JPS6033530A - 露光装置 - Google Patents
露光装置Info
- Publication number
- JPS6033530A JPS6033530A JP58143217A JP14321783A JPS6033530A JP S6033530 A JPS6033530 A JP S6033530A JP 58143217 A JP58143217 A JP 58143217A JP 14321783 A JP14321783 A JP 14321783A JP S6033530 A JPS6033530 A JP S6033530A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mask
- liquid crystal
- exposure
- pattern
- light
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- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/1313—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells specially adapted for a particular application
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- Physics & Mathematics (AREA)
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- Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
- Electrochromic Elements, Electrophoresis, Or Variable Reflection Or Absorption Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、フォト工程用の露光装置に関するものである
。
。
従来例の構成とその問題点
第１図に丁字形のパターンをもつ露光用マスクを用いた
従来の露光装置を示す。図において１は光源、２は露光
用マスク、３はフォトレジスト。
従来の露光装置を示す。図において１は光源、２は露光
用マスク、３はフォトレジスト。
４は基板である。光源１より平行光線りを照射すること
により１丁字形のパターンを基板４上に露光することが
できる。しかしこの方法では同一の２、−、 マスクを用いて違うパターンを露光することはできず、
違うパターンを露光するためにはマスク２を作り直す必
要があった。
により１丁字形のパターンを基板４上に露光することが
できる。しかしこの方法では同一の２、−、 マスクを用いて違うパターンを露光することはできず、
違うパターンを露光するためにはマスク２を作り直す必
要があった。
発明の目的
本発明はこのような従来の欠点を除去するものであシ、
マスクを作り直すことなしに、パターンの書き換えを行
うことが可能な露光用マスクをもった露光装置を得るこ
とを目的としている。
マスクを作り直すことなしに、パターンの書き換えを行
うことが可能な露光用マスクをもった露光装置を得るこ
とを目的としている。
発明の構成
本発明の露光装置は、液晶またはＫ（ｉＤ （エレクト
ロクロミックディスプレイ）等の可逆的かつ選択的光透
過材料を用いた露光用マスクを使用し。
ロクロミックディスプレイ）等の可逆的かつ選択的光透
過材料を用いた露光用マスクを使用し。
同一のマスクにおいてパターンの変更を可能にしたもの
である。
である。
実施例の説明
以下本発明の詳細な説明する。第２図において、６は偏
光子、６は液晶セル、７は検光子である。液晶セル６は
、２枚の透明電極と、その間にはさまれた液晶から成り
立っている。電極間隔は２０μｍ、液晶は誘電的に負の
ネマティック液晶３ を用いる。電極面は垂直配向剤が加えられており。
光子、６は液晶セル、７は検光子である。液晶セル６は
、２枚の透明電極と、その間にはさまれた液晶から成り
立っている。電極間隔は２０μｍ、液晶は誘電的に負の
ネマティック液晶３ を用いる。電極面は垂直配向剤が加えられており。
電極面に対して分子軸が垂直になるようにしである。垂
直入射光に対しては光の進行方向と液晶の光軸が一致し
ており、液晶を通過した光の偏光面は変化しないので検
光子によって遮られて光は透過してこない。液晶セルを
詳しく示したのが第３図である。第３図において８は透
明ガラス支持板。
直入射光に対しては光の進行方向と液晶の光軸が一致し
