JPS6052581B2 - 半導体装置用容器の気密封止方法 - Google Patents
半導体装置用容器の気密封止方法Info
- Publication number
- JPS6052581B2 JPS6052581B2 JP8131678A JP8131678A JPS6052581B2 JP S6052581 B2 JPS6052581 B2 JP S6052581B2 JP 8131678 A JP8131678 A JP 8131678A JP 8131678 A JP8131678 A JP 8131678A JP S6052581 B2 JPS6052581 B2 JP S6052581B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cap
- sealing
- seal frame
- roller electrodes
- seam
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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- Sealing Battery Cases Or Jackets (AREA)
- Resistance Welding (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は半導体装置用容器の気密封止方法に関する。
従来、半導体装置用容器には、セラミック基板にメタ
ライズパターンを設け、外部リードど丸形あるいは角形
のシールフレームをろう付けして成る半導体装置用容器
（以後シームウエルドケースと呼ぶ）がある。これらシ
ームウエルドケースの封止方法は、シールフレーム上に
キャップを載置し、一対の向い合つたローラー電極のテ
ーパー部にキャップの縁を接触させながらシームウエル
ドケースを回転させ、シームウエルドにてキャップ封止
を行うものであつた。 しかしこの封止方法は、一対の
ローラー電極間に通電する方法である為、キャップ及び
シールフレーム自体の抵抗による発熱と溶接部（シール
フレームとキャップの接触部）の溶融熱による発熱とを
生ずる。
ライズパターンを設け、外部リードど丸形あるいは角形
のシールフレームをろう付けして成る半導体装置用容器
（以後シームウエルドケースと呼ぶ）がある。これらシ
ームウエルドケースの封止方法は、シールフレーム上に
キャップを載置し、一対の向い合つたローラー電極のテ
ーパー部にキャップの縁を接触させながらシームウエル
ドケースを回転させ、シームウエルドにてキャップ封止
を行うものであつた。 しかしこの封止方法は、一対の
ローラー電極間に通電する方法である為、キャップ及び
シールフレーム自体の抵抗による発熱と溶接部（シール
フレームとキャップの接触部）の溶融熱による発熱とを
生ずる。
その為にシールフレームの抵抗を最大２〜加Ω程度に抑
えてキャップ中央部を通る電流量を少なくする必要があ
るが、通常はシールフレームの抵抗がキャップの抵抗よ
り小さいため余り問題とならない。しかしながら大きな
シールフレームを備えた大型のシームウエルドケース又
は上述した条件を満足しないシームウエルドケースにお
いては、発熱によりキャップのヤケ、溶接不良、更には
セラミックの破壊などが発生する欠点があつた。 従来
のシームウエルドケースの封止方法を図面を用いて説明
する。
えてキャップ中央部を通る電流量を少なくする必要があ
るが、通常はシールフレームの抵抗がキャップの抵抗よ
り小さいため余り問題とならない。しかしながら大きな
シールフレームを備えた大型のシームウエルドケース又
は上述した条件を満足しないシームウエルドケースにお
いては、発熱によりキャップのヤケ、溶接不良、更には
セラミックの破壊などが発生する欠点があつた。 従来
のシームウエルドケースの封止方法を図面を用いて説明
する。
第１図は、従来のシームウエルドケースを気密封止す
る方法を説明する図で、ａ図はケースにキャップを載置
し、ローラー電極を当てた状態の平面図、を図はその側
面図、ｃ図はケースを９００回転させた封止工程途中に
おける平面図、ｄ図はその側面図である。
る方法を説明する図で、ａ図はケースにキャップを載置
し、ローラー電極を当てた状態の平面図、を図はその側
面図、ｃ図はケースを９００回転させた封止工程途中に
おける平面図、ｄ図はその側面図である。
まずシームウエルドケース２を回転台１に固定し、角
形のキャップ４を角形のシールフレーム３の上に載せ、
スイッチを入れると対向する１対のローラー電極５が下
降してキャップ４を押える。
形のキャップ４を角形のシールフレーム３の上に載せ、
スイッチを入れると対向する１対のローラー電極５が下
降してキャップ４を押える。
