JPS605067A - ジルコニア焼結体の製造方法 - Google Patents

ジルコニア焼結体の製造方法

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JPS605067A
JPS605067A JP58110628A JP11062883A JPS605067A JP S605067 A JPS605067 A JP S605067A JP 58110628 A JP58110628 A JP 58110628A JP 11062883 A JP11062883 A JP 11062883A JP S605067 A JPS605067 A JP S605067A
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(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 械的強度の極めて優れたジルコニア焼結体の製造方法に
関する。さらに詳しくは、結晶相として正方晶を有する
安定化剤を含むジルコ三ア粉末の予備焼結体を、高温高
圧ガス圧下で本結結することKよシ、結晶相として正方
晶を有するジルコニア焼結体の製造方法に関する。
従来ジルコニア(zro2)にイツトリア(Y2O2)
 +カルシア(Oak)、マグネシア(MgO)などの
安定化剤を添加したジルコニア焼結体としては立方晶の
みよシなる完全安定化ジルコニア焼結体と立方晶と単斜
晶よシなる部分安定化ジルコニア焼結体が知られおシ、
これらの焼結体は、耐熱材料、固体電解質などに利用さ
れている。しかしこの完全安定化ジルコニア焼結体は、
常温からf500℃の温度範囲において安定であるが、
強度が低く熱衝撃に弱いため、破損しやすく、排ガス中
の酸素センサーや構造部分などの使用には限度があった
。また立方晶と単斜晶よシなる部分安定化ジルコニア焼
結体は完全安定化ジルコニア焼結体に比較すると強度は
大きく熱衝撃性もよいものであるが、構造材料やダイス
、切削切断用工具として使用するには、充分な強度とは
いえず、さらに200 ’Cがら300°Cという特定
温度範囲で長時間使用すると強度が低下し、破損すると
いう次点がある。例えば、Zr02−Y203糸部分安
定化ジルコニアについては、焼結温度である1500°
C付近では、立方晶と正方品の混合相の結晶粒子とがら
なっているが、この正方晶粒子が室温への冷却過程にお
いて、約500°C以下で安定相である単斜晶へ転移を
起し、立方晶と単斜晶よシなる焼結体になる。この転移
した単斜晶の量が多くなると焼結体中に多数のクラック
が発生し、破壊に到るのである。
しかし、近年室温でも主として正方晶又は、正方晶と立
方晶よりなるジルコニア焼結体が報告された。(グプタ
他、T、に、GUPTA θt a4.Journal
of Materials 5cien、ce、 12
.2421(1977))。この室温で準安定である正
方晶を含有するジルコニア焼結体(以下準安定化ジルコ
ニアと焼結体と略86る)は、立方晶よりなる完全安定
化ジルコニア焼結体に比べて低濃度のイッ) IJアに
よって準安定化されたZrO,−Y2O2系の焼結体で
あシ、立方晶と単斜晶よりなる部分安定化ジルコニア焼
結体とも明かに異なるものである。この正方晶を含有す
る準安定化ジルコニア焼結体は、完全安定化ジルコニア
焼結体や部分安定化ジルコニア焼結体に比較して、高強
度、高靭性であシまた熱衝撃性にも優れており、200
〜300℃の温度範囲で問題になる経時劣化も防ぐこと
が可能となっている。
この準安定化ジルコニア焼結体が機械的にすぐれた特徴
を示す理由は、まだ正確には明かになっていないが、少
なくとも次の様なことが考えられる。
ジルコニアにおける正方晶と単斜晶の間の転移は、熱的
にまたは周囲からの圧力などの応用によって生じるマル
テンサイト変能である。そして正方晶から単斜晶への転
移によシ数チの体質の膨張をともなう。そこで約500
°C以下の単斜晶の安定域で準安定に存在する正方晶を
含有した準安定ジルコニア焼結体は、その焼結体が破壊
する時すなわちその焼結体中にクランクが発生し、その
クジ・ツクが進展して行き破壊をしようとする時、この
正方晶粒子は、進展して行くクラックの先端の応力によ
って、マルテンサイト変態を起すこのとき、正方晶から
単斜晶に転移をすると同時に体積膨張を起し、クラック
の先端部に体積膨張による圧縮応力を発生しクラックの
進展を妨害する。この様なことKよって準安定ジルコニ
