JPS6045A - 表面分析装置 - Google Patents
表面分析装置Info
- Publication number
- JPS6045A JPS6045A JP58108432A JP10843283A JPS6045A JP S6045 A JPS6045 A JP S6045A JP 58108432 A JP58108432 A JP 58108432A JP 10843283 A JP10843283 A JP 10843283A JP S6045 A JPS6045 A JP S6045A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- outlet
- chamber
- measuring instrument
- inlet
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/252—Tubes for spot-analysing by electron or ion beams; Microanalysers
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（イ）産業上の利用分野
本発明は表面分析装置に関し、特に、固体表面に電子、
イオン、光子（電磁波）等のフ。
イオン、光子（電磁波）等のフ。
ローブを衝突させ、それによって該表面から出てくるイ
オン、電子、けい光、Ｘ槻等の信号源を測定して表面状
態を分析する装置に関する。
オン、電子、けい光、Ｘ槻等の信号源を測定して表面状
態を分析する装置に関する。
（ロラ 従来技術
従来のこの検装置は、真壁雰囲気において計測する装置
の場合、外部から試材ｆ装脱する際、大気圧状態に戻さ
れる。４空室内が一旦大気圧になると、測定のため再び
真空状態とするためには排気のため長時間を要し、試＞
、４設置直から計測までの時間のうち、計測＃＝備のだ
めの時間がその大半を占め、極めて非能率的でちった。
の場合、外部から試材ｆ装脱する際、大気圧状態に戻さ
れる。４空室内が一旦大気圧になると、測定のため再び
真空状態とするためには排気のため長時間を要し、試＞
、４設置直から計測までの時間のうち、計測＃＝備のだ
めの時間がその大半を占め、極めて非能率的でちった。
に） 目 的
本発明は上記欠点を除き、計測準備のだめの排気時間を
現状の排気ポンプのままで短縮可能とし、しかも機構も
簡素化された表面分析装置を提供することを目的とする
。
現状の排気ポンプのままで短縮可能とし、しかも機構も
簡素化された表面分析装置を提供することを目的とする
。
（ト）構成
上記目的を達成するため本発明の構成は、内部に計測器
が設置され、試料出入口と真空排気口とを持つ計測器室
と、前記計測器室の下側に配置されて、その試料出入口
に上下に連通ずる第１試料出入口と外部に対する第２試
料出入口お・よび真空排気１０とを持つ試料室と、前記
両室の試料出入り日Ｉｌｌ Ｋ ；−νｋ・’ｊされた
仕切弁と、該試料オ内に設ｆＭ妊れて［Ｊ１１記則２拭
料出入口よシ試料を受取って１ｉｉＪ記第１試料出入口
の直ｉりまで移動させた後に元の位置′まで戻すように
水平面内運動自在どされ、かつ、試料が載置される部分
で前記第１試料出入口および第２試料出入口に対向口」
能な缶ｉＮＫ貫辿孔を持つ試料台と、前記ＮＪ市川孔着
脱自在に嵌合される試料受皿と、前を己試料室内に設置
されて前記試料受皿を上端で受取り前記第１試料出入口
を通って計測器室まで−１−下するケＦ時棒を持っ試制
移送部とを含む。
が設置され、試料出入口と真空排気口とを持つ計測器室
と、前記計測器室の下側に配置されて、その試料出入口
に上下に連通ずる第１試料出入口と外部に対する第２試
料出入口お・よび真空排気１０とを持つ試料室と、前記
両室の試料出入り日Ｉｌｌ Ｋ ；−νｋ・’ｊされた
仕切弁と、該試料オ内に設ｆＭ妊れて［Ｊ１１記則２拭
料出入口よシ試料を受取って１ｉｉＪ記第１試料出入口
の直ｉりまで移動させた後に元の位置′まで戻すように
水平面内運動自在どされ、かつ、試料が載置される部分
で前記第１試料出入口および第２試料出入口に対向口」
能な缶ｉＮＫ貫辿孔を持つ試料台と、前記ＮＪ市川孔着
脱自在に嵌合される試料受皿と、前を己試料室内に設置
されて前記試料受皿を上端で受取り前記第１試料出入口
