JPS6041328B2 - 大口径比反射対物系 - Google Patents

大口径比反射対物系

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JPS6041328B2
JPS6041328B2 JP5012875A JP5012875A JPS6041328B2 JP S6041328 B2 JPS6041328 B2 JP S6041328B2 JP 5012875 A JP5012875 A JP 5012875A JP 5012875 A JP5012875 A JP 5012875A JP S6041328 B2 JPS6041328 B2 JP S6041328B2
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JP
Japan
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aberration
focal length
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mangin mirror
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和夫 藤林
邦雄 武士
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Canon Inc
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Description

【発明の詳細な説明】 本発明は物体に向けて凹反射面を配置する反射対物系に
関し、更には反射面がマンジン鏡の鏡面である様な反射
対物系であり、X線撮影装置の光学系として適したもの
である。
従釆の反射対物系は、反射鏡により発生する球面収差を
補正するために配置した補正レンズ系が負のパワーを有
しており、その結果補正レンズ系を出射した光東は発散
するので反射鏡の口径は大型化せざるを得ず、更にコマ
収差、像面わん曲、非点収差の補正に関して困難な点が
あった。
本出願人は先に、特顔昭49一22614号で、補正レ
ンズ群中の負レンズと反射鏡を一体化し、反射鏡の小型
化を計るとともに容易な収差補正を実現して、従前反射
対物系の欠点を除去したものであるが、本出願人も上述
の技術思想に基づくもので更に先願を改良して全長(物
体面から凹反射面までの間隔)を短縮するとともに結像
倍率を上げることを目的とするものである。本発明は物
体面、綾面そしてレンズ群の順に配置される撮影系の結
像レンズであり、像面に近接した位置から物体面とは逆
方向に向けて、順次像面平坦化しンズ群、補正レンズ群
そしてマンジン鏡を配置して構成される。
そして物体面を出射した光東は補正レンズ群を通過し、
マンジン鏡で屈折・反射・屈折を受け、再度補正レンズ
群を逆方向から通過して像面平担化しンズ群へ入射し、
像面に結像する。その際反射面が結像作用に寄与し、マ
ンジン鏡の屈折面、補正レンズ群および像面平坦化しン
ズ群の屈折面により収差補正を行なっている。この一実
施例を第1図に示す。図中で、1は補正レンズ群、山ま
マンジン鏡、mは像面平担化しンズ群である。マンジン
鏡山ま物体側に凹面を向けた屈折面R3(R5)とこの
凹面より曲率半径の大きな内面凹反射面R4を有してお
り、凹反射面で発生する収差のうちで球面収差および麹
上近傍のコマ収差は反射面より強い曲線を有する屈折面
R3(R5)により補正を行なっている。マンジン鏡に
より発生する髄上色収差および残存している球面収差と
鞠上近傍のコマ収差は物体側に第1面と最終面が凹面を
向けた補正レンズ群1の最低1枚のメニスカス正しンズ
により補正している。補正レンズ群1は収差補正を行な
うだけでなく、物体から発散して入射してくる光東を収
鉄してマンジン鏡をづ・型化する働きを合わせもってい
る。マンジン鏡0および補正レンズ群1で発生する鞠外
収差すなわちコマ収差あるいは、像面わん曲、非点収差
の補正は、少なくとも1枚の貸しンズを含む3枚以上の
レンズからなる像面平坦化しンズ群mで行なっている。
収差補正を好良ならしめるため像面平坦化しンズ群の屈
折面も、他の屈折面がそうである様に最終面を除いたす
べての面が物体面に凹を向けるのが良い。なお、0は物
体面、IPは像面、Aは絞りである。そして上記の収差
補正を容易に行ないうるためには、以下の条件を満足す
れば良く、全系の焦点距離をfとし、補正レンズ群1の
焦点距離をf,、マンジン鏡Dの焦点距離をも、像面平
担化しンズ群mの焦点距離をもとする。(1}2.4f
ミf,S3.5f ■0.8SらSI.5f f3}○‐45fミもミ○‐7f 条件{1雌、マンジン鏡0で発生する隣上色収差を補正
し、マンジン鏡0が補正しされない球面収差とコマ収差
を補正するための条件である。
上限を越えると軸上色収差の補正不足が生じ、下限を越
えると球面収差とコマ収差が大きく発生する。条件■は
