JPS60250641A - ウエハ−移し替装置 - Google Patents
ウエハ−移し替装置Info
- Publication number
- JPS60250641A JPS60250641A JP10626984A JP10626984A JPS60250641A JP S60250641 A JPS60250641 A JP S60250641A JP 10626984 A JP10626984 A JP 10626984A JP 10626984 A JP10626984 A JP 10626984A JP S60250641 A JPS60250641 A JP S60250641A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- carrier
- guide
- accommodation
- base
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔技術分野・〕
本発明は、半導体ウェハーを収容するウェハー収容キャ
リヤーから他のウェハー収容キャリャーヘウエハーの移
し替を行なうウェハー移し替装置に関する。
リヤーから他のウェハー収容キャリャーヘウエハーの移
し替を行なうウェハー移し替装置に関する。
従来のウェハー移し替装置では、ウェハーの収容ピッチ
がウェハー収容キャリヤー間で異なる場合、ウェハーを
機械的に移し替えることができず、作業者がウェハーを
一枚ずつ一方のキャリヤーから引き出し、これを他方の
キャリヤーへ収容していたため、移し替えの時間が長く
かかるという欠点があった。
がウェハー収容キャリヤー間で異なる場合、ウェハーを
機械的に移し替えることができず、作業者がウェハーを
一枚ずつ一方のキャリヤーから引き出し、これを他方の
キャリヤーへ収容していたため、移し替えの時間が長く
かかるという欠点があった。
本発明の目的は、上述の欠点を除去し、ウェハー移し要
時間が短かくてすむウェハー移し替装置を提供すること
にある。
時間が短かくてすむウェハー移し替装置を提供すること
にある。
本発明は半導体ウェハーを収容する一方のウェハー収容
キャリヤーから他方のウェハー収容キャリヤーへ半導体
ウェハーを収容するウエノ・−移し替装置において、軸
を中心として置台を時計方向及び反時計方向にその姿勢
を転換可能に設置し、該置台に、第１のウェハー収容キ
ャリヤーと該キャリヤーの収容溝のｎ倍のピッチで形成
された収容溝を有する第２のウエノ・−収容キャリヤー
とを脱着可能に取付け、両ウェハー収容キャリヤー間に
、第１のウェハー収容キャリヤーの収容溝と同一ピッチ
の案内溝を有する第１のウェハーガイドと、第２のウェ
ハー収容キャリヤーの収容溝と同一ピッチの案内溝を有
する第２のウェハ−ガイドとを溝方向に相対変位可能に
介在させたことを特徴とするウェハー移し替装置である
。
キャリヤーから他方のウェハー収容キャリヤーへ半導体
ウェハーを収容するウエノ・−移し替装置において、軸
を中心として置台を時計方向及び反時計方向にその姿勢
を転換可能に設置し、該置台に、第１のウェハー収容キ
ャリヤーと該キャリヤーの収容溝のｎ倍のピッチで形成
された収容溝を有する第２のウエノ・−収容キャリヤー
とを脱着可能に取付け、両ウェハー収容キャリヤー間に
、第１のウェハー収容キャリヤーの収容溝と同一ピッチ
の案内溝を有する第１のウェハーガイドと、第２のウェ
ハー収容キャリヤーの収容溝と同一ピッチの案内溝を有
する第２のウェハ−ガイドとを溝方向に相対変位可能に
介在させたことを特徴とするウェハー移し替装置である
。
以下に、本発明の一実施例を図により説明する。
第１図、第２図において、軸２を中心にして置台１を時
計方向及び反時計方向にその姿勢を転換可能に設置し、
ピッチで形成された収容溝４．・・・を有する第１のウ
ェハー収容キャリヤー３と、該キャリヤー３の収容溝４
のｎ倍の等ピッチで形成された収容溝８．・・・・・・
を有する第２のウエノ・−収容キャリャ−７とを置台１
に脱着可能に取付ける。第１のウェハー収容キャリヤー
３の収容溝４と同一ピッチの案内溝６を有する第１のウ
ェハーガイド５と、第２のウェハー収容キャリヤー７の
収容溝８と同一ピッチの案内溝ｌＯを有する第２のウエ
ノ・−ガイド９とを両ウェハー収容キャリヤー３，７間
に溝方向に相対変位可能に介在させる。また、１２はウ
ェハー収容キャリヤー３、ウェハーガイド５、ウェハー
ガイド９、ウェハー収容キャリヤー７を位置規制してこ
れらを置台１に装着する押え板である。
計方向及び反時計方向にその姿勢を転換可能に設置し、
ピッチで形成された収容溝４．・・・を有する第１のウ
