JPS6027941B2 - Ｘ線回折装置 - Google Patents
Ｘ線回折装置Info
- Publication number
- JPS6027941B2 JPS6027941B2 JP1503977A JP1503977A JPS6027941B2 JP S6027941 B2 JPS6027941 B2 JP S6027941B2 JP 1503977 A JP1503977 A JP 1503977A JP 1503977 A JP1503977 A JP 1503977A JP S6027941 B2 JPS6027941 B2 JP S6027941B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- rays
- ray
- filters
- core wires
- sample
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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- Electron Tubes For Measurement (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
- Measurement Of Radiation (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
細い平行Ｘ線で照射される試料に円環状のスリットを介
してＸ線の検出器を対設し、上記検出器を前記平行Ｘ線
の照射方向へ直線的に移動させて試料による回折Ｘ線を
検出するＸ線回折装置（袴公昭５０−３斑３４号）は微
小の試料あるいは試料の微小部分における物質の同定ま
たは定量分析等を迅速に行うことができる。
してＸ線の検出器を対設し、上記検出器を前記平行Ｘ線
の照射方向へ直線的に移動させて試料による回折Ｘ線を
検出するＸ線回折装置（袴公昭５０−３斑３４号）は微
小の試料あるいは試料の微小部分における物質の同定ま
たは定量分析等を迅速に行うことができる。
しかし検出器を試料に接近させて、回折角の大きいＸ線
を検出する状態では前記スリットをＸ線が斜めに通過す
るために該スリットの幅が実効的に小さくなり、また検
出器を試料から遠去けるとスリット幅の見込角が小さく
なる。このため適当な位置でスリットの実効幅が極大と
なって、観測される回折曲線のバックグラウンド強度が
山形に変化し、試料から発生する蛍光Ｘ線の強度が大き
い場合等は徴量成分の検出精度が低下する欠点があった
。またバランスドフイルタを用いてバックグラウンドを
除去することは知られているが、従来は２種のフィル夕
を用いて前後２回の観測を行わなければならなかった。
本発明は前述のような直線駆動のＸ線回折装置において
、このような難点がなく１回の観測で直ちに所期の回折
曲線を得ることができて、しかもバランスドフィルタに
より前述のような山形のバックグラウンドが現れること
を防止したものである。第１図は本発明実施例の縦断面
図で、基台１に図の左右方向の案内溝２を設けて摺動台
３を鉄合してある。
を検出する状態では前記スリットをＸ線が斜めに通過す
るために該スリットの幅が実効的に小さくなり、また検
出器を試料から遠去けるとスリット幅の見込角が小さく
なる。このため適当な位置でスリットの実効幅が極大と
なって、観測される回折曲線のバックグラウンド強度が
山形に変化し、試料から発生する蛍光Ｘ線の強度が大き
い場合等は徴量成分の検出精度が低下する欠点があった
。またバランスドフイルタを用いてバックグラウンドを
除去することは知られているが、従来は２種のフィル夕
を用いて前後２回の観測を行わなければならなかった。
本発明は前述のような直線駆動のＸ線回折装置において
、このような難点がなく１回の観測で直ちに所期の回折
曲線を得ることができて、しかもバランスドフィルタに
より前述のような山形のバックグラウンドが現れること
を防止したものである。第１図は本発明実施例の縦断面
図で、基台１に図の左右方向の案内溝２を設けて摺動台
３を鉄合してある。
この摺敷台３に円環状の比例計数管４とフィル夕５，６
および円環状のスリット７を有するＸ線遮蔽板８とを取
付けてある。第２図は第１図のＡ−Ａ失視図、第３図は
Ｂ−Ｂ断面図、第４図は第３図のＣ−Ｃ断面図で、比例
計数管４は円環状の気密容器内にほぼ半円形に張架され
た２つのの芯線９，１０を設けて、該容器の一方の側面
に上記芯線と対向するように円環状のＸ線入射窓１ １
を形成してある。なお芯線９，１０は絶縁体のプッシン
