JPH0329176B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 この発明はICのような半導体素子（以下単に
素子という）の電気的特性を測定してその結果に
よつて性能別に分類収容する半導体素子のハンド
リングマシンにおいて、素子を複数箇所に設けら
れた各測定部に供給する装置に関するものであ
る。

第１図により半導体素子のハンドリングマシン
の概要について説明する。架台１の上部には、カ
セツト２が配設されており、このカセツトにはま
だ測定されていない多数個の素子を収容してある
供給マガジン３が水平に多数本積み重ねられてい
る。測定が開始されるとカセツト２内の供給マガ
ジン３は上から順次１本づつ適宜な方法で取出さ
れ、４で示すように傾斜してセツトされる。

傾斜してセツトされた供給マガジン４内の素子
は供給シユート５の中を自重落下し、後述する本
願発明の供給部７に連続して供給される。

第２図に概略的で示すように供給部７には軸８
の回転と共に180゜回転可能であり、かつ軸８の移
動と共に水平移動可能なキヤリア９が待機してお
り、供給シユート５内を自重落下したきた素子６
をキヤリア９に固定された小収容ケース１０に、
１個づつ受け取つて、測定シユート１１の途中に
設けられた測定部１２および１３あるいは測定シ
ユート１４の途中に設けられた測定部１５および
１６に順次素子６を供給する。

測定部においてその電気的特性を測定された素
子６は測定部から解放されて測定シユート１１，
１４の末端に移動可能に設けられた分配機１７に
１個づつ受け取られる。素子を受け取つた分配機
１７は複数列設けられた収容シユート１８のうち
指定された収容シユートの位置に移動して停止し
て保持している素子を解放する。複数列設けられ
た収容シユート１８の各末端には、それに接続し
て傾斜して取付けられた傾斜マガジン１９および
水平に取付けられた水平マガジン２０が電気的特
性別に複数本設けられている。

通常傾斜マガジン１９は不良素子とか特別仕様
の素子等発生頻度の少ない素子を収容するための
もので、分配機１７から解放された素子は収容シ
ユート１８を通過して直接傾斜マガジン１９に収
容される。そして素子で満杯になつた傾斜マガジ
ン１９は作業者が空マガジンと交換するが、交換
時に分配機１７から解放された素子は一時的に収
容シユート１８にストツクされ、空マガジンが装
填されるとストツクされた素子は、その中に収容
されるようになつている。

また通常水平マガジン２０は良品のように発生
頻度の多い素子を収容するためのもので、分配機
１７から解放された素子は収容シユート１８を通
過して傾斜して待機しているシフト・シユート２
１に受け取られ、次いでシフトシユート２１を図
示のように水平状態にシフトさせた後に、その中
の素子を適宜な方法で水平マガジン２０内に突き
込み収容する。そして素子で満杯になつた水平マ
ガジン２０は自動的に突き上げられて収容カセツ
ト２２の下から順次上へと多数本収容されると共
に空マガジンが新たにセツトされる。なお図示の
例では傾斜マガジン１９と水平マガジン２０とを
併用した場合について説明したが、収容の方法は
必要に応じて適宜選択することができ、上記のう
ちいずれか一方のみを適用することも勿論可能で
ある。

このような構造を有するICハンドリングマシ
ンにおいて供給部７において素子６を180゜回転さ
せて測定シユートを供給する理由について第３図
により説明する。供給マガジン４は一端に栓２３
を有して、他端（図において左側）が開放され
て、この中に素子６は一列に収容されている。そ
して素子６には方向性があつて、これを黒点６ａ
をもつて略示するが、収容されている素子６は黒
点６ａが左になるように、前工程で方向合せされ
て収容されている。すなわち供給マガジン４の開
放側に黒点６ａが向いている。そして素子６の電
気的特性の測定等が行なわれて左側の収容マガジ
ン１９に収容されると栓２４は左端に位置してお
り、素子６がそのままの姿勢で送られてくると、
素子６の黒点６ａは開放側とは逆の栓２４の方向
を向く。すなわち収容マガジン１９内における素
子６の向きは供給マガジン４内における素子６の
向きと方向が逆になつて収容されることとなり、
以後の工程において支障をきたすこととなる。そ
のため、供給側と収容側との間に素子の方向を
180゜変換する装置を設け、マガジン内の素子を常
に一定の方向に揃えることが必要となる。本発明
はこの180゜方向変換と同時に複数列の測定シユー
トに素子を供給する装置を提供するものである。

