JPS6051081B2 - 非球面反射防止膜 - Google Patents
非球面反射防止膜Info
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- JPS6051081B2 JPS6051081B2 JP53005457A JP545778A JPS6051081B2 JP S6051081 B2 JPS6051081 B2 JP S6051081B2 JP 53005457 A JP53005457 A JP 53005457A JP 545778 A JP545778 A JP 545778A JP S6051081 B2 JPS6051081 B2 JP S6051081B2
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- Japan
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- thin film
- aspherical
- refractive index
- film
- layer
- Prior art date
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
- C03C17/34—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
- C03C17/3411—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions with at least two coatings of inorganic materials
- C03C17/3429—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions with at least two coatings of inorganic materials at least one of the coatings being a non-oxide coating
- C03C17/3447—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions with at least two coatings of inorganic materials at least one of the coatings being a non-oxide coating comprising a halide
- C03C17/3452—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions with at least two coatings of inorganic materials at least one of the coatings being a non-oxide coating comprising a halide comprising a fluoride
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
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- C03C17/34—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
- C03C17/3411—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions with at least two coatings of inorganic materials
- C03C17/3417—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions with at least two coatings of inorganic materials all coatings being oxide coatings
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B1/00—Optical elements characterised by the material of which they are made; Optical coatings for optical elements
