JPH01224909A - 薄膜磁気ヘッド - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、めっき、蒸着、スパッタリング等の薄膜形成
手段とホトリソグラフィによる高精度パターン形成手段
とを用いて構成する磁気記憶装置用薄膜磁気ヘッドに係
り、特に、信号品質の優れた薄膜磁気ヘッドに関する。

〔従来の技術〕

薄膜技術を用いて磁気回路を構成した薄膜磁気ヘッドが
データの記録密度を向上させる上で利点があるとされ、
フェライト材に巻線を施した従来タイプの磁気ヘッドか
ら薄膜磁気ヘッドに移行しようとする動向にあり、その
代表的な構成については１例えば、特開昭筒５５−８４
０１９号にその記述がある。しかし、薄膜磁気ヘッドに
ついては、高密度記録に適した性能を有してはいるが、
ウィグルと呼ばれる薄膜ヘッド特有の現象があり、再生
時の信頼性を低下させるという欠点を有していることが
指摘されている（例えば、昭和５７年度電気通信学会総
合全国大会８１４−１ｏ）　、この現象は、同一記録条
件において、再生出力波形が記録ごとに変動し、再生出
力波形中に、第４図点線で示したような「こぶ」が発生
する現象である。

ウィグル現象発生の原因については未だ十分な解明はな
されていないが、例えば通常はウィグル現象を生じない
薄膜磁気ヘッドに外部から数Ｏｅの磁界を印加すること
によってこの現象を生ずることが知られている。また、
磁気ディスク装置においては、目的とする記録媒体トラ
ック上に磁気ヘッドをアクセスさせる手段として電流と
磁界との相互作用を駆動力に用いるボイスコイルモータ
が多く用いられているが、このボイスコイルモータは静
止時および動作時において磁気ヘッドの位題点もクロー
ズアップされてきている。

〔発明が解決しようとする課題〕

ウィグル現象の抑制については、これまでに。

例えばヘッドの形状、磁性体の磁気特性についての検討
、特に磁歪を調整することなどが試みられているが、十
分な解決策が得られておらず、解決を要する課題として
残されていた。

本発明の目的は、上記課題のウィグル現象の発生を抑制
し、さらに、隣接トラックからの磁束に起因する雑音を
抑制することのできる。信号品質の優れた薄膜磁気ヘッ
ドを提供することにある。

〔課題を解決するための手段〕

上記目的は、磁気回路を構成する第１および第２の磁性
層から２〜１０μｍｆｉ間した位置に、基板面に対して
ほぼ平行に、第３の磁性層を設けた構造の薄膜磁気ヘッ
ドとすることによって達成することができる。

〔作　　用〕

上記第３の磁性層は、第１および第２の磁性層に対して
磁気シールド層の働きをし、第１および第２の磁性層に
対する外部磁界の影響を少なくして、ウィグル現象の発
生を抑制する効果を示す。

また、上記第３の磁性層は、同時に、記録媒体隣接トラ
ックからの磁束に対してもシールドの働きをし、再生信
号の信号品質を高める効果もある。

〔実施例〕

以下、本発明の実施例について図によって説明する。

第１図は表面の平滑なアルミナ基板１上に厚さ１．６μ
ｍのパーマロイ膜をスパッタリングにより形成し、所定
形状にパターニングして、第１および第３の磁性層を形
成した状態を示す平面図である。

すなわち、ヘッド先端部での磁性膜４の幅を２０μｍと
し、その両端を３μｍの幅で磁性膜を除去してパターニ
ング溝５を作成した。また、ヘッド先端部以外のパター
ニング溝の幅は３〜６μｍとし、なめらかに変化するよ
うに形成した。これによって同一磁性膜が＠３〜６μｍ
のパターン溝５により第１の磁性層２と第３の磁性層３
とに分離された構成となる。次いで、磁気ギャップ長と
なるアルミナ膜をスパッタリングにより０．５μｍの厚
さで形成し、さらに、絶縁物（Ｐ　Ｉ　Ｑ）を数μｍ厚
さで塗布してパターニング溝５の凹凸を被覆した後、ス
パッタリングおよびパターニングにより厚さ２〜３μｍ
のコイル導体（Ｃｕ）を形成した。さらに、該コイル導
体の凹凸を被覆するように絶縁物（ＰＩＱ）を塗布（数
μｍ）　した後、パーマロイを２μｍの厚さでスパッタ
リングし、パターニングによって、先端部幅が１７μｍ
、第１の磁性層と合致する位置に第２の磁性層を作成し
た。なお、この際、第１の磁性層と第２の磁性層との磁
気的接続をはかるため、ヘッド先端から遠い位置で、ア
ルミナ膜および絶縁物膜を除去した部分を予め形成して
おいた。このあと、端子部、保護層を作成し、所定のギ
ャップ深さとなるように切断加工して磁気ヘッド素子を
得た。