ェハー収容キャリヤー３と、該キャリヤー３の収容溝４
のｎ倍の等ピッチで形成された収容溝８．・・・・・・
を有する第２のウエノ・−収容キャリャ−７とを置台１
に脱着可能に取付ける。第１のウェハー収容キャリヤー
３の収容溝４と同一ピッチの案内溝６を有する第１のウ
ェハーガイド５と、第２のウェハー収容キャリヤー７の
収容溝８と同一ピッチの案内溝ｌＯを有する第２のウエ
ノ・−ガイド９とを両ウェハー収容キャリヤー３，７間
に溝方向に相対変位可能に介在させる。また、１２はウ
ェハー収容キャリヤー３、ウェハーガイド５、ウェハー
ガイド９、ウェハー収容キャリヤー７を位置規制してこ
れらを置台１に装着する押え板である。
次に、動作について説明する。まず、第２図で置台１を
軸２を中心として時計方向に９０°回転して水平姿勢に
保持する。そして、空のウェハー収容キャリヤー３と、
半導体ウェハー１１を収容したウェハー収容キャリヤー
７とを置台１上にセットし、ウェハー収容キャリヤー３
の収容溝４とガイド５の案内溝６とを一致させて該ガイ
ド５を置台１上にセットする。一方、ウェハー収容キャ
リヤー７の収容溝８とガイド９の案内溝ｌＯとを一致さ
せ、かつガイド９の案内溝１０をガイド５の案内溝６の
うち任意の溝に一致させて、該ガイド９を置台１にセッ
トし、キャリヤー３、ガイド５，９、キャリヤー７とを
位置規制して押え板１２でこれらを置台１に装着する。
軸２を中心として時計方向に９０°回転して水平姿勢に
保持する。そして、空のウェハー収容キャリヤー３と、
半導体ウェハー１１を収容したウェハー収容キャリヤー
７とを置台１上にセットし、ウェハー収容キャリヤー３
の収容溝４とガイド５の案内溝６とを一致させて該ガイ
ド５を置台１上にセットする。一方、ウェハー収容キャ
リヤー７の収容溝８とガイド９の案内溝ｌＯとを一致さ
せ、かつガイド９の案内溝１０をガイド５の案内溝６の
うち任意の溝に一致させて、該ガイド９を置台１にセッ
トし、キャリヤー３、ガイド５，９、キャリヤー７とを
位置規制して押え板１２でこれらを置台１に装着する。
その後、置台１を反時計方向に９０°回転させて直立姿
勢に転換させ、空のウェハー収容キャリヤー３を下方位
置に、半導体ウェハー１１を収容したウェハー収容キャ
リヤー７を上方位置にそれぞれ配置する。これにより、
半導体ウェハー１１は自重によシキャリャ−７の収容溝
８から抜は落ちてガイド５，９の案内溝６．ｌＯを通っ
てウェハー収容キャリヤー３の収容溝４に入って行く。
勢に転換させ、空のウェハー収容キャリヤー３を下方位
置に、半導体ウェハー１１を収容したウェハー収容キャ
リヤー７を上方位置にそれぞれ配置する。これにより、
半導体ウェハー１１は自重によシキャリャ−７の収容溝
８から抜は落ちてガイド５，９の案内溝６．ｌＯを通っ
てウェハー収容キャリヤー３の収容溝４に入って行く。
次に、再び軸２を中心に時計回り方向に９０″回転して
ウェハーガイド９の案内溝ｌＯをウェハー収容ガイド５
の案内溝６に対して前回と１ピツチずらしてセットした
後、半導体ウェハーを収容した新たなウェハー収容キャ
リヤー７をウェハーガイド９に対して取付け、押え板１
２で固定する。そして、置台１を反時計回多方向に９０
°回転させると、ウェハー収容キャリヤー７内から抜は
落ちたウェハーは、ウェハー収容キャリヤー３の前回と
異なった収容溝４の内に入って行く。同様な方法でガイ
ド９の案内溝ｌＯをガイド５の案内溝６に対して１ピツ
チずつずらしていけば、ウェハー収容キャリヤー３のす
べての収容溝４内にウェハー収容キャリヤー７からウェ
ハー１１を収容することができる。
ウェハーガイド９の案内溝ｌＯをウェハー収容ガイド５
の案内溝６に対して前回と１ピツチずらしてセットした
後、半導体ウェハーを収容した新たなウェハー収容キャ
リヤー７をウェハーガイド９に対して取付け、押え板１
２で固定する。そして、置台１を反時計回多方向に９０
°回転させると、ウェハー収容キャリヤー７内から抜は
落ちたウェハーは、ウェハー収容キャリヤー３の前回と
異なった収容溝４の内に入って行く。同様な方法でガイ
ド９の案内溝ｌＯをガイド５の案内溝６に対して１ピツ
チずつずらしていけば、ウェハー収容キャリヤー３のす
べての収容溝４内にウェハー収容キャリヤー７からウェ
ハー１１を収容することができる。
以上のように本発明は、２つのウェハー収容キャリヤー
のピッチが異なる収容溝間をガイドの案内溝で連通させ
てウェハーの移し替を行なうようにしたため、ピッチの
異なるウェハー収容キャリヤー間の移し替えでも、半導
体ウェハーを一枚ずつ移し替える必要がなく、置台の姿
勢を機械的に転換することにより、複数枚のウェハーを
同時に移し替えることができ、移し替時間が短かくてす
むという利点がある。