ア焼結体は、すぐれた高強度、高靭性などを示すものと
考えられる。
またZr02−C!ao系、 ZrO2−MgO系焼結
体においてもガービーら(Journal of Au
5t Oeram Sac、。
13(5λ8(1977))が室温で正方晶の存在する
カルシアとマグネシアの部分安定化ジルコニア焼結体を
見い出している。さらには、クラウゼンらによれば(C
eramic Bulletin、 56(Q 559
(1977))、アルミナ焼結体などのジルコニア以外
の部材の中に未安定のジルコニア粒子を正方晶形で存在
させることによシ、高強度、高靭性の焼結体を得ている
しかしながら機械部品など高度な構造材料として使用す
るためには、その部品の寿命や信頼性が非常に重要とな
るだめ、これら準安定化ジルコニア焼結体はまだ十分な
ものとは言えない。
一方Eii3N、やSiCなど非酸化物において、その
高強度であることが期待されているが、常圧では高密度
に焼結することが困難である難焼結性物質について、高
温高圧条件下に焼結を行い、高密度化するホットアイツ
タクチインクプレス方法(以下HlP法と略記する)が
提案されている。しかしながら、このHIP法は酸化物
系の焼結体については、アルミナ系の切削工具、PZT
、フェライトなどへの応用がある他、特開昭57− 130717号公報に示されるZrO2焼結体ダイスが
ある。しかし、こ、の目的はダイスとしての焼結体中の
空孔の除去のだめのものであシ、本発明のような正方晶
を存在させることを目的とする方法とは全く異なるもの
である。
本発明者らは、これらの事情に鑑み、強度ならびに熱安
定性の優れた信頼性の高いセラミック焼結体について鋭
意研究した結果、正方晶を含むジルコニア予備焼結体を
さらに高温高圧のガス圧下で本焼結することにより、正
方晶を残存させた準安定化ジルコニア焼結体が得られる
ことを見出し、本発明に到達した。
すなわち、本発明は安定化剤を含むジルコニア粉末から
なる成形体を1000〜1700°Cで予備焼結し、主
として正方晶または正方晶と立方晶の結晶相を有する予
備焼結体を得、さらに該予備焼結体を50気圧以上、1
200〜1800°Cの高温高圧ガス圧下で本焼結する
ことにより、主として正方晶または正方晶と立方晶より
なり、かつ正方晶の平均結晶粒子が2μm以下の焼結体
を得ることを特徴とするジルコニア焼結体の製造方法を
提供するものである。
本発明のジルコニア焼結体は、正方晶を含む準安定化ジ
ルコニア焼結体であシ、従来の安定化ジルコニア焼結体
や部分安定化ジルコニア焼結体とは異なり、強度ならび
に熱安定性に特に優れたものである。従って、安定化剤
の種類、含有量、ジルコニア粉末の粒径、予備焼結条件
などを制御することにより正方晶を含む予備焼結体を得
、さらに特定条件でHIP法によシ本焼結することが必
須である。
以下、本発明をさらに詳細に説明する。
本発明の焼結体を製造するために用いられる原料粉末は
、ジルコニア粉末と安定化剤としてイツトリア、マグネ
シア、カルシア、セリアなどが用いられるが、イツトリ
アを用いた場合ジルコニアとイツトリウムの比がy2o
 Jz r o、のモル比として1.5/9a5〜7/
92の範囲であることが好ましい。
ここでイツトリアの添加量を1.5モルチよシ少なくし
た場合、焼結体中の単斜晶系の量が多くなシ、焼結体中
のクラだりが発生しゃすくなシ、また200〜300°
C・の特定温度域に長時間保持すると強度劣化起す。 
7モルチを越すイツトリアを添加すると立方晶のみの焼
結体となり、本発明で説明するような正方晶の転移効果
というものが失なわれてしまう。
また、粉末中ではイツトリウムがジルコニア中に均一に
固溶しているか、酸化イツトリウムとして均一に分散し
ていることが好ましい。そのためには、ジルコニアとイ
ツ) IJアの平均粒径1μm以下の微粉末をボールミ
ルなどで直接混合し、500〜1100°Cの範囲で仮
焼してもよいが、ハロゲン化ジルコニウム、オキシハロ
ゲン化ジルコニウム、ジルコニウムの硝酸塩、炭酸塩な
どのジルコニウム化合物及びハロゲン化イツトリウムな
どのイツトリウム化合物を溶液の状態で均一に混合した
後、溶媒を除去し固型物のみを500〜1100℃で仮
焼する方法もしくは、ジルコニウム化合物を含む溶液と
イツトリア又はジルコニアとイツ) IJウム化合物を
含む溶液とを均一に混合した後、溶媒を除却し固型物の
みを500〜1100℃で仮焼する方法によって原料粉
末を得ることが好ましい。
この様にして得た粉末を湿式粉砕によって粉砕し、乾燥
して成形用粉体を得る。次に金型プレスや静水圧プレス
