JPS62206756A

JPS62206756A - 真空装置

Info

Publication number: JPS62206756A
Application number: JP61049036A
Authority: JP
Inventors: Toshihiro Ishizuka; 俊弘石塚; Akio Ito; 昭夫伊藤; Yoshiaki Goto; 後藤　善朗; Kazuo Okubo; 大窪　和生; Kazuyuki Ozaki; 一幸尾崎
Original assignee: Fujitsu Ltd
Current assignee: Fujitsu Ltd
Priority date: 1986-03-06
Filing date: 1986-03-06
Publication date: 1987-09-11

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔概要〕試料の測定用真空室に隣接し試料交換用真空室を設けた
真空装置において、交換用真空室内で試料の高さを測定し、該測定情報に基
づき測定用真空室内で試料の上下方向の位置を設定する
ようにしたことにより、試料の測定作業を効率化および
、省力化したものである。

〔産業上の利用分野〕

本発明は、試料の測定用真空室に隣接し試料交換用真空
室を具えた真空装置の改良に関する。

試料（集積回路）の表面に電子ビームを照射し、該照射
面から出射する２次電子を検出することで、電子ビーム
照射面の電位を計測する電子ビームプロービング装置等
において、試料の測定用真空室（真空試料室）に隣接し
試料の交換用真空室（予備室）を具えた真空装置は、測
定作業の効率化。

排気時間の短縮を実現する。

開閉可能なシャッタで仕切られる、または固定の隔壁で
仕切られた真空試料室と予備室の間を往復動する試料台
は、高さの異なる各種測定試料の上面を電子ビームの焦
点位置に一致させるため、上下動するように構成されて
いる。

〔従来の技術と発明が解決しようとする問題点〕従来の
前記真空装置は、試料台に搭載した試料の高さ検出手段
を具えていない。

従って、試料の高さが異なるとき試料台の上昇量は、別
途に準備した測定装置を使用し、試料高さの測定結果に
よって設定する必要があり、試料の高さ毎に段取りを行
う煩わしさがあると共に、同一種の試料に高さのばらつ
きがあると、該ばらつきの補正は殆ど不可能であるとい
う問題点があった。

〔問題点を解決するための手段〕

第１図は電子ビームブロービング装置に本発明装置を適
用した基本図であり、図中において１は基台、２は真空
試料室、３は電子銃や電子レンズ等を収容した鏡筒、４
は予備室、５は基台１の下面に沿って左右方向へ移動可
能な摺動板、６は摺動板５と共に移動する試料台、７は
試料台６を上下動させる駆動部、８は予備室４に収容し
た試料高さ検出手段、９は検出手段８の検出情報に基づ
き駆動部７を制御する制御部、１０は試料台６の上面に
搭載した測定試料、１１は基台１と摺動板５の間隙を気
密にする０リングであり、試料１０は摺動板５および試
料台６の操作により、真空試料室２と予備室４の間を移
動す、る。

上記問題点は第１図のように、試料１０の測定用真空室
２に隣接する試料交換用真空室４に試料１０の高さ検出
手段８を設け、測定用真空室２と交換用真空室４との間を往復する試料
台６の上下動手段に、検出手段８に接続し試料台６の上
下動を制御する制御回路９を設けてなることを特徴とし
、さらに、検出手段８が試料１０の突き上げにより上下動
自在な検出板と、ホトカップラとを利用した光学的手段
であること、および、検出手段８が試料１０の突き上げにより上下動
自在な検出板を利用し、電気路の開閉を検出する電気的
手段であることを特徴とした真空装置により解決される
。

〔作用〕

上記手段によれば、測定試料の高さを自動測定し、その
測定結果により試料台の上下動を制御するため、試料高
さを別途に計測する、高さの異なる試料が別段取りにな
る、同一種試料の高さのばらつきを補正できない従来の
不都合が除去され、真空室内で行う測定等の作業が効率
化し省力化される。

〔実施例〕

以下に、図面を用いて本発明の詳細な説明する。

第２図は本発明の一実施例になる真空装置の要部を示す
側断面図、第３図は第２図に示す試料高さ検出手段の斜
視図、第４図は第２図に示す装置の試料高さ検出例を説
明するための図、第５図は第２図に示す試料台の上昇動
調整例を説明するだめの図、第６図は本発明の他の実施
例になる真空装置の要部を示す側断面図である。