を通って計測器室まで−１−下するケＦ時棒を持っ試制
移送部とを含む。
（ホ）実施例
以下本発明の一実施例を含む夾Ｍｌ態様を内部転換電子
スペクトＡ７測定式（試料表面から出て来た２次電子ス
ベク）／しを測定する）の装置を例にとって、図面にも
とづいて説明する。
スペクトＡ７測定式（試料表面から出て来た２次電子ス
ベク）／しを測定する）の装置を例にとって、図面にも
とづいて説明する。
図において、本装置は大略的に内部に計測器２が設置さ
れた計６＋Ｕ器室１と、外部から試料Ａが出入される試
料室４と、これら計測器室１と誠科蚕４とを区切るゲー
ト仕切弁８と、外部からの試料Ａが載置され、この試料
Ａを前記計測器２と同−鉛直綴止まで回動させるだめの
回転テープ／１ｚ５１からなる試料台５と、該試料Ａを
計測器２まで接近さぜる昇降円筒６１を備えた試料移動
部６とを有する。
れた計６＋Ｕ器室１と、外部から試料Ａが出入される試
料室４と、これら計測器室１と誠科蚕４とを区切るゲー
ト仕切弁８と、外部からの試料Ａが載置され、この試料
Ａを前記計測器２と同−鉛直綴止まで回動させるだめの
回転テープ／１ｚ５１からなる試料台５と、該試料Ａを
計測器２まで接近さぜる昇降円筒６１を備えた試料移動
部６とを有する。
しかして、計測器室１には計測′ａ２の鉛直線下方に蛙
前記仕切弁８にょシ開閉される連絡口１ａと、側壁に設
けられ排気バルブ１ｃを介して図示外の排気系へ接続さ
れた排気口１ｂとを有する。
前記仕切弁８にょシ開閉される連絡口１ａと、側壁に設
けられ排気バルブ１ｃを介して図示外の排気系へ接続さ
れた排気口１ｂとを有する。
試料室４は前記仕切弁８を介して計測器室１の連絡口１
ａに連通ずるようその鉛直下方に設けられた第１試料出
入口４ａと、該口４ａに対し前記回転テープμ５１の軸
部に関して対称泣１ｄの上方に設けられた第２試料出入
口４ｂと、側壁に設けられ、排気バルブ４ｄを介して図
示外の排気系へ俊統された排気口４Ｃとを合する。
ａに連通ずるようその鉛直下方に設けられた第１試料出
入口４ａと、該口４ａに対し前記回転テープμ５１の軸
部に関して対称泣１ｄの上方に設けられた第２試料出入
口４ｂと、側壁に設けられ、排気バルブ４ｄを介して図
示外の排気系へ俊統された排気口４Ｃとを合する。
試料台５は水平円板からなる回転テーブル５１と、試回
伝テーブルの中’［＞で鉛直力＋１１に垂゛Ｌしたテー
ブル支持脚５２と、該回転テーブル叉持脚５２を回転自
在に叉承する支持筒５８ａおよび軸受５８ｂからなる軸
受都５３と、前記回軸テープ／Ｌ’５１を鉛直軸まわシ
に回軸させるための回転駆動部５４とを持つ。
伝テーブルの中’［＞で鉛直力＋１１に垂゛Ｌしたテー
ブル支持脚５２と、該回転テーブル叉持脚５２を回転自
在に叉承する支持筒５８ａおよび軸受５８ｂからなる軸
受都５３と、前記回軸テープ／Ｌ’５１を鉛直軸まわシ
に回軸させるための回転駆動部５４とを持つ。
回転テープ／ｌ’５ｉには前記第１試料出入口４ａおよ
び第２試料出入口４ｂに対向６Ｊ’ ＋ｆ目で同一１−
ＪＪ周上の複数位置に、後記昇降棒６１が貫通可能な段
付孔５１ａが設けられ、核孔５１ａには着脱可能な試料
受皿５１ｂが遊嵌合される。該試料受皿５１ｂは第２図
示の如く円環状の脚を有する円板体で、非ｙｔａ＋定時
には前記孔５１セに対して蓋状に載置される。また、回
軸駆動部５４では前記テーブル支持ｌ理５２の下部に装
着された従動傘歯車５４ａと、該傘歯車５４ａに噛合う
駆動傘歯車５４ｂをもつ駆動軸５４Ｃとが組付けられる
。
び第２試料出入口４ｂに対向６Ｊ’ ＋ｆ目で同一１−
ＪＪ周上の複数位置に、後記昇降棒６１が貫通可能な段
付孔５１ａが設けられ、核孔５１ａには着脱可能な試料
受皿５１ｂが遊嵌合される。該試料受皿５１ｂは第２図
示の如く円環状の脚を有する円板体で、非ｙｔａ＋定時
には前記孔５１セに対して蓋状に載置される。また、回
軸駆動部５４では前記テーブル支持ｌ理５２の下部に装
着された従動傘歯車５４ａと、該傘歯車５４ａに噛合う
駆動傘歯車５４ｂをもつ駆動軸５４Ｃとが組付けられる
。
試料移ｌｎＱ部６は上端に試料受皿５１ｂを載せ、下部
に雌ねじが刻設された昇降円筒棒６１と、それを鉛直方
向に昇降させるだめの昇降駆動部６２とからなる。昇降
円筒６１の頂面は試料受ＬＩＴＬ５１ ｂを水平に支承
可能とされる。昇降駆動部６２はｆｆ１ｌ記昇降円筒６
１に螺合するねじ棒６２ ａと、該ねじ棒６２ａを回転