以上のようにして得た磁気ヘッド素子の主要部断面構造
を第２図に、また、第２図矢印方向からみたヘッド先端
部の概略構成を第３図に示した。

ここで、６はアルミナ膜を、７は絶縁物（Ｐ　Ｉ　Ｑ）
層を、８はコイル導体を、９は第２の磁性層を示す。

なお、対象と°して、第５図に示したように、磁気回路
として必要な部分の磁性層（第１の磁性層２）のみを残
した。すなわち第３の磁性層のない、それ以外は本発明
と同様構成の磁気ヘッド素子を作成した。

上記した本発明構造の磁気ヘッド素子および従来構造の
磁気ヘッド素子各２０個について、再生中に５０８の磁
界を印加してウィグル現象発生の有無を調べたところ、
従来構造の素子では２０個中４個にウィグル現象がみら
れたが、本発明構造の素子においては２０個中１個にウ
ィグル現象がみられたのみであった。

また、記録媒体トラック上に周波数３ＭＨｚの信号を記
録し、２２μ、１れた］・ラックで再生した場合のスペ
クトラム成分を上記２種のヘッド素子を用いた場合に比
較したところ、本発明構造のヘッド素子を用いた場合の
方が平均１０ｄＢ低いという結果が得られた。

これらの結果は、本発明構成の第３の磁性層を設けたこ
とによって磁気シールド効果が得られ、薄膜磁気ヘッド
としての特性が著しく改善されていることを示すもので
ある。

なお、上記本発明の実施例においては、第３の磁性層の
形成を第１の磁性層のパターニングの際に行った例につ
いて説明したが、第３の磁性層の形成を第２の磁性層の
パターニング時に行っても、また、第１の磁性層のパタ
ーニング時、第２の磁性層のパターニング時ともに行っ
た場合でも、シールド効果については全く同様な結果が
得られる。

〔発明の効果〕

以上述べてきたように、薄膜磁気ヘッドにおいて、その
構造を本発明の構造とすることによって、すなわち、磁
気回路を構成する第１および第２の磁性層から２〜３μ
ＩＩ＋離間した位置に、基板に対してほぼ平行に、第３
の磁性層を設けた構造とすることによって、従来の薄膜
磁気ヘッドにみられたウィグル現象の発生が著しく低く
、かつ、隣接トラックからの磁界の影響の少ない、品質
のよい再生特性を示す薄膜磁気ヘッドを提供することが
できた。

なお１本発明構造の薄膜磁気ヘッドの作成に当っては、
従来構造の薄膜磁気ヘッド形成の工程を一部変更するこ
とで足り、この構造とすることによって製造コストが上
昇するなどの負の要素はない。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明構造の薄膜磁気ヘッドの第１および第３
の磁性層を示す平面図、第２図は本発明薄膜磁気ヘッド
の主要部断面構造を示す図、第３図は第２図矢印の方向
からみた薄膜磁気ヘッド先端部の概略構成を示す図、第
４図はウィグル現象を説明するための再生出力波形図、
第５図は従来構造の薄膜磁気ヘッドの第１の磁性層を示
す平面図である。 １・・・アルミナ基板　　　２・・・第１の磁性層３・
・・第３の磁性層 ４・・・ヘッド先端部での磁性層 ５・・・パターニング溝　　６・・・アルミナ膜７・・
・絶縁物層　　　　　８・・・コイル導体９・・・第２
の磁性層

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １、平滑な基板上に第１の磁性層を設け、該磁性層上に
   磁気ギャップを構成する非磁性層を設け、さらに、該非
   磁性層上にコイル導体を設けた後、該導体との絶縁をは
   かるための絶縁物層を介して第２の磁性層を設けて磁気
   回路とする薄膜磁気ヘッドにおいて、基板面に対してほ
   ぼ平行に、第１および第２の磁性層から、２〜１０μｍ
   離間した位置に、第３の磁性層を設けたことを特徴とす
   る薄膜磁気ヘッド。