グ１２を貫通するりード線１３および石英の支社１４で
支持されている。このような比例計数管４の前面に芯線
９および１０とそれぞれ対向するように前記フィルタ５
および６を配置し、更にその前面にスリット７を配置し
て、円環状容器の藤線ａ、従って上記スリット７の軸線
が摺動台３の移動方向と一致するように計数管とフィル
夕および遮蔽板等を摺勘合３に取付けてある。また第１
図に示したように支柱１５に取付けた試料１６を上記軸
線ａの上に配置すると共に該軸線上にコリメータ１７を
設けることによりＸ線管１８の点焦点ｐから放出される
Ｘ線を上記コリメータ１７で細い平行Ｘ線にして、試料
１６を照射してある。かつ前記比例計数管４の２つのの
芯線９，１０から得られる出力を第５図のようにそれぞ
れスケーラまたはレートメータ１９，２０に加え、引算
器２１でそれらの出力の差を求めて記録器等に加える電
気回路を設けてある。なおＸ線管１８のターゲットが例
えば銅の場合はフィル夕５，６としてそれぞれ適当な厚
さのコバルトおよびニッケルを用い、また上記ターゲッ
トがコバルトまたはモリブテンの場合はフィル夕として
それぞれ鉄とマンガンまたはジルコニウムとイットリウ
ムを用いる。上述の装置において、試料１６にはコリメ
ータ１７を適った細い平行Ｘ線が入射し、この入射×線
が点線の矢印で示したように回折して、その回折Ｘ線は
試料１６におけるＸ線の入射点を頂点とし回折角Ｑの２
倍を頂角とする円錐面状に投射される。
および円環状のスリット７を有するＸ線遮蔽板８とを取
付けてある。第２図は第１図のＡ−Ａ失視図、第３図は
Ｂ−Ｂ断面図、第４図は第３図のＣ−Ｃ断面図で、比例
計数管４は円環状の気密容器内にほぼ半円形に張架され
た２つのの芯線９，１０を設けて、該容器の一方の側面
に上記芯線と対向するように円環状のＸ線入射窓１ １
を形成してある。なお芯線９，１０は絶縁体のプッシン
グ１２を貫通するりード線１３および石英の支社１４で
支持されている。このような比例計数管４の前面に芯線
９および１０とそれぞれ対向するように前記フィルタ５
および６を配置し、更にその前面にスリット７を配置し
て、円環状容器の藤線ａ、従って上記スリット７の軸線
が摺動台３の移動方向と一致するように計数管とフィル
夕および遮蔽板等を摺勘合３に取付けてある。また第１
図に示したように支柱１５に取付けた試料１６を上記軸
線ａの上に配置すると共に該軸線上にコリメータ１７を
設けることによりＸ線管１８の点焦点ｐから放出される
Ｘ線を上記コリメータ１７で細い平行Ｘ線にして、試料
１６を照射してある。かつ前記比例計数管４の２つのの
芯線９，１０から得られる出力を第５図のようにそれぞ
れスケーラまたはレートメータ１９，２０に加え、引算
器２１でそれらの出力の差を求めて記録器等に加える電
気回路を設けてある。なおＸ線管１８のターゲットが例
えば銅の場合はフィル夕５，６としてそれぞれ適当な厚
さのコバルトおよびニッケルを用い、また上記ターゲッ
トがコバルトまたはモリブテンの場合はフィル夕として
それぞれ鉄とマンガンまたはジルコニウムとイットリウ
ムを用いる。上述の装置において、試料１６にはコリメ
ータ１７を適った細い平行Ｘ線が入射し、この入射×線
が点線の矢印で示したように回折して、その回折Ｘ線は
試料１６におけるＸ線の入射点を頂点とし回折角Ｑの２
倍を頂角とする円錐面状に投射される。
従って摺動台３を案内溝２に沿って直線的に移動し、ス
リット７と試料１６との間の距離を変化することにより
、所望の回折角の全回折Ｘ線が円環状のスリット７を通
過しかつフィル夕５，６を介して比例計数管４に入射す
る。また試料１６にはＸ線管１８の対陰極金属の特性×
線が入射して、そのＸ線に回折を生ずるが、前述のよう
に銅、コバルト、モリブテンの特性Ｘ線に対してそれぞ
れコバルトとニッケル、鉄とマンガン、ジルコニウムと
ィットニウムがそれらの厚さをを適当に選定することに
よりバランスドフイルタを形成する。このようなバラン
スドフイルタは、そのＸ線吸収率Ｂと波長＾との間に第
６図に示したような関係がある。例えば曲線Ｎｉおよび
Ｃｏがそれぞれニッケルフィル夕およびコバルトフィル
夕の吸収率曲線で、これらは吸収端の波長＾，，＾２が
極めて接近し、銅の特性Ｘ線の波長入。がその中間にあ
ると共に波長が入，より小さい範囲および入２ より大
きい範囲ではほぼ等しい吸収率を有する。従ってＸ線管
１８の対陰極を銅で形成して、フィル夕５および６を上
記ニッケルおよびコバルトのバランスドフイルタとする
と、スリット７を通った回折Ｘ線のうちフィル夕５を介
して計数管４に入射するＸ線は曲線Ｎｉで示される吸収
を受け、フィル夕６を介して入射するＸ線は曲線Ｃ。で
