JPS6045914A - 薄膜磁気ヘツド - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 技術分野 本発明は薄膜磁気ヘッドに係り、さらに詳しくは磁気回
路の構造を改良した薄膜磁気ヘッドに関するものである
。

従来技術 薄膜磁気ヘッドは蒸着法あるいはスパッタリング法など
の薄膜堆積法により形成されるもので、従来のバルク型
の磁気ヘッドに比較して次のような多くの利点がある。

（１）全体寸法が小さいため、コイルのインダクタンス
を通常の磁気ヘッドと等しいとした場合、容量を小さく
できこのため共振点が高周波領域側へずれ、従来型の磁
気ヘッドに比較して高い周波数で駆動することができ、
信号の伝達速度を増大させることができる。

（２）磁気コアを薄膜で形成することにより、渦電流が
抑制され、高周波記録、再生時のコア損失が減少し、磁
気ヘッドの周波数特性が向」ニする。

（３）薄膜堆積手段により製造されるためマルチトラッ
ク化が容易である。

簿膜磁気ヘッドはこのような利点を生かし、コンピュー
タの磁気ディスク用の磁気ヘッドとして採用されている
。

第１図に従来の薄膜磁気ヘッドの一例を示す。

第１図において符号１で示すものは磁性基板で、この磁
性基板ｌ上には３グーンとして例示するコイル導体６が
渦巻状に形成されている。

このコイル容体６上をも含めて基板ｌ」―には電極７が
形成されている。

一方、符号４で示すものは上部磁性層で、その一端は渦
巻状のコイル導体の中心部であるコンタクトホール２側
に固定され、磁性基板１と磁気的に結合がとられている
。

」二部磁性層４の他端は磁気記録媒体摺動面９側に導か
れ幅の狭い磁極部８を介して磁性基板Ｉ上に固定される
。

磁極部８の先端部と磁性基板ｌの間が磁気ギャップ５と
なっている。

なお、上部磁性層４をコンタクトホール２側に接触させ
るためにこの部分には口部３が形成される。

上述した構造を持つ薄膜磁気ヘッドの各層は薄膜堆積法
とホトリソグラフィ技術によって形成される。

このような構造の薄膜磁気ヘッドを用いて記録を行なう
場合には導体６．７に記録電流を流すことにより磁気ギ
ャップ５※こ磁界を発生させ、ギャップ部５の近傍に位
置する図示していない磁気記録媒体を磁化して記録が行
なわれる。

一方、磁気信号の再生時には磁気ギヤツブ５の付近に位
置する磁気記録媒体の記録磁化部分から発生する磁束が
磁性基板Ｉと」二部磁性層４およびコンタクトホール２
を通って導体６．７と交差しこれが磁気記録媒体の移動
に従って変化することにより導体６，７に発生する誘起
電圧を検出して行なわれる。

一方、第２図に磁気回路の概略断面図を示す。

第２図においては第１図と同一部分または相当する部分
に同一符号が付しである。

また、磁束は点線で図示しである。

第２図からも明らかなように上部磁性層４の厚みが大き
い程磁束の通路は広くなり、磁気抵抗が小さくなり記録
および再生の効率が増大する。

しかし、薄膜堆積法により磁性膜を作成するとコンタク
トホール２の部分では四部３が形成されるため、この四
部の段差のある所では膜厚が小さくなる。

従って、この部分の磁気抵抗が大きくなり、磁気効率が
低下するという問題があった。

この磁気効率の低下は段差が大きく膜厚が薄い程大きく
なる。

従って導体を厚み方向に積層する構造では段差部【こお
ける磁気抵抗の増大が特に問題となる。

１］的 本発明は以上のような従来の欠点を除去するためになさ
れたもので、磁性ヨークを形成する上部磁性層のコンタ
クトホールとの接触部に生じる四部の存在により四部の
段差部の膜厚が小さくなっても磁気効率が低下すること
のないように構成した薄膜磁気ヘッドを提供することを
目的としている。

実施例 以下、図面に示す実施例に基づいて本発明の詳細な説明
する。

第３図は本発明の一実施例を説明するもので、図中第１
図と同一部分には同一符号を付しその説明は省略する。

本実施例にあってはコンタクトホール２の四部３の形状
を第３図に示すようにその周長が長くなるように凹部３
の両端から磁気ギャップ５側に向かって伸びる突出部３
ａを形成しである。

