JPS6041970Y2 - 紫外線洗浄装置の開閉扉 - Google Patents
紫外線洗浄装置の開閉扉Info
- Publication number
- JPS6041970Y2 JPS6041970Y2 JP9209783U JP9209783U JPS6041970Y2 JP S6041970 Y2 JPS6041970 Y2 JP S6041970Y2 JP 9209783 U JP9209783 U JP 9209783U JP 9209783 U JP9209783 U JP 9209783U JP S6041970 Y2 JPS6041970 Y2 JP S6041970Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- opening
- closing door
- lamp
- ultraviolet
- ultraviolet cleaning
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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- Apparatus For Disinfection Or Sterilisation (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
本考案は紫外線洗浄装置の開閉扉に関するものである。
紫外線ランプより発生するオゾンを利用して汚染物を分
解洗浄することが従来より行なわれている。
解洗浄することが従来より行なわれている。
例えばシリコンウェハーに感光レジストを塗付する際の
前処理として、主洗浄後にシリコンウェハーに付着した
大気中の有機汚染物を塗布直前に追加洗浄することによ
り分解したり、電子ビームによるスパッタリング蒸着の
際に基体に付着した真空ポンプの油などによる有機汚染
物を同じく追加洗浄すると塗布膜あるいは蒸着膜の密着
性を著しく向上できることが明らかになっている。
前処理として、主洗浄後にシリコンウェハーに付着した
大気中の有機汚染物を塗布直前に追加洗浄することによ
り分解したり、電子ビームによるスパッタリング蒸着の
際に基体に付着した真空ポンプの油などによる有機汚染
物を同じく追加洗浄すると塗布膜あるいは蒸着膜の密着
性を著しく向上できることが明らかになっている。
ところで紫外線ランプ、例えば低圧水銀ランプを点灯す
ると、主として波長が２５４ｎｍの水銀共鳴線の紫外線
が外部に放出され、従として１８５ｎｍの紫外線が、更
には他の波長のものがわずかに放出される。
ると、主として波長が２５４ｎｍの水銀共鳴線の紫外線
が外部に放出され、従として１８５ｎｍの紫外線が、更
には他の波長のものがわずかに放出される。
そして、波長１８５ｎｍの紫外線によってオゾンが生威
し、次にこのオゾンが波長２５４１ｍの紫外線により分
解されて発生基の酸素が生威し、この発生基の酸素が有
機汚染物を分解してガス状態で飛散する。
し、次にこのオゾンが波長２５４１ｍの紫外線により分
解されて発生基の酸素が生威し、この発生基の酸素が有
機汚染物を分解してガス状態で飛散する。
この様に紫外線洗浄装置ではオゾンが発生するが、この
オゾンは人体に対して有害であるため、装置外に漏洩し
ないようにする必要がある。
オゾンは人体に対して有害であるため、装置外に漏洩し
ないようにする必要がある。
このため、装置自体は気密構造とされるが、被洗浄体出
し入れ口の開閉扉を簡単な構造で密閉状態に閉扉可能と
するのはなかなか困難であり、この部分からオゾンが漏
洩する可能性が残されていた。
し入れ口の開閉扉を簡単な構造で密閉状態に閉扉可能と
するのはなかなか困難であり、この部分からオゾンが漏
洩する可能性が残されていた。
そこで本考案は、構造が簡単で操作が容易であり、密閉
状態に閉扉可能な紫外線洗浄装置の開閉扉を提供するこ
とを目的し、その構成は、被洗浄体に対置され、オゾン
を発生させる紫外線ランプを内蔵した灯体と、この灯体
を覆う箱体との二重構造をなす紫外線洗浄装置の被洗浄
体出し入れ用開口の開閉扉であって、灯体開口用の蓋板
を開閉扉本体の内面に摺動可能に軸支するとともにバネ
により開閉扉本体から離反する方向に付勢し、開閉扉本
体を箱体開口に閉扉した際に前記蓋板がバネの付勢力に
より押圧されて灯体開口を気密に密閉することを特徴と
する。
状態に閉扉可能な紫外線洗浄装置の開閉扉を提供するこ
とを目的し、その構成は、被洗浄体に対置され、オゾン
を発生させる紫外線ランプを内蔵した灯体と、この灯体
を覆う箱体との二重構造をなす紫外線洗浄装置の被洗浄
体出し入れ用開口の開閉扉であって、灯体開口用の蓋板
を開閉扉本体の内面に摺動可能に軸支するとともにバネ
により開閉扉本体から離反する方向に付勢し、開閉扉本
体を箱体開口に閉扉した際に前記蓋板がバネの付勢力に
より押圧されて灯体開口を気密に密閉することを特徴と
する。
以下に図面に示す実施例に基いて本考案を具体的に説明
する。
する。
灯体１の内部上方には反射部材２を介して低圧水銀灯か
らなる紫外線ランプ３が配設され、被洗浄体が置れる下
方に向けて紫外線が照射される。
らなる紫外線ランプ３が配設され、被洗浄体が置れる下
方に向けて紫外線が照射される。
この灯体１全体が箱体４で覆われて二重構造をなしてい
るが、灯体１および箱体４の側方に被洗浄体出し入れ用
の開口１ａ、４ａが設けられている。
るが、灯体１および箱体４の側方に被洗浄体出し入れ用
の開口１ａ、４ａが設けられている。
この二つの開口１ａ、４ａは当然のことながら同心状に
配置され、灯体１の開口１ａより箱体４の開口４ａの方
が寸法が大きい。
配置され、灯体１の開口１ａより箱体４の開口４ａの方