、マンジン鏡0自体と補正レンズによる球面収差、コマ
収差、非点収差の発生を有効に抑制するためのもである
。上限を越えるとマンジン鏡から射出する光東が拡がる
ため補正レンズ群1による収差の発生量が大きくなり、
像面平坦化レンズによるコマ収差と非点収差の補正が困
難となる。また下限を越えるとマンジン鏡0‘こよる収
差発生量が大きくなり、補正レンズ群1及び像面平担化
しンズ群mによる補正が困難となる。条件{3}‘ま、
マンジン鏡Dと補正レンズ群1により生ずる嫁面湾曲や
コマ収差、非点収差を補正するための条件である。条件
の上限を越えると鰍面平坦化しンズの補正効果が不足し
、下限を越えるとコマ収差及び非点収差が大きく発生す
る。以下に実施例1〜Nを記載し、合わせて各例のザィ
デル収差係数を示す。また実施例1のレンズ形状を第1
図に示し、その収差曲線図を第2図および第3図に示す
。(但し嫁面はR:−259.74である。)実施例1 f:100 口径比1:0.52 結像倍率−0.3 RdNレ 1−237.657.731.62409362−98
.63256.473−65.246.731.518
2563.934−121.816.731.5182
563.935−65.2456.476−98.63
27.731.62409367−237.6510.
178−33.1717.071.5182563.9
39−49.6斑0.7210−33.1713.37
1.7044329.8911一22.1914.31
.5182563.9312のf,=264.52(補
正レンズの焦V点距離)ら=97.393(マンジン鏡
の焦点距離)ら=54.876(像面平坦化しンズの魚
v点距離)全長L=255結像倍率8=−0.3実施例
1のザィデル収差係数 LTI0mPV 10.000110.004580.00010.00
480.2035−0.16171,765020.0
0084−0.007540.0044−0.0395
0.35270.3896−6.62943−0.00
0770.00271−0.02770.0975−0
.3438−0.52323.05614000.00
85−0.09741.1226−1,o814一0.
47385−0.00031−0.002400.00
300.02340.1821−0.5232一2.6
5236−0.000230.00369−0.002
10.0335−0.54610.38962.553
9LT【‘1111PV70.00042一0.002
160.0112一0.05800.3021−0.1
617−0.730780.000030.00205
−0.00030.0170一1.04741.029
11.127790.00011一0.000970.
0056−0.05150.4768−0.68771
.952810一0.000210.00343−0.
00360.0583一0.95261.2460−4
.7967110.00007−0.002930.0
001−0.00640.2805一0.32421,
9211120.000020.000030.002
90.00350.004200.0051と0.00
0010.000500.0022一0.01480.
0346一0.4089−2.9012L鞄上色収差係
数T倍率色収差係数 1球面収差係数 ‐ロコマ収差係数 m非点収差係数 Pべッッバール係数 V歪曲収差係数 実施例0 f=100 口径比1:0.52 結像倍率−0.3 RdNレ 1−228.877.871.62409362−93
.35158.623−62.835.561.518
2563.934−115.7625.561.518
2563.935−62.8358.626−93.3
517.871.62409367−228.875.
638−31.0517.391.5182563.9
39−43.8110.0910一30.職23.総1
.7231129.2911−21.73812.85
1.5182563.93I2のf,=247.1 ら=92.217 ち=52‐224 全長L=240結像倍率8=−0.3 実施例Uのサィデル収差係数 LT1○18PV10.000110.004550.
00010.00520.2147−0.16791,
942920.00080−0.007570.004
3−0.04070.38310.4116−7.48
553一0.000720.002540.02560
.0897−0.3145−0.54333.0079
4000.0033−0.09721.1405一1,
1380−0.03055−0.00028−0.00
2450.00280.02400.2075−0.5
433−2.89906−0.000220.0033
70.00230.0355−0.55330.411
62.205470.00035−0.001810.
0096−0.04960.2552−0.1679−
0.44958−0.000030.002050.0
0020.0162−1.10721,09930.5
