JPS60261035A - 光学式情報記録再生装置 - Google Patents
光学式情報記録再生装置Info
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- JPS60261035A JPS60261035A JP11591584A JP11591584A JPS60261035A JP S60261035 A JPS60261035 A JP S60261035A JP 11591584 A JP11591584 A JP 11591584A JP 11591584 A JP11591584 A JP 11591584A JP S60261035 A JPS60261035 A JP S60261035A
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- Japan
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- focus
- tracking
- gain
- switching circuit
- control
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-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
- G11B7/08—Disposition or mounting of heads or light sources relatively to record carriers
- G11B7/09—Disposition or mounting of heads or light sources relatively to record carriers with provision for moving the light beam or focus plane for the purpose of maintaining alignment of the light beam relative to the record carrier during transducing operation, e.g. to compensate for surface irregularities of the latter or for track following
- G11B7/0908—Disposition or mounting of heads or light sources relatively to record carriers with provision for moving the light beam or focus plane for the purpose of maintaining alignment of the light beam relative to the record carrier during transducing operation, e.g. to compensate for surface irregularities of the latter or for track following for focusing only
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は情報を光ディスクに記録または読み取る光学式
情報記録再生装置に関するものである。
情報記録再生装置に関するものである。
従来例の構成とその問題点
折忽 光学式情報記録再生装置は、記録後即時再生ので
きる大容量メモリとして、文書ファイルディスクや静止
画ディスクファイル等の応用が考えられている。
きる大容量メモリとして、文書ファイルディスクや静止
画ディスクファイル等の応用が考えられている。
以下に従来の光学式情報記録再生装置について説明する
。
。
第１図は従来の光学式情報記録再生装置の一例の概略図
を示すものであり、１はレーザー光源で半導体レーザー
よシな９レーザー光を発光する。
を示すものであり、１はレーザー光源で半導体レーザー
よシな９レーザー光を発光する。
２はコリメータレンズでレーザー光源１からのレーザー
光を平行光にする。３は偏光ビームスプリッタ、４はλ
／４波長板である。５は対物レンズ６は対物レンズ５を
フォーカス及びトラッキング方向に動作させる光学ピッ
クアップであり、ボイスコイルモータ等の既知の駆動手
段にて構成される。７は光ディスクで案内溝よシなる情
報トラック７ａを有している。８は集光レンズ、９は分
割ミラーである。１０はフォーカス制御用光検出器で２
分割の光検出器より構成されている。１１はフォーカス