させるための１椛動および従動傘歯−東６２ｃ、６２ｂ
と、駆動軸６２ｄとが組付けられたものである。
に雌ねじが刻設された昇降円筒棒６１と、それを鉛直方
向に昇降させるだめの昇降駆動部６２とからなる。昇降
円筒６１の頂面は試料受ＬＩＴＬ５１ ｂを水平に支承
可能とされる。昇降駆動部６２はｆｆ１ｌ記昇降円筒６
１に螺合するねじ棒６２ ａと、該ねじ棒６２ａを回転
させるための１椛動および従動傘歯−東６２ｃ、６２ｂ
と、駆動軸６２ｄとが組付けられたものである。
以上に２いて、仕切弁８を閉じ試料室排気バルブ４ｄを
閉じ第２試料出入口４ｂを開くとともに、テーブル５１
を回転、停止させつつ孔５１ａに嵌合載置されている試
料受皿５１ｂに試料を載せる。ここで回転テープｐ５１
を回転させて、前記試料Ａの載った受皿５１ｂが第１試
４−１出入口４ａの直下に来たとき停止させる。次いで
計７１１！Ｉ ｉｔｒ室排気バルブＩＣを閉じ、前記排
気バルブ４ｄをＬｌｌ」いて試料室４内を計測器室１と
同程度の＾空状態とした後、仕切弁３とｔ、４１ｉ気パ
ルプＩＣを開いて両室１．４ｆ、同−汽々度にする。そ
ｌ、Ｃ，４ｈ−一＋が一一一職昇１」Ｘト、駆動７ｉ１
Ｓ ６２が：１１区：功ぎノすると、回（除テープ／１
１５１の孔５１ａＱ貝・ｔｔ＋ して−に＊ｌ。
閉じ第２試料出入口４ｂを開くとともに、テーブル５１
を回転、停止させつつ孔５１ａに嵌合載置されている試
料受皿５１ｂに試料を載せる。ここで回転テープｐ５１
を回転させて、前記試料Ａの載った受皿５１ｂが第１試
４−１出入口４ａの直下に来たとき停止させる。次いで
計７１１！Ｉ ｉｔｒ室排気バルブＩＣを閉じ、前記排
気バルブ４ｄをＬｌｌ」いて試料室４内を計測器室１と
同程度の＾空状態とした後、仕切弁３とｔ、４１ｉ気パ
ルプＩＣを開いて両室１．４ｆ、同−汽々度にする。そ
ｌ、Ｃ，４ｈ−一＋が一一一職昇１」Ｘト、駆動７ｉ１
Ｓ ６２が：１１区：功ぎノすると、回（除テープ／１
１５１の孔５１ａＱ貝・ｔｔ＋ して−に＊ｌ。
する昇降棒６１により試ギ１Ａがｔ代料皿５ ｌ ｂと
ともに押し上げられ、ε１）１調料出入口４ａ仕切弁３
、連絡口１ａを経て計１則蒲カΣ１に運ばれ計測器２に
接近し計６”り状戚となる。
ともに押し上げられ、ε１）１調料出入口４ａ仕切弁３
、連絡口１ａを経て計１則蒲カΣ１に運ばれ計測器２に
接近し計６”り状戚となる。
計測が終ると、試料ＡはＪｔ１トｆ両泌則軸６２ｃの逆
回転により試料受皿５１ｂ上に載置されたまま試料室４
まで下降され、回’Ｎ７Ｗデープル５１上に戻され、仕
切弁８と排９ζバルゾ４ｄが閉じられるとともに回転テ
ープｚ１１５１が回転される。そして次の試料Ａが測定
体制に入る。なお、テーブルに腹数個の抵料金載１直シ
た場合には、テーブルを１ピツチづつ回Ｉ献停止させて
、１回のｐｌ、気によってＤ Ａ’２ ＋１１’＋＋の
試料を計測することができる。測定済の前記試料は最終
的には尤の第２試料出入口４ｂの直下まで移動されて取
出される。
回転により試料受皿５１ｂ上に載置されたまま試料室４
まで下降され、回’Ｎ７Ｗデープル５１上に戻され、仕
切弁８と排９ζバルゾ４ｄが閉じられるとともに回転テ
ープｚ１１５１が回転される。そして次の試料Ａが測定
体制に入る。なお、テーブルに腹数個の抵料金載１直シ
た場合には、テーブルを１ピツチづつ回Ｉ献停止させて
、１回のｐｌ、気によってＤ Ａ’２ ＋１１’＋＋の
試料を計測することができる。測定済の前記試料は最終
的には尤の第２試料出入口４ｂの直下まで移動されて取
出される。
試料受皿５１ｂの他の実施例として、その上側表面に複
数昧の同心円か刻設されたものを用いれば試料Ａの大き
さに応じて該試料を正しく該受皿の中心に載置でき測定
が円滑に行なわれる。
数昧の同心円か刻設されたものを用いれば試料Ａの大き
さに応じて該試料を正しく該受皿の中心に載置でき測定
が円滑に行なわれる。
まだ、第３図の如く、昇降円筒６１の頂部に、十字形ク
ロスアームの先端に上向きの爪をもつ試料受皿用位置決
め部材６１ａが固定され、試料台５の貝゛通孔が、第４
図示の如く前記位置決め部材６１ａが通過可能な形状と
されれば、試料受皿５１ｂが正確に位置決めされる。
ロスアームの先端に上向きの爪をもつ試料受皿用位置決
め部材６１ａが固定され、試料台５の貝゛通孔が、第４
図示の如く前記位置決め部材６１ａが通過可能な形状と