40890.00009−0.000970.0047
一0.04950.5194−0.77922.727
910−0.000200.003550.00320
.0570−1.01551.3545−6−0348
110.00008−0.002830.0002−0
.00790.2912−0.36022.53361
20.000020.000030.00280.00
450.00710.0.0112ZO.000000
.000470.0016一0.01270.0282
−0.4226一3.9295実施例mf=100 口径比1:0.59 結像倍率−0.23 RdNレ 1−350.539.481.62409362−13
3.768.253−79.7377.251.518
2563.934−144.227.251.5182
563.935−79.73768.256−133.
79.481.62409367−350.532.6
28−37.1569.091.5182563.93
9−55.910.0810−42.0324.181
.7231129.29☆11一32.19915.4
51.5182563.93I2のL=340.61 ら=111‐37 ら;63‐648 全長L=38〆結像倍率8=−0.23 実施例皿のザィデル収差係数 LTLO皿PV 10.000090.005040.00000.00
280.1554−0.10962.558020.0
0105一0.003630.0067一0.0232
0.08050.28741.27843−0.000
93一0.00081−0.0385−0.0335−
0.0291−0.42810.397240・00.
0155−0.06320.2584一0.91342
.67695−0.00026−0.003380.0
0260.03360.4374一0.42810.1
2046−0.000340.00165−0.005
90.0284−0.13680.28740.724
970.000440.000010.01490.0
0030−0.10960.00208一0.0000
40.00189一0.00040.0179−0.7
9690.91875.414690.00013−0
.000430.0084一0.02720.0885
−0.61051.696610−0.000310.
00201−0.00690.0445−0.2892
0.99844.607711o.00015−一0.
001720.0007一0.00840.0975−
0.24321.691412o.000030.00
0120.00420.01910.086800.3
948ZO.000000.000750.0013−
0.0089−0.0476−0.35063.286
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の一実施例に対応する光学系断面図、第
2図はその縦収差曲線(球面、懐面わん曲、非点収差、
歪曲収差)図で、第3図は横収差曲線図である。 図中で、1・・…・補正レンズ群、0・・・・・・マン
ジン鏡、m・・・・・・像面平担化しンズ群。 第1図 第2図 第3図

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 物体に凹反射面を向けた反射対物系に於いて、物体
    側から順に、少なくとも1枚の負レンズを含み3枚以上
    のレンズから成る像面平担化レンズ群III、第1面が物
    体側に凹面を向けている正屈折力の補正レンズ群Iそし
    てマンジン鏡IIの3群から構成されており、全系の焦点
    距離をfとし、補正レンズ群Iの焦点距離をf_1、マ
    ンジン鏡IIの焦点距離をf_2そして像面平担化レンズ
    群IIIの焦点距離をf_3とすると、2.4f≦f_1
    ≦3.5f 0.8f≦f_2≦1.2f 0.45f≦f_3≦0.7f を満すことを大口径比反射対物系。
JP5012875A 1975-04-24 1975-04-24 大口径比反射対物系 Expired JPS6041328B2 (ja)

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JPS51124923A JPS51124923A (en) 1976-10-30
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US4331390A (en) * 1979-10-09 1982-05-25 The Perkin-Elmer Corporation Monocentric optical systems
JPS61252519A (ja) * 1985-05-02 1986-11-10 Goto Kogaku Kenkyusho:Kk 抛物面鏡の補正レンズ

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