制御用光検出器１ｏからの信号よりフォーカス誤差信号
を得るフォーカス用差動アンプである。１２はフォーカ
ス制御回路であり、位相補償回路、駆動回路等より構成
され、フォーカス誤差信号に基づいて、光学ピックアッ
プ６をフォーカス方向に駆動させる。１３はトラッキン
グ制御用光検出器でフォーカス制御用光検出器１０と同
様な２分割の光検出器で構成されている。１４はフォー
カス用差動アンプ１１と同様々トラッキング用差動アン
プである。１５はトラッキング制御回路でフォーカス制
御回路１２と同様な構成にて光学ピックアップ６をトラ
ッキング方向に駆動する。なお図中の光学系部に記載し
た矢印はレーザー光の光路を示している。
光を平行光にする。３は偏光ビームスプリッタ、４はλ
／４波長板である。５は対物レンズ６は対物レンズ５を
フォーカス及びトラッキング方向に動作させる光学ピッ
クアップであり、ボイスコイルモータ等の既知の駆動手
段にて構成される。７は光ディスクで案内溝よシなる情
報トラック７ａを有している。８は集光レンズ、９は分
割ミラーである。１０はフォーカス制御用光検出器で２
分割の光検出器より構成されている。１１はフォーカス
制御用光検出器１ｏからの信号よりフォーカス誤差信号
を得るフォーカス用差動アンプである。１２はフォーカ
ス制御回路であり、位相補償回路、駆動回路等より構成
され、フォーカス誤差信号に基づいて、光学ピックアッ
プ６をフォーカス方向に駆動させる。１３はトラッキン
グ制御用光検出器でフォーカス制御用光検出器１０と同
様な２分割の光検出器で構成されている。１４はフォー
カス用差動アンプ１１と同様々トラッキング用差動アン
プである。１５はトラッキング制御回路でフォーカス制
御回路１２と同様な構成にて光学ピックアップ６をトラ
ッキング方向に駆動する。なお図中の光学系部に記載し
た矢印はレーザー光の光路を示している。
以上のように構成された従来の光学式情報記録再生装置
について、以下その動作について説明する。
について、以下その動作について説明する。
レーザー光源１から出だレーザー光はコリメータレンズ
２を通過し平行光となり偏光ビームスプリッタ３、λ／
４波長板４を介して、対物レンズ６により光ディスク７
に形成された情報トラック７ａに集光される。この時、
ディスク７の情報トラック７ａは面振れ及び偏芯をとも
なって回転しているので、所定の情報トラックにレーザ
ー光を集光させるために、後述するフォーカス誤差信号
及びトラッキング誤差信号に基づいた駆動電圧をフォー
カス制御回路１２及びトラッキング制御回路１５よシ得
て、光学ピックアップ６をフォーカス及びトラッキング
方向に動作させ、レーザー光を所定情報トランクに追従
させている。ディスク７からの反射光は入射光路と逆光
路をだどシ、λ／４波長板４を２度通過することによシ
入射光と９０°偏光された光となシ偏光ビームスプリッ
タ３を直進して、集光レンズ８に入射する。集光レンズ
８を通過した反射光は分割ミラー９によって分割され一
方はフォーカス制御用光検出器１０に集光され、他方は
トラッキング制御用光検出器１３に集光される。フォー
カス制御用光検出器１０からの信号はフォーカス用差動
アンプ１１にてフォーカス誤差信号となり、フォーカス
制御回路１２に入いる。フォーカス制御回路１２にて、
フォーカス誤差信号に基づいたフォーカス駆動電圧を発
生する。かかる駆動電圧にて光学ピックアップ６を動作
させフォーカス制御を行なう。一方、トラッキング制御
もフォーカス制御と同様にトラッキング制御用光検出器
１３からの出力をトランキング用差動アンプ１４に入力
してトラッキング誤差信号を得、トラッキング制御回路
１５にてトラッキング誤差信号に基づく駆動電圧を発生
させ光学ピックアップ６をトラッキング方向に動作させ
トラッキング制御を行なう。
２を通過し平行光となり偏光ビームスプリッタ３、λ／
４波長板４を介して、対物レンズ６により光ディスク７
に形成された情報トラック７ａに集光される。この時、
ディスク７の情報トラック７ａは面振れ及び偏芯をとも
なって回転しているので、所定の情報トラックにレーザ
ー光を集光させるために、後述するフォーカス誤差信号
及びトラッキング誤差信号に基づいた駆動電圧をフォー
カス制御回路１２及びトラッキング制御回路１５よシ得
て、光学ピックアップ６をフォーカス及びトラッキング
方向に動作させ、レーザー光を所定情報トランクに追従
させている。ディスク７からの反射光は入射光路と逆光
路をだどシ、λ／４波長板４を２度通過することによシ
入射光と９０°偏光された光となシ偏光ビームスプリッ
タ３を直進して、集光レンズ８に入射する。集光レンズ
８を通過した反射光は分割ミラー９によって分割され一