- G02B1/10—Optical coatings produced by application to, or surface treatment of, optical elements
- G02B1/11—Anti-reflection coatings
- G02B1/113—Anti-reflection coatings using inorganic layer materials only
- G02B1/115—Multilayers
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、非球面の薄膜層を含んだ非球面反射防止膜に
関するものである。
関するものである。
研磨による非球面レンズの製作は、多大の時間と労力を
要し、標準レンズ等の量産品に対してはコスト高となる
。
要し、標準レンズ等の量産品に対してはコスト高となる
。
そのためイオンの打ち込みにより屈折率を変化させる方
法、イオンビームにより研磨面をエッチする方法等が試
みられているが中でも蒸着による非球面膜の製作方法は
非球面膜厚が１０ｐ位までならば量産に対する十分な可
能性を与えるものである。しかし、非球面膜を蒸着で製
作するには蒸着物質が限定されるため、１．４５〜１．
８２位の屈折率を持つレンズと同じ屈折率を持つ非球面
膜を得ることは困難である。
法、イオンビームにより研磨面をエッチする方法等が試
みられているが中でも蒸着による非球面膜の製作方法は
非球面膜厚が１０ｐ位までならば量産に対する十分な可
能性を与えるものである。しかし、非球面膜を蒸着で製
作するには蒸着物質が限定されるため、１．４５〜１．
８２位の屈折率を持つレンズと同じ屈折率を持つ非球面
膜を得ることは困難である。
したがつて、レンズの屈折率と非球面膜の屈折率が近い
場合、例えば、１．５２の屈折率を持つＢＫ−７に対し
て１．４９の屈折率をもつＳｉＯ。
場合、例えば、１．５２の屈折率を持つＢＫ−７に対し
て１．４９の屈折率をもつＳｉＯ。
膜のような場合には問題ないが、レンズの屈折率と非球
面膜の屈折率が違う場合には両者の境界面での反射のた
め反射防止膜を非球面膜上に施しても効果がない場合が
生じる。第１図は、屈折率が１．８０のレンズ上に、屈
折率が１．４９Ｎ球面からの最大偏位置が２ｐである二
酸化シリコンＳｉＯ。
面膜の屈折率が違う場合には両者の境界面での反射のた
め反射防止膜を非球面膜上に施しても効果がない場合が
生じる。第１図は、屈折率が１．８０のレンズ上に、屈
折率が１．４９Ｎ球面からの最大偏位置が２ｐである二
酸化シリコンＳｉＯ。
の非球面薄膜を蒸着し、更にその上に非球面薄膜側より
光学的膜厚が一瀘Ｇ酸化、λｏ アルミニウム川。
光学的膜厚が一瀘Ｇ酸化、λｏ アルミニウム川。
００、光学的膜厚か一の酸化ジル
、λｏ
コニウムＺｒＯ。
、光学的膜厚か一のフッ化マグネシウムＭｇＦ２を順次
設けた時の非球面薄膜の光学的膜厚が最も厚い２μの部
所の反射特性を示す図で、縦軸に反射率Ｒ、横軸に波長
λを取つたものである。
設けた時の非球面薄膜の光学的膜厚が最も厚い２μの部
所の反射特性を示す図で、縦軸に反射率Ｒ、横軸に波長
λを取つたものである。
尚上記λ。は基準（設計）波長であり、ここではλ。＝
５００ｎｍとしているので、Ａｌ。Ｏ３−ＺｒＯ２−Ｍ
ｇＦ′２より構成される層は１２５ｒ１ｍ−２５０ｒ１
ｍ−１２５ｒ１ｍの光学的膜厚を有する。第１図より明
らかな様に、ガラス基板上に直接非球面薄膜を設け、更
にその上に反射防止の為の薄膜層群を設けた場合には、
存残の反射率が２％を越え、該非球面を含む薄膜層の反
射防止の特性は良好なものとは言えなかつた。本発明は
上記難点の改良を目的とし、反射防止効果の優れた非球
面反射防止膜を提供するものてある。
５００ｎｍとしているので、Ａｌ。Ｏ３−ＺｒＯ２−Ｍ
ｇＦ′２より構成される層は１２５ｒ１ｍ−２５０ｒ１
ｍ−１２５ｒ１ｍの光学的膜厚を有する。第１図より明
らかな様に、ガラス基板上に直接非球面薄膜を設け、更
にその上に反射防止の為の薄膜層群を設けた場合には、
存残の反射率が２％を越え、該非球面を含む薄膜層の反
射防止の特性は良好なものとは言えなかつた。本発明は
上記難点の改良を目的とし、反射防止効果の優れた非球
面反射防止膜を提供するものてある。
本発明に係る非球面反射防止膜は、基板側より１層以上
の等厚薄膜より成る第１薄膜群、該第１薄膜群上に設け
られ前記基板側と反対側の面の形状が非球面状である非
