JPS6042894A - 印刷配線板の製造方法 - Google Patents

印刷配線板の製造方法

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Publication number
JPS6042894A
JPS6042894A JP15078183A JP15078183A JPS6042894A JP S6042894 A JPS6042894 A JP S6042894A JP 15078183 A JP15078183 A JP 15078183A JP 15078183 A JP15078183 A JP 15078183A JP S6042894 A JPS6042894 A JP S6042894A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
dry film
circuit board
printed circuit
conductor layer
blackening
Prior art date
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Pending
Application number
JP15078183A
Other languages
English (en)
Inventor
岡田 圭祐
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NEC Corp
Original Assignee
Nippon Electric Co Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Nippon Electric Co Ltd filed Critical Nippon Electric Co Ltd
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Publication of JPS6042894A publication Critical patent/JPS6042894A/ja
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は印刷配線板の製造方法rc関し、とくにドライ
フィルムの微残漬を検出する工程を含む製造方法に関す
る。
一般にコンピューター尋の電子装置には、その部分の実
装と部品量同志の配線を同時に行なうことができる印刷
配線板(以下配線板とをrす)が使用されている。配線
板の製造方法は#!!縁板の六表向に銅層を有する銅張
槙鳩板を用いてその表級曲にフォトレジストとなるドラ
イフィルムをラミネートシ、その上に7′オドマスクt
vBS古せ、−元し、現像及び水洗したのち、エツチン
グして配線パターンを形成する。このような従来の製法
方法においてドライフィルムの現蝕後の水洗工程は未無
光部分のドライフィルムを完全に除去することを目的と
しているが、この水洗工程で完全に除去することができ
ず、銅frJ表面に微7JA清とし゛[flる場合があ
り、これがエツチング時に銅残りを生じさせ、パターン
間の知絽ヤパターン幅の太9の原因となり゛【いる。上
述の微残漬は目視観察、電子顕倣鋭嵌皺等の従来方法で
は検出することができす、また配線板の大“きさ、やパ
ターン形状により微残漬の残り具合が異なるため、多柚
多様な配線板を製造する場合に次のような問題点があっ
た。
(イ) ドレイフィルムの微残渣を検出する方法が従来
なかったため現像・水洗条件の設定はパターンの短絡や
パターン幅の太りの発生率で判断するしかなく、従って
信頼性が不充分であ・った。
(ロ)そのために多相多様なパターン毎に個別に量産試
験をする必要が生じ、その量産試験の工数および資材が
膨大なものとなっていた。
本発明の目的はかかる従来の問題点に対応し、簡単で確
実な配線板の製造方法を提供することにある。
本発明によれは、表面に導体層を有する絶縁基板の全面
にドライフィルムをラミネートする工程と、ドライフィ
ルムの所望部分を露光する工程と、ドライフィルムの未
露光部分を現像および水洗し°C除去する工程と、導体
層上のドライフィルムが除去された部分の導体層表面を
黒色化処理子る工程と、黒色化処理された導体層表面の
黒色化程度をチェックしてドライフィルムの微残渣を検
出する工程を含むことを特徴とする配線板の製造方法が
得られる。
以下、本発明を図面を用いて説明する。
第1図い)〜(ト)は本発明による配線板の製造方法、
す々わち配線板のドライフィルムの微残渣の検出工程の
一実施例を示す断面図である。先ず、第1図(A)に示
すように絶縁基板1の表面に銅箔などの銅層2を有する
餉張積層板3を用いて第1図(ロ)の如く銅層2の全面
r(ドライフィルム4をラミネートする。次に第1図0
0如く所望の配線パターンを有するフォトマスク5を密
着させて紫外光6を用い′CC先光た後、有機溶剤によ
る現像と、水洗工程を経て第1図(0に示す如く銅層2
上に露光さレタトライフィルム4aからなる配線パター
ンを形°成する。この工程段階ではドライフィルム4a
の近傍にドライフィルム4aの微残漬7が存在するが目
視吟の手段では観察はできない。
第1表 次に第1表に示す例の如き組成比および処理条件で第1
図0に示す状態の配線板を黒線板を黒色゛比処理すると
ドライフィルムの微残渣7°が存在しない個所は銅層が
黒色化され、存在する個所は銅層が黒色化されずに第1
図(ロ)に示す如く銅層が黒色化部8と未黒色化部9に
分けられ目視による識別が可能となる。従ってドライフ
ィルムの微残渣7の残り状態が検出できる。
以上、本発明によれば次のような効果がある。
(1) 従来、検出不可能であったドライフィルムの微
残漬が簡易に検出出来るようになり、現像・水洗工程の
条件を設定する信頼性が大幅に向上した。
(II) このため^密度配線板を含めた多種多様な配
線板の量産試験を行なうどとが不要となった。
(iil) 現像・水洗工程の現像液の劣化等の判別が
$1易にできるようになり配線板の歩留りが大幅に向上
した。
【図面の簡単な説明】
第1図(6)〜■は本発明の一実施例であるドライフィ
ルムの微残漬の検出方法の各工程を示す側断面図。 〔符号の説明〕 1・・・・・・絶縁基板、2・・・・・・銅層、3・・
・・・・銅張積層板、4・・・・・・ドライフィルム、
4a・・・・・・露光されたドライフィルム、5・・・
・・・フォトマスク、6・・・・・・紫外光、7・・・
・・・ドライフィルムの微残渣、8・・・・・・黒色化
部、9・・・・・・未黒色化部。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 表面に導体層を有する絶縁基板の全面にドライフィルム
    をうばネートする工程と前記ドライフィルfめ所望部分
    と露光する工程と、前記ドライフィルムの未露光部分を
    現像および水洗して除去する工程と、前記導体層上のド
    ライフィルムが除去された部分の導体層表面を黒色化処
    理する工程と、前記黒色化処理された導体層表面の黒色
    化程度をチェックしてドライフィルムの微浅漬を検出す
    る工程を含むことを特徴とする印刷配線板の製造方法0
JP15078183A 1983-08-18 1983-08-18 印刷配線板の製造方法 Pending JPS6042894A (ja)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62130156A (ja) * 1985-12-02 1987-06-12 Citizen Watch Co Ltd Nc旋盤の自動計測方法

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62130156A (ja) * 1985-12-02 1987-06-12 Citizen Watch Co Ltd Nc旋盤の自動計測方法

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