方はフォーカス制御用光検出器１０に集光され、他方は
トラッキング制御用光検出器１３に集光される。フォー
カス制御用光検出器１０からの信号はフォーカス用差動
アンプ１１にてフォーカス誤差信号となり、フォーカス
制御回路１２に入いる。フォーカス制御回路１２にて、
フォーカス誤差信号に基づいたフォーカス駆動電圧を発
生する。かかる駆動電圧にて光学ピックアップ６を動作
させフォーカス制御を行なう。一方、トラッキング制御
もフォーカス制御と同様にトラッキング制御用光検出器
１３からの出力をトランキング用差動アンプ１４に入力
してトラッキング誤差信号を得、トラッキング制御回路
１５にてトラッキング誤差信号に基づく駆動電圧を発生
させ光学ピックアップ６をトラッキング方向に動作させ
トラッキング制御を行なう。
一般にフォーカス制御を行なった後にトラッキング制御
を行ないレーザー光を情報トラックに追従させているが
、フォーカス制御オン、トラッキング制御オフの場合、
フォーカス誤差信号には第２図に示すような案内溝横断
にともなう外乱信号が発生する。このフォーカス誤差信
号に基づくフォーカス制御回路１２からの駆動電圧波形
は第３図のようになシ、飽和した波形となり、フォーカ
ス制御が不安定となシフオーカス制御が発振したり、フ
ォーカスがはずれるという問題を有していた。なお、フ
ォーカス制御オン、トラッキング制御オン状態の場合は
案内溝横断の影響がないだめ、フォーカス制御の不安定
さはない。このように従来はフォーカスゲインがトラッ
キングオフ時の案内溝横断の影響を受けるだめ、トラッ
キングオン状態ではフォーカスゲインを高めた方が良好
な記録再生が行なえるのにかかわらず、低めのゲイン設
定になっており、装置の性能を十分に活かしていなかっ
た。
を行ないレーザー光を情報トラックに追従させているが
、フォーカス制御オン、トラッキング制御オフの場合、
フォーカス誤差信号には第２図に示すような案内溝横断
にともなう外乱信号が発生する。このフォーカス誤差信
号に基づくフォーカス制御回路１２からの駆動電圧波形
は第３図のようになシ、飽和した波形となり、フォーカ
ス制御が不安定となシフオーカス制御が発振したり、フ
ォーカスがはずれるという問題を有していた。なお、フ
ォーカス制御オン、トラッキング制御オン状態の場合は
案内溝横断の影響がないだめ、フォーカス制御の不安定
さはない。このように従来はフォーカスゲインがトラッ
キングオフ時の案内溝横断の影響を受けるだめ、トラッ
キングオン状態ではフォーカスゲインを高めた方が良好
な記録再生が行なえるのにかかわらず、低めのゲイン設
定になっており、装置の性能を十分に活かしていなかっ
た。
発明の目的
本発明は上記従来の問題点を解消するもので、案内溝を
有する光ディスクに安定なフォーカス制御を行なえる光
学式情報記録再生装置を提供することを目的とする。
有する光ディスクに安定なフォーカス制御を行なえる光
学式情報記録再生装置を提供することを目的とする。
発明の構成
本発明はフォーカスゲイン切換回路を設け、トラッキン
グオン、オフの指令信号にもとづいてフォーカスゲイン
切換回路を動作させ、トラッキングオフ時のフォーカス
ゲインをトラッキングオン時のフォーカスゲインより低
くする構成とした光学式情報記録再生装置であり、案内
溝を有する光ディスクに安定なフォーカス制御をかける
ことができるものである。
グオン、オフの指令信号にもとづいてフォーカスゲイン
切換回路を動作させ、トラッキングオフ時のフォーカス
ゲインをトラッキングオン時のフォーカスゲインより低
くする構成とした光学式情報記録再生装置であり、案内
溝を有する光ディスクに安定なフォーカス制御をかける
ことができるものである。
実施例の説明
第４図は本発明の第１の実施例における光学式情報記録
再生装置の概略図を示すものである。なお第４図におい
て第１図と同一番号の部品は従来の構成と同一部品を示
しておシ説明は省略する。
再生装置の概略図を示すものである。なお第４図におい
て第１図と同一番号の部品は従来の構成と同一部品を示
しておシ説明は省略する。
第４図において、１６はフォーカスゲイン切換回路でト
ラッキングオン、オフの指令信号によシフオーカスルー
プゲインを切換える。なおフォーカスループゲインはト
ラッキングオフ時がトラッキングオン時より低くなるよ
う設定しである。
ラッキングオン、オフの指令信号によシフオーカスルー
プゲインを切換える。なおフォーカスループゲインはト
ラッキングオフ時がトラッキングオン時より低くなるよ
う設定しである。
以上のように構成されたこの実施例の光学式情報記録再
生装置について、以下その動作を説明する。
生装置について、以下その動作を説明する。
光ディスク７への制御動作は、フォーカス制御後にトラ
