JPS60261014A - 磁気記録媒体

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(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

【発明の詳細な説明】産業上の利用分野本発明は高密度磁気記録に適する磁気記録媒体に関する
。

従来例の構成とその問題点近年、短波長化と狭トラツク化による記録密度向上は目
覚しく、光記録に近い面記碌密度の実用化が基板の垂直
方向に磁化可能ないわゆる垂直磁化膜を利用することで
期待されている。

特に軟磁性層と垂直磁化膜を積層したいわゆる２層媒体
を用いて、補助磁極励磁型垂直ヘッドにより記録再生を
行うことで、高密度記録の検討が進んでいる。

その結果、記録感度的には著しく改良されているが、雑
音が必ずしも低くないため、機器設計に必要な十分な信
号対雑音比（Ｓ／Ｎ　）が得られないことから改良が望
まれている。

発明の目的本発明は上記事情に鑑みてなされたもので、２層媒体の
雑音を改良し、高密度記録に供するものである。

発明の構成本発明の磁気記録媒体は、軟磁性層をＮ　ｉ　−Ｆ　ｅ　−Ｍ−０元素系で構成し、Ｍ元素と
してＣｒ　、Ｖ　、　Ｔ　ｉ　、Ｍｏ　、Ｗの中より選
んだことを特徴とし、雑音の低いものである。

実施例の説明以下、図面を参照しながら本発明を説明する。

第１図は、本発明の磁気記録媒体の拡大断面図である。

第１図で１は高分子基板等の非磁性基板、２はＮｉ−Ｆ
ｅ　−Ｍ−０（ＭはＣｒ　、Ｗ、Ｍｏ　、Ｔｉ　、Ｖ　
（Ｄうちのいずれかの元素）から成る軟磁性層、３は垂
直磁化膜、４は保護膜である。

第２図は、軟磁性層の形成に用匠た蒸着装置の要部構成
図である。第２図で、６は基板、６は送り出し軸、７は
巻取り軸、８はスパッタカソード、９はバッキングプレ
ート、１Ｑは真空容器、１１は排気系、１２はガス導入
ノズル、１３はガス導入調節弁、１４はフリーローラで
ある。

第２図のスパッタカソードとしてＮｉ−Ｆｅ−Ｍを用い
、導入ガスとして酸素、又は酸素と不活性ガスの混合系
を用いて軟磁性層を形成する。

勿論、ハードディスク等の場合は第２図のように巻取り
系は利用できないので専用の搬送系を必要とする。

本発明で用いることの出来る基板は、ポリエチレンテレ
フタレート等のポリエステル類、ポリプロピレン等のポ
リオレフィン類、　セル０７スト！Ｊアセテート等のセ
ルロース誘導体、ポリアミド。

ポリイミド等の高分子フィルム、アルミ合金等の非磁性
基板等である。

本発明で用いることの出来る垂直磁化膜は、Ｃｏ−Ｃｒ
　、Ｃｏ　−Ｖ　、Ｃｏ−Ｔ　ｉ　、Ｇｏ−Ｗ、Ｃｏ　
−Ｍｏ　。

Ｃｏ−Ｒｕ　、Ｃｏ−０、Ｃｏ−Ｐ　、Ｃｏ−Ｎｉ−Ｃ
ｒ　、Ｃｏ−Ｎｉ−０゜Ｃｏ−Ｎｉ−Ｍ−Ｒｅ−Ｐ等で
ある。

本発明で用いる軟磁性層は、Ｎｉ−Ｆｅ−Ｍ−０系から
成り、ＭとしてＣｒ　、　Ｖ　、Ｗ　、Ｍｏ　、　Ｔ　
ｉのいずれかが選択されるものである。

厚みは０．２μｍから１．０μｍ、好ましくは０．３μ
ｍから０．６μｍで、原子比でＮ１が７０％から８０％
、Ｆｅが１０％から２０％、Ｍが４％から１０％、Ｏが
３％から１Ｑ％が適している。

本発明の軟磁性層が最も代表的なパーマロイ層に比較し
て、雑音が低いのは厚くなっても、枕木磁区等の雑音が
極めて高くなる磁区ができないだめと考えられ、酸素と
の親和性がＮｉ、Ｆｅ、Ｍ　の順に犬きくなることと関
係していると推察されるものである。保護膜は適宜設け
られるものである。

以下、さらに具体的に一実施例を説明する。

（実施例）厚み９μｍのポリイミドフィルム上に、第２図に示した
ように、高周波スパッタリング法により軟磁性層を形成
し、その上に電子ビーム蒸着法でＣｏ−Ｃｒ垂直磁化膜
を、高周波スパッタリング法でＣｏ　−Ｍｏ　、Ｃｏ−
Ｔ　ｉ垂直磁化膜を形成した。

夫々膜の形成は、直径６０αの円筒状キャンにフィルム
を沿わせて行い、キャン表面温度は１００℃から１８０
℃の範囲で調整した。

スパッタリング法では、軟磁性層の形成時は、酸素のみ
導入し、４×１Ｏ−５Ｔｏｒｒ〜１×１Ｏ−２Ｔｏｒｒ
で調整し、垂直磁化膜形成時は、Ａｒのみ導入し６　Ｘ
　１０−５Ｔｏｒｒ　〜３　Ｘ　１０−２Ｔｏｒｒで調
整した。

Ｃｏ　−Ｃｒの電子ビーム蒸着時はｓ×１０　Ｔｏｒｒ
から３Ｘ１０　Ｔｏｒｒの真空度で蒸着した。

比較例は、Ｎｉ−Ｆｅ　（８０ｗｔ％Ｎｉ）膜を軟磁性
層として用いた。

夫々のテープの雑音を４Ｍ）ｈと６ＭＨｚで比較した。

基準は、比較例（テープ腐８）の４ＭＨ，の値をｏ［：
ｄＢ：ｌとした。尚、４μｍは波長０．５μｍに相当中
る。

表に捷とめた条件、及び結果より明らかなように。

本発明の構成によれば、短波長域での雑音は、垂直磁化
膜の条件によらず、ｓｄＢから１１ｄＢの改良がみられ
る。

本発明の他の材料の組み合わせでもほぼ同様の雑音レベ
ルの改良が確認された。

又、磁気テープ以外に磁気ディスク、磁気シートでも同
様の効果を確認した。

発明の効果本発明は、Ｎｉ−Ｆｅ−Ｍ−○系の軟磁性層と、垂直磁
化膜を積層することで、記録感度の向上した垂直磁気記
録媒体の雑音を改良できるもので、高密度記録の実用化
に大きく貢献するものである。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の磁気記録媒体の拡大断面図、第２図は
本発明の磁気記録媒体の製造に用いた蒸着装置の要部構
成図である。１　・・・・基板、２　・軟磁性層（Ｎｉ−Ｆｅ−Ｍ−
〇系）、３　・・垂直磁化膜、８・・・・・スパッタカ
ソード（Ｎｉ−Ｆｅ−Ｍ系）。第１図第２図

【特許請求の範囲】

軟磁性層と垂直磁化膜の２層構成で、該軟磁性層がＮｉ
−Ｆｅ−Ｍ−０の４元系より成り、Ｍ元素がＣｒ　、Ｖ
　、　Ｔｉ　、Ｍｏ　、Ｗの中より選ばれたことを特徴
とする磁気記録媒体。