JPS60256034A - 産業用ｃｔスキヤナ - Google Patents
産業用ｃｔスキヤナInfo
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- JPS60256034A JPS60256034A JP59112517A JP11251784A JPS60256034A JP S60256034 A JPS60256034 A JP S60256034A JP 59112517 A JP59112517 A JP 59112517A JP 11251784 A JP11251784 A JP 11251784A JP S60256034 A JPS60256034 A JP S60256034A
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N23/00—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
- G01N23/02—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by transmitting the radiation through the material
- G01N23/04—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by transmitting the radiation through the material and forming images of the material
- G01N23/046—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by transmitting the radiation through the material and forming images of the material using tomography, e.g. computed tomography [CT]
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N2223/00—Investigating materials by wave or particle radiation
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- G01N2223/419—Imaging computed tomograph
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、工業用製品およびその製品材料を高速検査す
る場合に有効な産業用ＣＴスキャナに関する。
る場合に有効な産業用ＣＴスキャナに関する。
従来、工業用製品および製品材料（以下、被検査物と呼
ぶ）を検査する場合、通称第３世代と称する産業用ＣＴ
スキャナが使用されるが、これＫは被検査物を固定設置
するものと、被検査物を回転させるものとがある。前者
の被検査物固定式の４のは、被検査物を所定の距離をも
って挾むようにＸ線管と円弧状Ｘ線検出器とを対向配置
するとと４Ｉ、これらのＸ線管およびＸ線検出器を一体
的に回転させながらＸ線管からファン状Ｘ線ビームを照
射し、このとき被検査物から透過して出てくる道連Ｘ線
ビームをＸ線検出器によシ被検査物断面の投影データ．
とじて検出し、被検査物における多方向からの投影デー
タを得ることＫよシ、被検査物の断層像を作成するもの
である。
ぶ）を検査する場合、通称第３世代と称する産業用ＣＴ
スキャナが使用されるが、これＫは被検査物を固定設置
するものと、被検査物を回転させるものとがある。前者
の被検査物固定式の４のは、被検査物を所定の距離をも
って挾むようにＸ線管と円弧状Ｘ線検出器とを対向配置
するとと４Ｉ、これらのＸ線管およびＸ線検出器を一体
的に回転させながらＸ線管からファン状Ｘ線ビームを照
射し、このとき被検査物から透過して出てくる道連Ｘ線
ビームをＸ線検出器によシ被検査物断面の投影データ．
とじて検出し、被検査物における多方向からの投影デー
タを得ることＫよシ、被検査物の断層像を作成するもの
である。
一方、被検査物回転式のものは、Ｘ線管および円弧状Ｘ
線検出器を固定設置するとともＫ、被検査物を回転させ
なからＸ線管から間欠的にファン状Ｘ線ビームを照射し
、被検査物における多方向からの透過Ｘ線ビームをＸ線
検出器により被検査物断面の投影データとして取得し、
被検査物の断層像を作成するものである。
線検出器を固定設置するとともＫ、被検査物を回転させ