されれば、試料受皿５１ｂが正確に位置決めされる。
上記実力ｔｇ例の他、回転テープＡ１５１に代えてコン
ベア、トロッコ等を利用した直線往復移動方式も適用さ
れる。例えば、ベルトコンベアの場合、昇降棒の貫通を
許す細長窓をベルシト長さ方向に沿って設け、この窓の
上側に試料を置けばよい。
ベア、トロッコ等を利用した直線往復移動方式も適用さ
れる。例えば、ベルトコンベアの場合、昇降棒の貫通を
許す細長窓をベルシト長さ方向に沿って設け、この窓の
上側に試料を置けばよい。
試料Ａの昇降駆動部６２として、フックとン
≠享年ピニオとの組合せやその１［ハの手段を用いても
よい。
よい。
位置決め部材６１ａは３方向に延設されたアームまたは
円板形のものも含む。
円板形のものも含む。
（へ）効果
本発明は以上の如く、計測器室と試料室とを区別したこ
とにより試料室のみを排気すればよく、排気に要する時
間が大幅に短縮されるほか、固定された計測器に対して
試料を移動する方法なめで構造が簡単で安価に製造でき
る。また、計測器、ゲート仕切弁、試料を同一軸上に設
定したためコンパクト化されたばかシでなく、試料移動
精度が高くなったのである。また試料受皿を用いたこと
により、該皿の大きさの範囲で種々の大きさの試料を測
定できることとなる。
とにより試料室のみを排気すればよく、排気に要する時
間が大幅に短縮されるほか、固定された計測器に対して
試料を移動する方法なめで構造が簡単で安価に製造でき
る。また、計測器、ゲート仕切弁、試料を同一軸上に設
定したためコンパクト化されたばかシでなく、試料移動
精度が高くなったのである。また試料受皿を用いたこと
により、該皿の大きさの範囲で種々の大きさの試料を測
定できることとなる。
第２図は要部拡大的「面図、第８図は他の実施例の要部
拡大断面図、第４図は他の実施例の要部拡大平面図であ
る。
拡大断面図、第４図は他の実施例の要部拡大平面図であ
る。
Ａ・・・８ｉ、料、１・・・計測器室、１ａ・・・連絡
口、２・・・計測器、３・・・仕切弁、４・・・試料室
、４ａ・・・第１試料出入口、４ｂ・・・第２試料出入
口、６・・・試料台、５１・・・回転テーブル、５１ａ
・・・孔、５１ｂ・・・試料受皿、５２・・・テーブル
支持脚、５３甲軸受部、５４・・・回１１云駆動部、６
・・・試料イ多動部、６１・・・昇降円筒、６１ａ・・
・位置決め部材、６２・・・昇降駆動部、６２ａ・・・
ねじ棒 代理人 弁理士犬飼新平 第８図
口、２・・・計測器、３・・・仕切弁、４・・・試料室
、４ａ・・・第１試料出入口、４ｂ・・・第２試料出入
口、６・・・試料台、５１・・・回転テーブル、５１ａ
・・・孔、５１ｂ・・・試料受皿、５２・・・テーブル
支持脚、５３甲軸受部、５４・・・回１１云駆動部、６
・・・試料イ多動部、６１・・・昇降円筒、６１ａ・・
・位置決め部材、６２・・・昇降駆動部、６２ａ・・・
ねじ棒 代理人 弁理士犬飼新平 第８図
Claims (4)
- （１） 内部に計測器が設置され、試料出入口と真空排
気口とを持つ計測器室と、前記計測器室の下側に配置さ
れて、その試料出入口に上下に連通ずる第１試料出入口
と外部に対する第２試料出入口および貝空排気口とを持
つ試料室と、自ｊＪ記画室の試料出入口間に接続された
仕切弁と、該試料室内に設置されて前記第２試料出入口
よシ試料を受取って前記第１試料出入口の直−１１まで
移送させた後に元の位置まで戻すように水平面内運動自
在とされ、かつ試料が載置される部分で前記第１試料出
入口および第２試料出入口に対向可能な位置に貫通孔を
持つ試料台と、前記貫通孔に着脱自在に嵌合される試料
受皿と、前記試料室内に設置されて前記試料受皿を上端
で受取シ前記第１、第２試料出入口を辿って計測器室ま
で上下する昇降棒を持つ試料移動部とを含む表１耐分析
装置。 - （２）試料受皿は上側表面に複数條の同ＩＤ円力１役さ
れた特許請求の範囲第１項転藝出奔り曇記載の表面分析
装置。 - （３）昇降棒は上端に前記試料受皿用の位置決め部材が
固定されるとともに、試料台の前記貫通孔は、該位置決
め部拐が通過ｆｉｌ能とされた特許請求の範囲第１項ま
たは第２項記載の表面分析装置。 - （４）試料台は水平面内で回転する回転テーブルと、そ
の支持部材と、回転駆動部とを持つ特許請求の範囲第１