ッキング制御を行なうため、最初はフォーカス制御オン
、トラッキングオフの状態である。
ッキング制御を行なうため、最初はフォーカス制御オン
、トラッキングオフの状態である。
この時トラッキングオフの指令信号によりフォーカスゲ
イン切換回路１６は低いゲイン設定となる。
イン切換回路１６は低いゲイン設定となる。
かかる状態ではフォーカス誤差信号に案内溝横断による
外乱信号があってもフォーカス制御回路１２の駆動電圧
は第３図のように飽和することがなくなシ、フォーカス
制御が発振したシ、フォーカスがはずれることはない。
外乱信号があってもフォーカス制御回路１２の駆動電圧
は第３図のように飽和することがなくなシ、フォーカス
制御が発振したシ、フォーカスがはずれることはない。
その後、トラッキングオン指令によシ、トラッキング制
御がかかるが、この時案内溝横断がなくなるためフォー
カス誤差信号には案内溝横断による外乱信号の影響がな
くなシ、フォーカスループゲインをあげてフォーカスの
追従性を高めることが可能となる。実際に、トラッキン
グオン指令信号によ）、フォーカスゲイン切換回路１６
は高いゲイン設定となシ、トラッキングオン時では、ト
ラッキングオフ時に比べてフォーカスの追従性が良好と
なり、良好な記録再生を行なうことができる。
御がかかるが、この時案内溝横断がなくなるためフォー
カス誤差信号には案内溝横断による外乱信号の影響がな
くなシ、フォーカスループゲインをあげてフォーカスの
追従性を高めることが可能となる。実際に、トラッキン
グオン指令信号によ）、フォーカスゲイン切換回路１６
は高いゲイン設定となシ、トラッキングオン時では、ト
ラッキングオフ時に比べてフォーカスの追従性が良好と
なり、良好な記録再生を行なうことができる。
次に本発明の第２の実施例における光学式情報記録再生
装置について説明する。第５図は第２の実施例における
光学式情報記録再生装置のフォーカスゲイン切換部を示
す回路図である。他の構成は第１の実施例と同一であり
省脇ナス−１７はフォーカスゲイン切換回路で・・イレ
ベルの指令信号の場合ゲインが低くなる設定である。１
８はＯＲ回路であり、トラッキングオン、オフ指令と記
録再生指令が接続されている。トラッキングオフ及び記
録時がノ・イレベルになるような指令信号とする。以下
その動作について説明する。光学式情報記録再生装置で
は記録する時、半導体レーザー１のレーザー光パワーを
再生光レベルよシ高くして情報トラックに書き込む。し
たがって、フォーカス制御用光検出器１ｏには再生時よ
シ大きい出力カ得うれ、フォーカスループゲインが高く
なシ、フォーカスが発振したり、フォーカスがはずれる
ことがある。このため一般にはフォーカスゲイン切換回
路を設けて、記録再生指令にもとづいて、フォーカスゲ
インを切換え、記録再生時のフォーカスルーズゲインが
一定になるようにしている。
装置について説明する。第５図は第２の実施例における
光学式情報記録再生装置のフォーカスゲイン切換部を示
す回路図である。他の構成は第１の実施例と同一であり
省脇ナス−１７はフォーカスゲイン切換回路で・・イレ
ベルの指令信号の場合ゲインが低くなる設定である。１
８はＯＲ回路であり、トラッキングオン、オフ指令と記
録再生指令が接続されている。トラッキングオフ及び記
録時がノ・イレベルになるような指令信号とする。以下
その動作について説明する。光学式情報記録再生装置で
は記録する時、半導体レーザー１のレーザー光パワーを
再生光レベルよシ高くして情報トラックに書き込む。し
たがって、フォーカス制御用光検出器１ｏには再生時よ
シ大きい出力カ得うれ、フォーカスループゲインが高く
なシ、フォーカスが発振したり、フォーカスがはずれる
ことがある。このため一般にはフォーカスゲイン切換回
路を設けて、記録再生指令にもとづいて、フォーカスゲ
インを切換え、記録再生時のフォーカスルーズゲインが
一定になるようにしている。
ＯＲ回路１８の出力は、トラッキングオフまたは記録時
の場合はノ−イレベル、トラッキングオンかつ再生時の
場合はローレベルとなる。フォーカスゲイン切換回路１
７は指令信号がノ・イレベルの時ゲインが低くなるため
、トラッキングオフまだは記録時の場合はゲインが低く
なり、前述したようにフォーカフが発振したり、フォー
カスはずれがなくなる。壕だトラッキングオンかつ再生
時の場合はゲインが高くなり、適切なフォーカスループ
ゲインを得ることができる。
の場合はノ−イレベル、トラッキングオンかつ再生時の
場合はローレベルとなる。フォーカスゲイン切換回路１
７は指令信号がノ・イレベルの時ゲインが低くなるため
、トラッキングオフまだは記録時の場合はゲインが低く