なからＸ線管から間欠的にファン状Ｘ線ビームを照射し
、被検査物における多方向からの透過Ｘ線ビームをＸ線
検出器により被検査物断面の投影データとして取得し、
被検査物の断層像を作成するものである。
しかしながら、従来ＯＣＴスキャナにあって妊、被検査
物固定式および被検査物回転式の何れの場合にも、一回
のスキャンニングで一個の被検査物しか検査することが
できず、このため量産品としての工業用製品または製品
材料を検査するのに長時間を必要とＬ、ＣＴスキャナの
高速オンライン化に不向きなものである。
物固定式および被検査物回転式の何れの場合にも、一回
のスキャンニングで一個の被検査物しか検査することが
できず、このため量産品としての工業用製品または製品
材料を検査するのに長時間を必要とＬ、ＣＴスキャナの
高速オンライン化に不向きなものである。
本発明は以上のような点に着目してなされた本ので、一
回のスキャンニングで複数個の被検査物の透過放射線ビ
ームを同時に取得し得、被検査物の検査時間の短縮化お
よび高速オンライン化に十分対処できる産業用ＣＴスキ
ャナを提供するととＫある。
回のスキャンニングで複数個の被検査物の透過放射線ビ
ームを同時に取得し得、被検査物の検査時間の短縮化お
よび高速オンライン化に十分対処できる産業用ＣＴスキ
ャナを提供するととＫある。
本発明は、ファン状放射線ビームのファン角度内に複数
台の被検査物載置用回転テーブルを設置するとともに、
これらの回転テーブルを同期して回転させながら各回転
テーブルに対応するファン角度で区切った被検査物の投
影データを取得し画儂再構成を行うことによシ、各被検
査物の断層像を作成する産業用ＣＴスキャナである。
台の被検査物載置用回転テーブルを設置するとともに、
これらの回転テーブルを同期して回転させながら各回転
テーブルに対応するファン角度で区切った被検査物の投
影データを取得し画儂再構成を行うことによシ、各被検
査物の断層像を作成する産業用ＣＴスキャナである。
以下、本発明の一実施例について第１図および第２図を
参照して説明する。第１図は放射線検出系の模式図、第
２図は全体の構成を示す図である。即ち、本発明に係る
産業用ＣＴスキャナの放射線検出系は、第１図に示すよ
うにファン状放射線ビーム１を放射する放射線発生器２
と、この放射線発生器２から放射されるファン状放射線
ビーム１を検出する円弧状の放射線検出器３とが対向し
て固定設置され、さらに両機器２，３の間に複数台の被
検査物載置用回転テーブル４八〜４Ｅが放射線発生器２
の放射線源２ａを中心とする所定半径の曲線上に所定の
間隔を有して回転可能に配置されている。前記放射線検
出器３は、各回転テーブル４八〜４Ｅを覆うビームファ
ン角度内に相当する幅をもって複数（例えば７２チヤン
ネル）の検出素子ＪＡＩ・・・、〜，３Ｅ，・・・が並
列に密接して配列されている。一方、前記複数の回転テ
ーブル４Ａ〜４Ｅは例えば架台５などに回転可能に支持
され、さらＫそれぞれが例えば回転駆動源と連結されて
立設されるねじ体等に係合されて個別に上下方向にスラ
イス位置を可変できるように設けられている。
参照して説明する。第１図は放射線検出系の模式図、第
２図は全体の構成を示す図である。即ち、本発明に係る
産業用ＣＴスキャナの放射線検出系は、第１図に示すよ
うにファン状放射線ビーム１を放射する放射線発生器２
と、この放射線発生器２から放射されるファン状放射線
ビーム１を検出する円弧状の放射線検出器３とが対向し
て固定設置され、さらに両機器２，３の間に複数台の被
検査物載置用回転テーブル４八〜４Ｅが放射線発生器２
の放射線源２ａを中心とする所定半径の曲線上に所定の
間隔を有して回転可能に配置されている。前記放射線検
出器３は、各回転テーブル４八〜４Ｅを覆うビームファ
ン角度内に相当する幅をもって複数（例えば７２チヤン
ネル）の検出素子ＪＡＩ・・・、〜，３Ｅ，・・・が並
列に密接して配列されている。一方、前記複数の回転テ
ーブル４Ａ〜４Ｅは例えば架台５などに回転可能に支持
され、さらＫそれぞれが例えば回転駆動源と連結されて
立設されるねじ体等に係合されて個別に上下方向にスラ
イス位置を可変できるように設けられている。
次ＫＳＣＴスキャナの全体構成について説明する。第２
図においてコンソール１１は各構成回路を統括して制御
するもので、これＫは放射線制御部１２およびテーブル
駆動制御部Ｊ３が接続されている。この放射線制御部１
２は、コンソール１ノからの指令を受けて高電圧発生器
１４よシ放射線発生器２へ所定時間ごとに高電圧を供給
させるための制御を行う。テーブル駆動制御部１３は、
コンソール１ノからの指令を受けて複数の回転ドライブ
信号および必゛要により昇降ドライブ信号を出方するド