次に、回転台１が３６００回転して元の位置に戻る。こ
の間に、キャップ４の短辺、長辺及びコーナー部が電極
のローラー部と常に弾性接触し、対向する両電極間に電
流が流れてシームウエルドされる。 然しながら角形の
キャップ及びシールフレームの長辺と短辺の比が大きす
ぎる場合には、短辺が溶けにくくなる事、又ケースが大
型化し、シールフレーム及びキヤツプが大きくなつた場
合（通常、径あるいは辺の長さが１０〜１５Ｔｍの円形
又は正方形が例えば３０〜５０Ｑの円形又は正方形にな
つた場合）には、シールフレームとキヤツプの抵抗の増
加によつて両電極間の発熱が大きくなり、キヤツプヤケ
、キヤツプ変形、溶接不良などが発生し、製品の製造歩
留り及び信頼性が低下する欠点があつた。
の間に、キャップ４の短辺、長辺及びコーナー部が電極
のローラー部と常に弾性接触し、対向する両電極間に電
流が流れてシームウエルドされる。 然しながら角形の
キャップ及びシールフレームの長辺と短辺の比が大きす
ぎる場合には、短辺が溶けにくくなる事、又ケースが大
型化し、シールフレーム及びキヤツプが大きくなつた場
合（通常、径あるいは辺の長さが１０〜１５Ｔｍの円形
又は正方形が例えば３０〜５０Ｑの円形又は正方形にな
つた場合）には、シールフレームとキヤツプの抵抗の増
加によつて両電極間の発熱が大きくなり、キヤツプヤケ
、キヤツプ変形、溶接不良などが発生し、製品の製造歩
留り及び信頼性が低下する欠点があつた。
本発明は上記欠点を除去し、信頼性、製造歩留りの高い
半導体装置用容器の封止方法を提供するものである。
半導体装置用容器の封止方法を提供するものである。
本発明は、対向する１対のローラー電極のそれぞれを、
平行する２本のローラー電極とし、この平行両電極問に
通電しつつケースを回転させて封止を行う方法である。
平行する２本のローラー電極とし、この平行両電極問に
通電しつつケースを回転させて封止を行う方法である。
本発明を実施例により説明する。第２図は、本発明に使
用するローラー電極の一実施例のそれぞれ正面図と側面
図である。
用するローラー電極の一実施例のそれぞれ正面図と側面
図である。
ローラー電極５は、電気絶縁材１１によつて絶縁された
二つの軸受７を有している。軸受７には、それぞれ電極
軸６が嵌合され、スプリング１０に押圧されて５〜１０
Ｑの上下動が可能である。この２本の電極軸６の下端部
には、ローラー電極５がそれぞれ平行になるように装着
されている。又それぞれの電極軸６の上端部には、電源
端子８と電源９が接続されている。この場合２本のロー
ラー電極の軸間距離は最高１０〜１５ｗａ程度にする。
第３図は、上記ローラー電極を使用して角形キヤツプを
封止する工程を説明する図で、ａ図はケーースにキヤツ
プを載置してローラー電極を当てた状態の平面図、ｂ図
は約４５ー回転した途中における封止工程の平面図であ
る。まず回転台（図示せず）にシームウエルドケース２
を固定してから角形のシールフレームに角形のキヤツプ
４を位置合せしてのせ、スイツチを入れると２本の平行
するローラー電極５の対がエアーシリンダーによつて下
降し、キヤツプ４を押えつけてから回転台が回転しはじ
め、それぞれの２本のローラー電極間に通電が開始され
る。
二つの軸受７を有している。軸受７には、それぞれ電極
軸６が嵌合され、スプリング１０に押圧されて５〜１０
Ｑの上下動が可能である。この２本の電極軸６の下端部
には、ローラー電極５がそれぞれ平行になるように装着
されている。又それぞれの電極軸６の上端部には、電源
端子８と電源９が接続されている。この場合２本のロー
ラー電極の軸間距離は最高１０〜１５ｗａ程度にする。
第３図は、上記ローラー電極を使用して角形キヤツプを
封止する工程を説明する図で、ａ図はケーースにキヤツ
プを載置してローラー電極を当てた状態の平面図、ｂ図
は約４５ー回転した途中における封止工程の平面図であ
る。まず回転台（図示せず）にシームウエルドケース２
を固定してから角形のシールフレームに角形のキヤツプ
４を位置合せしてのせ、スイツチを入れると２本の平行
するローラー電極５の対がエアーシリンダーによつて下
降し、キヤツプ４を押えつけてから回転台が回転しはじ
め、それぞれの２本のローラー電極間に通電が開始され
る。
両電源９はそれぞれ同電位、同位相である。次に回転台
が３６００回転する間、キヤツプの短辺、長辺およびコ
ーナー部は、ローラー電極５のロール部にスプリング１
０で押圧されて常に接触しているため丸形シームウエル
ドケースの封止と何ら異なる事なく封止が達せられる。
又シールフレームとキヤツプが一辺５ｈ程度の極めて大
きなシールリングを備えたシームウエルドケースにおい
ても、それぞれの２本のローラー電極５の間を電流が矢
印の様に流れ、かつローラー電極間は距離が短かいので
シールフレームとキヤツプの抵抗増加の影響を受けず、