球面薄膜、該非球面薄膜上に設けられた１層以上の薄膜
より成る第２薄膜群より構成される。
の等厚薄膜より成る第１薄膜群、該第１薄膜群上に設け
られ前記基板側と反対側の面の形状が非球面状である非
球面薄膜、該非球面薄膜上に設けられた１層以上の薄膜
より成る第２薄膜群より構成される。
尚、上記等厚薄膜とは、膜厚が一定の薄膜を意味するも
のである。本発明に係る非球面反射防止膜においては、
上記第１薄膜群が単層より成る場合、基板の屈折率をＮ
ｇ、非球面膜の屈折率をＮａとすると第１薄膜に用いら
れる物質の屈折率ｎは、ほぼＶｎａ−Ｎｇに等しい。
のである。本発明に係る非球面反射防止膜においては、
上記第１薄膜群が単層より成る場合、基板の屈折率をＮ
ｇ、非球面膜の屈折率をＮａとすると第１薄膜に用いら
れる物質の屈折率ｎは、ほぼＶｎａ−Ｎｇに等しい。
又該薄膜の膜厚ｄ１は、基準波長（設計
λｏ−波長）をλ。
λｏ−波長）をλ。
とすると、ｄ１″．〒なることが望ましい。又、上記第
１薄膜群が二層より成る場合には、該二層の前記基板側
の薄膜層の屈折率をｎ１、非球面膜側の屈折率を〜とす
ると、Ｎｇ＜Ｎｌ，ｎ２〈Ｎａ又はＮｇ＞Ｎｌ，ｌｌ２
〉Ｎａを満足するものである。
１薄膜群が二層より成る場合には、該二層の前記基板側
の薄膜層の屈折率をｎ１、非球面膜側の屈折率を〜とす
ると、Ｎｇ＜Ｎｌ，ｎ２〈Ｎａ又はＮｇ＞Ｎｌ，ｌｌ２
〉Ｎａを満足するものである。
この時、屈折率ｎ１の薄膜をｄ１、同じくＮ２の膜厚を
Ｄ２とすると、なる関係を満足する。
Ｄ２とすると、なる関係を満足する。
ここでλは波長である。本発明に係る非球面反射防止膜
においては、上記第２薄膜群は従来の反射防止膜の構成
を適用することが可能である。又、この第２薄膜群の中
に、更に非球面薄膜を設ける事も可能である。本発明に
係る非球面反射防止膜を換言すると、基板と非球面薄膜
の間に等厚薄膜より成る薄膜層を設ける事により、屈折
率の異なる基板と非球面薄膜の間で生じる有害な反射を
効果的に除去し、透過率の優れた非球面反射防止膜を得
るものである。以下、本発明の実施例を示す。第２図は
本発明に係る非球面反射防止膜の一実施例を示す特性図
である。
においては、上記第２薄膜群は従来の反射防止膜の構成
を適用することが可能である。又、この第２薄膜群の中
に、更に非球面薄膜を設ける事も可能である。本発明に
係る非球面反射防止膜を換言すると、基板と非球面薄膜
の間に等厚薄膜より成る薄膜層を設ける事により、屈折
率の異なる基板と非球面薄膜の間で生じる有害な反射を
効果的に除去し、透過率の優れた非球面反射防止膜を得
るものである。以下、本発明の実施例を示す。第２図は
本発明に係る非球面反射防止膜の一実施例を示す特性図
である。
第２図に示す膜の構成は屈折率が１．６０の基板ガラス
上に、屈折率が１．５４の単層膜、例えばＴｈＦ４又は
ＴｌｌＯＦ２等を光学的膜厚で１２５ｒ１ｍ蒸着し、更
にその上に屈折率が１．４９のＳｊＯ２より成る非球面
薄膜を設け、更にその上に第２薄膜群として第１図で示
した構成の３層反射防止膜、即ち非球面薄膜側からＡｌ
２Ｏ３を光学的膜厚で１２５ｒ１ｍ，．Ｚｒ０２を２５
０ｒ１ｍ，．ＭｇＦ′２を１２５ｎｍを順次積層したも
のである。尚、この非球面薄膜は、球面からの最大偏位
置が２μである様な非球面形状であり、第２図に示す特
性は非球面薄膜の光学的膜厚が最も厚い２ｐにおける部
所での反射特性を示すものである。尚第２図に対応する
非球面薄膜は、最大偏位置が２ｐであるので、最も薄い
場所の膜厚は零である。この様に非球面薄膜の最も厚い
部所での反射特性を示すのは、この部所における特性が
他の部所に比して最も悪い為であり、この部所より膜厚
の薄い他の部所での反射特性は、これ以上の良好な特性
を示すからである。第２図の特性図から明らかな様に、
所望の波長帯域ａで残存反射率はほぼ０．５％以内に押
える事ができ、第１図の特性曲線と比すれぱ本発明に係
る非球面反射防止膜の効果は歴然としている。以下に示
す、更なる本発明の実施例においても、非球面薄膜の膜
厚は最も薄い部所が零、最も・厚い部所は最大偏位置の
値である。
上に、屈折率が１．５４の単層膜、例えばＴｈＦ４又は
ＴｌｌＯＦ２等を光学的膜厚で１２５ｒ１ｍ蒸着し、更
にその上に屈折率が１．４９のＳｊＯ２より成る非球面
薄膜を設け、更にその上に第２薄膜群として第１図で示
した構成の３層反射防止膜、即ち非球面薄膜側からＡｌ
２Ｏ３を光学的膜厚で１２５ｒ１ｍ，．Ｚｒ０２を２５
０ｒ１ｍ，．ＭｇＦ′２を１２５ｎｍを順次積層したも