ライブ回路と、回転テーブル４八〜４Ｅごとに設けられ
、回転ドライブ信号を受けて回転テーブル４Ａ〜４Ｅを
回転させる複数の回転駆動源（例えばパルスモータ）お
よび回転テーブル４Ａ〜４Ｅを昇降させるだめの複数の
回転駆動源とからなっている。４は第１図に示す４Ａ〜
４Ｅの回転テーブル群、１５けデータ収集部であって１
これは放射線検出器３から出力される被検査物の投影デ
このデータ収集部１５には複数の画像処理系１６ 、
Ｊ ５’が接続されるが、これらはデータ収集部１５と
選択的に接続されるものとする。これらの画像処理系Ｊ
６ 、１６’は両者とも同様な構成を有し、具体的に
はデータ収集部１５がらノ投影データを受けて逐次オフ
セット補正、リファレンス補正、放射線強度の変動補正
などを行う前処理部Ｊ ７ 、 Ｊ ７’と、この前処
理部１７゜１２′から出力された補正処理後の投影デー
タをコンどリュージョン処理およびパックゾロジェクシ
ョン処理を行って各被検査物の再構成画像データを得る
画像再構成処理部７８ 、１８’と、各前処理部１７
、１７’ｂよび画像再構成処理部１ Ｂ 、 Ｊ ＆’
を制御する演算処理制御ユニ、ト（以下、ＣＰＵと指称
する） ７９．２９’と、画像メモＩＪ ２ｏ 、 ；
ｔ ｏ’とで構成されている。２１はＣＰＵ ｌ ９
、１９’からの画像データの濃淡の数から被検査物の欠
陥有無を判定する欠陥判定部であって、ＳＡけ判定出力
を意味する。２２はＣＲＴディスプレイであって、画像
メモリ２０゜２０′からの再構成画像データを表示する
ものである。なお、図示されていないがコンソール１１
におい工各ＣＰＵ ｌ ９ 、１９’を介して画像メモ
リ２ ｏ 、 ２ ｏ’から再構成画像データを読取っ
てディスプレイ２２１／Ｃ表示するよう托してもよい。
図においてコンソール１１は各構成回路を統括して制御
するもので、これＫは放射線制御部１２およびテーブル
駆動制御部Ｊ３が接続されている。この放射線制御部１
２は、コンソール１ノからの指令を受けて高電圧発生器
１４よシ放射線発生器２へ所定時間ごとに高電圧を供給
させるための制御を行う。テーブル駆動制御部１３は、
コンソール１ノからの指令を受けて複数の回転ドライブ
信号および必゛要により昇降ドライブ信号を出方するド
ライブ回路と、回転テーブル４八〜４Ｅごとに設けられ
、回転ドライブ信号を受けて回転テーブル４Ａ〜４Ｅを
回転させる複数の回転駆動源（例えばパルスモータ）お
よび回転テーブル４Ａ〜４Ｅを昇降させるだめの複数の
回転駆動源とからなっている。４は第１図に示す４Ａ〜
４Ｅの回転テーブル群、１５けデータ収集部であって１
これは放射線検出器３から出力される被検査物の投影デ
このデータ収集部１５には複数の画像処理系１６ 、
Ｊ ５’が接続されるが、これらはデータ収集部１５と
選択的に接続されるものとする。これらの画像処理系Ｊ
６ 、１６’は両者とも同様な構成を有し、具体的に
はデータ収集部１５がらノ投影データを受けて逐次オフ
セット補正、リファレンス補正、放射線強度の変動補正
などを行う前処理部Ｊ ７ 、 Ｊ ７’と、この前処
理部１７゜１２′から出力された補正処理後の投影デー
タをコンどリュージョン処理およびパックゾロジェクシ
ョン処理を行って各被検査物の再構成画像データを得る
画像再構成処理部７８ 、１８’と、各前処理部１７
、１７’ｂよび画像再構成処理部１ Ｂ 、 Ｊ ＆’
を制御する演算処理制御ユニ、ト（以下、ＣＰＵと指称
する） ７９．２９’と、画像メモＩＪ ２ｏ 、 ；
ｔ ｏ’とで構成されている。２１はＣＰＵ ｌ ９
、１９’からの画像データの濃淡の数から被検査物の欠
陥有無を判定する欠陥判定部であって、ＳＡけ判定出力
を意味する。２２はＣＲＴディスプレイであって、画像
メモリ２０゜２０′からの再構成画像データを表示する
ものである。なお、図示されていないがコンソール１１
におい工各ＣＰＵ ｌ ９ 、１９’を介して画像メモ
リ２ ｏ 、 ２ ｏ’から再構成画像データを読取っ
てディスプレイ２２１／Ｃ表示するよう托してもよい。
次に、以上のように構成された産業用ＣＴスキャナの作
用について第３図を参照して説明する。先ず、マニピュ
レータその他の公知の搬入手段を用いて各回転テーブル
４Ａ〜４Ｅ上に同時または個別に被検査物を載置し、さ
らにコンソール１１からの指令によってテーブル駆動制
御部１３は各回転テーブル４Ａ〜４Ｅを個別に所要のス
ライス位置に昇降制御する。
用について第３図を参照して説明する。先ず、マニピュ
レータその他の公知の搬入手段を用いて各回転テーブル
４Ａ〜４Ｅ上に同時または個別に被検査物を載置し、さ
らにコンソール１１からの指令によってテーブル駆動制