第１図と共通部分に同一符号を使用した第２図において
、予備室４は基台１に設けた透孔の上面を蓋板１２で塞
いで構成し、試料高さ検出手段８は蓋板１２の下面に垂
設されている。なお、符号２７は基台１と蓋板１２との
間隙を気密にするＯリングである。

検出手段８は、上下動自在に支持した試料高さ検出板１
３と、検出板１３の落下を防ぐ支持具１４と、検出板１
３の上面に下端を固着した複数本の軸１５の上下動を案
内するガイド１６と、検出板１３に搭載した一対のホト
カップラ１７．１８と、蓋板１２に垂設した軸１９に設
けた一対のフィン２０．２１等にてなる。

試料台駆動部７にて上下動する駆動軸２２に装若し上下
動する試料台６は、０リング２３を介し摺動板５の透孔
に嵌合しており、上面に試料１０を搭載する印刷配線板
２４が固着されている。

ホトカップラ１８とフィン２１は、試料台６の上昇を機
械的に素子するためのりミントスイッチである。

第２図および第３図において、検出板１３に搭載したホ
トカップラ１７は、軸１９の下端近傍に設けたフィン２
０に対向し、台２５を介し検出板１３に搭載したホトカ
ップラ１８は、フィン２０より上方に設けられたフィン
２１に対向し、ホトカップラ１７．１８の出力端子（図
示せず）は制御回路９に接続されている。

このように構成された装置において、試料台６を上下動
させたとき、搭載試料１０の上面が当接した検出板１３
は試料１０の上下動と共に上下動する。

そして、検出Ｆｉ１３の端部が支持具１４の先端に支持
された静止状態で、フィン２０はホトカップラ１７の光
路を遮断し、フィン２１はホトカップラ１８の上方に位
置する。

そこで、試料台６を上昇させると試料１０が検出板１３
を押上げ、フィン２０がホトカップラ１７の光路を開放
するようになり、検出板１３の上昇量から試料１０の高
さを知ることが可能になる。

以下に第４図を用いて試料高さの実測例を詳細に説明す
る。

高さＸの判らない試料１０に先立って第４図（イ）に示
すように、高さＨが既知の高さゲージ（または試料）２
６を試料台６に搭載し、フィン２０がホトカップラ１７
の光路を開放するまで上昇させる。このときの試料台６
の上昇量を２０とする。

次いで、試料台６を前記原位置まで降下させ第４図（ロ
）に示すように、ゲージ２６と試料１０を置き換えたの
ら、フィン２０がホトカップラ１７の光路を開放するま
で試料台６を上昇させたとき、試料台６の上昇量がＺｌ
であるとすると、７、ｏ＋Ｈ＝Ｚ、＋Ｘであり、ｘ＝Ｚｏ　　Ｚ＋＋Ｈより、試料１０の高さＸを知ることができる。

次いで、鏡筒３の下面に対し試料１０の上面を所定間隔
ｄにするには、鏡筒３の下面と前記原位置にある試料台
６の試料搭載面との間隔をＺ、とすれば、Ｚ、＝Ｚ、−（ｃｉ＋ｘ）たけ、試料台６を上昇させればよいことになる。

なお、上記実施例の装置では、ホトカップラ１７゜１８
を検出板１３に搭載し、フィン２０．２１を蓋板１２（
予備室４）に装着しているが、ホトカップラ１７゜１８
とフィン２０．２１を入れ替えて装着、即ちホトカップ
ラ１７．１８を蓋板１２に装着しフィン２０．２１を検
出板１３に搭載してよいことは、実施例の説明から明瞭
である。

また、上記実施例の装置は、検出板１３を上昇させる動
作中に試料高さＸを検出しているが、検出板１３の降下
動作中に試料高さＸを検出、即ち検出板１３を上限まで
上昇させたのち降下させるとき試料高さＸを検出するよ
うにしてもよいことを付記する。

第２図と共通部分に同一符号を使用した第６図において
、検出手段８は検出板３１と支持具３５と電源３８等に
てなる。

試料１０の上面が当接し上下動する検出板３１は、ドー
ナツ状の金属円板（導電部材）３２の中心部に絶縁円板
（絶縁部材）３３を嵌着してなり、金属円板３２には複
数の軸１５の先端が対称位置に固着されている。

