの温度を適正に維持するために上記導
電膜への通電量を制御しているが、この為に従来は別途
温度センサーｔ” ＩＩ ｔｉ１１回路を必要としてい
た。
電膜への通電量を制御しているが、この為に従来は別途
温度センサーｔ” ＩＩ ｔｉ１１回路を必要としてい
た。
本発明は上記問題点に鑑み、温度センサや制御回路を不
要となしたきわめてコンパクトかつ信頼性の高い自己制
御形の透光性簿膜ヒータを提供することを目的としてい
る。
要となしたきわめてコンパクトかつ信頼性の高い自己制
御形の透光性簿膜ヒータを提供することを目的としてい
る。
すなわち、本蹟明の透光性ｎ膜ヒータは透光性基板上に
所定の抵抗値を有する透光性導電膜を形成するとともに
上記導電膜の相対向する端縁表面にはそれぞれ通電用電
極膜を形成し、かつ上記電極膜の一方と３＃電膜との間
にはＩ” Ｔ Ｃサーミスタ膜を形成した構造としであ
る。
所定の抵抗値を有する透光性導電膜を形成するとともに
上記導電膜の相対向する端縁表面にはそれぞれ通電用電
極膜を形成し、かつ上記電極膜の一方と３＃電膜との間
にはＩ” Ｔ Ｃサーミスタ膜を形成した構造としであ
る。
以下、図示の実施例により本発明を説明する。
第１図、第２図において自動車のりＡ７ウインドを構成
するソータガラス製基板１には電子ビーム蒸着法により
２００ＯＡの膜厚で１１０膜よりなる透光性導電膜２が
形成しである。なお、導電膜２の比抵抗は５×１００・
ｃｍである。
するソータガラス製基板１には電子ビーム蒸着法により
２００ＯＡの膜厚で１１０膜よりなる透光性導電膜２が
形成しである。なお、導電膜２の比抵抗は５×１００・
ｃｍである。
導電ＩＩＵ２には両端縁の膜面上にぞれぞれ通電用Ｔｉ
極膜３ａ 、３ｂが形成し・て必り、上記電極膜３ａと
導電膜２との間にはＰ Ｔ Ｃ’ノーミスタ膜４が形成
しである。
極膜３ａ 、３ｂが形成し・て必り、上記電極膜３ａと
導電膜２との間にはＰ Ｔ Ｃ’ノーミスタ膜４が形成
しである。
サーミスタ膜４は高周波（ＲＦ ）スパッタリングによ
って導電ＩＩＱ２上に１゜５μｍ厚に形成してあり、そ
の組成はチタン酸バリウム８５ｗｔ％、チタン酸スト１
コンヂウム１４．８ｗｔ％、酸化イソ１〜リウム０．２
ｗｔ％とし、キューり点は約６０℃としである。また、
その比抵抗は常温で１００Ω・ｃｎ＋である。サーミス
タ膜４は上記ＲＦスパッタリングによってＡ−ミンクに
かつ充分な強度で導電膜２上に形成される。
って導電ＩＩＱ２上に１゜５μｍ厚に形成してあり、そ
の組成はチタン酸バリウム８５ｗｔ％、チタン酸スト１
コンヂウム１４．８ｗｔ％、酸化イソ１〜リウム０．２
ｗｔ％とし、キューり点は約６０℃としである。また、
その比抵抗は常温で１００Ω・ｃｎ＋である。サーミス
タ膜４は上記ＲＦスパッタリングによってＡ−ミンクに
かつ充分な強度で導電膜２上に形成される。
電極膜３ａは上記サーミスタ膜４上に白金を電子ビーム
蒸着して形成しである。なお、白金以外にニック゛ルあ
るいはインジウムを使用しても良く、ニッケルの場合に
は蒸着法以外に無電解メッキ法によっても形成できる。
蒸着して形成しである。なお、白金以外にニック゛ルあ
るいはインジウムを使用しても良く、ニッケルの場合に
は蒸着法以外に無電解メッキ法によっても形成できる。
電極ＨＴＡ３１）は導電膜２上にり１」ムを電子ビーム
蒸着して形成しである。
蒸着して形成しである。
上記各電極膜３ａ 、３１） ｋこはスイッチ６を介し
て電源７に至るリード線５ａ 、５ｂが半田イ」り接続
してあり、これによりサーミスタ！Ｉ！４と導電膜２は
電源７に直列に接続される。なＪ３、この状態？１″ナ
ーミスタ膜４の抵抗値【ま常温で約０．１Ωとしてあり
、第３図中線Ｘで承り如くその抵抗値は温度とともに変
化してキューり点の６０℃を過ぎると急激に人ぎくなる
。また、導電膜２の抵抗値は図中線ｙで示す如く約１Ω
どしてあり、結局導電膜２と勺−ミスタ膜４を直列に接
続してなるヒータの抵抗値は温度とともに図中線Ｚのよ
うに変化する。
て電源７に至るリード線５ａ 、５ｂが半田イ」り接続
してあり、これによりサーミスタ！Ｉ！４と導電膜２は