ており、液晶を通過した光の偏光面は変化しないので検
光子によって遮られて光は透過してこない。液晶セルを
詳しく示したのが第３図である。第３図において８は透
明ガラス支持板。
９は透明電極−１０は液晶分子である。液晶分子は誘電
的に負の物質であり、電気双極子モーメントの方向が液
晶の分子軸の方向にほぼ垂直である。
的に負の物質であり、電気双極子モーメントの方向が液
晶の分子軸の方向にほぼ垂直である。
従ってこのセルに電圧を印加すると、第３図に示すよう
に分子□は回転して分子軸は電極面に対して傾いて垂直
でなくなる。そのために透過光は複屈折効果により楕円
偏光となり、一部は検光子を透過する。第６図に印加電
圧Ｖと透過度Ｔの関係を示す。印加電圧が約６ｖになる
と透過光量は急に増大してシャープな変化を示す。
に分子□は回転して分子軸は電極面に対して傾いて垂直
でなくなる。そのために透過光は複屈折効果により楕円
偏光となり、一部は検光子を透過する。第６図に印加電
圧Ｖと透過度Ｔの関係を示す。印加電圧が約６ｖになる
と透過光量は急に増大してシャープな変化を示す。
第６図にマ） ＩＪタックスィスプレイ用の電極構造を
示す。図において−１１は透明電極、１２は透明ガラス
の支持板である。この図に示すように特開昭Ｇｏ−３３
５３０（２） 平行帯状電極を直交させた電極構成をとれば、マトリッ
クスディスプレイが得られる。このようなマトリックス
ディスプレイ露光用マスクを用いた露光装置の例を第６
図に示す。図において１３は光源、１４は透明電極を含
む透明ガラスの支持板。
示す。図において−１１は透明電極、１２は透明ガラス
の支持板である。この図に示すように特開昭Ｇｏ−３３
５３０（２） 平行帯状電極を直交させた電極構成をとれば、マトリッ
クスディスプレイが得られる。このようなマトリックス
ディスプレイ露光用マスクを用いた露光装置の例を第６
図に示す。図において１３は光源、１４は透明電極を含
む透明ガラスの支持板。
１６は液晶、１６はフォトレジスト、１７は基板である
。このマスクパターンは第１図のパターンと同じである
が、第６図のパターンは書き換えが可能である。
。このマスクパターンは第１図のパターンと同じである
が、第６図のパターンは書き換えが可能である。
第７図には、液晶の代わりにＲＯＤ（エレクトロクロミ
ックディスプレイ）を用いた例を示す。
ックディスプレイ）を用いた例を示す。
図において−１８はＷＯ３，１９及び２０はガラス基板
、２１はネサガラス基板、２２はＩｒ（ＯＨ）ｎ−２３
はＨ−Ｌｉ−Ｎａ等を含んだ電解液、２４は封止樹脂で
ある。電界が加わるとＷＯ３は青色に。
、２１はネサガラス基板、２２はＩｒ（ＯＨ）ｎ−２３
はＨ−Ｌｉ−Ｎａ等を含んだ電解液、２４は封止樹脂で
ある。電界が加わるとＷＯ３は青色に。
Ｉｒ（ＯＨ）ｎ はダークブルーに変色する。反応式を
以下に示す。ＶはＨ等のイオンである。
以下に示す。ＶはＨ等のイオンである。
ＷＯ３＋ＸＭ ＋Ｘ８ ｄ ＭＸＷＯ３（無色） （青
色） ６ベミ゛ Ｉｒ（ＯＨ）ｎ −）−ｘＯＨ−Ｉ Ｉｒ（ＯＨ）ｎ−
ｘ−４−ｘａ −（無色） （ダーク・ブルー） 第８図にＥＣＤを用いたマトリックスディスプレイ用の
電極構造を示す０図において、２５は透明電極、２６は
ＷＯ１２７はＩｒ（ＯＨ）ｎ 、 ２８はガラス基板で
ある。上下の電極間の重なった部分に電界が加わるよう
に電圧をかけてやると１重なった部分だけが青色に変わ
る。液晶とちがって１１Ｄの場合は、一度変色すると逆
方向に電圧をかけない限り無色の状態にはもどらないと
いうメモリー効果がある。従って、液晶の場合のように
印加電圧をスキャンして−か所ずつ露光するといったよ
うなめんどうがなく、−か所ずつ変色させてパターンを
組み合わせていくことができるという利点がある。第８
図の構造では、コントラストを強く出すために両面にＥ
Ｃ物質を塗布しであるが１片面のみにＥＣ物質を用いて
、対面は透明電極にしても十分に目的は達成される。
色） ６ベミ゛ Ｉｒ（ＯＨ）ｎ −）−ｘＯＨ−Ｉ Ｉｒ（ＯＨ）ｎ−
ｘ−４−ｘａ −（無色） （ダーク・ブルー） 第８図にＥＣＤを用いたマトリックスディスプレイ用の
電極構造を示す０図において、２５は透明電極、２６は
ＷＯ１２７はＩｒ（ＯＨ）ｎ 、 ２８はガラス基板で
ある。上下の電極間の重なった部分に電界が加わるよう
に電圧をかけてやると１重なった部分だけが青色に変わ
る。液晶とちがって１１Ｄの場合は、一度変色すると逆
方向に電圧をかけない限り無色の状態にはもどらないと
いうメモリー効果がある。従って、液晶の場合のように
印加電圧をスキャンして−か所ずつ露光するといったよ
うなめんどうがなく、−か所ずつ変色させてパターンを
組み合わせていくことができるという利点がある。第８