予備室４を構成する蓋板１２の下面には、金属にてなる
軸１５の上下動を案内する複数本の金属ガイド１６と、
絶縁部材３４を介して固着した支持具３５と、絶縁部材
３６を介して固着したリミッタ３７とが垂設され、一方
の支持具３５と蓋板１２とが電源３８に接続されている
。

従って、試料１０が検出板３１に接してないとき、金属
円板３２の縁は支持具３５の先端部に係止され、電源３
日の電路は蓋板１２．ガイド１６．軸１５．金属円＋Ｆ
ｊ、３２　、支持具３５を介し閉成されており、試料１
０が上昇し検出板３１を押上げると、金属円板３２と支
持具３５とが開離するため該電路は開離し、該電路の開
閉信号は制御回路９に入力するようになっている。

このように構成してなる装置は、第２図に示す実施例の
装置と全く同様に試料高さＸをしることができると共に
、測定用真空室２に移動させた試料台６の上昇量ＺＸを
設定することができる。

〔発明の効果〕

以上説明したように本発明によれば、真空予備室に試料
の高さ検出手段を具え、試料台が該手段の検出情報に基
づき位置決めされるため、操作および段取りが容易とな
り、高さの異なる試料の混在を可能にしたことにより、
電子ビームプロービング装置等の効率化、および省力化
を実現した効果が顕著である。

【図面の簡単な説明】

第１図は電子ビームプロービング装置に本発明装置を適
用した基本図、第２図は本発明の一実施例になる真空装置の要部を示す
側断面図、第３図は第２図に示す試料高さ検出手段の斜視図、第４図は第２図に示す装置の試料高さ検出例を説明する
ための図、第５図は第２図に示す試料台の上昇量設定例を説明する
ための図、第６図は本発明の他の実施例になる真空装置の要部を示
す側断面図、である。図中において、２は測定用真空室、４は試料交換用真空室、６は試料台、８は試料高さ検出手段、９は制御回路、　１０は試料、１３．３１は検出板、１４．３５は支持具、１７．１８
はホトカップラ、２０．２１　はフィン、３２は金属円
板（導電部材）、３３は絶縁円板（絶縁部材）、３４は絶縁部材、　３８は電源、を示す。オＪこ例の一実施停ｊの真空１屯買季昔β第３図　　　
　　　　　　８４図ｇ九帽会の１毎量設定ダリの疏明圓躬ｆ図

Claims

【特許請求の範囲】

（１）試料（１０）の測定用真空室（２）に隣接する試
料交換用真空室（４）に試料（１０）の高さ検出手段（
８）を設け、該測定用真空室（２）と該交換用真空室（４）との間を
往復する試料台（６）の上下動手段に、該検出手段（８
）に接続し該試料台（６）の上下動を制御する制御回路
（９）を設けてなることを特徴とする真空装置。
（２）前記検出手段（８）が、前記試料（１０）の突き
上げにより上下動自在な検出板と、該検出板に搭載した
ホトカップラと、前記交換用真空室内に固着したフィン
とを具え、該検出板の上下動により該フィンが該ホトカ
ップラの光路を開閉するように構成してなることを特徴
とした前記特許請求の範囲第１項記載の真空装置。
（３）前記検出手段（８）が、前記試料（１０）の突き
上げにより上下動自在な検出板と、該検出板に搭載した
フィンと、前記交換用真空室内に固着したホトカップラ
とを具え、該検出板の上下動により該フィンが該ホトカ
ップラの光路を開閉するように構成してなることを特徴
とした前記特許請求の範囲第１項記載の真空装置。
（４）前記検出手段（８）が、前記試料（１０）の突き
上げにより上下動自在な検出板と、該検出板の落下を制
止する支持具と、該検出板と該支持具との接触部に適宜
の電圧を印加する電源とを具え、該検出板が該試料（１
０）に対向する絶縁部材と該支持具に対向する導電部材
と、電源とを具え、該支持具が絶縁部材を介し前記交換
用真空室内に固着されており、該導電部材と該支持具と
が該電源に接続してなることを特徴とした前記特許請求
の範囲第１項記載の真空装置。