項、第２項または第８項記載の表面分析装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58108432A JPS6045A (ja) | 1983-06-15 | 1983-06-15 | 表面分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58108432A JPS6045A (ja) | 1983-06-15 | 1983-06-15 | 表面分析装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6045A true JPS6045A (ja) | 1985-01-05 |
Family
ID=14484622
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58108432A Pending JPS6045A (ja) | 1983-06-15 | 1983-06-15 | 表面分析装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6045A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62206756A (ja) * | 1986-03-06 | 1987-09-11 | Fujitsu Ltd | 真空装置 |
| US4810159A (en) * | 1985-11-06 | 1989-03-07 | Rudi Stegmuller | Batching system |
| US5082416A (en) * | 1986-10-23 | 1992-01-21 | Edelhoff M.S.T.S. Gmbh | Method of picking up and depositing a hollow receptacle such as a bin, container or the like by and on, respectively, a vehicle with change gear mechanism; change gear mechanism for carrying out the method; and receptacle designed for use in such method |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5836343B2 (ja) * | 1974-09-03 | 1983-08-09 | 日本電気株式会社 | コンピユ−タホログラム ノ リヨウシカホウホウ |
-
1983
- 1983-06-15 JP JP58108432A patent/JPS6045A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5836343B2 (ja) * | 1974-09-03 | 1983-08-09 | 日本電気株式会社 | コンピユ−タホログラム ノ リヨウシカホウホウ |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4810159A (en) * | 1985-11-06 | 1989-03-07 | Rudi Stegmuller | Batching system |
| JPS62206756A (ja) * | 1986-03-06 | 1987-09-11 | Fujitsu Ltd | 真空装置 |
| US5082416A (en) * | 1986-10-23 | 1992-01-21 | Edelhoff M.S.T.S. Gmbh | Method of picking up and depositing a hollow receptacle such as a bin, container or the like by and on, respectively, a vehicle with change gear mechanism; change gear mechanism for carrying out the method; and receptacle designed for use in such method |
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