JPS63106547A - 多重エネルギ−ｘ線計測装置 - Google Patents
多重エネルギ−ｘ線計測装置Info
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- JPS63106547A JPS63106547A JP61251639A JP25163986A JPS63106547A JP S63106547 A JPS63106547 A JP S63106547A JP 61251639 A JP61251639 A JP 61251639A JP 25163986 A JP25163986 A JP 25163986A JP S63106547 A JPS63106547 A JP S63106547A
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- Pending
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Landscapes
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
- Apparatus For Radiation Diagnosis (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、Ｘ線による非破壊計測をするＸ線計測装置に
係り、特に単色Ｘ線透過像計測に好適なＸ線分光を有す
る多重エネルギーｘ１！計測装置に関する。
係り、特に単色Ｘ線透過像計測に好適なＸ線分光を有す
る多重エネルギーｘ１！計測装置に関する。
従来、単色Ｘ線による透過像針８１ＩＩ法については。
ニュークリア インスツルメンツ アンド メソツズ
２２２ （１９８４年）第３１９頁から３２３頁（Ｎｕ
ｃｌ、 Ｔｎｓｔｒ、 ａｎｄ Ｍａｔｈ ２
２ ２ （１９８４） ｐ ｐ；３０８〜３
１８）において論じられているように白色ｘｇ源からの
Ｘ線を結晶分光器で単色化し、この単色ＸＭによる透過
像を測定するようになっていた。
２２２ （１９８４年）第３１９頁から３２３頁（Ｎｕ
ｃｌ、 Ｔｎｓｔｒ、 ａｎｄ Ｍａｔｈ ２
２ ２ （１９８４） ｐ ｐ；３０８〜３
１８）において論じられているように白色ｘｇ源からの
Ｘ線を結晶分光器で単色化し、この単色ＸＭによる透過
像を測定するようになっていた。
上記従来技術は、被検査体に照射するＸ線線を単色とし
ているため、異なるエネルギーのＸ線透過像を計測する
ためには分光器を走査する必要がある。したがって相異
なるエネルギーのＸ線による画像間のサブトラクション
を行なう場合に、同時測定が不可能なため、動きのある
被検査体の計測が困難であるという問題があった。
ているため、異なるエネルギーのＸ線透過像を計測する
ためには分光器を走査する必要がある。したがって相異
なるエネルギーのＸ線による画像間のサブトラクション
を行なう場合に、同時測定が不可能なため、動きのある
被検査体の計測が困難であるという問題があった。
本発明の目的は、相異なる二種類以上の任意のエネルギ
ーの単色Ｘ線透過像を同時に測定出来るようにして、上
記問題点を解消することにある。
ーの単色Ｘ線透過像を同時に測定出来るようにして、上
記問題点を解消することにある。
上記目的は、被検査体に連続ｘ、ｍを照射し、透過した
Ｘａをエネルギー分散型の分光器で測定することによっ
て達成される。しかしながらＸ線に対しては＝Ｊ視光に
対するプリズ１２のような分散型の分光素子は存在しな
い、Ｘ線の分光法としては、結晶によるブラッグ反射（
あるいはラウェ反射）を利用する分光法が一般的である
が、この分光法では結晶にある入射角で入射する連続Ｘ
線に対して、回折条件をみたす唯一の波長のＸ線が反射
されることになる。
Ｘａをエネルギー分散型の分光器で測定することによっ
て達成される。しかしながらＸ線に対しては＝Ｊ視光に
対するプリズ１２のような分散型の分光素子は存在しな
い、Ｘ線の分光法としては、結晶によるブラッグ反射（
あるいはラウェ反射）を利用する分光法が一般的である
が、この分光法では結晶にある入射角で入射する連続Ｘ