のである。尚、この非球面薄膜は、球面からの最大偏位
置が２μである様な非球面形状であり、第２図に示す特
性は非球面薄膜の光学的膜厚が最も厚い２ｐにおける部
所での反射特性を示すものである。尚第２図に対応する
非球面薄膜は、最大偏位置が２ｐであるので、最も薄い
場所の膜厚は零である。この様に非球面薄膜の最も厚い
部所での反射特性を示すのは、この部所における特性が
他の部所に比して最も悪い為であり、この部所より膜厚
の薄い他の部所での反射特性は、これ以上の良好な特性
を示すからである。第２図の特性図から明らかな様に、
所望の波長帯域ａで残存反射率はほぼ０．５％以内に押
える事ができ、第１図の特性曲線と比すれぱ本発明に係
る非球面反射防止膜の効果は歴然としている。以下に示
す、更なる本発明の実施例においても、非球面薄膜の膜
厚は最も薄い部所が零、最も・厚い部所は最大偏位置の
値である。
又、各々の反射特性（逆の立場から見れば透過率特性）
を示す図は各実施例における非球面薄膜の最も厚い部所
における特性を示すものである。更に、以下に示す第３
図から第８図の特性曲線に対応する非球面ノ反射防止膜
においては上記第２薄膜群の構成は第１図及び第２図に
示す第２薄膜群の膜構成と同じであるので、以下の説明
においては省略する。第３図は、本発明に係る非球面反
射防止膜の一実施例を示す特性図で、その構成は屈折率
が１．７０の基板ガラスの上に、屈折率が１．５９の単
層膜、例えばＴｈＯＦ２又はＬａＦ３等を光学的膜厚で
１２５ｎｍの厚さに蒸着し、その上に屈折率が１．４９
のＳｉＯ２より成る非球面薄膜を蒸着し、更にその上に
上記第２薄膜群を設けたものである。尚、この非球面薄
膜は、球面よりの最大偏位置が２μである非球面形状を
有する薄膜である。第４図は本発明に係る非球面反射防
止膜の一実施例を示す特性図で、その構成は屈折率が１
．８０の基板ガラスの上に、屈折率が１．６４の単層膜
、例えば，Ａｌ２Ｏ３等を光学的膜厚で１２５ｒ１ｍ蒸
着し、その上に屈折率が１．４９のＳｉＯ２より成る非
球面薄膜を蒸着し、更にその上に上記構成の第２薄膜群
を設けたものてある。
を示す図は各実施例における非球面薄膜の最も厚い部所
における特性を示すものである。更に、以下に示す第３
図から第８図の特性曲線に対応する非球面ノ反射防止膜
においては上記第２薄膜群の構成は第１図及び第２図に
示す第２薄膜群の膜構成と同じであるので、以下の説明
においては省略する。第３図は、本発明に係る非球面反
射防止膜の一実施例を示す特性図で、その構成は屈折率
が１．７０の基板ガラスの上に、屈折率が１．５９の単
層膜、例えばＴｈＯＦ２又はＬａＦ３等を光学的膜厚で
１２５ｎｍの厚さに蒸着し、その上に屈折率が１．４９
のＳｉＯ２より成る非球面薄膜を蒸着し、更にその上に
上記第２薄膜群を設けたものである。尚、この非球面薄
膜は、球面よりの最大偏位置が２μである非球面形状を
有する薄膜である。第４図は本発明に係る非球面反射防
止膜の一実施例を示す特性図で、その構成は屈折率が１
．８０の基板ガラスの上に、屈折率が１．６４の単層膜
、例えば，Ａｌ２Ｏ３等を光学的膜厚で１２５ｒ１ｍ蒸
着し、その上に屈折率が１．４９のＳｉＯ２より成る非
球面薄膜を蒸着し、更にその上に上記構成の第２薄膜群
を設けたものてある。
尚、この非球面薄膜は、球面よりの最大偏位置が２ｐで
ある非球面形状を有する薄膜である。第５図は、上記第
４図において説明した構成の非球面反射防止膜において
、非球面薄膜の最大偏位置を変化させた場合の特性を示
す図で、実線で示し特性は球面よりの最大偏位置が１ｐ
である非球面形状の場合を、破線で示す特性は球面より
の最大偏位置が３μである非球面形状の場合を示してい
る。
ある非球面形状を有する薄膜である。第５図は、上記第
４図において説明した構成の非球面反射防止膜において
、非球面薄膜の最大偏位置を変化させた場合の特性を示
す図で、実線で示し特性は球面よりの最大偏位置が１ｐ
である非球面形状の場合を、破線で示す特性は球面より
の最大偏位置が３μである非球面形状の場合を示してい
る。
上記第２図から第５図に示す特性曲線は、上記第１薄膜
群が単層の場合の実施例であつたが、以下の実施例は第
１薄膜群が二層より成る場合を示す。
群が単層の場合の実施例であつたが、以下の実施例は第
１薄膜群が二層より成る場合を示す。
第６図は本発明に係る非球面反射防止膜の一実施例を示
す特性図で、その構成は、屈折率が１．６０のガラス基
板上に第１薄膜群としての二層膜を蒸着し、更にその上
