JPS59104719A - 薄膜磁気ヘツド - Google Patents
薄膜磁気ヘツドInfo
- Publication number
- JPS59104719A JPS59104719A JP21492982A JP21492982A JPS59104719A JP S59104719 A JPS59104719 A JP S59104719A JP 21492982 A JP21492982 A JP 21492982A JP 21492982 A JP21492982 A JP 21492982A JP S59104719 A JPS59104719 A JP S59104719A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic
- thin film
- substrate
- winding hole
- magnetic head
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
Landscapes
- Magnetic Heads (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
この発明は磁気誘導形薄膜磁気ヘッドに関するものであ
る。
る。
従来例の構成とその問題点
磁気誘導型薄膜磁気ヘッドは、その構成要素である磁性
体層、導電体層、および絶縁体層を蒸着等の方法で支持
基板上に積層形成し、フォトエツチング技雨を用いて所
定の形状に加工することに性コアが薄膜で形成されるた
め、高周波での透磁率が高く、記録に寄与するヘッド磁
界が急峻で高分解能の記録が行なえるなどの特長がある
。しかし、このような利点のある磁気誘導型薄膜磁気ヘ
ッドも、一般に実施されているように、その巻線導体を
基板上に薄膜を形成し、それをフォトエツチングして形
成した構成ではその巻数に制約があり、磁気記録媒体と
の相対速度が遅い場合には十分な再生出力が得られず、
記録と再生とを兼用する磁気ヘッドとしては使用できな
いという難点がある。
体層、導電体層、および絶縁体層を蒸着等の方法で支持
基板上に積層形成し、フォトエツチング技雨を用いて所
定の形状に加工することに性コアが薄膜で形成されるた
め、高周波での透磁率が高く、記録に寄与するヘッド磁
界が急峻で高分解能の記録が行なえるなどの特長がある
。しかし、このような利点のある磁気誘導型薄膜磁気ヘ
ッドも、一般に実施されているように、その巻線導体を
基板上に薄膜を形成し、それをフォトエツチングして形
成した構成ではその巻数に制約があり、磁気記録媒体と
の相対速度が遅い場合には十分な再生出力が得られず、
記録と再生とを兼用する磁気ヘッドとしては使用できな
いという難点がある。
この点につき、さらに詳細に述べる。
従来の磁気誘導形薄膜磁気ヘッドは、次のようにして作
製される。第１図Ａの正面図および同図ＢのＡ−Ａ、、
’断面図に示すように、強磁性体基板１上にギャップＧ
を形成するために蒸着もしくはスパッタ等の方法を用い
て絶縁体層２を付着する。
製される。第１図Ａの正面図および同図ＢのＡ−Ａ、、
’断面図に示すように、強磁性体基板１上にギャップＧ
を形成するために蒸着もしくはスパッタ等の方法を用い
て絶縁体層２を付着する。
さらに、絶縁体層２上に導電性のよい金属薄膜を蒸着も
しくはスパッタ等の方法を用いて付着し、フォトエツチ
ング技術を用いて必要なコイル形状に工多チングして、
導電体層３をたとえばスパイラル状に作る。フォトレジ
スト層４により導電体層３を覆い、パーマロイもしくは
センダスト等を蒸着、スパッタ等の方法を用いて付着し
フォトエツチング技術を用いて必要な形状にエツチング
して、上部磁性体層５を形成する。上部磁性体層５の上
に保護膜６を蒸着、スパッタ等の方法で付着形成してか
ら、接着剤７で保護基板８を接着する。
しくはスパッタ等の方法を用いて付着し、フォトエツチ
ング技術を用いて必要なコイル形状に工多チングして、
導電体層３をたとえばスパイラル状に作る。フォトレジ
スト層４により導電体層３を覆い、パーマロイもしくは
センダスト等を蒸着、スパッタ等の方法を用いて付着し
フォトエツチング技術を用いて必要な形状にエツチング
して、上部磁性体層５を形成する。上部磁性体層５の上
に保護膜６を蒸着、スパッタ等の方法で付着形成してか
ら、接着剤７で保護基板８を接着する。
磁気記録媒体は８１図人に示す面すなわち同図Ｂの左端
に接触するので、基板１，８間の構成要素はこれら基板
１，８によって、摩耗から保護される。
に接触するので、基板１，８間の構成要素はこれら基板
１，８によって、摩耗から保護される。
しかし、この構造では、コイルとなる導電体層３を平面
上に形成するため、巻数に比例してコイル導電体層３に
必要な面積が広くなる。それに伴って磁気ヘッドとして
の磁路が長くなシ、ヘッド効率が低下することや、巻線
が細く、長くなり、抵抗が増えるので発熱するなどのこ