成形または、汚しよう鋳込み、押出し射出成形などの種
々の成形方法によって所定の形状にした成形体を得る。
この場合成形方法に応じて粉末に通常使用される成形助
剤などを添加して処理を行っても何らさしつかえない。
この成形体を大気、酸素、不活性ガス雰囲気中のいずれ
かの雰囲気中で1000〜1700℃で焼結し、主とし
て正方晶または正方晶と立方晶よりなるジルコニア予備
焼結体を得る。
このH1P法処理前の焼結体において重要なことは、こ
の焼結体が後述するH工P法処理によって抗折強度が高
められることである。このためには、HIP法処理前の
予備焼結体において、正方晶粒子の平均粒子径が本焼結
体同様2μm以下であることが好ましい。
この様にして得られたジルコニア予備焼結体は、アルゴ
ン、窒素ガス等の不活性ガス雰囲気中で、50気圧以上
の圧力下に1200〜1800’Cの温度範囲で、また
Zr02−Y2O2系の焼結体の場合好ましくは、12
00〜1650℃の温度範囲でHIP法処理を行う。こ
のHIP法処理圧力と温度は、予備焼結体の密度、結晶
相なとKよって決定されるが、HIP法処理の温度が1
200℃未満又は圧力50気圧未満の場合、HIP法処
理による本焼結体の抗折強度等の特性向上は見とめられ
なくなる。
またZr02−Y203系焼結体では、1800’C以
上になると、焼結体中の正方晶粒子の平均製品粒子径が
2μm以上になシ好ましくない。これは、強度の急激な
低下は認められないが、200°C〜300°Cの特定
温度領域に長時間保持すると、単斜晶の生成による微細
なりラックが発生し強度が低下する現像が生じやすくな
るためである。
なお、この焼結体の平均粒径の測定は、ジルコニア焼結
体の鏡面研磨した面を弗化水素酸でエツチングしたもの
を、電子顕微鏡写真で粒子を100個以上含むような一
定面積S内に存在する粒子数nを数へ粒子1個あたシの
平均面積θに等捗 しい面積の円の直径dを式a’−(4θ/π) によシ
計算し、平均結晶粒子径とした。
このHIP法処理において、処理前の焼結体の対理論密
度が低く、焼結体中の気孔が表面に連通した開孔となっ
ているものがある場合、そのままHIP法処理したので
は閉孔部のみが消滅し、開孔部がそのまま残留すること
になるので、対理論密度の低い焼結体は、Si、A1等
の酸化物または窒化物等を被覆して封孔処理を行いHI
P法処理することが好ましい。
また、予備焼結体の密度が6.08以上になるものにつ
いては、HIP法処理を1500〜1600℃の範囲で
行うと、さらなる効果を得ることができる。
以上の様にしてHIP法処理が施されたジルコニア焼結
体は、主として正方晶または、正方晶と立方晶の結晶相
よシするが、それぞれの存在割分はモルチとして、 正方晶−10〜100 単斜晶−0〜40 立方晶−100−(正方晶+単斜晶) であることが重要な条件である。ここで正方晶が10モ
ルチ未満になると正方晶の転移による強化機構がほとん
ど作用しなくなシ、またHIP法処理の効果も小さいも
のとなる。
また単斜晶が40チを越えてくると、焼結体中の微細な
りラックが発生やすくなシ強度の低下や200〜300
’Cでの安定性も低下し、機械部品などとして実用上使
用できなくなる。ここで正方晶、単斜晶、立方晶の含有
率は、焼結体のX線回折法によって分析し、その回折パ
ターンのピークを積分して得た強度から次式によって計
算した。
Co−100−(CM+C!T) ただし CM:単斜晶系ジルコニアの含有率(モル%)C,r:
正方晶系ジルコニアρ含有率(モル%)Co二立方晶ジ
ルコニアの含有率(モルチ)M:単斜晶系ジルコニアの
〈111〉と〈111〉の回折線の強度の和 T(111)、 T(220)、 T(004> :正
方晶系ジルコニアの(111)、(220)。
(004)の各々の回折線の強度 c(111>、C!<40 o):立方晶系ジルコニア
の(111>、 <40 o)の各々の回折線の強度 以上、安定化剤としてイツトリアを含むジルコニア焼結
体を例として説明したが、安定化剤としてマグネシア、
カルシアまたはセリアを使用した場合も同様なジルコニ
ア焼結体を得ることができる。この場合、安定化剤の含
有量としてはマグネシアでは5〜10モル%、カルシア
では6〜11モルチ、セリアでは7〜12モルチである
ことが好ましい範囲である。またこれらの安定化剤を2
種以上混合しても伺うさしつかえない。
以上述べた様に、本発明の方法によれば従来のセラミッ
クス焼結体の抗折強度に比較して著しく高い抗折強度を
有する焼結体を得ることが出来る。