線に対して、回折条件をみたす唯一の波長のＸ線が反射
されることになる。
本発明においては、このブラッグ反射（あるいはラウェ
反射）による分光素子を被検査体を透過したＸ線の光軸
−１−に−個以４二配置し、かつ、これらの分光器ｆで
の入射角度を独立可変とすることで任意のＸ線エネルギ
ーを選択可能とし、さらに。
反射）による分光素子を被検査体を透過したＸ線の光軸
−１−に−個以４二配置し、かつ、これらの分光器ｆで
の入射角度を独立可変とすることで任意のＸ線エネルギ
ーを選択可能とし、さらに。
その各分光素子において所定のエネルギーのＸ線は十分
に強く反射され、他のエネルギーのＸ線は十分に透過す
るような厚さの分光素子を用いることによって上記目的
を達成する。
に強く反射され、他のエネルギーのＸ線は十分に透過す
るような厚さの分光素子を用いることによって上記目的
を達成する。
本発明において、被検査体を透過したＸ線は第一の分光
素子において入射角θｌに対応してλ１＝ ２ ｄ ｓ
ｉｎθｚ（ｄは結晶格子面間隔）の波長のＸ線のみが反
射された検出器に到達する。被検査体に入射するＸ線が
平行であれば９反射Ｘ線の空間分布は被検査体に波長λ
ｌのｍ色Ｘ線が入射した場合の透過ｘａ像と同一になる
。このとき第一の分光素子が十分に薄いものであれば、
波長がλ１と異なる成分は第一の分光素子の後方に透過
する。
素子において入射角θｌに対応してλ１＝ ２ ｄ ｓ
ｉｎθｚ（ｄは結晶格子面間隔）の波長のＸ線のみが反
射された検出器に到達する。被検査体に入射するＸ線が
平行であれば９反射Ｘ線の空間分布は被検査体に波長λ
ｌのｍ色Ｘ線が入射した場合の透過ｘａ像と同一になる
。このとき第一の分光素子が十分に薄いものであれば、
波長がλ１と異なる成分は第一の分光素子の後方に透過
する。
ここでこの透過Ｘ線の光路上に第二の分光素子を入射角
Ｏ２となるように設置すると、λ２＝２ ｄ ｑｉｎθ
２なる波長のｘａのみが第二分光素子で反射される。こ
の場合も反射Ｘ線の空間分布は被検査体に波長λ２の単
色Ｘ線が入射した場合の透過Ｘ線像と同一である。した
がって２個の分光素子を異なる入射角に設置すれば、任
意の２種類のエネルギーの単色ｘｌａによる透過像を同
時に計測出来る。さらに、上述のａ論から明らかなよう
に必要な個数の分光素子を用いることにより、任意の２
種以上の異なるエネルギーの単色ｘａ像の同時計測が可
能である。
Ｏ２となるように設置すると、λ２＝２ ｄ ｑｉｎθ
２なる波長のｘａのみが第二分光素子で反射される。こ
の場合も反射Ｘ線の空間分布は被検査体に波長λ２の単
色Ｘ線が入射した場合の透過Ｘ線像と同一である。した
がって２個の分光素子を異なる入射角に設置すれば、任
意の２種類のエネルギーの単色ｘｌａによる透過像を同
時に計測出来る。さらに、上述のａ論から明らかなよう
に必要な個数の分光素子を用いることにより、任意の２
種以上の異なるエネルギーの単色ｘａ像の同時計測が可
能である。
以下、本発明の一実施例を第１図により説明する。ｘｍ
源１より発生したＸ線を被検査体２に入射させる。被検
査体２を透過したＸ線はまず第一の分光器３により波長
λ１の成分のみが選択反射され、二次元Ｘ線検出器４に
より計測される。第一の分光器Ｓ３を透過したＸ線は第
二の分光器５に入射し、ここで波長λ２の成分のみが反
射され二次元Ｘ線検出器６により計測される。
源１より発生したＸ線を被検査体２に入射させる。被検
査体２を透過したＸ線はまず第一の分光器３により波長
λ１の成分のみが選択反射され、二次元Ｘ線検出器４に
より計測される。第一の分光器Ｓ３を透過したＸ線は第
二の分光器５に入射し、ここで波長λ２の成分のみが反
射され二次元Ｘ線検出器６により計測される。
本実施例では、Ｘ！１ｌＪＸ１に連続Ｘ線源を用い、分
光結晶としてシリコン単結晶を用い、反射面を（４００
）面にした。λｚ＝ｏ、：３８ 人、λ２＝０．３７
人に設定し、第一の分光器において第二分光器での選
択波長（λ＝０．３８ 人）のＸ線が十分に透過する
ように厚さ０．５＋ｍ＋ の板状のシリコン単結晶を用
いた。ここでλ１．λ２はヨウ素のに吸収端の前後のエ
ネルギーである。したがって検出器４の画像と検出器６