電源７に直列に接続される。なＪ３、この状態？１″ナ
ーミスタ膜４の抵抗値【ま常温で約０．１Ωとしてあり
、第３図中線Ｘで承り如くその抵抗値は温度とともに変
化してキューり点の６０℃を過ぎると急激に人ぎくなる
。また、導電膜２の抵抗値は図中線ｙで示す如く約１Ω
どしてあり、結局導電膜２と勺−ミスタ膜４を直列に接
続してなるヒータの抵抗値は温度とともに図中線Ｚのよ
うに変化する。
このような構造の薄膜ヒータに通電すると、抵抗値の小
さい６０℃以下では導電膜２に大きな電流が流れて急速
にその湿度が上Ｆｆ、 する。温度が６０℃以上になる
と抵抗値が急速に増大して電流は減少し、６０℃を少し
越えた温度で熱平衡に達してその温度が維持される。こ
れを第４図に示す。
さい６０℃以下では導電膜２に大きな電流が流れて急速
にその湿度が上Ｆｆ、 する。温度が６０℃以上になる
と抵抗値が急速に増大して電流は減少し、６０℃を少し
越えた温度で熱平衡に達してその温度が維持される。こ
れを第４図に示す。
図によれば、約１０秒で急速に温度が上背して熱平衡状
態に達しており、速熱性にも優れていることが知られる
。
態に達しており、速熱性にも優れていることが知られる
。
以上の如く、本発明の透光性Ｆｔｉｔ ＩＩＳ！ヒータ
は透光性導電膜の一端にＰ丁ｃ（ノーミスタ膜を一体形
成して、これらを電源間に直列接続１−ることにより温
度センサや制御回路の不要な自己温度調節能力を有Ｊ−
るヒータを実現した心ので、コンパクトかつ信頼性が高
く、しかも速熱性にものれたものであり、自動車り（７
ウインドのデ゛フロスタ用ヒーク等に使用して好適であ
る。
は透光性導電膜の一端にＰ丁ｃ（ノーミスタ膜を一体形
成して、これらを電源間に直列接続１−ることにより温
度センサや制御回路の不要な自己温度調節能力を有Ｊ−
るヒータを実現した心ので、コンパクトかつ信頼性が高
く、しかも速熱性にものれたものであり、自動車り（７
ウインドのデ゛フロスタ用ヒーク等に使用して好適であ
る。
第１図は薄膜ヒータの全体断面図で、第２図のＩ−ＩＦ
！＋に沿う断面図、第２図は薄膜に−タの平面図、第３
図はその抵抗一温度特性を示す図、第４図はヒータ温度
の経時変化を示ず図Ｃある。 １・・・・・・基板 ２・・・・・・透光性導電膜 ３ａ、３ｂ・・・・・・通電用電極膜 ４・・・・・・Ｐ Ｔ Ｃサーミスタ膜第１図 ］ 第２図 第３図 第４図 時間 （ｓｅｃ）
！＋に沿う断面図、第２図は薄膜に−タの平面図、第３
図はその抵抗一温度特性を示す図、第４図はヒータ温度
の経時変化を示ず図Ｃある。 １・・・・・・基板 ２・・・・・・透光性導電膜 ３ａ、３ｂ・・・・・・通電用電極膜 ４・・・・・・Ｐ Ｔ Ｃサーミスタ膜第１図 ］ 第２図 第３図 第４図 時間 （ｓｅｃ）
Claims (2)
- （１）透光性基板と、上記基板上に形成され所定の抵抗
値を有する透光性導電膜と、上記Ｓ電膜の相対向する端
縁表面にそれぞれ形成された通電用電極膜と、上記電極
膜の一方と導電膜の間に形成されたＰＴＣサーミスタ膜
とを具備する透光性薄膜ヒータ。 - （２）上記透光性導電膜は酸化インジウム（Ｉｎユ ０
３）に酸化スズ（Ｓ００□）をドープしてなるＩＴＯ膜
であり、上記Ｐ −ｒ−Ｃサーミスタ膜はヂタン酸バリ
ウム系磁器半導体を高周波（ＲＦ）スパッタリングによ
り上記Ｉ Ｔ Ｏ膜上に形成し、かつＰＴＣサーミスタ
股上には白金、ニッケルおよびインジウムのいずれかを
電子ビーム蒸着して通電用電極膜となした特許請求の範
囲第１項記載の透光性薄膜ヒータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58163010A JPS6053448A (ja) | 1983-09-05 | 1983-09-05 | 透光性薄膜ヒ−タ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58163010A JPS6053448A (ja) | 1983-09-05 | 1983-09-05 | 透光性薄膜ヒ−タ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6053448A true JPS6053448A (ja) | 1985-03-27 |