従つてキヤツプヤケ、溶接不足の発生が皆無になる。こ
のように本発明の封止方法によれば、従来の封止方法に
くらべ品質が向上し、又大型のシームウエルドケースが
封止可能となることから生産能率も大幅に向上するもの
である。
が３６００回転する間、キヤツプの短辺、長辺およびコ
ーナー部は、ローラー電極５のロール部にスプリング１
０で押圧されて常に接触しているため丸形シームウエル
ドケースの封止と何ら異なる事なく封止が達せられる。
又シールフレームとキヤツプが一辺５ｈ程度の極めて大
きなシールリングを備えたシームウエルドケースにおい
ても、それぞれの２本のローラー電極５の間を電流が矢
印の様に流れ、かつローラー電極間は距離が短かいので
シールフレームとキヤツプの抵抗増加の影響を受けず、
従つてキヤツプヤケ、溶接不足の発生が皆無になる。こ
のように本発明の封止方法によれば、従来の封止方法に
くらべ品質が向上し、又大型のシームウエルドケースが
封止可能となることから生産能率も大幅に向上するもの
である。
第１図は従来の封止方法を説明する図で、Ａ，ｃは平面
図、Ｂ，ｄはその側面図、第２図は本発明の封止方法に
使用するローラー電極を示す正面図と側面図、第３図Ａ
，ｂは、それぞれ本発明の封止方法を説明する平面図で
ある。 １・・・・・回転台、２・・・・・・シームウエルドケ
ース、３・・・・・・シールフレーム、４・・・・・・
キヤップ、５・・・ローラー電極、６・・・・・・電極
軸、７・・・・・・軸受、８・・・・・・電源端子、９
・・・・・・電源、１０・・・・・・スプリング、１１
・・・・・・電気絶縁材。
図、Ｂ，ｄはその側面図、第２図は本発明の封止方法に
使用するローラー電極を示す正面図と側面図、第３図Ａ
，ｂは、それぞれ本発明の封止方法を説明する平面図で
ある。 １・・・・・回転台、２・・・・・・シームウエルドケ
ース、３・・・・・・シールフレーム、４・・・・・・
キヤップ、５・・・ローラー電極、６・・・・・・電極
軸、７・・・・・・軸受、８・・・・・・電源端子、９
・・・・・・電源、１０・・・・・・スプリング、１１
・・・・・・電気絶縁材。
Claims (1)
- １ シールフレームを備えた半導体装置用容器を回転台
上に固定して前記シールフレーム上にキャップを載置し
、対向する１対のローラー電極を下降させ前記キャップ
に接触させながら通電し、回転台を回転して前記シール
フレームとキャップとをシームウエルドにて気密封止す
る方法において、前記対向する１対のローラー電極は、
それぞれ平行する２本のローラー電極からなり、該２本
のローラー電極間にそれぞれ通電しつつ半導体装置用容
器を回転させキャップ封止する事を特徴とする半導体装
置用容器の気密封止方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8131678A JPS6052581B2 (ja) | 1978-07-03 | 1978-07-03 | 半導体装置用容器の気密封止方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8131678A JPS6052581B2 (ja) | 1978-07-03 | 1978-07-03 | 半導体装置用容器の気密封止方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS558086A JPS558086A (en) | 1980-01-21 |
| JPS6052581B2 true JPS6052581B2 (ja) | 1985-11-20 |
Family
ID=13742982
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8131678A Expired JPS6052581B2 (ja) | 1978-07-03 | 1978-07-03 | 半導体装置用容器の気密封止方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6052581B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6310545A (ja) * | 1986-07-01 | 1988-01-18 | Nec Corp | 半導体装置の気密封止方法 |
-
1978
- 1978-07-03 JP JP8131678A patent/JPS6052581B2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS558086A (en) | 1980-01-21 |
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