御部１３は各回転テーブル４Ａ〜４Ｅを個別に所要のス
ライス位置に昇降制御する。
しかる後、コンソール１１は所定のタイミングで選択信
号およびスキャン開始のだめの信号を出力すると、この
選択信号を受けて例えばＣＰＵ Ｊ ９は前処理部１７
を介してデータ処理部１５へ培縛のｆｒめのイｔ −ｉ
＊右ヰ入へととで データ収集部１５はデータ出力端
を画像処理系ノー６に接続する。
号およびスキャン開始のだめの信号を出力すると、この
選択信号を受けて例えばＣＰＵ Ｊ ９は前処理部１７
を介してデータ処理部１５へ培縛のｆｒめのイｔ −ｉ
＊右ヰ入へととで データ収集部１５はデータ出力端
を画像処理系ノー６に接続する。
一方、コンソール１１からスキャン開始の信号を受けた
テーブル駆動制御部ノ３け各回転テーブル４八〜４Ｅの
回転駆動源へ同期して回転するための回転ドライブ信号
ケ与え、これによシ各回転テーブル４Ａ〜４Ｅは同期し
て同時に連砂的または間欠的に回転し、このとき放射線
制御部１２から高電圧発生器１４を介して放射線発生器
２へ間欠的に高電圧が与えられる。ここで、放射線発生
器２から第３図８１のようにファン状放射線ビームｌが
各テーブル４八〜４Ｅ上の被検査物に向けて同時に所定
時間ごとに照射され、各被検査物を透過して出力された
透過放射線ビームは放射線検出器３の各被検査物に対応
する検出素子３に、・・・、〜、３Ｅ、・・・によって
検出され、ここで電気的な放射線吸収データ即ち投影デ
ータに変換されて第３図８２の如く後続のデータ収集部
１５によってデータ収集が行なわれる。このデータ収集
部１５は画像処理系Ｊ６と接続されているので、データ
収集部１６で収集されディジタル化された投影データは
前処理部Ｊ７で読取られ第３図８３のように前処理即ち
種々の補正処理が施され、その後、例えば前処理部１７
または画像再構成処理部Ｊ８のメモリに補正処理後の投
影データが一時蓄えられる（第３図８４）。このときの
投影データ列は被検査物ごとに第４図のようなデータ３
０Ａ〜３０Ｅの順序で蓄えらねる。
テーブル駆動制御部ノ３け各回転テーブル４八〜４Ｅの
回転駆動源へ同期して回転するための回転ドライブ信号
ケ与え、これによシ各回転テーブル４Ａ〜４Ｅは同期し
て同時に連砂的または間欠的に回転し、このとき放射線
制御部１２から高電圧発生器１４を介して放射線発生器
２へ間欠的に高電圧が与えられる。ここで、放射線発生
器２から第３図８１のようにファン状放射線ビームｌが
各テーブル４八〜４Ｅ上の被検査物に向けて同時に所定
時間ごとに照射され、各被検査物を透過して出力された
透過放射線ビームは放射線検出器３の各被検査物に対応
する検出素子３に、・・・、〜、３Ｅ、・・・によって
検出され、ここで電気的な放射線吸収データ即ち投影デ
ータに変換されて第３図８２の如く後続のデータ収集部
１５によってデータ収集が行なわれる。このデータ収集
部１５は画像処理系Ｊ６と接続されているので、データ
収集部１６で収集されディジタル化された投影データは
前処理部Ｊ７で読取られ第３図８３のように前処理即ち
種々の補正処理が施され、その後、例えば前処理部１７
または画像再構成処理部Ｊ８のメモリに補正処理後の投
影データが一時蓄えられる（第３図８４）。このときの
投影データ列は被検査物ごとに第４図のようなデータ３
０Ａ〜３０Ｅの順序で蓄えらねる。
しかして、画像再構成処理部１８け、ＣＰＵ７９からの
指令に基づき第３図８５〜Ｓ８に示すようにメモリから
被検査物ごとに対応する投影データを順次読出してコン
メリューション処理およびパックプロソエクション処理
を行って再構成画像テ′−夕を作成する。そして、画像
作成後の画像データけＣＰＵ Ｊ ９によって読出され
て画像メモ１，１２０へ格納される。この画像処理段階
＆（おいて＃′、［、ＣＰＵ Ｉ ９ （ｄ被検査物の
残りの投影データが有るか否かを把握しておＦ） （ｇ
＜ ３図８９）、残りがあれば画像再構成処理部ノ８に
その残シの投影データについて第３図８５〜Ｓ７に基づ
き画像再構成処理を行う旨の指令を与え、これにより総
ての被検査物の画像データを作成し、画像メモリに蓄え
る。以上の動作は回転テーブル４八〜４Ｅが一回転する
まで行い、被検査物での各方向からのデータに基づき各
被検査物の断層像が得られる。この最終段階での画像再
構成処理時には、コンコールＩノからの選択信号によシ
他方の画像処理系１６′がデータ収集部１５と接続され
、例えばスライス位置などを変えてデータ収集及び画像
再構成処理が可能となっている。そして、以上のよう圧
して画像メモリ２０に蓄えられた各被検査物の断層像デ
ータはＣＰＵ ７９により被検査物ごとに読出されてＣ
ＲＴディスプレイ２２に表示され、さらに欠陥判定部２