に第２図に示す膜構成と同一の非球面薄膜及び第２薄膜
群を順次蒸着する。
す特性図で、その構成は、屈折率が１．６０のガラス基
板上に第１薄膜群としての二層膜を蒸着し、更にその上
に第２図に示す膜構成と同一の非球面薄膜及び第２薄膜
群を順次蒸着する。
第６図の実線は、上記第１薄膜群が基板側より１層目の
屈折率が１．５７、２層目の屈折率が１．５２で、それ
等の膜厚が各々光学的膜厚て１２５ｎｍである場合、破
線は１層目の屈折率が１．５４７、２層目の屈折率が１
．５４１で、それ等の膜厚が各々光学的膜厚で１２５ｎ
ｍである場合を示している。第７図は本発明に係る非球
面反射防止膜の一実施例を示す特性図で、その構成は、
屈折率が１．７０のガラス基板上に第１薄膜群として二
層膜を蒸着し、更にその上に第２図に示す膜構成と同一
の非球面薄膜及び第２薄膜群を順次蒸着する。
屈折率が１．５７、２層目の屈折率が１．５２で、それ
等の膜厚が各々光学的膜厚て１２５ｎｍである場合、破
線は１層目の屈折率が１．５４７、２層目の屈折率が１
．５４１で、それ等の膜厚が各々光学的膜厚で１２５ｎ
ｍである場合を示している。第７図は本発明に係る非球
面反射防止膜の一実施例を示す特性図で、その構成は、
屈折率が１．７０のガラス基板上に第１薄膜群として二
層膜を蒸着し、更にその上に第２図に示す膜構成と同一
の非球面薄膜及び第２薄膜群を順次蒸着する。
第７図の実線は、基板側より上記第１薄膜群の第１層目
の屈折率が１．６表第２層目の屈折率が１．５４で、そ
れぞれの層の光学的膜厚が１２５ｒ１ｍの場合、破線は
第１層目の屈折率が１．６１９．第２層目の屈折率が１
．５６４で、それぞれの層の光学的膜厚が１２５ｒ１ｍ
の場合に示している。第８図は本発明に係る非球面反射
防止膜の一実施例を示す特性図で、その構成は屈折率が
１．８０のガラス基板上に第１薄膜群として二層膜を蒸
着し、更にその上に第２図に示す膜構成と同一の非球面
薄膜及び第２薄膜群を順次蒸着する。
の屈折率が１．６表第２層目の屈折率が１．５４で、そ
れぞれの層の光学的膜厚が１２５ｒ１ｍの場合、破線は
第１層目の屈折率が１．６１９．第２層目の屈折率が１
．５６４で、それぞれの層の光学的膜厚が１２５ｒ１ｍ
の場合に示している。第８図は本発明に係る非球面反射
防止膜の一実施例を示す特性図で、その構成は屈折率が
１．８０のガラス基板上に第１薄膜群として二層膜を蒸
着し、更にその上に第２図に示す膜構成と同一の非球面
薄膜及び第２薄膜群を順次蒸着する。
第８図の実線は基板側より上記第１薄膜群の第１層目の
屈折率が１．７２、第２層目の屈折率が１．５６の場合
、破線は第１層目の屈折率が１．６λ第２層目の屈折率
が１．５８７で、それぞれの層の光学的膜厚が１２５ｒ
１ｍの場合を示している。第９図は、本発明に係る非球
面反射防止膜の一実施例を示す特性図で、その構成は、
屈折率１．５２の基板ガラス上にガラス基板側より屈折
率１．５５で光学的膜厚が１２５ｎｍの層、屈折率１．
６０で光学的膜厚が１２５ｎｍの層を順次蒸着し、その
上に屈折率１．６３の酸化アルミニウムの非球面薄膜を
、更にその上に四層膜を設けたものである。
屈折率が１．７２、第２層目の屈折率が１．５６の場合
、破線は第１層目の屈折率が１．６λ第２層目の屈折率
が１．５８７で、それぞれの層の光学的膜厚が１２５ｒ
１ｍの場合を示している。第９図は、本発明に係る非球
面反射防止膜の一実施例を示す特性図で、その構成は、
屈折率１．５２の基板ガラス上にガラス基板側より屈折
率１．５５で光学的膜厚が１２５ｎｍの層、屈折率１．
６０で光学的膜厚が１２５ｎｍの層を順次蒸着し、その
上に屈折率１．６３の酸化アルミニウムの非球面薄膜を
、更にその上に四層膜を設けたものである。
この四層膜は、非球面側から数えて第１層目の屈折率が
１．４９、光学的膜厚が１２５ｎｍ１第２層目は同じく
１．６３，１２５ｎｍ１第３層目は同じく２．１，２５
０ｒ１ｍ１第４層目は同じく１．３８，１２５ｎｍであ
る。第６図から第９図に示す如く、第１薄膜群が２層か
ら成る場合も、特性曲線は十分な反射防止効果を示し、
この場合は更に蒸着物質の選択が容易になるものである
。
１．４９、光学的膜厚が１２５ｎｍ１第２層目は同じく
１．６３，１２５ｎｍ１第３層目は同じく２．１，２５
０ｒ１ｍ１第４層目は同じく１．３８，１２５ｎｍであ
る。第６図から第９図に示す如く、第１薄膜群が２層か
ら成る場合も、特性曲線は十分な反射防止効果を示し、
この場合は更に蒸着物質の選択が容易になるものである