示される吸収を受ける。かつフィル夕５，６には計数管
の芯線９，１０がそれぞれ対向しているから、フィル夕
５，６を通って計数管４に入射するＸ線は、それぞれ芯
線９および１０‘こよって検出される。これらの芯線か
ら得られる出力が、スケーラまたはレートメータ１９，
２０を介して引算器２１に加わり、それらの差が検出さ
れる。従って、試料１６から発生する蛍光Ｘ線その他の
不要Ｘ線のうち波長が入，より短かし、Ｘ線および＾２
より長いＸ線による出力は互に相殺されて、波長＾ｏの
錦の特性Ｘ線すなわち検出しようとする回折Ｘ線の出力
のみが引算器２１から送出されて記録器等に加わる。こ
のため検出しようとする回折Ｘ線の波長以外のＸ線によ
るバックグラウンドが極めて小さくなって、ＳＮ比の高
い高精度の観測を行い得ると共にバックグラウンドの山
形屈曲が除かれて、見易い回折曲線が得られる。第７図
は上述の比例計数管およびバランスドフィルタを用いる
ことなく、スリット７の背後に通常のＸ線検出器を配置
してその位置ｘと検出Ｘ線強度Ｐとの関係を実測したＸ
線回折曲線、第８図は前述のような本発明の装置によっ
て得られた回前曲線である。
リット７と試料１６との間の距離を変化することにより
、所望の回折角の全回折Ｘ線が円環状のスリット７を通
過しかつフィル夕５，６を介して比例計数管４に入射す
る。また試料１６にはＸ線管１８の対陰極金属の特性×
線が入射して、そのＸ線に回折を生ずるが、前述のよう
に銅、コバルト、モリブテンの特性Ｘ線に対してそれぞ
れコバルトとニッケル、鉄とマンガン、ジルコニウムと
ィットニウムがそれらの厚さをを適当に選定することに
よりバランスドフイルタを形成する。このようなバラン
スドフイルタは、そのＸ線吸収率Ｂと波長＾との間に第
６図に示したような関係がある。例えば曲線Ｎｉおよび
Ｃｏがそれぞれニッケルフィル夕およびコバルトフィル
夕の吸収率曲線で、これらは吸収端の波長＾，，＾２が
極めて接近し、銅の特性Ｘ線の波長入。がその中間にあ
ると共に波長が入，より小さい範囲および入２ より大
きい範囲ではほぼ等しい吸収率を有する。従ってＸ線管
１８の対陰極を銅で形成して、フィル夕５および６を上
記ニッケルおよびコバルトのバランスドフイルタとする
と、スリット７を通った回折Ｘ線のうちフィル夕５を介
して計数管４に入射するＸ線は曲線Ｎｉで示される吸収
を受け、フィル夕６を介して入射するＸ線は曲線Ｃ。で
示される吸収を受ける。かつフィル夕５，６には計数管
の芯線９，１０がそれぞれ対向しているから、フィル夕
５，６を通って計数管４に入射するＸ線は、それぞれ芯
線９および１０‘こよって検出される。これらの芯線か
ら得られる出力が、スケーラまたはレートメータ１９，
２０を介して引算器２１に加わり、それらの差が検出さ
れる。従って、試料１６から発生する蛍光Ｘ線その他の
不要Ｘ線のうち波長が入，より短かし、Ｘ線および＾２
より長いＸ線による出力は互に相殺されて、波長＾ｏの
錦の特性Ｘ線すなわち検出しようとする回折Ｘ線の出力
のみが引算器２１から送出されて記録器等に加わる。こ
のため検出しようとする回折Ｘ線の波長以外のＸ線によ
るバックグラウンドが極めて小さくなって、ＳＮ比の高
い高精度の観測を行い得ると共にバックグラウンドの山
形屈曲が除かれて、見易い回折曲線が得られる。第７図
は上述の比例計数管およびバランスドフィルタを用いる
ことなく、スリット７の背後に通常のＸ線検出器を配置
してその位置ｘと検出Ｘ線強度Ｐとの関係を実測したＸ
線回折曲線、第８図は前述のような本発明の装置によっ
て得られた回前曲線である。
このように本発明によりバックグラウンドが極めて小さ
く、かつ平旦になるから、見易すくまた高精度の観測を
行うことができる。しかも前後２回の観測並びに曲線の
修正作業等を必要としないから、観測能率も向上する。
またＸ線の検出器は１つの塗体中に２つの芯線を設けて
あるから、ガス圧の相違等によって感度に差を生ずるお
それがなく、こねためにも精度が向上する。
く、かつ平旦になるから、見易すくまた高精度の観測を
行うことができる。しかも前後２回の観測並びに曲線の
修正作業等を必要としないから、観測能率も向上する。
またＸ線の検出器は１つの塗体中に２つの芯線を設けて
あるから、ガス圧の相違等によって感度に差を生ずるお
それがなく、こねためにも精度が向上する。
第１図は本発明実施例の縦断面図、第２図は第１図のＡ
−Ａ矢視図、第３図は第１図のＢ−Ｂ断面図、第４図は
第３図のＣ−Ｃ断面図、第５図は本発明の装置の電気回
路の構成を示した図、第６図は本発明の装置に用いられ
るバランスドフィルタの作用を説明するための線図、第
７図は従来の装置によって観測されたＸ線回折曲線、第