ノに送られて画像の濃淡の数から被検査物ごとの欠陥の
有無が判断される。
指令に基づき第３図８５〜Ｓ８に示すようにメモリから
被検査物ごとに対応する投影データを順次読出してコン
メリューション処理およびパックプロソエクション処理
を行って再構成画像テ′−夕を作成する。そして、画像
作成後の画像データけＣＰＵ Ｊ ９によって読出され
て画像メモ１，１２０へ格納される。この画像処理段階
＆（おいて＃′、［、ＣＰＵ Ｉ ９ （ｄ被検査物の
残りの投影データが有るか否かを把握しておＦ） （ｇ
＜ ３図８９）、残りがあれば画像再構成処理部ノ８に
その残シの投影データについて第３図８５〜Ｓ７に基づ
き画像再構成処理を行う旨の指令を与え、これにより総
ての被検査物の画像データを作成し、画像メモリに蓄え
る。以上の動作は回転テーブル４八〜４Ｅが一回転する
まで行い、被検査物での各方向からのデータに基づき各
被検査物の断層像が得られる。この最終段階での画像再
構成処理時には、コンコールＩノからの選択信号によシ
他方の画像処理系１６′がデータ収集部１５と接続され
、例えばスライス位置などを変えてデータ収集及び画像
再構成処理が可能となっている。そして、以上のよう圧
して画像メモリ２０に蓄えられた各被検査物の断層像デ
ータはＣＰＵ ７９により被検査物ごとに読出されてＣ
ＲＴディスプレイ２２に表示され、さらに欠陥判定部２
ノに送られて画像の濃淡の数から被検査物ごとの欠陥の
有無が判断される。
なお、第１図に示す放射線検出系を用いた場合、データ
の存在しない部分があるが、このデータのない部分は空
気データを入れてデータがあるものとし７て処理する。
の存在しない部分があるが、このデータのない部分は空
気データを入れてデータがあるものとし７て処理する。
従って、以上のような構成によれば、第３１址代と称１
−る一台分のＣＴスキャナのシステム構成でテーブルの
台数に相遇する被検査物の断層像を作成でき、多数の被
検査物を短かい時間で検査することができる。しかも、
各回転テーブルは同期してト同時に回転するも、上下方
向へのスライス位置が個別に行えるので、各被検査物の
各断面位置の断層像を作成できる。また、放射線検出器
のデータ収集エリア以外の部分は検出素子群が不要とな
って安価に実現できる。また、ファン状放射線ビームＪ
のファン角度は通常の第３世代と異なり制約を受け々い
。即ち、複数の回転テーブル４Ａ〜４Ｅに跨がるトータ
ルのファン角を越えなければよいので、システム設計が
容易になる。
−る一台分のＣＴスキャナのシステム構成でテーブルの
台数に相遇する被検査物の断層像を作成でき、多数の被
検査物を短かい時間で検査することができる。しかも、
各回転テーブルは同期してト同時に回転するも、上下方
向へのスライス位置が個別に行えるので、各被検査物の
各断面位置の断層像を作成できる。また、放射線検出器
のデータ収集エリア以外の部分は検出素子群が不要とな
って安価に実現できる。また、ファン状放射線ビームＪ
のファン角度は通常の第３世代と異なり制約を受け々い
。即ち、複数の回転テーブル４Ａ〜４Ｅに跨がるトータ
ルのファン角を越えなければよいので、システム設計が
容易になる。
なお、本発明は上記実施例に限定されるものでない。例
えば大形の被検査物を検査する場合、第５図のように複
数台の回転テーブル例えば得られた投影データから空気
テ′−夕よシ上位のデータ列（第６図３３）を検出する
ことにより、再構成エリアを決定し、当該エリアについ
て再構成処理を行って被検査物３２の断層像を作成する
こともできる６号だ、回転テーブル４八〜４Ｅは個別あ
るいは同時に所定の高さでスライス位置を可変させても
よい。寸だ、放射線検出器３は各テーブルに対応するデ
ータ収集エリアの幅で複数の検出素子群を配列したが、
検出器３の全幅にわたって検出素子群を密接して配列し
てもよい。また、画像再構成処理部１８゜１８′が予め
基準データを保持し、前処理後の各被検査物の投影デー
タと基準データとを比較判断し、基準データとの差が大
きい場合には当該被検査物が不良または再検査を要する
信号を出力し、画像再構成処理を行なわないようにする
こともできる。但し、この場合には同一の被検査物が同
一位置に、同一断面の設定が可能なときに成立する。さ
らに、不良と判断した被検査器３全体でデータを検出し
て高精度に被検査物の断層像を作成し、欠陥部分を発見
するようにしてもよい。また、放射線発生器２からは主
としてＸ線が放射されるが、被検査物の材質等に応じて
β線、ｒ線その他の放射線を放射するものでもよい。そ
の他、本発明はその要旨を逸脱しない範囲で種々変形し
て実施できる。
えば大形の被検査物を検査する場合、第５図のように複