なり、前述したようにフォーカフが発振したり、フォー
カスはずれがなくなる。壕だトラッキングオンかつ再生
時の場合はゲインが高くなり、適切なフォーカスループ
ゲインを得ることができる。
以上のようにこの実施例によれば、記録再生時のフォー
カスゲイン切換回路とトラッキングオン。
カスゲイン切換回路とトラッキングオン。
オフ時のフォーカスゲイン切換回路とを１つにすること
ができ、簡単な構成にて同様な効果を得ることができる
。
ができ、簡単な構成にて同様な効果を得ることができる
。
発明の効果
本発明の光学式情報記録再生装置はフォーカスゲイン切
換回路を設け、トラッキングオン、オフの指令信号にも
とづいてフォーカスゲイン切換回路を動作させ、トラッ
キングオフ時のフォーカス２ゲインをトラッキングオン
時のフォーカスゲインよシ低くすることによシ、トラッ
キングオフ時のフォーカスを安定させるとともに、トラ
ッキングオン時すなわち情報トラックの記録再生時のフ
ォ−カスゲインを高め、良好な記録再生を行なうことが
でき、その実用的効果は大きい。
換回路を設け、トラッキングオン、オフの指令信号にも
とづいてフォーカスゲイン切換回路を動作させ、トラッ
キングオフ時のフォーカス２ゲインをトラッキングオン
時のフォーカスゲインよシ低くすることによシ、トラッ
キングオフ時のフォーカスを安定させるとともに、トラ
ッキングオン時すなわち情報トラックの記録再生時のフ
ォ−カスゲインを高め、良好な記録再生を行なうことが
でき、その実用的効果は大きい。
さらに、トラッキングオン、オフ用のフォーカスゲイン
切換回路を記録再生用のフォーカスゲイン切換回路と兼
用することに、簡単な構成で同様な効果を得ることがで
きる。
切換回路を記録再生用のフォーカスゲイン切換回路と兼
用することに、簡単な構成で同様な効果を得ることがで
きる。
第１図は従来例における光学式情報記録再生装置の概略
図、第２図はトラッキングオフ時のフォーカス誤差信号
波形、第３図は従来例におけるトラッキングオフ時のフ
ォーカス駆動電圧波形、第４図は本発明の一実施例にお
ける光学式情報記録再生装置の概略図、第６図は本発明
の他の実施例におけるフォーカスゲイン切換回路部のブ
ロック図である。 １・・・・・・レーザー光源、２・・・・・・コリメー
タレンズ、３・・・・・・偏光ビームスプリッタ、４・
・・・・・λ／４波長板、６・・・・・・対物レンズ、
６・・・・・・光学ピックアップ、７・・・・・・光デ
ィスク、８・・・・・・集光レンズ、９・・・・・・分
割ミラー、１０・・・・・・フォーカス制御用光検出器
、１１・・・・・・フォーカス用差動アンプ、１２・・
・・・・フォーカス制御回路、１３・・・・・・トラッ
キング制御用光検出器、１４・・・・・・トラッキング
用差動アンプ、１６・・・・・・トラッキング制御回路
、１６・・・・・・フォーカスゲイン切換回路。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名第
１ 図 りｂ 第２図 晴間− 第３図 綺闇−
図、第２図はトラッキングオフ時のフォーカス誤差信号
波形、第３図は従来例におけるトラッキングオフ時のフ
ォーカス駆動電圧波形、第４図は本発明の一実施例にお
ける光学式情報記録再生装置の概略図、第６図は本発明
の他の実施例におけるフォーカスゲイン切換回路部のブ
ロック図である。 １・・・・・・レーザー光源、２・・・・・・コリメー
タレンズ、３・・・・・・偏光ビームスプリッタ、４・
・・・・・λ／４波長板、６・・・・・・対物レンズ、
６・・・・・・光学ピックアップ、７・・・・・・光デ
ィスク、８・・・・・・集光レンズ、９・・・・・・分
割ミラー、１０・・・・・・フォーカス制御用光検出器
、１１・・・・・・フォーカス用差動アンプ、１２・・
・・・・フォーカス制御回路、１３・・・・・・トラッ
キング制御用光検出器、１４・・・・・・トラッキング
用差動アンプ、１６・・・・・・トラッキング制御回路
、１６・・・・・・フォーカスゲイン切換回路。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名第
１ 図 りｂ 第２図 晴間− 第３図 綺闇−
Claims (2)
- （１） フォーカスゲイン切換回路を設け、トラッキン
グオン、オフの指令信号にもとづいてフォーカスゲイン
切換回路を動作させ、トラッキングオフ時のフォーカス
ゲインをトランキングオン時のフォーカスゲインより低
くすることを特徴とする光学式情報記録再生装置。 - （２） ）ラッキングオン、オフ時のフォーカスゲイン
切換回路を記録時と再生時のフォーカスゲイン切換回路
と兼用することを特徴とする特許請求の範囲第１項記載
