JPS6043A

JPS6043A - 表面分析装置

Info

Publication number: JPS6043A
Application number: JP10843183A
Authority: JP
Inventors: Susumu Morishima; 森島　進
Original assignee: Shimadzu Corp; Shimazu Seisakusho KK
Current assignee: Shimadzu Corp; Shimazu Seisakusho KK
Priority date: 1983-06-15
Filing date: 1983-06-15
Publication date: 1985-01-05

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】（イ）産業上の利用分野本発明は表面分析装置に関し、特に、固体表面に電子、
イオン、光子（電磁波）等のグローブを衝突させ、それ
によって該表面から出てくるイオン、電子、けい光、Ｘ
線等の信号源を測定して表面状態を分析する装置に関す
る。

（ロ）従来技術従来のこの種装置は、真空算囲気において計測する装置
の場合、外部から試料を装脱する際、大気圧状態に戻さ
れる。真空室内が一旦大気圧になると、測定のため再び
真空状態とするためには排気のため長時間を要し、試料
設置から計測までの時間のうち、計測準備のだめの時間
がその大半を占め、極めて非能率的であった。

（ハ）　目　的不発明は上記欠点を除き、計測準備のだめの排気時間を
現状の排気ポンプのままで短縮可能とし、しかも機構も
簡素化された表面分析装置を提供することを目的とする
。

に）構成上記目的を達成するため本発明の構成は、内部に計測器
が設置され、試料出入口と真空排気口とを持つ計測器室
と、該計測器室の下方に設けられ、前記試料出入口に上
下に連通ずる第１試料出入口、外部に対する第２試料出
入口および共空排気口とを持つ試料室と、前記両室の試
料出入口間に接続された仕切弁と、試料室内に設置され
前記第２試料出入口よシ試料を受取って第１試料出入口
へ移送させた後に元の位置まで戻すように水平面内運に
対向可能な位置に貝１ｍ孔を持つ試料台と、前記試料寮
内に設置されて前記試峯４台の＠Ｊ出出孔貫通し、試料
を上端で受取り前記第１試料出入口を通って計測器室ま
で」二下する昇降棒を持つ試料移動部とを含むことであ
る。

轡）実施例以下本発明の一実施例を含む実施態様を内部転換電子ス
ベク）／し測定式（試料表面から出て来た２次電子のス
ベク）／しを測定する）の装置を例にとって、図面にも
とづいて説明する。

図において、本装置は大略的に、内部に計測器２が設置
された計測器室１と、外部から試料Ａが出入される試料
室４と、これら計測器室１と試料室４とを区切るゲート
仕切弁３と、外部からの試料へが載置され、この試料Ａ
をｔｉｉＪ記￥１測器２と同一鉛直機上まで回動させる
ための凹１県テープ／ｖ５１からなる試料台５と、該ｒ
、Ａ、科Ａを計測、１ｇ２まで接近させる昇降円部６１
を１１ｉｉｊえた試料移動部６とを有する。

しかして、ｉｆｆ’　７ｉｉ！ｌ器室１には計８Ｉｌｌ
益２の鉛直線下方に柚前記仕切弁３によシ開閉される連
絡口１ａと、ＩＥ＋　壁に設けられ排気パルプＩＣを介
して図示タトの排気系へ接続された排気口１ｂとを有す
る。

試料室４は前記仕切弁３を介して計測器室１の連絡口１
ａに連通ずるようその鉛直下方に設けられた第１試料出
入口４ａと、該口４ａに対し前記回転テーブル５１の軸
部に関して対称位置の上方に設けられた第２試料出入口
４ｂと、側壁に設けられ、排気パルプ４ｄを介して図示
外の排気系へ接続された排気口４Ｃとを有する。

、試料台５は水平円板からなる回転テーブル５１と、該
回嘔テープｐの中心で鉛直方向に垂下したテーブル支持
脚５２と、該回転テーブル支持脚５２を回転自在に支承
する支持筒５８ａおよび軸受５８ｂからなる軸受部５３
と、前記回１臥テープ／Ｌ１５１を鉛直軸まわりに回転
させるための回転駆動部５４とを持つ。

回転テープ／ｌ１５１には前記第１試料出入口４ａおよ
び第２試料出入口４ｂに対向可能で同一円周上の複数位
置に、後記昇降棒６１が貫通可能、かつ、試料Ａの貫通
不可能な孔５１ａが設けられる。まだ、回転駆動部５４
では、別記テーブル支持Ｉ＃５２の下部に装着された従
動傘歯車５４ａと、該傘歯車５４ａに噛合う駆動傘歯車
５４ｂをもつ駆動軸５４Ｃとが組付けられる。

試料移動部６は上端に試料Ａを載せ、下部に雌ねじが刻
設された昇降棒６１と、該昇降棒６１ｆ、鉛直方向に昇
降させるための昇呻駆動部６２とからなる。昇降駆動部
６は、前記列・叶棒６１に螺合するねじ棒６２ａと、そ
れを回転させる。ためのＶ、動および従Ｉ＃／１年歯車
６２ｂ、６２ｃと、駆動軸６２ｄとが組付けられたもの
である。