とがら、実用そのために、磁気記録媒体上に記録する起
磁力が小さくなることや、記録した磁界を検出する方法
がむずかしい。
上に形成するため、巻数に比例してコイル導電体層３に
必要な面積が広くなる。それに伴って磁気ヘッドとして
の磁路が長くなシ、ヘッド効率が低下することや、巻線
が細く、長くなり、抵抗が増えるので発熱するなどのこ
とがら、実用そのために、磁気記録媒体上に記録する起
磁力が小さくなることや、記録した磁界を検出する方法
がむずかしい。
発明の目的
この発明は、高周波でのコア損失が少なく、磁気記録媒
体への信号の記録と、それからの再生を容易に行なうこ
とのできる薄膜磁気ヘッドを提供することを目的とする
。
体への信号の記録と、それからの再生を容易に行なうこ
とのできる薄膜磁気ヘッドを提供することを目的とする
。
発明の構成
この発明にかかる薄膜磁気ヘッドは、基板に凹部を設け
て巻線穴を構成するとともに、絶縁被覆した細線状導電
体を使用することによって、磁気記録媒体への信号の記
録とそれからの再生を効率よく行なえるよう構成したも
のである。
て巻線穴を構成するとともに、絶縁被覆した細線状導電
体を使用することによって、磁気記録媒体への信号の記
録とそれからの再生を効率よく行なえるよう構成したも
のである。
実施例の説明
この発明をビデオヘッドに利用した場合の実施例のコア
について、第２図を用いて説明する。なお、同図人は正
面図、同図ＢはそのＢ−Ｂ’断面図である。
について、第２図を用いて説明する。なお、同図人は正
面図、同図ＢはそのＢ−Ｂ’断面図である。
フェライト等の非金属磁性材料からなる基板１１に、第
２図Ｂに示すように、磁気記録媒体の摺接面と平行に、
断面Ｖ字状の溝２１が研削盤等を用いて形成され、かつ
その薄膜を蒸着形成すべき面１２は研削盤、ラッピング
等の方法で鏡面状に仕上げられている。
２図Ｂに示すように、磁気記録媒体の摺接面と平行に、
断面Ｖ字状の溝２１が研削盤等を用いて形成され、かつ
その薄膜を蒸着形成すべき面１２は研削盤、ラッピング
等の方法で鏡面状に仕上げられている。
基板１１の材料として、高周波で透磁率の高い金属磁性
材料を用いると、後述の薄膜磁性体層１３を通るべき磁
束が基板１１に漏れて高周波でのコア損失が大きくカリ
、薄膜で磁性体層を構成する利点がなくなるだめ、基板
１１には薄膜磁性材料よυも低周波で透磁率が高く高周
波で透磁率の低いフェライト等の非金属磁性材料を用い
る。
材料を用いると、後述の薄膜磁性体層１３を通るべき磁
束が基板１１に漏れて高周波でのコア損失が大きくカリ
、薄膜で磁性体層を構成する利点がなくなるだめ、基板
１１には薄膜磁性材料よυも低周波で透磁率が高く高周
波で透磁率の低いフェライト等の非金属磁性材料を用い
る。
鏡面に仕上げられた基板１１の薄膜蒸着面１２に、パー
マロイ等をスパッタもしくは蒸着等の方法を用いて形成
し、フォトエツチング技術を用いて必要なパターンの金
属磁性薄膜１３を形成する。
マロイ等をスパッタもしくは蒸着等の方法を用いて形成
し、フォトエツチング技術を用いて必要なパターンの金
属磁性薄膜１３を形成する。
さらに、薄膜磁性体層１３上に磁気ギャップを構成する
ＳｉＯ２，Ａｌ２Ｏ３等の絶縁材料をスパッタもしくは
蒸着等の方法を用いて付着させて、絶縁体層１４ｉ形成
して、コア２０が構成される。基板１１の溝２１に対応
して、絶縁体層１４の表面に凹部が形成されている。
ＳｉＯ２，Ａｌ２Ｏ３等の絶縁材料をスパッタもしくは
蒸着等の方法を用いて付着させて、絶縁体層１４ｉ形成
して、コア２０が構成される。基板１１の溝２１に対応
して、絶縁体層１４の表面に凹部が形成されている。
第３図は第２図に示しだコアを用いて構成した実施例の
構造を示し、同図Ａは正面図、同図ＢはＣ−ａｔ断面図
である。
構造を示し、同図Ａは正面図、同図ＢはＣ−ａｔ断面図
である。
この実施例は、二つの磁気コア２ｏの凹部を対向させて
セットし、ボンディング用ガラス１５によシこれら磁気
コア２０を一体化して、薄膜磁気ヘッドとしての磁気回
路を形成したものである。
セットし、ボンディング用ガラス１５によシこれら磁気
コア２０を一体化して、薄膜磁気ヘッドとしての磁気回
路を形成したものである。
そして、二つの凹部２２が相対することによって形成さ
れた空間２３が巻線穴となり、ここに絶縁被覆を施した
細線状の導一体１６が必要ターン数となるよう配置され
ている。
れた空間２３が巻線穴となり、ここに絶縁被覆を施した
細線状の導一体１６が必要ターン数となるよう配置され
ている。
このような構造によれば、記録時、導電体１６に信号電
流を流すと、それによる磁束は一方の金属磁性薄膜１３
から、第３図Ｂの左端から外部へ出、そして他方の金属
磁性薄膜１３にその同図左端から流入するよう流れる。
流を流すと、それによる磁束は一方の金属磁性薄膜１３
から、第３図Ｂの左端から外部へ出、そして他方の金属
磁性薄膜１３にその同図左端から流入するよう流れる。