の光学式情報記録再生装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11591584A JPS60261035A (ja) | 1984-06-06 | 1984-06-06 | 光学式情報記録再生装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11591584A JPS60261035A (ja) | 1984-06-06 | 1984-06-06 | 光学式情報記録再生装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60261035A true JPS60261035A (ja) | 1985-12-24 |
Family
ID=14674360
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11591584A Pending JPS60261035A (ja) | 1984-06-06 | 1984-06-06 | 光学式情報記録再生装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60261035A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01256032A (ja) * | 1988-04-06 | 1989-10-12 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | トラッキング制御装置 |
| US5384762A (en) * | 1990-09-27 | 1995-01-24 | International Business Machines Corporation | Focusing servo in an optical disk drive |
| US6127749A (en) * | 1999-02-10 | 2000-10-03 | Nikon Corporation Of Japan | Two-dimensional electric motor |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5694528A (en) * | 1979-12-28 | 1981-07-31 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Drawing-in method of focus servo |
| JPS57186239A (en) * | 1981-05-11 | 1982-11-16 | Sony Corp | Disc reproducing device |
| JPS5977638A (ja) * | 1982-10-26 | 1984-05-04 | Nippon Gakki Seizo Kk | 光学式デイスク再生装置におけるフオ−カスサ−ボ制御装置 |
-
1984
- 1984-06-06 JP JP11591584A patent/JPS60261035A/ja active Pending
Patent Citations (3)
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| JPS5694528A (en) * | 1979-12-28 | 1981-07-31 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Drawing-in method of focus servo |
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Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| US5384762A (en) * | 1990-09-27 | 1995-01-24 | International Business Machines Corporation | Focusing servo in an optical disk drive |
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| US6455956B1 (en) | 1999-02-10 | 2002-09-24 | Nikon Corporation | Two-dimensional electric motor |
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