また本発明は、高温高圧ガスの圧力を用いることによっ
て、複雑な形状をした焼結体を製造することが可能とな
シ、該セラミックス焼結体を高性能な機械部品などの構
造材料として用いることを可能としたものである。
なを、該セラミック焼結体は、高温において酸素イオン
伝導性を示し、熱衝撃強度および機械的強度が優れてい
ることから種々の用途に使用できる。
たとえば、酸素濃淡電池用固体電解質、内燃機関の部品
、切削バイト、ダイス、刃物、その他産業用機械などの
摺動部品などの部品類など極めて広い範囲に利用できる
以下本発明方法を実施例によって更に具体的に説明する
が、本発明はこれらに限定されるものではない。
(実施例1) 酸化ジルコニウムと酸化イツトリウムの総モル量に対し
て酸化イツ) IJウムのモル濃度が3モル係になるよ
うに、オキシ塩化ジルコニウムと塩化イツ) IJウム
の水溶液を調製し、加熱蒸発乾燥後、この乾燥物を90
0℃で仮焼し、3モル係のイツトリアを固溶又は分散し
た平均粒径[135μmのジルコニア粉末を得た。
この粉末をエタノールを用いてボールミルで粉砕し、乾
燥、整粒を行い成形用粉末を得だ。
この粉末を冷間静水圧プレス成形した後、大気中で焼成
を行い、ジルコニア予備焼結体を得た。
さらにこの予備焼結体をHIP法処理を行い本発明方法
によるジルコニア焼結体を得た。予備焼結。
HIP法処理の条件、焼結体の対理論密度、正方晶含有
率、平均粒子径、抗折強度などを表1に示しだ。また比
較のために、H工P処理しない予備焼結体の抗折強度を
示した。抗折強度の測定は、焼結体よ、95X4X40
+tllの試験片を切り出し、※400のホイールを用
いて研削仕上げを行い、スパン30騙クロスヘッド速度
[L5ms/minによる3点曲げによシ測定した。
(実施例2) 実施例1と同様にして合成した3モh−チイットリア添
加ジルコニア粉末を用い、予備焼結条件とHIP法処塩
処理条件えて、ジルコニア焼結体を作製し、その特性を
測定した。同じに比較例としてHIP法処理を行わなか
ったものについても特性を測定した。条件と特性につい
て表1に示した。
(実施例3) 実施例1と同様な方法によって2モルチ、4モルチ、6
モルチイットリア添加した、3種類のジルコニア粉末を
実施例1と同様に予備焼結及びHIP法処理を行い、焼
結体を得た。
表2に予備焼結、及びH1P法処理条件とその特性を示
した。
同時に、HIP法処理をしていない焼結体についても、
比較例として示す。
(実施例4) 実施例1と同じ方法で塩化イツトリウムの代シに塩化カ
ルシウム、塩化マグネシウムまたは塩化セリウムを用い
たものの3種類の粉末を合成した。
これらの粉末を用いて予備焼結、HIP法処理を行いジ
ルコニア焼結体を製造しその特性を測定し表2に示した
。同時に比較としてHIP法処理しないものについても
示した。
(実施例5) オキシ塩化ジルコニウム粉末を900℃で加熱分解し平
均粒径α5μmのジルコニア粉末を得た。
この粉末に平均粒径0.2μmの酸化イッl−IJウム
の微粉末をモル濃度で3モル係になるよう添加、ボール
ミルで90時間粉砕を行い平均粒径[1,4μmの粉末
を得、乾燥、整粒したのち静水圧プレスで成形後、14
00℃2hr電気炉を用いて予備焼結を行った。この予
備焼結体についてHIP法処理を行いジルコニア焼結体
を得た。この焼結体についての物性およびHIP法処理
しない比較例について表2に示した。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 (1) 安定化剤を含むジルコニア粉末からなる成形体
    を1000〜1700°Cで予備焼結し、主として正方
    晶または正方晶と立方晶の結晶相を有する予備焼結体を
    得、さらに該予備焼結体を50気圧以上、1200〜1
    800’Cの高温高圧ガス圧下で本焼結することにより
    、主として正方晶または正方晶と立方晶よシなりかつ正
    方晶の平均結晶粒子が2μm以下の焼結体を得ることを
    特徴とするジルコニア焼結体の製造方法。 0)安定化剤がイツトリア、マグネシア、カルシアまた
    はセリアである特許請求の範囲第(1)項記載の製造方
    法。 (3) ジルコニア焼結体の結晶相の存在割合がモルチ
    として、 正方晶−10〜100 単斜晶−0〜40 立方晶−100−(正方晶子単斜晶) である特許請求の範囲第(1)捷たは(2)項記載の製
    造方法。
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