再生時は、上述と反対に動作し、て、信号の再生が行な
われる。
われる。
導電体１６は細線状をなし、かつ絶縁被覆が施されてお
シ、これらが巻線穴に収納されている形態となっている
ので、一つの平面状に薄膜で螺旋状にコイルを形成する
場合に比べて巻数を多く甘ることができる。
シ、これらが巻線穴に収納されている形態となっている
ので、一つの平面状に薄膜で螺旋状にコイルを形成する
場合に比べて巻数を多く甘ることができる。
発明の効果
この発明の薄膜磁気ヘッドは、金属磁性薄膜を有する基
板に巻線穴を形成し、巻線穴に巻線として絶縁被覆を有
する細線状の導電体を用いているので、任意の数だけコ
イルとしての巻数を増すことにより記録電流が少なくて
すみ、また抵抗も低いので、発熱が少なく、再生のとき
に十分な再生出力を得ることができる。まだこの磁気ヘ
ッドでは、低い周波数域では基板の方が金属磁性薄膜よ
シ透磁率が高く、高い周波数域では逆に金属磁性薄膜よ
シ基板の方が透磁率が低いので、フェライので、記録効
率がよい。そして、薄膜で磁性体を形成しているだめ、
高周波での起磁力、再生出力までもないことである。
板に巻線穴を形成し、巻線穴に巻線として絶縁被覆を有
する細線状の導電体を用いているので、任意の数だけコ
イルとしての巻数を増すことにより記録電流が少なくて
すみ、また抵抗も低いので、発熱が少なく、再生のとき
に十分な再生出力を得ることができる。まだこの磁気ヘ
ッドでは、低い周波数域では基板の方が金属磁性薄膜よ
シ透磁率が高く、高い周波数域では逆に金属磁性薄膜よ
シ基板の方が透磁率が低いので、フェライので、記録効
率がよい。そして、薄膜で磁性体を形成しているだめ、
高周波での起磁力、再生出力までもないことである。
第１図Ａは従来の薄膜磁気ヘッドを磁気記録媒体側から
見た正面図、同図ＢはそのＡ−Ａ’線断面図である。第
２図Ａは本発明の薄膜磁気ヘッドの一実施例に使用され
る磁気コアを磁気記録媒体側から見た正面図、同図Ｂは
そのＢ−Ｂ’線断面図、第３図Ａは上記実施例を磁気記
録媒体側から見た正面図、同図ＢはそのＣ−Ｃ／断面図
である。 １１・・・・・・フェライト、１３・川・・金属磁性薄
膜、１４・・・・・・絶縁体層、１５・・・・・・低融
点ガラス、１６・・・・・・導電体。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名第１
図 第２図
見た正面図、同図ＢはそのＡ−Ａ’線断面図である。第
２図Ａは本発明の薄膜磁気ヘッドの一実施例に使用され
る磁気コアを磁気記録媒体側から見た正面図、同図Ｂは
そのＢ−Ｂ’線断面図、第３図Ａは上記実施例を磁気記
録媒体側から見た正面図、同図ＢはそのＣ−Ｃ／断面図
である。 １１・・・・・・フェライト、１３・川・・金属磁性薄
膜、１４・・・・・・絶縁体層、１５・・・・・・低融
点ガラス、１６・・・・・・導電体。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名第１
図 第２図
Claims (1)
- 基板上に金属磁性薄膜を有する薄膜磁気ヘッドであって
、前記基板は低い同波数では前記金属磁性薄膜より高透
磁早であり、高い周波数では前記金属磁性簿膜より“低
透磁率である磁性材料からなり、かつ前記基板は巻線穴
を有しており、この巻線穴に絶縁被覆を施された細線状
の導電体を配置したことを特徴とする薄膜磁気ヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21492982A JPS59104719A (ja) | 1982-12-07 | 1982-12-07 | 薄膜磁気ヘツド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21492982A JPS59104719A (ja) | 1982-12-07 | 1982-12-07 | 薄膜磁気ヘツド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59104719A true JPS59104719A (ja) | 1984-06-16 |
Family
ID=16663908
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21492982A Pending JPS59104719A (ja) | 1982-12-07 | 1982-12-07 | 薄膜磁気ヘツド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59104719A (ja) |
-
1982
- 1982-12-07 JP JP21492982A patent/JPS59104719A/ja active Pending
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