の画像の差分を取ることにより、被検査体中のＨつ索の
分布像を得ることが出来た。
光結晶としてシリコン単結晶を用い、反射面を（４００
）面にした。λｚ＝ｏ、：３８ 人、λ２＝０．３７
人に設定し、第一の分光器において第二分光器での選
択波長（λ＝０．３８ 人）のＸ線が十分に透過する
ように厚さ０．５＋ｍ＋ の板状のシリコン単結晶を用
いた。ここでλ１．λ２はヨウ素のに吸収端の前後のエ
ネルギーである。したがって検出器４の画像と検出器６
の画像の差分を取ることにより、被検査体中のＨつ索の
分布像を得ることが出来た。
本実施例においてＸｉ源１は測定に要するエネルギー領
域のＸ線のみを発生するＸ線源におきがえてもよく、ま
た連続Ｘ線源に必要なエネルギー領域のＸ線のみを出力
するモノクロメータを組み合わせても良い、また連続Ｘ
線源に使用しない低エネルギーあるいは高エネルギーの
成分を低減させるフィルタを組み合わせても良い。これ
らの場合は被検査体に不要な波長のＸ線が入射しないの
で、被検査体の被爆量を低減出来ると同時に散乱Ｘ線に
起因するノイズを低減出来るという効果がある。
域のＸ線のみを発生するＸ線源におきがえてもよく、ま
た連続Ｘ線源に必要なエネルギー領域のＸ線のみを出力
するモノクロメータを組み合わせても良い、また連続Ｘ
線源に使用しない低エネルギーあるいは高エネルギーの
成分を低減させるフィルタを組み合わせても良い。これ
らの場合は被検査体に不要な波長のＸ線が入射しないの
で、被検査体の被爆量を低減出来ると同時に散乱Ｘ線に
起因するノイズを低減出来るという効果がある。
本発明の第二の実施例では、Ｘ線源１として銅陽極から
電子線ＷＲ撃によって発生するＸ線を用いた。第一の分
光器３をＣｕ −Ｋα線（］。５４ 人）第二の分光器
５をＣｕ −Ｋβ線（１，３９人）の波長に設定した。
電子線ＷＲ撃によって発生するＸ線を用いた。第一の分
光器３をＣｕ −Ｋα線（］。５４ 人）第二の分光器
５をＣｕ −Ｋβ線（１，３９人）の波長に設定した。
この二つの波長はＮｉのに吸収端（１，４９人）前後の
波長であるので、Ｘ線検出器４，５の画像を差し引くこ
とにより被検査体中のＮｉの分布像が得られた０本実施
例において銅陽極は他の元素から成る陽極におきかえて
良い。
波長であるので、Ｘ線検出器４，５の画像を差し引くこ
とにより被検査体中のＮｉの分布像が得られた０本実施
例において銅陽極は他の元素から成る陽極におきかえて
良い。
また２種以上の構成元素から成る陽極におきかえても良
い。本実施例では、特性Ｘ線が不連続な線スペクトルで
あるので、所望する波長が特性Ｘ！の波長に一致する場
合、他の不用な波長成分がきわめて少なく、低雑音の測
定が可能となる効果がある。また、本実施例において、
第一の分光器でＣｕ−にα線がほぼ完全に反射され、後
方にはほとんど透過しない条件では、透過Ｘ線はＣｕ−
にβのエネルギーのみからなる単色ｘａと見なすことが
出来て、第二の分光器を省くことも可能である。
い。本実施例では、特性Ｘ線が不連続な線スペクトルで
あるので、所望する波長が特性Ｘ！の波長に一致する場
合、他の不用な波長成分がきわめて少なく、低雑音の測
定が可能となる効果がある。また、本実施例において、
第一の分光器でＣｕ−にα線がほぼ完全に反射され、後
方にはほとんど透過しない条件では、透過Ｘ線はＣｕ−
にβのエネルギーのみからなる単色ｘａと見なすことが
出来て、第二の分光器を省くことも可能である。
本発明によれば、相異なる二種類以上のエネルギーの単
色Ｘ線透過像を計測する際に１分光器の走査が不要であ
り、同時に多数個のエネルギーによる単色Ｘ線透過像が
計測できるので、動きのある被検査体の測定も可能とな
るという効果がある。
色Ｘ線透過像を計測する際に１分光器の走査が不要であ
り、同時に多数個のエネルギーによる単色Ｘ線透過像が
計測できるので、動きのある被検査体の測定も可能とな
るという効果がある。
また、フィルターを用いる方法と異なり任意のエネルギ
ーを選択出来るので、二種類のエネルギー間での差分に
より像コントラストの向上を行なう際に、もつともコン
トラストの良いエネルギーを選択することもできる。