数台の回転テーブル例えば得られた投影データから空気
テ′−夕よシ上位のデータ列（第６図３３）を検出する
ことにより、再構成エリアを決定し、当該エリアについ
て再構成処理を行って被検査物３２の断層像を作成する
こともできる６号だ、回転テーブル４八〜４Ｅは個別あ
るいは同時に所定の高さでスライス位置を可変させても
よい。寸だ、放射線検出器３は各テーブルに対応するデ
ータ収集エリアの幅で複数の検出素子群を配列したが、
検出器３の全幅にわたって検出素子群を密接して配列し
てもよい。また、画像再構成処理部１８゜１８′が予め
基準データを保持し、前処理後の各被検査物の投影デー
タと基準データとを比較判断し、基準データとの差が大
きい場合には当該被検査物が不良または再検査を要する
信号を出力し、画像再構成処理を行なわないようにする
こともできる。但し、この場合には同一の被検査物が同
一位置に、同一断面の設定が可能なときに成立する。さ
らに、不良と判断した被検査器３全体でデータを検出し
て高精度に被検査物の断層像を作成し、欠陥部分を発見
するようにしてもよい。また、放射線発生器２からは主
としてＸ線が放射されるが、被検査物の材質等に応じて
β線、ｒ線その他の放射線を放射するものでもよい。そ
の他、本発明はその要旨を逸脱しない範囲で種々変形し
て実施できる。
以上詳述したように本発明によれば、通常第３世代と呼
ばれるＣＴスキャナ構成のものを用いて同時に複数の被
検査物の硫影データを取得できるので、検査時間の短縮
化が図れ、工業製品等の検査に十分対処することができ
る。しかも、複数の被検査物を同時に回転させるので、
制御が簡単であシ、ひいては高速オンライン化にも適用
できる産業用ＣＴスキャナを提供できる。
ばれるＣＴスキャナ構成のものを用いて同時に複数の被
検査物の硫影データを取得できるので、検査時間の短縮
化が図れ、工業製品等の検査に十分対処することができ
る。しかも、複数の被検査物を同時に回転させるので、
制御が簡単であシ、ひいては高速オンライン化にも適用
できる産業用ＣＴスキャナを提供できる。
第１図ないし第４図は本発明に係る産業用ＣＴスキャナ
の一実施例を説明するためのものスキャナの全体構成を
示すブロック図、第３図はスキャナの動作を説明する流
れ図、第４図は複数の被検査物における投影データ列を
示す図、第５図および第６図は他の例を説明する放射線
検出系の平面図およびデータ列を示す図である。 １・・・ファン状放射線ビーム、２・・放射線発生器・
３・・・放射線検出器、ＪＡ、・・・、３Ｂ、・・・
、〜３Ｅ、・・・・・・検出素子、４Ａ〜４Ｅ・・・回
転テーブル、１ノ・・・コンソール、１２・・・放射線
制御部、ノ３・・・デープル駆動制御部、Ｊ５・・・デ
ータ収集部、Ｊ ６ 、 ｌ ６’・・・画像処理系、
ｌ ７ 、７７’・・・前処理部、１ Ｂ 、 Ｊ ８
’・・・画像再構成処理部、１９゜Ｊ ９’−ＣＰＵ
、 ２０ 、２０’−・・画像メモリ、２１−・・欠陥
判定部、２２・・・ディスプレイ。
の一実施例を説明するためのものスキャナの全体構成を
示すブロック図、第３図はスキャナの動作を説明する流
れ図、第４図は複数の被検査物における投影データ列を
示す図、第５図および第６図は他の例を説明する放射線
検出系の平面図およびデータ列を示す図である。 １・・・ファン状放射線ビーム、２・・放射線発生器・
３・・・放射線検出器、ＪＡ、・・・、３Ｂ、・・・
、〜３Ｅ、・・・・・・検出素子、４Ａ〜４Ｅ・・・回
転テーブル、１ノ・・・コンソール、１２・・・放射線
制御部、ノ３・・・デープル駆動制御部、Ｊ５・・・デ
ータ収集部、Ｊ ６ 、 ｌ ６’・・・画像処理系、
ｌ ７ 、７７’・・・前処理部、１ Ｂ 、 Ｊ ８
’・・・画像再構成処理部、１９゜Ｊ ９’−ＣＰＵ
、 ２０ 、２０’−・・画像メモリ、２１−・・欠陥
判定部、２２・・・ディスプレイ。
Claims (8)
- （１）、ファン状放射線ビームを放射する放射線発生器
と、この放射線ビームのファン角度内に設定された複数
台のテーブルと、これらのテーブル上に載置される被検
査物を透過して出てくる前記放射線発生器からの透過放
射線データを検出する放射線検出器と、前記複数台のテ
ーブルを同期して回転させながら前記放射線検出器によ
って検出されたデータを収集するデータ収集手段と、こ
の手段によって収集されたデータを前処理し、各被検査
物ごとに画像再構成処理を行う画像処理系とを備えたこ
とを特徴とする産業用ＣＴスキャナ。 - （２）、複数台のテーブルは、回転可能な構成でちるこ
とを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の産業用ＣＴ
