JPH0393916U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0393916U JPH0393916U JP19490U JP19490U JPH0393916U JP H0393916 U JPH0393916 U JP H0393916U JP 19490 U JP19490 U JP 19490U JP 19490 U JP19490 U JP 19490U JP H0393916 U JPH0393916 U JP H0393916U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pressure control
- control valve
- valve
- closed
- controlled
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 239000003638 chemical reducing agent Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Control Of Fluid Pressure (AREA)
Description
第１図は、本考案の圧力制御バルブを用いた真
空装置のフロー図、第２図は、本考案の圧力制御
バルブの構成図、第３図は、本考案の圧力制御バ
ルブの圧力特性図、第４図は、従来の圧力制御バ
ルブの構成図である。 １……真空室、２……ガス流通制御容器、３…
…バルブ、４……圧力制御バルブ、５……高真空
排気ポンプ、６……粗引きポンプ、７……フラン
ジ、８ａ，８ｂ……回転弁、９……ロータリアク
チユエータ、１０……電磁弁、１１……駆動エア
ー源、１２……減速機、１３……ステツピングモ
ータ。
空装置のフロー図、第２図は、本考案の圧力制御
バルブの構成図、第３図は、本考案の圧力制御バ
ルブの圧力特性図、第４図は、従来の圧力制御バ
ルブの構成図である。 １……真空室、２……ガス流通制御容器、３…
…バルブ、４……圧力制御バルブ、５……高真空
排気ポンプ、６……粗引きポンプ、７……フラン
ジ、８ａ，８ｂ……回転弁、９……ロータリアク
チユエータ、１０……電磁弁、１１……駆動エア
ー源、１２……減速機、１３……ステツピングモ
ータ。
Claims (1)
- 一つのフランジに二つの回転弁を設け、一方の
回転弁は少なくとも開と閉の２位置、他方の回転
弁は開閉間の任意位置に制御できるようにしたこ
とを特徴とする圧力制御バルブ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19490U JPH0393916U (ja) | 1990-01-08 | 1990-01-08 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19490U JPH0393916U (ja) | 1990-01-08 | 1990-01-08 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0393916U true JPH0393916U (ja) | 1991-09-25 |
Family
ID=31504162
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19490U Pending JPH0393916U (ja) | 1990-01-08 | 1990-01-08 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0393916U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE4328081A1 (de) * | 1992-12-02 | 1994-06-09 | Nsk Ltd | Verfahren zum Vorspannen und Herstellen von durch Vorspannung einstellbaren Wälzlagern |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS50100484A (ja) * | 1974-01-09 | 1975-08-09 | ||
| JPS57179473A (en) * | 1981-04-30 | 1982-11-05 | Toshiba Corp | Valve unit for vacuum apparatus |
| JPS60260772A (ja) * | 1984-06-06 | 1985-12-23 | Hitachi Ltd | 可変コンダクタンスバルブ |
-
1990
- 1990-01-08 JP JP19490U patent/JPH0393916U/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS50100484A (ja) * | 1974-01-09 | 1975-08-09 | ||
| JPS57179473A (en) * | 1981-04-30 | 1982-11-05 | Toshiba Corp | Valve unit for vacuum apparatus |
| JPS60260772A (ja) * | 1984-06-06 | 1985-12-23 | Hitachi Ltd | 可変コンダクタンスバルブ |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE4328081A1 (de) * | 1992-12-02 | 1994-06-09 | Nsk Ltd | Verfahren zum Vorspannen und Herstellen von durch Vorspannung einstellbaren Wälzlagern |