が寸法が大きい。
次に、開閉扉本体５は箱体４の開口４ａ近傍に回転可能
に軸支され、閉扉したときにシール６を介して箱体４の
表面に密着する。
に軸支され、閉扉したときにシール６を介して箱体４の
表面に密着する。
そして、開閉扉本体５の内面には４本の軸７が植設され
、この軸７に開口ｌａ用の蓋板８が摺動可能に支持され
、軸７に巻回されたバネ９によって開閉扉本体５から離
反する方向に付勢されている。
、この軸７に開口ｌａ用の蓋板８が摺動可能に支持され
、軸７に巻回されたバネ９によって開閉扉本体５から離
反する方向に付勢されている。
なお、軸７の長さは灯体１と箱体４との間隔より長く、
従って開扉されているときは蓋板８と開閉扉本体５との
間隔は灯体１と箱体４との間隔よりも大きい。
従って開扉されているときは蓋板８と開閉扉本体５との
間隔は灯体１と箱体４との間隔よりも大きい。
而してこの開閉扉を閉扉すると、開閉扉本体５は前述の
通り箱体４の表面に密接して開口４ａを閉じるが、同時
に蓋板８がシール６を介して灯体１の表面に当接して開
口１ａを閉じる。
通り箱体４の表面に密接して開口４ａを閉じるが、同時
に蓋板８がシール６を介して灯体１の表面に当接して開
口１ａを閉じる。
そして、この時蓋板８はバネ９で付勢されているので、
その付勢力により灯体１表面に密着して気密状態となる
。
その付勢力により灯体１表面に密着して気密状態となる
。
この様に本考案は灯体と箱体の二重構造とし、２つの開
口を１回の閉扉操作で同時に密閉するので操作が容易で
あるとともに、バネの付勢力により蓋板が灯体の開口を
密閉するため気密性に優れ、紫外線洗浄装置を作動中に
オゾンが外部に漏洩することがない。
口を１回の閉扉操作で同時に密閉するので操作が容易で
あるとともに、バネの付勢力により蓋板が灯体の開口を
密閉するため気密性に優れ、紫外線洗浄装置を作動中に
オゾンが外部に漏洩することがない。
従って本考案により、構造が簡単で操作が容易であり、
密閉状態に閉扉可能な紫外線洗浄装置の開閉扉を提供す
ることができる。
密閉状態に閉扉可能な紫外線洗浄装置の開閉扉を提供す
ることができる。
第１図は本考案実施例の斜視図、第２図は同じく断面図
、第３図、第４図は要部の断面図をそれぞれ示す。 １・・・・・・灯体、２・・・・・・反射部材、３・・
・・・・紫外線ランプ、４・・・・・・箱体、５・・・
・・・開閉扉本体、６・・・・・・シール、７・・・・
・・軸、８・・・・・・蓋板、９・・・・・・バネ、１
ａｙ４ａ・・・・・・開口。
、第３図、第４図は要部の断面図をそれぞれ示す。 １・・・・・・灯体、２・・・・・・反射部材、３・・
・・・・紫外線ランプ、４・・・・・・箱体、５・・・
・・・開閉扉本体、６・・・・・・シール、７・・・・
・・軸、８・・・・・・蓋板、９・・・・・・バネ、１
ａｙ４ａ・・・・・・開口。
Claims (1)
- 被洗浄体に対置され、オゾンを発生させる紫外線ランプ
を内蔵した灯体と、この灯体を覆う箱体との二重構造を
なす紫外線洗浄装置の被洗浄体出し入れ用開口の開閉扉
であって、灯体開口用の蓋板を開閉扉本体の内面に摺動
可能に軸支するとともにバネにより開閉扉本体から離反
する方向に付勢し、開閉扉本体を箱体開口に閉扉した際
に前記蓋板がバネの付勢力により押圧されて灯体開口を
気密に密閉することを特徴とする紫外線洗浄装置の開閉
扉。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9209783U JPS6041970Y2 (ja) | 1983-06-17 | 1983-06-17 | 紫外線洗浄装置の開閉扉 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9209783U JPS6041970Y2 (ja) | 1983-06-17 | 1983-06-17 | 紫外線洗浄装置の開閉扉 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS602538U JPS602538U (ja) | 1985-01-10 |
| JPS6041970Y2 true JPS6041970Y2 (ja) | 1985-12-21 |
Family
ID=30222232
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9209783U Expired JPS6041970Y2 (ja) | 1983-06-17 | 1983-06-17 | 紫外線洗浄装置の開閉扉 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6041970Y2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008036232A (ja) * | 2006-08-08 | 2008-02-21 | Sharp Corp | 食器洗い機 |
| JP5007351B2 (ja) * | 2010-02-02 | 2012-08-22 | ヒルソン・デック株式会社 | 高圧蒸気滅菌器 |
| WO2016199733A1 (ja) * | 2015-06-08 | 2016-12-15 | 株式会社湯山製作所 | 滅菌装置及びその扉の開閉方法 |
-
1983
- 1983-06-17 JP JP9209783U patent/JPS6041970Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS602538U (ja) | 1985-01-10 |
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