JPS60260772A - 可変コンダクタンスバルブ - Google Patents

可変コンダクタンスバルブ

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JPS60260772A
JPS60260772A JP11453584A JP11453584A JPS60260772A JP S60260772 A JPS60260772 A JP S60260772A JP 11453584 A JP11453584 A JP 11453584A JP 11453584 A JP11453584 A JP 11453584A JP S60260772 A JPS60260772 A JP S60260772A
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JP
Japan
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vacuum
valve
valves
mentioned
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JP11453584A
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Tsunehiko Tsubone
恒彦 坪根
Fumio Shibata
柴田　史雄
Norio Kanai
金井　謙雄
Sumio Fukuda
福田　澄雄
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Hitachi Ltd
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    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K1/00—Lift valves or globe valves, i.e. cut-off apparatus with closure members having at least a component of their opening and closing motion perpendicular to the closing faces
    • F16K1/16—Lift valves or globe valves, i.e. cut-off apparatus with closure members having at least a component of their opening and closing motion perpendicular to the closing faces with pivoted closure-members
    • F16K1/165—Lift valves or globe valves, i.e. cut-off apparatus with closure members having at least a component of their opening and closing motion perpendicular to the closing faces with pivoted closure-members with a plurality of closure members
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K51/00—Other details not peculiar to particular types of valves or cut-off apparatus
    • F16K51/02—Other details not peculiar to particular types of valves or cut-off apparatus specially adapted for high-vacuum installations

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Lift Valve (AREA)
  • Flow Control (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野〕 本発明は、可変コンダクタンスバルブに関するものであ
る。
〔発明の背景〕　゛ 従来、可変コンダクタンスバルブとしては、例ル 、ｔ（ｆ、１個のバルブケースに１個のスロットパル八 ブを設けた構造のものが知られている。（特公昭５８−
３４７１２号公報、特公昭５８−４３６３４号公報） このような可変コンダクタンスバルブは、真空度が低い
場合、スロットバルブの開閉の分解能に八 対しコンダクタンスの変化率が大きく真空度を直線的に
制御できず、真空度が高い場合、コンダクタンス変化率
が逆に小さくなって真空度がほとんど変化しないため、
広範囲な真空度を精度良く制御するには問題があった。
〔発明の目的〕
本発明の目的は、真空度に応じてコンダクタンスの変化
率を適正化することで、広範囲な真空度を精度良く制御
できる可変コンダクタンスバルブを提供することにある
。
〔発明の概要〕
本発明は、１個のバルブケースに面積の異なるスロット
ルバルブを少なくとも２個設けたことを特徴とするもの
で、真空度に応じて面積の異なるスロットルバルブを使
い分はコンダクタンスの変化率を適正化したものである
。
〔発明の実施例〕
本発明の一実施例を第１図、第２図により説明する。
第１図、第２図で、１個のバルブケース１０内には、面
積の異なるスロットルバルブが、この場合は２個、即ち
、面積の大きなスロットルバルブＩと面積の小さなスロ
ットルバルブ（資）とが、回転軸４．３１にそれぞれ取
り付けられて設けられている。
スロットルバルブ加とスロットルバルブ（資）とは、完
全閉止時（第２図に示す状態）にそれぞれの一端部が重
なり合う形状となっている。回転軸２１゜３１は、ヘア
リング２２ａ、２２ｂ、３２ａ、３２ｂでバルブケース
に回転自在に支持されている。回転軸２１゜３１には、
０リング幻、３３が環装されてバルブケース１０内は気
密保持される。回転軸２１．３１のバルブケース１０外
に突出した部分には、ウオームギヤ冴。
あが設けられ、ウオームギヤ必、３４は、モーター（図
示省略）で回転駆動されるウオームホイール５．３５に
噛合している。回転軸２１．３１の第１図では、上端部
には、検出板４０ａ、４０ｂが設けられ、回転軸力、３
１のバルブケース１０外へ突出した部分。
ウォームギャス、３４．ウオームホイール２５．　３５
゜検出板４０ａ、４０ｂを収納するギヤケース力、３６
の側壁には、検出板４０ａ、４０ｂと対応してホトセン
サー４１ａ、４１ｂが設けられている。ホトセンサー４
１８．４１ｂは、モーターにそれぞれ接続されている。
第１図、第２図で、スロットバルブ加、３０の原点（全
開又は全閉）は、検出板４０ａ、４０ｂとホトセンサー
４１ａ、４１ｂとにより設定され、モーターにパルスモ
ータ−を用いることで、スロットルバルブ加、３０の全
開から全閉までを高分解能で制御できる。スロットルバ
ルブ加、３０は、真空度に応じて使い分けされ、スロッ
トルバルブＩで精度良く制御できなくなった真空度範囲
は、スロットルバルブ園により精度良く制御される。
本実施例のような可変コンダクタンスバルブでは、真空
度に応じて面積の大きなスロットルバルブと面積の小さ
なスロットルバルブを使い分けることで、真空度に応じ
てコンダクタンスの変化率を適正化できるため、広範囲
な真空度を精度良（制御することができる。
〔発明の効果〕
本発明は、以上説明したように、１個のバルブケース内
に面積の異なるスロットルバルブを少なくとも２個設け
たことで、真空度に応じて面積の異なるスロットルバル
ブを使い分はコンダクタンスの変化率を適正化できるの
で、広範囲な真空度を精度長々制御できるという効果が
ある。
【図面の簡単な説明】
第１図は、本発明による可変コンダクタンスバルブの縦
断面図、第２図は、第１図のＡ−Ａ線断面図である。 １０・・・・・・バルブケース、２０．３０・・曲スロ
ットルバルブ 第１図

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. １．１個のバルブケース内に面積の異なるスロッル トパルブを少なくとも２個設けたことを特徴と八 する可変コンダクタンスバルブ。
JP59114535A 1984-06-06 1984-06-06 可変コンダクタンスバルブ Expired - Lifetime JP2685431B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP59114535A JP2685431B2 (ja) 1984-06-06 1984-06-06 可変コンダクタンスバルブ

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP59114535A JP2685431B2 (ja) 1984-06-06 1984-06-06 可変コンダクタンスバルブ

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS60260772A true JPS60260772A (ja) 1985-12-23
JP2685431B2 JP2685431B2 (ja) 1997-12-03

Family

ID=14640186

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP59114535A Expired - Lifetime JP2685431B2 (ja) 1984-06-06 1984-06-06 可変コンダクタンスバルブ

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0393916U (ja) * 1990-01-08 1991-09-25

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS54229A (en) * 1977-06-03 1979-01-05 Hitachi Ltd Flow adjuster
JPS551016U (ja) * 1978-06-19 1980-01-07

Patent Citations (2)

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS54229A (en) * 1977-06-03 1979-01-05 Hitachi Ltd Flow adjuster
JPS551016U (ja) * 1978-06-19 1980-01-07

Cited By (1)

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JPH0393916U (ja) * 1990-01-08 1991-09-25

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JP2685431B2 (ja) 1997-12-03

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