なお、テーブル５１は、その孔５１ａが第１、第２０４
ａ　、４ｂの直下で停止するように、円イ反５５ａ１ば
ね５５ｂ、ｆｉ５５ｃによる位置決め部５５によ９位１
４決めされる。

以上において、仕切弁３を閉じ試料室排気バルブ４ｄを
閉じ、第２試料出入口４ｂを開くと共に、テープ）ｖ５
１を回転停止させつつ孔５１ａを覆って上側に試料Ａを
載置する。

ここで回転テーブル５１は、位置決め部５５によって、
孔５１ａが第１．′ｆＪ２出入口４ａ、４ｂの直下に位
置するよう停止している。

次いで、計７１１．ｌＩ　器’４排気バμプＩＣを閉じ
、前記排気バルブ４ｄを開いて試料室４を計測器室１と
同程友の真空なしたのち、仕切弁８と排気バルグＩＣを
開いて両室１，４を同一真空度にする。次いで　”　昇
降駆動部６２が駆動部れると、回転テーブル５１昇の孔５１ａを貫通して上昇する衆降棒６１によシ試料Ａ
が押し上げられ、第１試料出入口４ａ、仕切弁８、連絡
口１ａを経て計測器室１に運ばれ計測器２に按近し、言
１計」状叩となる。

計１則が終ると、試料Ａは昇呵ｆ駆励輔６２Ｃの逆回転
によジ試料４（４丑で下１・ｉ：され、回転テーブル５
１上に戻さ２Ｌ、仕切弁３とｔ、’ｈ気）（ルプ４ｄが
閉じられるととちにｌ私ブープル５１が１ピツチ回動し
、入の試料Ａが試験体制に入る。

なお、テーブルに複数個のｍＫ　ｌ；）　’；ｒ　−Ｉ
ｌ糟１ｆｆｌ　した場合には、チーグルを１ピツチづつ
回転停止させて、１回の排気によって頑数１１つ１のｉ
・（君を計測することができる。

なお、回転テーブル５１に代えてコンベアトロッコ等を
利用し／ヒ直線住偵移動方式も適用される。例えばベル
トコンベアの１易往、昇降棒の貝通を計す細長窓をベル
トの長さ方向沿に絢って設け、この窓の上側に、鍼４：・ｒを嫂けばよ
い。

不発明は試身の把持機構を必要とせず、試料は昇降棒６
１の頂部に直接載せられて昇降させるだけでよい。

試料Ａの昇−ト駆動部６２として、ラックと中＃≠ピニ
オンとの組合せやその他の手段を用いてもよい。

（へ）　効　果本発明は以上の如く、計測器室と試料室とを区別したこ
とによジ試料室のみを排気すればよく、排気に要する時
間が大幅に短縮されるほか、固定された計測器に対して
試料を移動する方式なので構造が簡単で安価に製造でき
る。また、計測器、仕切弁、試料を同一軸上に設定した
ためコンパクト化されたばかシでなく、試料移動積度が
高くなったのである。

更に、試料移動部としては把持機構を必要とせず、昇降
棒の上端に載せるだけで極めて簡単な構造となる。

第１図は不啼慄の一笑施例を示す概略縦ＩＨｊ面図、第
２図は要部拡大断面図である。

Ａ・・・試料、１・・・計、ｊｉｌｌ器室、１ａ・・ｌ
・（（絡１コ、２・・・計測器、３・・・仕切弁、４試
ｒ′＋室、４ａ・・・Ｃ＾１試料出入口、４１〕・・・
第２試料出入口、５・・・試料台、５１・・・回転テー
ビμ、５１ａ・・・孔、５２・・・テーブル支持１脚、
５３・・・情受部、５４・・・回転駆動部、６・・・試
料移動部、６１・・・昇降棒、６２・・・昇降駆動部、
６２ａ・・ねじ棒代理人　弁理士犬飼盾平

Claims

【特許請求の範囲】

（１）　内部に計測ｄｇが設置され、試料出入口と真空
排気口とを持つ計測器室と、該計測器室の下方に設けら
れて前記試料出入口に上下に連通ずる第１試料出入口、
外部に対する第２試料出入口および真空排気口とを持つ
試料室と、前記画室の試料出入口間に接続された仕切弁
と、試料室内に設置さ牡前記第２試料出入口　８より試
料を受取って第１試料出入口まで移送させた後に元の位
置まで戻すように水平面内運動自在とされ、かつ、試料
が載置される部分で前記第１試料出入口および第２試料
出入口に対向可能な位置に貫通孔を持つ試料台と、前記
試を１室内に設置されて前記試料台の貫通孔を貫通し、
前記試料を上端で受取多前記第１試料出入口を通って計
測器室まで上下する昇降棒を持つ試料移動部とを含む表
面分析装置。
（２）試料台は、第１試料出入口および／または第２試
料出入口に対向可能な位置にｎ１ｊ記外降棒の貫通孔が
設けられた回嘔テーブルと、該回転テーブルの軸部に設
けられたテーブル支持脚と、該テーブル支持脚を回転自
在に支承する支持筒および軸受からなる軸受部と、Ｈｒ
ｌ記回転テーブルを水平回転させるだめの回転駆動部と
を持つ特許請求の範囲第１項記戦の表面分析装置。