。
第１図は非球面を用いた反射防止膜の透過率特性曲線を
示す図、第２図、第３図、第４図、第５図、第６図、第
７図、第８図及び第９図はそれぞれ本発明に係る非球面
反射防止膜の透過率特性曲線を示す図。 λ・・・・・・波長、Ｒ・・・・・・反射率。
示す図、第２図、第３図、第４図、第５図、第６図、第
７図、第８図及び第９図はそれぞれ本発明に係る非球面
反射防止膜の透過率特性曲線を示す図。 λ・・・・・・波長、Ｒ・・・・・・反射率。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 基板側より、一層以上の等厚薄膜より成る第１薄膜
群、該第１薄膜群上に設けられ前記基板側と反対側の面
の形状が非球面状である非球面薄膜、該非球面薄膜上に
設けられた１層以上の薄膜より成る第２薄膜群より構成
される事を特徴とする非球面反射防止膜。 ２ 上記第１薄膜群は単層より成り、該単層の屈曲率ｎ
は上記基板の屈折率をｎｇ、上記非球面薄膜の屈折率を
ｎａとすると、√（ｎｇ・ｎａ）にほぼ等しく、その膜
厚は基準波長λ＿０の１／４にほぼ等しい特許請求の範
囲の第１項記載の非球面反射防止膜。 ３ 上記第１薄膜群は二層より成り、該二層の前記基板
側の薄膜層の屈折率をｎ＿１、前記非球面薄膜側をｎ＿
２、上記基板の屈折率をｎｇ、非球面膜の屈折率をｎａ
とすると、ｎｇ＞ｎ＿１，ｎ＿２＜ｎａ又はｎｇ＞ｎ＿
１，ｎ＿２＞ｎａを満足する特許請求の範囲第１項記載
の非球面反射防止膜。 ４ 上記二層の薄膜層の各薄厚は相互にほぼ等しく、そ
の膜厚は基準波長λ＿０のほぼ１／４である特許請求の
範囲の第３項記載の非球面反射防止膜。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP53005457A JPS6051081B2 (ja) | 1978-01-20 | 1978-01-20 | 非球面反射防止膜 |
| DE19792901675 DE2901675A1 (de) | 1978-01-20 | 1979-01-17 | Reflexionsminderungsbelag mit einer asphaerischen schicht |
| US06/005,019 US4261645A (en) | 1978-01-20 | 1979-01-19 | Reflection preventive film having an aspherical layer |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP53005457A JPS6051081B2 (ja) | 1978-01-20 | 1978-01-20 | 非球面反射防止膜 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
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| JPS6051081B2 true JPS6051081B2 (ja) | 1985-11-12 |
Family
ID=11611743
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP53005457A Expired JPS6051081B2 (ja) | 1978-01-20 | 1978-01-20 | 非球面反射防止膜 |
Country Status (3)
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-
1978
- 1978-01-20 JP JP53005457A patent/JPS6051081B2/ja not_active Expired
-
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- 1979-01-19 US US06/005,019 patent/US4261645A/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5498257A (en) | 1979-08-03 |
| US4261645A (en) | 1981-04-14 |
| DE2901675A1 (de) | 1979-07-26 |
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