Family
ID=15765476
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58163010A Pending JPS6053448A (ja) | 1983-09-05 | 1983-09-05 | 透光性薄膜ヒ−タ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6053448A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62121153U (ja) * | 1986-01-24 | 1987-07-31 | ||
| JPS63274083A (ja) * | 1987-04-30 | 1988-11-11 | Nok Corp | 面状発熱体 |
| JPH02169349A (ja) * | 1988-12-20 | 1990-06-29 | Nippondenso Co Ltd | 車両窓ガラスのヒータ装置 |
| WO1991001617A1 (en) * | 1989-07-18 | 1991-02-07 | Matsusita Electric Works, Ltd. | Heat generating member |
| JP2020087614A (ja) * | 2018-11-20 | 2020-06-04 | 古河電気工業株式会社 | ワイヤハーネス、遮断部付きワイヤハーネス、および、ｈｗｄシステム |
| JP2020085330A (ja) * | 2018-11-26 | 2020-06-04 | パナソニックＩｐマネジメント株式会社 | 熱交換形換気装置 |
| JP2021117026A (ja) * | 2020-01-23 | 2021-08-10 | 株式会社デンソーウェーブ | センサ収容装置 |
| JP2022020098A (ja) * | 2020-07-20 | 2022-02-01 | 株式会社デンソーウェーブ | センサ収容装置 |
-
1983
- 1983-09-05 JP JP58163010A patent/JPS6053448A/ja active Pending
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62121153U (ja) * | 1986-01-24 | 1987-07-31 | ||
| JPS63274083A (ja) * | 1987-04-30 | 1988-11-11 | Nok Corp | 面状発熱体 |
| JPH02169349A (ja) * | 1988-12-20 | 1990-06-29 | Nippondenso Co Ltd | 車両窓ガラスのヒータ装置 |
| WO1991001617A1 (en) * | 1989-07-18 | 1991-02-07 | Matsusita Electric Works, Ltd. | Heat generating member |
| JP2020087614A (ja) * | 2018-11-20 | 2020-06-04 | 古河電気工業株式会社 | ワイヤハーネス、遮断部付きワイヤハーネス、および、ｈｗｄシステム |
| JP2020085330A (ja) * | 2018-11-26 | 2020-06-04 | パナソニックＩｐマネジメント株式会社 | 熱交換形換気装置 |
| JP2021117026A (ja) * | 2020-01-23 | 2021-08-10 | 株式会社デンソーウェーブ | センサ収容装置 |
| JP2022020098A (ja) * | 2020-07-20 | 2022-02-01 | 株式会社デンソーウェーブ | センサ収容装置 |
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