なおこのような方向変換には、従来よりスイツ
チパツク方式が一般に採用されてきたが、複数列
の測定シユートに素子を供給する機構をそれに組
合せると、装置が大きく複雑になる欠点があつた
ので、これを改善し、簡単な機構で、かつ小さく
構成したものである。

第４図、第５図により供給部７について詳述す
る。図において素子１個を収容することのできる
小収容ケース１０を軸８を中心として180゜の間欠
回転可能に設ける。小収容ケース１０は、図の左
側にストツパ３２を有して素子１個を保持可能と
する。小収容ケース１０の固定されたキヤリア９
は軸８に固定されている。この軸８の第５図の右
側は長手方向に断面半円形の溝３３が設けられて
いる。そして軸８の右側は、駆動歯車３４を有す
る円筒３５の中央を貫通し、円筒３５と軸８との
間の溝３３には球３６が挿入されている。そして
円筒３５は固定部の軸受３７によつて支えられて
いる。

また軸８の左側は軸受３８によつて支えられ
て、軸受３８に対して軸８は左右動可能に支持さ
れている。軸８の左端にはエアシリンダ３９を設
けて、その作動により軸８の左右動を可能とす
る。このようにして軸８は円筒３５に対して左右
動可能であると共に、円筒３５の回転に対しては
一体に回転する。

ここで小収容ケース１０が180゜回転した位置に
二つの測定シユート１１，１４の開口部を設け
て、駆動モータ４０だけを回転すると測定シユー
ト１１と小収容ケース１０とが連通され、またモ
ータ４０と同時にシリンダ３９を作動させると、
小収容ケース１０は第５図の右側の測定シユート
１４に連結され、小収容ケース１０内の素子６は
逐次測定部１２，１５あるいは１３，１６に振分
けて供給される。測定シユート１１あるいは１４
に素子を供給した後は、軸８は半回転し、あるい
は半回転すると共に平行移動して小収容ケース１
０は元の位置に復帰して供給シユート５から新た
に供給されてくる素子６を受け取るべく待機す
る。

以上詳述したような本発明の構成により、供給
マガジンから送られてきた素子をその向きを180゜
回転させて複数箇所に設けられた各測定部に供給
することが可能となつた。

また従来１列に素子を供給して、これを１カ所
で測定していたのに対して、本発明においては複
数列に供給して、並列に測定が可能であるので、
ハンドリングマシンを効果的に稼動させることが
できる特徴を有する。

【図面の簡単な説明】

第１図は半導体素子のハンドリングマシン概要
説明図、第２図は第１図の−線矢視図、第３
図は供給マガジンおよび収容マガジン内の素子の
方向性を示す説明図、第４図は本発明の供給部の
主要部側面図で第２図の−線断面図、第５図
は第２図の−線断面図。 ５…供給シユート、６…素子、７…供給部、８
…軸、９…キヤリア、１０…小収容ケース、１
１，１４…測定シユート、１２，１３，１５，１
６…測定部、３９…エアシリンダ、４０…モー
タ。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １ 供給シユートから搬送されてきた半導体素子
   を順次複数列に設けられた測定部に供給して、そ
   の電気的特性を測定して収容マガジンに選別収容
   するようにした半導体素子のハンドリングマシン
   において、前記供給シユートから搬送されてきた
   半導体素子１個を受ける小収容ケースが取付けら
   れ、半回転の間欠運動と共に左右動を可能とする
   軸を小収容ケースに設け、軸の半回転と同時に小
   収容ケースの位置を所望の測定シユートの複数の
   開口部位置に合わせて左右動させる半導体素子の
   供給装置。