ーを選択出来るので、二種類のエネルギー間での差分に
より像コントラストの向上を行なう際に、もつともコン
トラストの良いエネルギーを選択することもできる。
また、くり返しが不可能な高速反応過程を有する被検査
体に対してもｘ４Ｂ吸収スペクトルの測定が可能となり
、Ｘ線透過計測からこの反応過程を追跡することが出来
るという効果がある。
体に対してもｘ４Ｂ吸収スペクトルの測定が可能となり
、Ｘ線透過計測からこの反応過程を追跡することが出来
るという効果がある。
また、必要なエネルギーの像を同時に測定出来るので、
測定時間が短縮出来るという効果がある。
測定時間が短縮出来るという効果がある。
第１図は本発明の一実施例の一部を断面して示す側面図
である。 １・・・ＸＩＩ源、２・・・被検査体、３・・・分光器
、４・・・Ｘ線検出器、５・・・分光器、６・・・Ｘ線
検出器。
である。 １・・・ＸＩＩ源、２・・・被検査体、３・・・分光器
、４・・・Ｘ線検出器、５・・・分光器、６・・・Ｘ線
検出器。
Claims (1)
- １、Ｘ線源からのＸ線を被検査体に照射し透過したＸ線
を検出するＸ線計測装置において、被検査体を透過した
Ｘ線の光路上に一個以上の分光素子を配列することによ
り、二種類以上の異なるエネルギーのＸ線による透過像
を計測することを特徴とする多重エネルギーＸ線計測装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61251639A JPS63106547A (ja) | 1986-10-24 | 1986-10-24 | 多重エネルギ−ｘ線計測装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61251639A JPS63106547A (ja) | 1986-10-24 | 1986-10-24 | 多重エネルギ−ｘ線計測装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63106547A true JPS63106547A (ja) | 1988-05-11 |
Family
ID=17225812
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61251639A Pending JPS63106547A (ja) | 1986-10-24 | 1986-10-24 | 多重エネルギ−ｘ線計測装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63106547A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100447914B1 (ko) * | 2000-12-27 | 2004-09-13 | 샤프 가부시키가이샤 | 광 기록 매체 재생 장치 |
| JP2009008449A (ja) * | 2007-06-26 | 2009-01-15 | Hitachi Ltd | Ｘ線撮像装置及びｘ線撮像方法 |
| JP2010160094A (ja) * | 2009-01-09 | 2010-07-22 | Jeol Ltd | Ｘ線分光情報取得方法及びｘ線分光装置 |
-
1986
- 1986-10-24 JP JP61251639A patent/JPS63106547A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100447914B1 (ko) * | 2000-12-27 | 2004-09-13 | 샤프 가부시키가이샤 | 광 기록 매체 재생 장치 |
| JP2009008449A (ja) * | 2007-06-26 | 2009-01-15 | Hitachi Ltd | Ｘ線撮像装置及びｘ線撮像方法 |
| JP2010160094A (ja) * | 2009-01-09 | 2010-07-22 | Jeol Ltd | Ｘ線分光情報取得方法及びｘ線分光装置 |
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