図の構造では、コントラストを強く出すために両面にＥ
Ｃ物質を塗布しであるが１片面のみにＥＣ物質を用いて
、対面は透明電極にしても十分に目的は達成される。
発明の効果
以上のように本発明は、露光装置を構成する露６、、＝
Ｂ＋ 光用マスクとして液晶またはＥＣＤを用いたマトリック
スディスプレイ露光マスクを用いることにより、マスク
を取りかえることなしに、パターンの書き換えが行える
という効果があり、フｉ）工程において重要な役割を果
たすものである０
Ｂ＋ 光用マスクとして液晶またはＥＣＤを用いたマトリック
スディスプレイ露光マスクを用いることにより、マスク
を取りかえることなしに、パターンの書き換えが行える
という効果があり、フｉ）工程において重要な役割を果
たすものである０
第１図は従来の露光装置の要部概略図、第２図は液晶セ
ルと偏光板による遮光方法の説明図、第３図は液晶セル
の構造及び偏光の説明図、第４図は印加電圧に対する透
過度の関係を示す図、第６図はマトリックスディスプレ
イ用電極の構造図。 第６図はマトリックスディスプレイ露光マスクを用いた
露光装置の概略説明図、第７図はＥＣＤを用いた露光マ
スクの断面図、第８図はＥＣＤを用いたマ） ＩＪ ク
クスディスプレイ用電極の概略構造図である。 ６・・・・・・液晶セル、１１・・・・・・透明電極、
１２・・・・・・透明ガラス支持板、１３・・・・・・
光源、１４・・・・・・透明電極を含む透明ガラスの支
持板、１６・・・・・・液晶。 １Ｂ・・・・・・ＷＯ５−１９，２０，２８・・・・・
・ガラス基板。 第１図 第２図 ４３０ ｑ 第４図 第５図 第６図
ルと偏光板による遮光方法の説明図、第３図は液晶セル
の構造及び偏光の説明図、第４図は印加電圧に対する透
過度の関係を示す図、第６図はマトリックスディスプレ
イ用電極の構造図。 第６図はマトリックスディスプレイ露光マスクを用いた
露光装置の概略説明図、第７図はＥＣＤを用いた露光マ
スクの断面図、第８図はＥＣＤを用いたマ） ＩＪ ク
クスディスプレイ用電極の概略構造図である。 ６・・・・・・液晶セル、１１・・・・・・透明電極、
１２・・・・・・透明ガラス支持板、１３・・・・・・
光源、１４・・・・・・透明電極を含む透明ガラスの支
持板、１６・・・・・・液晶。 １Ｂ・・・・・・ＷＯ５−１９，２０，２８・・・・・
・ガラス基板。 第１図 第２図 ４３０ ｑ 第４図 第５図 第６図
Claims (1)
- 帯状透明電極を設けた２枚の透明基板を、電極が直交す
るようにある一定の間隔をおいて平行に配置し、前記基
板間に可逆的かつ選択的光透過材料をはさんで前記透明
電極に電界を加える露光用マスクを用いることを特徴と
する露光装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58143217A JPS6033530A (ja) | 1983-08-04 | 1983-08-04 | 露光装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58143217A JPS6033530A (ja) | 1983-08-04 | 1983-08-04 | 露光装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6033530A true JPS6033530A (ja) | 1985-02-20 |
Family
ID=15333609
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58143217A Pending JPS6033530A (ja) | 1983-08-04 | 1983-08-04 | 露光装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6033530A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61289351A (ja) * | 1985-06-17 | 1986-12-19 | Fujitsu Ltd | パタ−ン可変型ホトマスク |
-
1983
- 1983-08-04 JP JP58143217A patent/JPS6033530A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61289351A (ja) * | 1985-06-17 | 1986-12-19 | Fujitsu Ltd | パタ−ン可変型ホトマスク |
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