このような構造を採用すると第１図に示したような突出
部のない単なる四部に比較して四部の周長、従って段差
部の周長を長くすることができる。

ところで、薄膜磁気ヘッドの磁気抵抗は各部の磁気抵抗
の和となる。従って、段差部で膜厚が小さくなったため
に磁気抵抗が大きくなるとその磁気抵抗が全体の磁気抵
抗に対して直列に加わるため磁気抵抗が大きくなるわけ
である。ところで、各部の磁気抵抗は磁束が流れる方向
の磁性体の長さ１に比例し磁束の流れに垂直な断面積に
反比例する。

また断面積はその個所の膜厚ｔと幅Ｃとの積である。

従っである個所における磁気抵抗Ｒは磁性体の透磁率を
μとすると次式で表わされる。

四部３の段差部における磁気抵抗を考えると、（１）式
におけるｔは段差部の磁性体の厚み、１は段差部分の長
さであり、Ｃはコンタクトホールの周囲の長さに等しい
。

また、段差部分ではｔが小さいため（１）式により、磁
気抵抗が大きくなることが明らかである。

ところが、本実施例にあってはコンタクトホール２の四
部３には磁気ギャップ５側に向かう突出部３ａ　、３ａ
が形成されているため四部３の周囲の長さは従来例に比
較して大きくなっている。

すなわち（１）式においてＣが大きくなっていることに
なり、（１）式から明らかなように磁気抵抗Ｒが小さく
なり全体とじての磁気効率が向上する。

実際には磁性体の透磁率は非線形特性を有しているため
、コンタクトホールの周囲長さの増大発想−１−に磁気
抵抗の減少に大きな効果が生じる。

ところで、コンタクトホールの形成は上部磁性層４の下
層に存在する絶縁層の形状をコンタクトホールの形状に
合わせて変形するだけで容易に行なうことができる。

このようにして磁気効率が低下することのない薄膜磁気
ヘッドを得ることができる。

なお、コンタクトホール２は第３図に示すように示すよ
うに突出部３ａを３個設けたり、あるいは第４図（Ｂ）
に示すように前後に突出部３ａが形成されている不定形
状としても良い。

要するにコンタクトホールの周長が長くなるような周縁
部が入り組んだ形状にすれば段差部の周長が長くなり、
磁気抵抗を減少させ磁気効率を著しく向上させることが
できる。

なお、コイル導体の巻数や巻線方法およびトラック数が
異なる薄膜磁気ヘッドに対しても本発明構造が適用し得
ることはもちろんである。

効果 以上の説明から明らかなよう昏こ本発明によればコンタ
クトホールの周縁部を入り組んだ構造としているため、
コンタクトホールの段差部の周長を長くすることができ
磁気抵抗を減少させ磁気効率を向上させることができる
。

き磁性膜の剥離がなく歩留りが著しく向上する。

【図面の簡単な説明】

第１図および第２図は従来構造を説明するもので第１図
は斜視図、第２図は磁気回路の説明図、第３図は本発明
の一実施例を説明する斜視図、第４図（Ａ）、（Ｂ）は
コンタクトホールの他の構造例を示す説明図である。 １・・・磁性基板　２・・・コンタクトホール３・・・
四部　３ａ・・・突出部 ４・・・」二部磁性層 第１図 第２図 第３図 第４図 （Ａ）　（Ｂ） 手続補正書（自発） 昭和５８年１１月１１日 特許庁長官殿 ■、事件の表示 昭和　５８　年　特許願　第　１５３１７３　号２、発
明の名称 薄膜磁気ヘッド ３、補正をする者 事件との関係　特許出願人 名　称　（１００）　キャノン株式会社４、イｌ＾、　
１聯仁ｉ：ｇ　０３　（２６Ｂ）　２４８１　Ｃ代）図
面 ６、補正の内容 第３図、第４図（Ａ）及び第４図（Ｂ）を別紙の通り補
正する。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 基板−ににコイル導体および磁性ヨークを薄膜堆積法に
   よって形成した薄膜磁気ヘッドにおいて、磁性ヨークと
   基板との磁気的結合を行なう領域の周縁部を凹凸のある
   形状とし、前記磁気的結合領域の周長を長く形成したこ
   とを特徴とする薄膜磁気ヘッド。