スキャナ。 - （３）、複数台のテーブルは、画像処理系からの制御信
号によって個別にスライス位置を可変す石ものである特
許請求の範囲第１項記載の産業用ＣＴスキャナ。 - （４）・放射線検出器は、各チーグルごとの放射線ビー
ムのファン角度に相当する位置に複数の検出素子群を配
列したものでおる特許請求の範囲第１項記載の産業用Ｃ
Ｔスキャナ。 - （５）０画像処理系は、複数の系から７１．該画像処理
系からデータ収集手段へ接続替えのための信号を送って
データ収集手段に対して何れか１つの画像処理系が選択
的に接続されるものである特許請求の範囲第１項記載の
産業用ＣＴスギャナ。 - （６）１画像処理系は、被検査物に係るデータのない部
分に空気データを入れて画像再構成処理を行うものであ
る特許請求の範囲第１項記載の産業用ＣＴスキャナ。 - （７）０画像処理系は、基準データを持ち、データ収集
手段から出力される各被検査物のデータと前記基準デー
タとを比較判断し、不良と判断しだ被検査物のデータを
出力しないようにすることを特徴とする特許請求の範囲
第１項記載の産業用ＣＴスキャナ。 - （８）、被検査物は、複数のテーブルに跨がって載置す
ることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の産業用
ＣＴスキャナ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59112517A JPS60256034A (ja) | 1984-06-01 | 1984-06-01 | 産業用ｃｔスキヤナ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59112517A JPS60256034A (ja) | 1984-06-01 | 1984-06-01 | 産業用ｃｔスキヤナ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60256034A true JPS60256034A (ja) | 1985-12-17 |
| JPH0319483B2 JPH0319483B2 (ja) | 1991-03-15 |
Family
ID=14588622
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59112517A Granted JPS60256034A (ja) | 1984-06-01 | 1984-06-01 | 産業用ｃｔスキヤナ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60256034A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1672357A2 (en) | 2004-12-17 | 2006-06-21 | Hitachi, Ltd. | Computed tomography system |
| EP2108945A1 (en) | 2008-04-09 | 2009-10-14 | United Technologies Corporation | Computed tomography sample holder for holding a plurality of samples |
| US7639777B2 (en) | 2008-02-26 | 2009-12-29 | United Technologies Corp. | Computed tomography systems and related methods involving forward collimation |
| US7888647B2 (en) | 2008-04-30 | 2011-02-15 | United Technologies Corp. | X-ray detector assemblies and related computed tomography systems |
| US8238521B2 (en) | 2008-03-06 | 2012-08-07 | United Technologies Corp. | X-ray collimators, and related systems and methods involving such collimators |
| DE102017200666A1 (de) | 2017-01-17 | 2018-07-19 | Bayerische Motoren Werke Aktiengesellschaft | Bildgebungsvorrichtung |