のピッチが異なる収容溝間をガイドの案内溝で連通させ
てウェハーの移し替を行なうようにしたため、ピッチの
異なるウェハー収容キャリヤー間の移し替えでも、半導
体ウェハーを一枚ずつ移し替える必要がなく、置台の姿
勢を機械的に転換することにより、複数枚のウェハーを
同時に移し替えることができ、移し替時間が短かくてす
むという利点がある。
第１図は本発明によるウェハー移し替装置の−実施例を
示す半断面した正面図、第２図は第１図のＢ−Ｂ半断面
図である。 なお図において、１は置台、２は軸、３はウェハー収容
キャリヤー、４は収容溝、５はウェハーガイド、６は案
内溝、７はウェハー収容キャリヤー、８は収容溝、９は
ウェハーガイド、■０は案内溝、１１は半導体ウエノ・
−１１２は押え板である。 特許出願人 日本電気株式会社 第１図
示す半断面した正面図、第２図は第１図のＢ−Ｂ半断面
図である。 なお図において、１は置台、２は軸、３はウェハー収容
キャリヤー、４は収容溝、５はウェハーガイド、６は案
内溝、７はウェハー収容キャリヤー、８は収容溝、９は
ウェハーガイド、■０は案内溝、１１は半導体ウエノ・
−１１２は押え板である。 特許出願人 日本電気株式会社 第１図
Claims (1)
- （１）半導体ウェハーを収容する一方のウェハー収容キ
ャリヤーから他方のウェハー収容キャリャーヘウエハー
の移し替を行なうウェハー移し替装置において、軸を中
心として置台金時計方向及び反時計方向にその姿勢を転
換可能に設置し、該置台に、第１のウェハー収容キャリ
ヤーと該キャリヤーの収容溝のｎ倍のピッチで形成され
た収容溝を有する第２のウェハー収容キャリヤーとを脱
着可能に取付け、両ウェハー収容キャリヤー間に、第１
のウェハー収容キャリヤーの収容溝と同一ピッチの案内
溝を有する第１のウェハーガイドと、第２のウェハー収
容キャリヤーの収容溝と同一ヒツチの案内溝を有する第
２のウェハーガイドとを溝方向に相対変位可能に介在さ
せたことを特徴とするウェハー移し替装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10626984A JPS60250641A (ja) | 1984-05-25 | 1984-05-25 | ウエハ−移し替装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10626984A JPS60250641A (ja) | 1984-05-25 | 1984-05-25 | ウエハ−移し替装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60250641A true JPS60250641A (ja) | 1985-12-11 |
Family
ID=14429361
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10626984A Pending JPS60250641A (ja) | 1984-05-25 | 1984-05-25 | ウエハ−移し替装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60250641A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110571178A (zh) * | 2018-06-06 | 2019-12-13 | 环球晶圆股份有限公司 | 晶圆转换装置 |
| CN111696901A (zh) * | 2019-03-13 | 2020-09-22 | 环球晶圆股份有限公司 | 晶圆转换装置 |
-
1984
- 1984-05-25 JP JP10626984A patent/JPS60250641A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110571178A (zh) * | 2018-06-06 | 2019-12-13 | 环球晶圆股份有限公司 | 晶圆转换装置 |
| CN110571178B (zh) * | 2018-06-06 | 2022-03-04 | 环球晶圆股份有限公司 | 晶圆转换装置 |
| CN111696901A (zh) * | 2019-03-13 | 2020-09-22 | 环球晶圆股份有限公司 | 晶圆转换装置 |
| CN111696901B (zh) * | 2019-03-13 | 2024-04-26 | 环球晶圆股份有限公司 | 晶圆转换装置 |
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