JPS6025953U - プラズマ分布モニタ - Google Patents

プラズマ分布モニタ

Info

Publication number
JPS6025953U
JPS6025953U JP11552883U JP11552883U JPS6025953U JP S6025953 U JPS6025953 U JP S6025953U JP 11552883 U JP11552883 U JP 11552883U JP 11552883 U JP11552883 U JP 11552883U JP S6025953 U JPS6025953 U JP S6025953U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
laser beam
laser
light
reference point
receiving element
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP11552883U
Other languages
English (en)
Inventor
広明 阿部
枝村　孝夫
金川　真佐雄
長田　久二郎
Original Assignee
株式会社日立製作所
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 株式会社日立製作所 filed Critical 株式会社日立製作所
Priority to JP11552883U priority Critical patent/JPS6025953U/ja
Publication of JPS6025953U publication Critical patent/JPS6025953U/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Investigating, Analyzing Materials By Fluorescence Or Luminescence (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案の一実施例のプラズマモニタ用基準点位
置決め装置を組み込んだプラズマ分布モニタを示すブロ
ック図、第２図は入射窓及び測定窓上でレーザ光と受光
素子が各々基準点を中心に走査する軌跡Ａ、　Ａ’と、
光フアイバ入口でレーザ光の相対強度を比較し基準点（
強度最大の所）を決定する様に表わした模式図である。 １・・・レーザ発振器、２・・・ミラー、３・・・凹面
鏡、４・・・真空容器、５・・・固定治具、６・・・光
フアイバ入口、７・・・光ファイバ、８・・・入射窓、
９・・・光フアイバ出口、１０・・・固定治具、１１・
・・測定窓、１２・・・受光素子、１３・・・駆動装置
、１４・・・分光器、１５・・・検出器、１６・・・増
幅器、１７・・・ＡＤ変換器、１８・・・演算器、１９
・・・制御部、２０・・・駆動装置、２１・・・レーザ
光、２２・・・レーザ光軌跡、２３・・・受光素子軌跡
。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. レーザ励起螢光プラズマモニタにおいて、レーザ光発生
    装置と、レーザ光を２次元的に走査させるための光学系
    と、入射窓の基準点から測定窓の基準点ヘレーザ光を伝
    えるための固定された光ファイバと、伝えられたレーザ
    光を受光素子で受光し、分光器を通して検出器へ伝える
    機構と、出力された電気信号をアナログ・ディジタル変
    換器でディジタル変換し、演算器へ入力させる機構と、
    駆動装置によりミラーおよび受光素子を駆動させ繰り返
    し測定を行う機構と、これらを制御する制御部とからな
    ることを特徴とするプラズマ分布モニタ。
JP11552883U 1983-07-27 1983-07-27 プラズマ分布モニタ Pending JPS6025953U (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP11552883U JPS6025953U (ja) 1983-07-27 1983-07-27 プラズマ分布モニタ

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP11552883U JPS6025953U (ja) 1983-07-27 1983-07-27 プラズマ分布モニタ

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS6025953U true JPS6025953U (ja) 1985-02-21

Family

ID=30266650

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP11552883U Pending JPS6025953U (ja) 1983-07-27 1983-07-27 プラズマ分布モニタ

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS6025953U (ja)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPS5857911U (ja) 赤外線膜厚計
JPS6025953U (ja) プラズマ分布モニタ
DE59100312D1 (de) Integriert-optische Sensoreinrichtung.
JP2000200922A (ja) 光信号検出装置および光信号検出方法
JPS63105541A (ja) 光受信器
JPS5884557U (ja) 分析計
JPS62174511U (ja)
JPS571956A (en) Setting device for gain in reading radiation picture information
Pakulski et al. Fiber‐optics Brillouin scattering spectrometer
JPS60125594U (ja) レ−ザ追尾装置
JPS61195308A (ja) 距離計
JPS6210618U (ja)
JPS61190874U (ja)
JPS59162630U (ja) 多成分測定分光計
JPH0534564U (ja) 光熱レンズ分析装置
JPH095579A (ja) 光結合器の光軸調整方法およびその補助具
JPS5828816U (ja) レ−ザ光軸調整装置
JPH0283453U (ja)
JPS63305584A (ja) 半導体レ−ザ装置
JPS6133048U (ja) 画像濃度検出装置
JPS6331340U (ja)
US20050133748A1 (en) Raster scanning system for scanning photo-stimulatable radiographic media
JPS6035224A (ja) 光源強度検出方法
JPS6249597A (ja) 自動浮遊粒子計数器
JPH02136720A (ja) 光検出体およびこの光検出体を用いたレーザ装置