| WO2019077950A1 (ja) * | 2017-10-17 | 2019-04-25 | 日本装置開発株式会社 | Ｘ線検査装置 |
| CN112577980A (zh) * | 2020-12-11 | 2021-03-30 | 西安增材制造国家研究院有限公司 | 一种辐射自屏蔽的工业在线ct |
-
1984
- 1984-06-01 JP JP59112517A patent/JPS60256034A/ja active Granted
Cited By (15)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4488885B2 (ja) * | 2004-12-17 | 2010-06-23 | 株式会社日立製作所 | Ｃｔ装置 |
| JP2006170876A (ja) * | 2004-12-17 | 2006-06-29 | Hitachi Ltd | Ｃｔ装置 |
| US7177388B2 (en) * | 2004-12-17 | 2007-02-13 | Hitachi, Ltd. | Computed tomography system |
| EP1672357A2 (en) | 2004-12-17 | 2006-06-21 | Hitachi, Ltd. | Computed tomography system |
| EP1672357A3 (en) * | 2004-12-17 | 2010-02-17 | Hitachi, Ltd. | Computed tomography system |
| US7639777B2 (en) | 2008-02-26 | 2009-12-29 | United Technologies Corp. | Computed tomography systems and related methods involving forward collimation |
| US8238521B2 (en) | 2008-03-06 | 2012-08-07 | United Technologies Corp. | X-ray collimators, and related systems and methods involving such collimators |
| US7876875B2 (en) | 2008-04-09 | 2011-01-25 | United Technologies Corp. | Computed tomography systems and related methods involving multi-target inspection |
| EP2108945A1 (en) | 2008-04-09 | 2009-10-14 | United Technologies Corporation | Computed tomography sample holder for holding a plurality of samples |
| US7888647B2 (en) | 2008-04-30 | 2011-02-15 | United Technologies Corp. | X-ray detector assemblies and related computed tomography systems |
| DE102017200666A1 (de) | 2017-01-17 | 2018-07-19 | Bayerische Motoren Werke Aktiengesellschaft | Bildgebungsvorrichtung |
| WO2019077950A1 (ja) * | 2017-10-17 | 2019-04-25 | 日本装置開発株式会社 | Ｘ線検査装置 |
| JP2019074415A (ja) * | 2017-10-17 | 2019-05-16 | 日本装置開発株式会社 | Ｘ線検査装置 |
| CN112577980A (zh) * | 2020-12-11 | 2021-03-30 | 西安增材制造国家研究院有限公司 | 一种辐射自屏蔽的工业在线ct |
| CN112577980B (zh) * | 2020-12-11 | 2023-03-28 | 西安增材制造国家研究院有限公司 | 一种辐射自屏蔽的工业在线ct |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0319483B2 (ja) | 1991-03-15 |
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