８図は本発明の装置で観測したＸ線回折曲線の一例であ
る。 なお図において、１は基台、２は案内溝、３は摺動台、
４は比例計数管、５，６はフィル夕、７はスリット、８
は遮蔽板、９，１０は芯線、１１はＸ線窓、１２はブツ
シング、１３はリード線、１４は石英支柱、１５は支柱
、１６は試料、１７はコリメータ、１８はＸ線管、１９
，２０はスケーラまたはレートメータ、２１は引算器で
ある。才／１２ 冴２′ａ 〆９篇 ゲ父烏 夕ゞ亀 〆〆軌 〆ヶ亀 ゲイ鶴
−Ａ矢視図、第３図は第１図のＢ−Ｂ断面図、第４図は
第３図のＣ−Ｃ断面図、第５図は本発明の装置の電気回
路の構成を示した図、第６図は本発明の装置に用いられ
るバランスドフィルタの作用を説明するための線図、第
７図は従来の装置によって観測されたＸ線回折曲線、第
８図は本発明の装置で観測したＸ線回折曲線の一例であ
る。 なお図において、１は基台、２は案内溝、３は摺動台、
４は比例計数管、５，６はフィル夕、７はスリット、８
は遮蔽板、９，１０は芯線、１１はＸ線窓、１２はブツ
シング、１３はリード線、１４は石英支柱、１５は支柱
、１６は試料、１７はコリメータ、１８はＸ線管、１９
，２０はスケーラまたはレートメータ、２１は引算器で
ある。才／１２ 冴２′ａ 〆９篇 ゲ父烏 夕ゞ亀 〆〆軌 〆ヶ亀 ゲイ鶴
Claims (1)
- １ 円環状の気密容器内にほぼ半円形の２つの芯線を設
けて上記容器の一方の面に円環状のＸ線入射窓を形成し
た比例計数管の前面にＸ線の吸収率がほぼ等しくかつそ
の吸収端の波長が僅かに相違する２つのフイルタの各々
を前記２つの芯線の各々とそれぞれ対向するように配設
し、上記比例計数管および２つのフイルタを一体として
円環状気密容器の軸線方向へ移動し得るように保持して
、前記２つのフイルタにおける吸収端の中間の波長を有
し、前記軸線に沿つて投射される細い平行Ｘ線を照射す
ることによりその回折Ｘ線を前記比例計数管で検出され
る試料を該軸線上に配置すると共に上記比例計数管にお
ける２つの芯線から得られた出力の差を求める回路を設
けたことを特徴とするＸ線回折装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1503977A JPS6027941B2 (ja) | 1977-02-16 | 1977-02-16 | Ｘ線回折装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1503977A JPS6027941B2 (ja) | 1977-02-16 | 1977-02-16 | Ｘ線回折装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS53100883A JPS53100883A (en) | 1978-09-02 |
| JPS6027941B2 true JPS6027941B2 (ja) | 1985-07-02 |
Family
ID=11877689
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1503977A Expired JPS6027941B2 (ja) | 1977-02-16 | 1977-02-16 | Ｘ線回折装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6027941B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6284459U (ja) * | 1985-11-19 | 1987-05-29 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60220049A (ja) * | 1984-04-14 | 1985-11-02 | 横河メディカルシステム株式会社 | 計算機トモグラフイ装置 |
-
1977
- 1977-02-16 JP JP1503977A patent/JPS6027941B2/ja not_active Expired
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6284459U (ja) * | 1985-11-19 | 1987-05-29 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS53100883A (en) | 1978-09-02 |
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